2. يېرىم ئۆتكۈزگۈچ كەسپى نېمە ئۈچۈن مۇتلەق ساپلىقنى تەلەپ قىلىدۇ؟

دەرىجىدىن تاشقىرى يۇقىرى ساپلىقنىڭ زۆرۈرلىكىنى چۈشىنىش ئۈچۈن ، زامانىۋى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساشنىڭ كۆلىمىنى چۈشىنىش كېرەك. بۈگۈنكى ئەڭ ئىلغار ئۆزەكلەرنىڭ كەڭلىكى ئاران بىر نەچچە نانومېتىر كېلىدىغان ترانسېنىستور بار. بۇنى كۆزدە تۇتقاندا ، ئىنسانلارنىڭ بىر تال چاچنىڭ قېلىنلىقى تەخمىنەن 80،000،000،000 نانومېتىر كېلىدۇ.

سىز ئاتوم سەۋىيىسىدە قۇرۇلغاندا ، بىر مولېكۇلا ئوكسىگېن ياكى مىكروسكوپلۇق تامچە سۇ ئاپەت خاراكتېرلىك مەغلۇبىيەتنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ.

• ئوكسىدلىنىش: كېرەكسىز ئوكسىگېن نازۇك كرېمنىي قۇرۇلمىسى بىلەن ئىنكاس قايتۇرۇپ ، ئۇلارنىڭ ئېلېكتر خۇسۇسىيىتىنى ئۆزگەرتەلەيدۇ.

• ئالاھىدە بۇلغىنىش: ھەتتا بىر ئېزىپ كەتكەن زەررىچىمۇ نانوسكولى ترانس ist ورنى قىسقا توك يولىغا ئايلاندۇرۇپ ، مىكرو ئۆزەكنىڭ پۈتۈن بۆلەكلىرىنى كارغا كەلتۈرىدۇ.

• مەھسۇلاتنى ئازايتىش: ھەر ھەپتىدە نەچچە مىڭ ۋافېر پىششىقلاپ ئىشلەش زاۋۇتىدا ، گازنىڭ بۇلغىنىشى سەۋەبىدىن مەھسۇلاتنىڭ ئازراق تۆۋەنلىشى نەچچە ئون مىليون دوللار زىيانغا ئۇچرايدۇ.

شۇڭلاشقا, يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سۇيۇق ئارگون تازىلىق ئۆيى مۇھىتىغا كىرگۈزۈلگەندە چوقۇم ھېچقانداق ئاكتىپچان بۇلغىمىلاردىن خالىي بولۇشى كېرەك.

3. يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سۇيۇق ئارگوننىڭ يادرولۇق قوللىنىلىشى

كرېمنىيلىق ۋافېرنىڭ خام ئەشيادىن تەييار مىكرو بىر تەرەپ قىلغۇچقا يۈرۈش مۇساپىسى نەچچە يۈزلىگەن مۇرەككەپ باسقۇچلارنى بېسىپ ئۆتىدۇ. دەرىجىدىن تاشقىرى يۇقىرى ساپلىق سۇيۇقلۇق ئارگون بۇ سەپەرنىڭ بىر قانچە ھالقىلىق باسقۇچلىرىغا چوڭقۇر سىڭدۈرۈلگەن.

3.1. كرېمنىي خرۇستال تارتىش (Czochralski جەريان)

ھەر قانداق مىكرو ئۆزەكنىڭ ئاساسى كرېمنىيلىق ۋافېر. بۇ ۋافېرلار Czochralski (CZ) ئۇسۇلى ئارقىلىق ئۆستۈرۈلگەن چوڭ ، يەككە كرىستال كرېمنىيدىن ياسالغان. بۇ جەرياندا يۇقىرى ساپلاشتۇرۇلغان پولى كرىستاللىق كرېمنىي 1400 سېلسىيە گرادۇستىن يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا كرېستتە ئېرىپ كېتىدۇ. ئۇرۇق كىرىستال كىرگۈزۈلۈپ ئاستا-ئاستا يۇقىرىغا تارتىپ ، ئېرىتىلگەندىن مۇكەممەل سىلىندىر كىرىستال سىزىلىدۇ.

