يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈچۈن ئالاھىدە گاز
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائەت بولۇپ, زامانىۋى تېخنىكا تەرەققىياتىنىڭ يادروسى Cornic سەھنىدىكى ئەڭ يۇقىرى ئېنىقلىق ۋە يۇقىرى ساپلىق چوتكىلارنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ. يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈچۈن ئالاھىدە گازلار يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ماتېرىيال مەھسۇلاتلىرى, ئۆزەك ياسىمىچىلىقىدا, يىغىش ۋە باشقا جەريانلارنى كۆرسىتىدۇ. بۇ گىيازلار پالەچ بولۇپ, پاكلىق, مۇقىملىق ئۈچۈن قاتتىق تەلەپكە ئۇچرىشى كېرەك. بۇ ماقالە يېرىم ئۆتكۈزگۈچتە ئىشلىتىدىغان بىر قانچە ئورتاق جەلپ قىلىش كۈچى ۋە ئۇلارنىڭ يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساش جەريانىنى مۇزاكىرە قىلىدۇ.
- ھىدروگېن (H₂)
ھىدروگېن كەڭ كۆلەمدە ياسالغان كەڭ كۆلەمدە ئىشلىتىلىدۇ, بولۇپمۇ خىمىيىلىك سۇيۇقلار ئامانەت-CVD) ۋە ئازايتىش ئىنكاسلىرىدە. CVD دا قېزىش دائىم باشقا گاز بىلەن ئارىلاشتۇرۇلىدۇ, مەسىلەن كىرىسون كىنو قاتارلىق نېپىز فىلىملەر بىلەن ئارىلاشتۇرۇلىدۇ. ھىدروگېن يەنە مېتال ئامانەت قويۇلغان ۋە ئوكالدانلىق قىلىش جەريانىدىكى ھەرىكەتلەندۈرگۈچ كۈچ. بۇنىڭدىن باشقا, ھىدروگېن يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋارقىراپ, يەر يۈزىنىڭ بۇلغىمىنى يوقىتىش ۋە ئۆزەكنىڭ سۈپەتلىرىنى ياخشىلاشتا ئىشلىتىلىدۇ.
- Nitrogen (n₂)
ئازوت, ھايۋانات گازى ئاساسلىقى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياسىمىچىلىقتا ئوكسىگېنسىز مۇھىت بىلەن تەمىنلەيدۇ. ئۇ ئادەتتە ئۈسكۈنىلەرنى تازىلاش, سوۋۇتۇش قاتارلىقلار, رېئاكسىيە كەيپىياتتىكى دۇمونت سۈپىتىدە ئىشلىتىلىدۇ. قارىتە ياسالغان ئورپلارنىەت ۋە تۆشۈكلەر دائىم باشقا گازلارنى مۇقىملاشتۇرۇش بارلىق ئىنكاس تەڭپۇڭلۇقى بىلەن ئارىلاشتۇرۇپ, رېئاكسىيە نىسبىتىنى كونترول قىلىدۇ. ئازوتمۇ ئوكسىدلىنىشنى باستۇرۇش, ئوكسىدىيە ماتېرىياللىرىنى ئوكسىدلاندۇرۇش زىيىنىنى قوغداش ئۈچۈن ئىشلىتىلىدۇ.
- ئوكسىگېن (O₂)
ئوكسىگېن بولۇپمۇ يېرىم ئۆتكۈزگۈچ كەسىپ كەسپىدە چوڭقۇر رول ئوينايدۇ. كرېمنىيلىق ۋافېرسنىڭ يۈزىدە كرېمنىي دۇئوكاتلىق قەۋىتىنىڭ شەكىللىنىشىدە, ئوكسىگېن كەم بولسا بولمايدۇ. ئوكسىگېننى ئۆز ئىچىگە ئالغان, بۇ يىلتىرلىق يۈزىدىكى بىر تۇتاش ئوكسىد قاتمال لىنىيىسى, ئۇ ئېلېكتر ئىقتىدار ۋە ئۈسكۈنىنىڭ مۇقىملىقى ئۈچۈن ئىنتايىن مۇھىم. ئوكسىگېن يەنە تازىلاش ۋە يىغىلىشتا ئىشلىتىلىدۇ, باشقا خىمىيىلىك گازلار بىلەن ئىنكاس قايتۇردى ياكى مەلۇم مېتال فىلىملەرنى ئېلىۋېتىدۇ.
- كاربون تېمېفايتفورو (CF)
كاربون چاي قامىلۇش جەريانلاردا كەڭ كۆلەمدە ئىشلىتىلىدۇ. يېرىم ئوكۇل ئېغىزىدا, CF₄ باشقا گازلار بىلەن ئارىلاشتۇرۇپ, كرېمنىي قىز, مېڭە يالىڭاچ, مېتال ۋە باشقا ماتېرىياللار بىلەن ئارىلاشتۇرۇۋاتىدۇ. فتورىن بىلەن CF₄ بىرلەشتۈرۈلگەندە, ئۇ كۈچلۈك رېمرىيكى بولۇشى, ئۇلارنىڭ كۈچلۈك رېئاللىق بارلىقى ۋە نىشانىي ماتېرىيالنى ئۈنۈملۈك قىلماسلايدۇ. توپلاشتۇرۇلغان توك يولى سىستېمىسىدا يۇقىرى ئېنىقلىق ئەندىزىسىنى يۇقىرى كۆتۈرۈش ئۈچۈن ئىنتايىن مۇھىم.
