يەرشارى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ كەسپىنىڭ تېز تەرەققىي قىلىشىغا ئەگىشىپ ، ئۆزەك ئىشلەپچىقىرىش جەريانى نانومېتىر دەۋرىگە تولۇق كىردى. بۇ ئىنتايىن ئېنىق بولغان ئىشلەپچىقىرىش جەريانىدا ، ھەر بىر مىنۇتلۇق مۇھىتنىڭ داۋالغۇشى ياكى ماددىنىڭ بۇلغىنىشى بىر تۈركۈم ۋافېرلارنىڭ بىراك قىلىنىشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ. شۇڭلاشقا ، ئېلېكترونلۇق ئالاھىدە گاز ۋە يۇقىرى ساپلىقتىكى سانائەت گازى ئورنىنى تولدۇرغۇسىز رول ئوينايدۇ. بۇنىڭ ئىچىدە ، يۇقىرى ساپلىق سۇيۇقلۇقى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ فابنىڭ ئەڭ ئاخىرقى خىمىيىلىك ئىنېرتسىيەسى ۋە ئېسىل فىزىكىلىق خۇسۇسىيىتى سەۋەبىدىن كۈندىلىك مەشغۇلاتتا ئىستېمال قىلىشقا بولمايدىغان ئاچقۇچقا ئايلاندى.

بۇ ماقالە ئۆزەك ئىشلەپچىقىرىش جەريانىدىكى سۇيۇق ئارگوننىڭ يادرولۇق قوللىنىلىشىنى چوڭقۇر تەھلىل قىلىپ ، كارخانا تەمىنلەش زەنجىرى گۇرۇپپىلىرىنى كەسپىي سېتىۋېلىش يېتەكچىسى بىلەن تەمىنلەيدۇ.

يادرولۇق قوللىنىشچان پروگراممىلار: سۇيۇق ئارگون نېمىشقا يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساشتىن ئايرىلالمايدۇ؟

ئالدىنقى قاتاردىكى (FEOL) يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش جەريانىدا ، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈچۈن سۇيۇق ئارگون ئاساسلىقى مەھسۇلاتنىڭ مەھسۇلات مىقدارىنى بەلگىلەيدىغان تۆۋەندىكى يادرولۇق باسقۇچلاردا قوللىنىلىدۇ:

• فىزىكىلىق ھور چۆكۈش (PVD) / پۈركۈش: دەرىجىدىن تاشقىرى ساپ ئارگون گازى سۇيۇق ئارگوننىڭ گازىلىشىشىدىن شەكىللەنگەن بولۇپ ، PVD پۈركۈش جەريانىدىكى ئەڭ ئاساسلىق خىزمەت گازى. ۋاكۇئۇم كامېردا ، ئارگون ئىئونلىرى ئېلېكتر مەيدانى ئارقىلىق نىشان ماتېرىيالنى بومباردىمان قىلىپ ، نىشان ئاتوملىرىنىڭ يۆتكىلىپ ۋە ۋافېر يۈزىگە تەكشى قويۇپ ، مېتال پىلاستىنكا ھاسىل قىلىشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ. يۇقىرى ساپلىق فىلىمنىڭ زىچلىقى ۋە ئېلېكترنىڭ ئىزچىللىقىغا كاپالەتلىك قىلىشنىڭ ئالدىنقى شەرتى.
• 
  

• مۇتلەق بىخەتەر قوغداش ئاتموسفېراسى: يەككە كىرىستاللىق كرېمنىينى تارتىش جەريانىدا (Czochralski جەريانىغا ئوخشاش) ۋە يۇقىرى تېمپېراتۇرىلىق تۇتاشتۇرۇش جەريانىدا ، كرېمنىي يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا ئوكسىگېن بىلەن ئاسانلا ئىنكاس قايتۇرىدۇ. شۇڭلاشقا ، ئارگون گازى داۋاملىق ھاۋانى ئالماشتۇرۇپ ، ئوكسىگېن ۋە نەملىكتىن ئايرىۋېتىلگەن مۇتلەق ئىنېرت مۇھىتى بىلەن تەمىنلىشى ، بۇ ئارقىلىق كرېمنىي كىرىستال رېشاتكىنىڭ مۇكەممەل ئۆسۈشىگە كاپالەتلىك قىلىشى كېرەك.
• 
  