بۇ پەۋقۇلئاددە ئىسسىقلىق جەريانىدا ، ئېرىتىلگەن كرېمنىي ناھايىتى ئاكتىپ بولىدۇ. ئەگەر ئۇ ئوكسىگېن ياكى ئازوت بىلەن ئۇچراشسا ، كرېمنىي ئوكسىد ياكى كرېمنىي نىترىد ھاسىل قىلىپ ، ساپ كىرىستال قۇرۇلمىنى بۇزىدۇ. بۇ يەردە ، ئارگون ئەڭ ئاخىرقى قوغدىغۇچى رولىنى ئوينايدۇ. ئوچاق توختىماي ھور بىلەن پاكىزلىنىدۇ دەرىجىدىن تاشقىرى يۇقىرى ساپلىق سۇيۇقلۇقى پۈتۈنلەي ئىنېرت مۇھىتى يارىتىش. ئارگون ھاۋادىن ئېغىر بولغاچقا ، ئېرىتىلگەن كرېمنىي ئۈستىدە قوغداش ئەدىيال ھاسىل قىلىپ ، ھاسىل بولغان ماددىنىڭ قۇرۇلما مۇكەممەل ۋە مىكروسكوپ كەمتۈكلىكىدىن خالىي بولۇشىغا كاپالەتلىك قىلىدۇ.

3.2. پلازما كېسىش ۋە چۆكۈش

زامانىۋى ئۆزەك 3D قەۋىتىدە ياسالغان. بۇ مىكروسكوپلۇق قەۋەت ئۆتكۈزگۈچ ياكى ئىزولياتورلۇق ماتېرىياللارنى ۋافېرغا قويۇپ ، ئاندىن ئالاھىدە قىسىملارنى چىقىرىپ تاشلاپ توك يولى ھاسىل قىلىشنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ.

• پۈركۈش (فىزىكىلىق ھور چۆكۈش - PVD): ئارگون پۈركۈشتە ئىشلىتىلىدىغان ئاساسلىق گاز. ۋاكۇئۇم ئۆيدە ، ئارگون گازى پىلازماغا ئايلىنىدۇ. بۇ مۇسبەت زەرەتلەنگەن ئارگون ئىئونلىرى ئاندىن نىشان ماتېرىيالغا (مىس ياكى تىتانغا ئوخشاش) تېزلىتىلىدۇ. ئېغىر ئارگون ئىئونىنىڭ ھەرىكەت كۈچى ئاتومنى نىشاندىن ئۇرۇپ چىقىرىۋېتىدۇ ، ئاندىن كرېمنىي ۋافېرغا تەكشى قويىدۇ. ئارگون تاللىنىدۇ ، چۈنكى ئۇنىڭ ئاتوم ماسسىسى مېتال ئاتوملارنى ئۇلار بىلەن خىمىيىلىك ئىنكاس قايتۇرماي ئۈنۈملۈك ھالدا تارقىتىشقا تولىمۇ ماس كېلىدۇ.

• چوڭقۇر رېئاكتىپ Ion Etching (DRIE): ئىشلەپچىقارغۇچىلار چوڭقۇر ، يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى ئورەكنى كرېمنىيغا تىكىشكە ئېھتىياجلىق بولغاندا ، ئەستە ساقلاش ئۆزىكى ۋە ئىلغار ئورالمىلاردا ئىنتايىن مۇھىم بولغان ئارگون دائىم رېئاكتىپلىق گازلار بىلەن ئارىلاشتۇرۇلۇپ پلازماسنى مۇقىملاشتۇرىدۇ ۋە ۋافېر يۈزىنى جىسمانى جەھەتتىن بومباردىمان قىلىشقا ياردەم بېرىدۇ.

3.3. DUV ۋە EUV Lithography (Excimer Lasers)

Lithography بولسا نۇردىن پايدىلىنىپ توك يولى ئەندىزىسىنى ۋافېرغا بېسىپ چىقىرىش جەريانى. توك يولى كىچىكلىگەنلىكتىن ، ئىشلەپچىقارغۇچىلار دولقۇن ئۇزۇنلۇقى بارغانسىرى قىسقا بولغان نۇرنى ئىشلىتىشكە مەجبۇر بولدى. بۇ يەردە سۇيۇق ئارگېن ئېلېكترون ئوپتىكىلىق فىزىكا بىلەن كېسىشكەن.