- ھىدروگېن خلورد (HCL)
ھىدروگېن خلور بولۇش سۈپىتى ئاساسلىقى تۆشۈك تەبىئىي گاز بولۇپ, بولۇپمۇ مېتال ماتېرىياللارنى يولغا قويدى. ئۇ مېتال فىلىملەر بىلەن نۇرلاندۇرىدۇ, مېتال قەۋەتلەرنى چىقىرىۋېتىشكە يول قويىدۇ. بۇ جەريان نېپىز مېتال فىلىملەرنىڭ ئاتىسىدە ئۆزەكنىڭ ئېنىقلىنىشىغا كاپالەتلىك قىلدى.
- Nitrogen Trififorite (nf₃)
ئازوت بۇرادەرلەر ئاساسلىقى پاشمايوت ئۈسكۈنىسىدىكى رېشاتكا قالدۇقلىرىنى تازىلاشتا ئىشلىتىلىدۇ. پلازما يۇلتۇزلاردىكى جەرياندا, NF₃ ئامانەت قويۇلغان ماتېرىياللارنى (مەسىلەن يىپېرون فلۇنگورىيەگە ئوخشاش پاراۋانلىنىدىغان ماتېرىياللارنى شەكىللەندۈرىدۇ. بۇ گازىنى تازىلاش جەريانىدىكى ئەڭ ئۈنۈملۈك بولىدى, يىغىش ئۈسكۈنىلىرىنىڭ پاكىزلىقىغا بىخەتەر شارائىتىنى ساقلاپ, ئىشلەپچىقىرىش جەريانىنىڭ توغرىلىقى ۋە ئۈنۈمىنى ئۆستۈرۈشىگە ياردەم بېرىدۇ.
- سىلنان (SIH₄)
سىلار خىمىيىلىك ھۈجەيرە ئامبىرىدىكى تەبىئىي گاز (CVD) دا ئىشلىتىلىدىغان گاز (CVD), بولۇپمۇ كرېمنىي نېپىز فىلىملەرنى ئامانەت قويىدۇ. سىرىن يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا پارسانى پارچىلاپ قويۇپ قويۇپ قويۇپ قويۇپ, يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساشتا كرېمنىي فىلىمنى شەكىللەندۈرىدۇ. تېريان ۋە رېئاكسىيە شارائىتىنىڭ ئايلىقىنى تەڭشەش, ئامانەت پۇل ۋە كىنو سۈپىتىنى ئېنىق كونترول قىلالايدۇ.
- Boron Trifluoride (bf₃)
BOROR MiFFlORide بولسا مۇھىم باسقۇچلۇق گاز, ئادەتتە يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساش جەريانىدا ئىشلىتىلىدۇ. ئۇ كرىستالنىڭ ئېلېكتر خۇسۇسىيىتىنى كرىزىسنىڭ ئېلېكتر خۇسۇسىيىتىنى تەڭشەش ئۈچۈن كىرىستالنىڭ ئېلېكتر خۇسۇسىيىتىنى تەڭشەشكە ئىشلىتىلىدۇ. بوراش قىلىش جەريانى P تىپلىق يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ماتېرىيال يارىتىشتا, ھەمدە BF₃ تەبىئىي گاز مەھسۇلاتلىرى بۇ جەرياندا كەڭ رولىنى ئوينايدۇ.
- Sulfur hexafulaide (SF₆)
Sulfur hexafulaide ئاساسلىقى يېرىم ئۆتكۈزگۈچنىڭ ئىگىسى قېپىدا ئىشلىتىلىدۇ, بولۇپمۇ يۇقىرى ئېنىقلىقتا. ئۇنىڭ يۇقىرى ئېلېكتر سەھىيە ۋە خىمىيىلىك مۇقىملىق بىلەن قاپلانغان, SF₆ باشقا گاز فىزىمىنى توغرا ئۆچۈرۈۋېتىپ, ئېنىق ئەندىزىگە كاپالەتلىك قىلالايدۇ. ئۇمۇ لىمون ياللۇغى, كېرەكسىز مېتال فىلىملەرنى ئۈنۈملۈك ئېلىۋېتىۋاتىدۇ.
خۇلاسە
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈچۈن ئالاھىدە گازلار توك ياساشقا ئۈنۈمسىز رول ئوينايدۇ. تېخنىكا سۈپىتىدە داۋاملىق ئىلگىرى سۈردى, بۇ گازلارنىڭ يۇقىرى ساپلىقى ۋە بۇ گارىلارنى تېخىمۇ كۆپىيىدۇ, ئىشلەپچىقارغۇچى گازلارنىڭ سۈپەت ۋە تۈرلىرىنى ئۈزلۈكسىز ئەلالاشتۇرىدۇ. كەلگۈسىدە, يېرىم ئۆتكۈزگۈچنىڭ كېيىنكى ئەۋلاد ئۆزەك ۋە تېخنىكا يېڭىدىن يېڭىلىنىشى ئېلىپ بېرىشنى ئىلگىرى سۈرۈشىنى داۋاملىق چىڭ ھەل قىلىدۇ. شۇڭلاشقا, يېرىم ئۆتكۈزۈلىدىغان كەسىپداشلىرىنى چۈشىنىش ۋە قوللىنىش يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائىتىنىڭ ئۈزلۈكسىز تەرەققىي قىلدۇرۇشنى ئىنتايىن ياخشى قىلىدۇ.