• خىروگېن ۋە ۋافېر تازىلاش تېخنىكىسى: دەرىجىدىن تاشقىرى ئۇلترا بىنەپشە (EUV) تاش مەتبەئە قاتارلىق ئىلغار جەريانلاردا ، ئېنىق ئۈسكۈنىلەرنىڭ سوۋۇتۇش سىستېمىسىغا سۇيۇق ئارگوننىڭ (قايناق نۇقتىسى -186 ° C) دەرىجىدىن تاشقىرى تۆۋەن تېمپېراتۇرا ئالاھىدىلىكى قوللىنىلىدۇ. شۇنىڭ بىلەن بىر ۋاقىتتا ، ئارگون ئايرۇد تېخنىكىسى يەنە ۋافېر يۈزىدىكى نانومېتىر چوڭلۇقتىكى فىزىكىلىق مىكرو تازىلاشقا ئىشلىتىلىدۇ ، بۇ مىنۇتتىكى زەررىچە ماددىلارنى بۇزغۇنچىلىققا ئۇچرىتالمايدۇ.
• 
  

سۈپەت ھوسۇلنى بەلگىلەيدۇ: يۇقىرى ساپلىقتىكى سۇيۇقلۇق ئارگوننىڭ قاتتىق ئۆلچىمى

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ كەسپىنىڭ خام ئەشياغا بولغان تەلىپى ئالاھىدە قاتتىق. ئادەتتىكى سانائەت دەرىجىلىك سۇيۇقلۇق ئارگون پەقەت ساپلىق نىسبىتى% 99.9 ياكى% 99.99 كە يېتىشى كېرەك ، ئەمما بۇ ئۆزەك ياساش ئېھتىياجىنى قاندۇرۇشتىن يىراق. For لاياقەتلىك يۇقىرى ساپلىق سۇيۇقلۇقى، ئاساسىي ساپلىق ئادەتتە% 99.999 (5N) غا يېتىشى تەلەپ قىلىنىدۇ ، ئىلغار تۈگۈنلەردە ھەتتا% 99.9999 (6N) ياكى ئۇنىڭدىن يۇقىرى بولۇشى كېرەك.

تېخىمۇ مۇھىمى نىجاسەتنى كونترول قىلىش. ئوكسىگېن ، ئازوت ، نەملىك ، ئومۇمىي كاربون كاربون (THC) ۋە مىكرو مېتال ئىئونلىرىنىڭ مىقدارى چوقۇم ppb (ھەر مىلياردقا بۆلۈنگەن) ياكى ھەتتا ppt (ھەر تىرىليون بۆلەك) سەۋىيىسىدە قاتتىق كونترول قىلىنىشى كېرەك. بىر مىنۇتلۇق بۇلغانما گاز تۇرۇبىسىغا ئارىلاشقان تەقدىردىمۇ ، ئۇ ۋافېر يۈزىدە مىكرو كەمتۈكلۈك پەيدا قىلىپ ، ئۆزەك قىسقا توك يولى ياكى نۆۋەتتىكى ئېقىپ كېتىشنى كەلتۈرۈپ چىقىرىپ ، مەھسۇلات نىسبىتىنى بىۋاسىتە تۆۋەنلىتىپ ، زور ئىقتىسادىي زىيان ئېلىپ كېلىدۇ.

سېتىۋېلىش قوللانمىسى: كەسپىي سۇيۇقلۇق ئارگون تەمىنلىگۈچىنى قانداق باھالاش ۋە تاللاش؟

يۇقىرى ساپلىقتىكى گازلارنىڭ ئىشلەپچىقىرىش لىنىيىسىنىڭ مەشغۇلاتىدىكى ھەل قىلغۇچ رولىنى ئويلاشقاندا ، تولۇق لاياقەتلىك ۋە ئىقتىدارلىق سۇيۇق ئارگېن بىلەن تەمىنلىگۈچىنى تېپىش ۋە ئۇنىڭغا كاپالەتلىك قىلىش سېتىۋېلىش ۋە تەمىنلەش زەنجىرى گۇرۇپپىسىنىڭ يادرولۇق ۋەزىپىسى. يوشۇرۇن تەمىنلىگۈچىلەرنى باھالىغاندا ، تۆۋەندىكى ئۈچ ئۆلچەمگە دىققەت قىلىش تەۋسىيە قىلىنىدۇ:

قاتتىق سۈپەت كونترول قىلىش ۋە سىناق قىلىش ئىقتىدارى: مۇنەۋۋەر تەمىنلىگۈچىلەر چوقۇم گاز خروماتوگرافىيىسى (GC) ۋە ئاممىۋى سپېكتومېتىر (MS) قاتارلىق يۇقىرى قاتلاملىق ئىزلارنى ئانالىز قىلىش ئۈسكۈنىلىرى بىلەن تەمىنلىنىشى كېرەك. ئۇلار چوقۇم ھەر بىر تۈركۈمگە تەپسىلىي COA (ئانالىز گۇۋاھنامىسى) تەمىنلەپ ، يەتكۈزۈپ بېرىش ئوتتۇرىسىدىكى ساپلىقنىڭ مۇتلەق بىردەكلىكىگە كاپالەتلىك قىلىشى كېرەك.

كۈچلۈك تەمىنلەش زەنجىرىنىڭ چىدامچانلىقى ۋە يەتكۈزۈش مۇقىملىقى: Fabs ئادەتتە 24/7/365 مەشغۇلات قىلىدۇ ، ئىشتىن سىرتقى ۋاقىت تەننەرخى ئىنتايىن يۇقىرى. شۇڭلاشقا ، تەمىنلىگۈچىلەر چوقۇم كەڭ كۆلەمدە يەرلىكلەشتۈرۈلگەن سۇيۇقلۇق ساقلاش ئىقتىدارىغا ئىگە بولۇشى ، ئۆزىنىڭ فىلوگېنلىق ماي قاچىلاش ماشىنىسى ۋە جىددىي تەمىنلەشكە كاپالەتلىك قىلىشتىكى جىددىي تاقابىل تۇرۇش پىلانىغا ئىگە بولۇشى كېرەك.

ئىلغار قاچىلار ۋە «ئىككىلەمچى بۇلغىنىش» تېخنىكىسى: گازنىڭ ساپلىقى قانچىلىك يۇقىرى بولۇشىدىن قەتئىينەزەر ، توشۇش جەريانىدا بۇلغانسا پايدىسى يوق. مۇھىم نۇقتا تەمىنلىگۈچىنىڭ خىروگېنلىق ساقلاش باكى ۋە ماي ​​باكىنىڭ ئىچكى تامنى بىر تەرەپ قىلىش تېخنىكىسى (مەسىلەن ئېلېكتروپوللاش / EP داۋالاشنى باشتىن كەچۈرگەنمۇ يوق) ، شۇنداقلا تولدۇرۇش ۋە يۆتكەش باسقۇچىدا كلاپان ۋە تۇرۇبا تازىلاشنىڭ ئۆلچەملىك مەشغۇلات تەرتىپى (SOP) غا دىققەت قىلىپ ، يۇقىرى ساپلىقنىڭ زاۋۇتتىن بىۋاسىتە خېرىدارلارنىڭ تېرمىنالىغا يەتكۈزۈلۈشىگە كاپالەتلىك قىلىش كېرەك.

خۇلاسە

مور قانۇنىنىڭ ئۈزلۈكسىز ئىلگىرى سۈرۈلۈشىگە ئەگىشىپ ، ساپلىقى يۇقىرى سۇيۇقلۇق ئارگون ئاساسلىق ئىستېمال بولۇپلا قالماستىن ، بەلكى ئىلغار يېرىم ئۆتكۈزگۈچ جەريانلىرى ئۈچۈن «كۆرۈنمەيدىغان قوغدىغۇچى». ئىلمىي ۋە قاتتىق باھالاش ۋە تاللاش سۇيۇق ئارگون تەمىنلىگۈچى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈچۈن سۇيۇق ئارگېننىڭ يۇقىرى سۈپەتلىك ۋە مۇقىم تەمىنلىنىشىگە كاپالەتلىك قىلىش ئۈچۈن ، ھەر بىر يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش كارخانىسىنىڭ جەريان ھوسۇلىنى ياخشىلاپ ، دۇنيا بازار رىقابىتىدە غەلىبە قىلىشىدىكى ئاچقۇچلۇق ئۇل.