چوڭقۇر ئۇلترا بىنەپشە (DUV) تاش مەتبەئە ئارف (Argon Fluoride) ھاياجانلاندۇرىدىغان لازېرغا تايىنىدۇ. بۇ لازېرلار ئارگون ، فتور ۋە نېئون گازىنىڭ ئېنىق كونترول قىلىنغان ئارىلاشمىسىنى ئىشلىتىپ ، دولقۇن ئۇزۇنلۇقى 193 نانومېتىر بولغان يۇقىرى فوكۇس نۇر ھاسىل قىلىدۇ. بۇ لازېر بوشلۇقىدا ئىشلىتىلگەن ئارگوننىڭ ساپلىقى ئاجايىپ قاتتىق. ھەر قانداق بۇلغانمىلار لازېر نۇرنى تۆۋەنلىتىدۇ ، نۇرنىڭ كۈچلۈكلۈك دەرىجىسىنى تۆۋەنلىتىدۇ ۋە تاش مەتبەئە جەريانىنىڭ تۇتۇق ياكى كەمتۈك توك يولىنى بېسىپ چىقىرىشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ.

ئەڭ يېڭى دەرىجىدىن تاشقىرى ئۇلترا بىنەپشە (EUV) تاش مەتبەئە سىستېمىسىدىمۇ ، ئارگون نازۇك ، ئىنتايىن مۇرەككەپ ئەينەك سىستېمىسىنىڭ مولېكۇلا بۇلغىنىشىدىن ساقلىنىش ئۈچۈن تازىلاش گازى سۈپىتىدە ئىنتايىن مۇھىم رول ئوينايدۇ.

3.4. Annealing and Thermal Processing

دوپپا (بور ياكى فوسفورغا ئوخشاش) كرېمنىيغا كۆچۈرۈلگەندىن كېيىن ، ئۇنىڭ ئېلېكتر خۇسۇسىيىتىنى ئۆزگەرتىدۇ ، ۋافېرنى چوقۇم يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا قىزىتىپ ، خرۇستال رېشاتكىنىڭ بۇزۇلۇشىنى ئەسلىگە كەلتۈرۈش ۋە دوپپىنى ئاكتىپلاش كېرەك. تۇتاشتۇرۇش دەپ ئاتالغان بۇ جەريان چوقۇم قاتتىق كونترول قىلىنغان ، ئوكسىگېنسىز مۇھىتتا يۈز بېرىپ ، ۋافېر يۈزىنىڭ ئوكسىدلىنىشىنىڭ ئالدىنى ئېلىشى كېرەك. دەرىجىدىن تاشقىرى ساپ ئارگوننىڭ ئۇدا ئېقىشى بۇ بىخەتەر ئىسسىقلىق مۇھىتى بىلەن تەمىنلەيدۇ.

4. سۇيۇق ئارگون ئېلېكترون مەھسۇلاتلىرى: كېيىنكى ئەۋلاد تېخنىكىنى ھەرىكەتلەندۈرۈش

بۇ ئاتالغۇ سۇيۇق ئارگېن ئېلېكترون يۇقىرى تېخنىكىلىق ئۈسكۈنىلەرنىڭ ئېكولوگىيىلىك سىستېمىسى ۋە بۇ كرىگېنلىق ماتېرىيالغا باغلىق ئىشلەپچىقىرىش جەريانىنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ. سۈنئىي ئىدراك (AI) ، نەرسە تورى (IoT) ۋە ئاپتوماتىك ماشىنىلار ھۆكۈمرانلىق قىلىدىغان دەۋرگە قەدەم قويغاندا ، تېخىمۇ كۈچلۈك ، ئېنېرگىيە تېجەيدىغان ئۆزەكلەرگە بولغان ئېھتىياج شىددەت بىلەن ئاشماقتا.

1. AI تېزلەتكۈچ ۋە GPU: چوڭ تىپتىكى مودېللارغا ئوخشاش سۈنئىي ئەقىل مودېللىرىنى مەشىقلەندۈرۈش ئۈچۈن تەلەپ قىلىنغان غايەت زور گرافىك بىر تەرەپ قىلىش ئورۇنلىرى (GPU) ئاجايىپ چوڭ ، كەمتۈك كرېمنىي ئۆلۈشنى تەلەپ قىلىدۇ. ئۆلۈش قانچە چوڭ بولسا ، بىر نىجاسەتنىڭ پۈتكۈل ئۆزەكنى بۇزۇۋېتىش پۇرسىتى شۇنچە يۇقىرى بولىدۇ. UHP argon تەمىنلىگەن نۇقسانسىز مۇھىت بۇ يەردە سۆھبەتلىشىشكە بولمايدۇ.

2. كۋانت ھېسابلاش: تەتقىقاتچىلار كىۋانت كومپيۇتېرنى تەرەققىي قىلدۇرغاندا ، كۇبىت ياساشتا ئىشلىتىلىدىغان ئۇلترا ئۆتكۈزگۈچ ماتېرىياللار نۆلگە يېقىن بۇلغىنىش ياساش مۇھىتىغا ئېھتىياجلىق. ئارگون تازىلاش بۇ كېيىنكى ئەۋلاد بىر تەرەپ قىلغۇچلارنىڭ خىروگېنلىق تەييارلىقى ۋە ياسىلىشىدا ئىنتايىن مۇھىم.

3. ئېلېكترون مەھسۇلاتلىرى: ئېلېكترونلۇق ماشىنىلار كرېمنىي كاربون (SiC) ۋە Gallium Nitride (GaN) ئېلېكتر ئۆزىكىگە تايىنىدۇ. بۇ بىرىكمە يېرىم ئۆتكۈزگۈچ كىرىستالنىڭ ئۆسۈشى ئۆلچەملىك كرېمنىيدىنمۇ يۇقىرى تېمپېراتۇرىغا ئېھتىياجلىق بولۇپ ، ئارگوننىڭ ئىنېرتتىن مۇداپىئەلىنىش خۇسۇسىيىتى تېخىمۇ مۇھىم.

5. تەمىنلەش زەنجىرى ۋە تەمىنلەشنىڭ مۇھىملىقى

دەرىجىدىن تاشقىرى يۇقىرى ساپلىق سۇيۇقلۇق ئارگون ئىشلەپچىقىرىش زامانىۋى خىمىيىلىك قۇرۇلۇشنىڭ بىر مۆجىزىسى. ئۇ ئادەتتە كەڭ كۆلەمدە ھاۋا ئايرىش بۆلۈمى (ASU) دىكى كرىگېنلىق پارچىلىنىش ئارقىلىق ھاۋادىن چىقىرىلىدۇ. قانداقلا بولمىسۇن ، گاز ئىشلەپچىقىرىش پەقەت يېرىم جەڭ. ساپلىقنى يوقاتماي يېرىم ئۆتكۈزگۈچ قورالىغا يەتكۈزۈش ئوخشاشلا قىيىن.

توشۇش جەريانىدا بۇلغىنىشنى كونترول قىلىش

ھەر بىر كلاپان ، تۇرۇبا ۋە ساقلاش باكى دەرىجىدىن تاشقىرى يۇقىرى ساپلىق سۇيۇقلۇقى چوقۇم ئالاھىدە ئېلېكتىرولىزلانغان ۋە ئالدىن تازىلانغان بولۇشى كېرەك. ئەگەر ترانسىپورت باكىدا ھەتتا مىكروسكوپ ئېقىپ كەتسە ، ئاتموسفېرا بېسىمى ئارگوننى چىقارمايدۇ. خىروگېنلىق تېمپېراتۇرا ئەمەلىيەتتە ئاتموسفېرادىكى بۇلغانمىلارنى سىزىدۇ in، پۈتۈن بىر تۈركۈم ۋەيران بولۇش.

فاب سەۋىيىسىدە ، سۇيۇق ئارگون غايەت زور ۋاكۇئۇملۇق ئىزولياتورلۇق باكلاردا ساقلىنىدۇ. ئاندىن ئۇ تازىلىق ئۆيىگە كىرىشتىن بۇرۇنلا ئالاھىدە ئالاھىدە پار سۈمۈرگۈچ ۋە ئىشلىتىلىدىغان گاز ساپلاشتۇرغۇچتىن ئۆتىدۇ.

ئۈزلۈكسىز ، ئۈزلۈكسىز ئىشلەپچىقىرىشنى ساقلاپ قېلىش ئۈچۈن ، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقارغۇچىلار چوقۇم بۇ قاتتىق تەمىنلەش زەنجىرىنى ئىگىلىۋالغان يۇقىرى دەرىجىلىك تەبىئىي گاز بىلەن تەمىنلىگۈچىلەر بىلەن ھەمكارلىشىشى كېرەك. زامانىۋى ئەسلىھەلەرگە كاپالەتلىك قىلىش ساپلىقى ئۆلچەملىرى بىلەن بۇ ھالقىلىق ماتېرىيالنىڭ ئۈزلۈكسىز ، ئىشەنچلىك تەمىنلىنىشىگە كاپالەتلىك قىلماقچى بولغان ، ئىشەنچلىك تەمىنلىگۈچىلەرنىڭ مەخسۇس سانائەت گازى ھەل قىلىش چارىسى ئۈستىدە ئىزدىنىۋاتىدۇ. خۇاۋخوڭ گازى تەلەپ ئۆلچىمىنىڭ ئورۇندىلىشىغا ۋە ئىشلەپچىقىرىش ۋاقتىنىڭ ئەمەلدىن قالدۇرۇلۇشىغا كاپالەتلىك قىلىدۇ.

6. ئىقتىسادىي ۋە مۇھىتنى ئويلىشىش

زامانىۋى گىگاف ئىستېمال قىلغان ئارگوننىڭ ھەجىمى كىشىنى ھەيران قالدۇرىدۇ. يەككە چوڭ يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش ئەسلىھەلىرى ھەر كۈنى نەچچە ئون مىڭ كۇب مېتىر دەرىجىدىن تاشقىرى ساپ گازنى خورىتالايدۇ.

سىجىللىق ۋە يىغىۋېلىش

ئارگون ئېسىل گاز بولغاچقا ، كۆپىنچە يېرىم ئۆتكۈزگۈچ جەرياندا خىمىيىلىك ئىستېمال قىلىنمايدۇ (ئۇ كۆپىنچە فىزىكىلىق قالقان ياكى پلازما ۋاستىسى رولىنى ئوينايدۇ) ، سانائەتتە ئارگوننى ئەسلىگە كەلتۈرۈش ۋە يىغىۋېلىش سىستېمىسىغا بولغان ئىتتىرىش كۈچىيىۋاتىدۇ. ئىلغار فابلار كىرىستال تارتىش ئوچىقى ۋە پۈركۈش ئۆيىدىن ئارگون گازىنى تۇتۇۋالىدىغان نەق مەيداننى ئەسلىگە كەلتۈرۈش ئورۇنلىرىنى ئورنىتىۋاتىدۇ. ئاندىن بۇ گاز يەرلىكتە قايتا ساپلاشتۇرۇلغان. بۇ فابنىڭ مەشغۇلات تەننەرخىنى كۆرۈنەرلىك تۆۋەنلىتىپلا قالماي ، يەنە يېڭى ئارگوننى سۇيۇقلاندۇرۇش ۋە توشۇش بىلەن مۇناسىۋەتلىك كاربون ئىزىنى تۆۋەنلىتىدۇ.

7. ئىلغار تۈگۈن ياساشتىكى ئارگوننىڭ كەلگۈسى

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائىتىنىڭ 2nm ، 14A (angstrom) غا قاراپ ئىلگىرىلىشىگە ئەگىشىپ ، ترانسېنىستورلارنىڭ قۇرۇلمىسى ئۆزگىرىۋاتىدۇ. بىز FinFET دىن Gate-All-Around (GAA) غا يۆتكىلىۋاتىمىز ، ئاخىرىدا تولۇقلىما FET (CFET) لايىھىسىگە ئۆتىمىز.

بۇ 3D قۇرۇلمىلار ئاتوم قەۋىتىنىڭ چۆكۈپ كېتىشى (ALD) ۋە ئاتوم قەۋىتىنىڭ يېپىشقاقلىقى (ALE) نى تەلەپ قىلىدۇ. ALD ۋە ALE دە ، ئارگوننىڭ ئېنىق كونترول قىلىنغان تومۇرلىرى خىمىيىلىك دورا ئارىسىدىكى رېئاكسىيە ئۆيىنى تازىلاشقا ئىشلىتىلىدۇ ، رېئاكسىيەنىڭ پەقەت ئاتوم يۈزىدە مەقسەت قىلىنغان جايدا يۈز بېرىشىگە كاپالەتلىك قىلىدۇ.

ئېنىقلىقنىڭ ئېشىشىغا ئەگىشىپ ، تايىنىش يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سۇيۇق ئارگون پەقەت كۈچىيىدۇ. ساپلىق تەلىپى ھەتتا ھازىرقى 6N ئۆلچىمىدىن ئېشىپ ، 7N (% 99.99999) ياكى ئۇنىڭدىن يۇقىرى ساھەگە ئىتتىرىپ ، گاز ساپلاشتۇرۇش ۋە ئۆلچەم تېخنىكىسىدا تېخىمۇ كۆپ يېڭىلىق يارىتىشى مۇمكىن.

خۇلاسە

تەييار مىكرو بىر تەرەپ قىلغۇچقا ھەيران قېلىش ئاسان - سېكۇنتتا تىرىليون ھېسابلىيالايدىغان مىلياردلىغان مىكروسكوپ ئالماشتۇرغۇچ بار كرېمنىي. قانداقلا بولمىسۇن ، ئىنسانىيەت قۇرۇلۇشىنىڭ بۇ چوققىسى پۈتۈنلەي ئۇنى قۇرغان كۆرۈنمەس ئېلېمېنتلارغا باغلىق.

دەرىجىدىن تاشقىرى يۇقىرى ساپلىق سۇيۇقلۇقى ئۇ پەقەت بىر تاۋارلا ئەمەس. ئۇ يېرىم ئۆتكۈزگۈچ كەسپىنىڭ ئاساسى تۈۋرۈكى. كرېمنىي كىرىستالنىڭ ئېرىگەن تۇغۇلۇشىدىن مۇداپىئەلىنىشتىن تارتىپ ، نانومېتىر چوڭلۇقتىكى توك يولىنى ھاسىل قىلىدىغان پلازما قوزغىتىشقىچە ، ئارگون مور قانۇنىنى ساقلاپ قېلىش ئۈچۈن زۆرۈر بولغان ئىپتىدائىي مۇھىتقا كاپالەتلىك قىلىدۇ. چېگراسى بولۇش سۈپىتى بىلەن سۇيۇق ئارگېن ئېلېكترون سۈنئىي ئەقىل ، كىۋانت ھېسابلاش ۋە ئىلغار توك باشقۇرۇشنى قوللاشنى كېڭەيتىپ ، بۇ ساپ ، ئىنېرت سۇيۇقلۇققا بولغان ئېھتىياج داۋاملىق يەر شارى تېخنىكىسىنىڭ تەرەققىياتىدىكى ھەرىكەتلەندۈرگۈچ كۈچ بولۇپ قالىدۇ.

سوئال

1-سوئال: نېمە ئۈچۈن سۇيۇق ئارگون باشقا يېرىم ئۆتكۈزگۈچ جەرياندا ئازوت ياكى گېلىيغا ئوخشاش باشقا ئىنېرت گازىدىن ياخشىراق؟

جاۋاب: ئازوت ئەرزان ھەم ئادەتتىكى تازىلاش گازى سۈپىتىدە كەڭ كۆلەمدە ئىشلىتىلگەن بولسىمۇ ، ئەمما ئۇ ئىنتايىن يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا ھەقىقىي ئۈنۈمگە ئېرىشەلمەيدۇ. ئۇ ئېرىتىلگەن كرېمنىي بىلەن ئىنكاس قايتۇرۇپ ، كرېمنىي نىترىد كەمتۈكلىكىنى ھاسىل قىلالايدۇ. Helium ئىنېرت ، ئەمما ئىنتايىن يېنىك ۋە قىممەت. ئارگون «تاتلىق داغ» غا زەربە بېرىدۇ - ئۇ ھەتتا ئىنتايىن يۇقىرى تېمپېراتۇرادىمۇ پۈتۈنلەي ئىنېرتسىيىلىك بولۇپ ، ئېرىتىلگەن كرېمنىينى ئۈنۈملۈك ئەدىيالغا يەتكۈزىدىغان ئېغىر ئاتوم ماسسىسى بار ، پىلازما چېچىش جەريانىدا ئاتومنى فىزىكىلىق ھالدا پارچىلىغىلى بولىدۇ.

2-سوئال: دەرىجىدىن تاشقىرى يۇقىرى ساپلىق سۇيۇقلۇق ئارگون قانداق قىلىپ يېرىم ئۆتكۈزگۈچ توقۇلما زاۋۇتىغا (فاب) بۇلغىنىشتىن توشۇلىدۇ؟

جاۋاب: قاتناش جەريانىدا پاكلىقنى ساقلاش ئاساسلىق ئارقا سەپتىكى رىقابەت. UHP سۇيۇق ئارگون مەخسۇس ، يۇقىرى يېپىق ھالەتتىكى كرىگېنلىق ماي قاچىلاش ماشىنىسىدا توشۇلىدۇ. بۇ تانكىلارنىڭ ئىچكى يۈزى ، شۇنداقلا بارلىق كلاپانلار ۋە يۆتكىلىشچان شارلار ئېلېكتر قۇتۇبى ئارقىلىق ئەينەك ئۇچىغا يەتكۈزۈلۈپ ، سىرتقا چىقىپ كېتىش ۋە زەررىچە تۆكۈلۈشنىڭ ئالدىنى ئالىدۇ. قاچىلاشتىن بۇرۇن ، پۈتكۈل سىستېما قاتتىق ۋاكۇئۇم تازىلاشنى باشتىن كەچۈردى. فابغا كەلگەندىن كېيىن ، گاز ئىشلىتىش نۇقتىسى ساپلاشتۇرغۇچتىن ئۆتىدۇ ، بۇ خىمىيىلىك ئېرىشىش تېخنىكىسىدىن پايدىلىنىپ ، ئارگون ۋافېرغا يېتىشتىن بۇرۇن ھەر قانداق سەرگەردان ppt دەرىجىلىك (ھەر تىرىليون زاپچاس) بۇلغانمىلارنى چىقىرىپ تاشلايدۇ.

3-سوئال: «يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سۇيۇقلۇق ئارگون» ئۈچۈن قانداق ساپلىق دەرىجىسى تەلەپ قىلىنىدۇ ، ئۇ قانداق ئۆلچەم قىلىنىدۇ؟

جاۋاب: ئىلغار يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساشقا نىسبەتەن ، ئارگون ساپلىقى ئادەتتە كەم دېگەندە «6N» (% 99.9999 ساپ) بولۇشى كېرەك ، گەرچە بەزى ئالدىنقى باسقۇچلۇق جەريانلار 7N گە ئېھتىياجلىق. بۇ ئوكسىگېن ، نەملىك ۋە ھىدرو كاربون قاتارلىق بۇلغانمىلارنىڭ ھەر مىليون (ppm) نىڭ ھەتتا 1 مىليارد (ppb) نىڭ بىر قىسمى بىلەنلا چەكلىنىدىغانلىقىنى كۆرسىتىدۇ. بۇ مىنۇسكۇلنىڭ نىجاسەت دەرىجىسى يۇقىرى سەزگۈر ئانالىز ئۈسكۈنىلىرى ئارقىلىق فابدا دەل ۋاقتىدا ئۆلچەم قىلىنىدۇ ، مەسىلەن Cavity Ring-Down Spectroscopy (CRDS) ۋە ئاممىۋى سپېكترى (GC-MS) بىلەن گاز خروموگرافىيىسى قاتارلىقلار.