يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ساھەسىدە ئاممونىيە ئىلتىماسى

2024-11-15

ئاممىياك (NH₃), مۇھىم خىمىيىلىك رېيىش ئۈچۈن, ھەر قايسى سانائەت ساھەسىدە كەڭچىلىكسىزلىكىدە كەڭلىك ئەرز قىلىنغان بولۇپ, يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياسىمىچىلىق بىلەن كەڭ قورساق بولغاچتا. ئاممونىيە يېرىم ئۆتكۈزگۈچ, iTrrides, Ion كۆچۈرۈلگەن مەھسۇلاتلارنى ئۆز ئىچىگە ئالغان بىر قانچە مۇھىم رول ئوينايدۇ. بۇ ماقالە يېرىم ئۆتكۈزگۈچنىڭ كەلگۈسىنى تونۇش قىلىپ, تەننەرخنى تۆۋەنلىتىشتە مۇھىم رولىنى تەھلىل قىلىپ, شۇنىڭ بىلەن بىر مەزگىل بولسىمۇ, كەلگۈسىدىكى تەرەققىيات يۈزلىنىشىنى مۇزاكىرە قىلىدۇ.

 

1. ئاممىياكنىڭ ئاساسلىق خۇسۇسىيىتى ۋە خىمىيىلىك ھەرىكىتى

ئاممىياكيا ئازوت ۋە گىدروگېندىن تەركىب تاپقان ھەميان ۋە گىدروگېندىن تەركىب تاپقان ھەم بىرىكمە بولۇپ, ئۇنىڭ كۈچلۈك ئالەك كۈچى بىلەن بىلگەن بولۇپ, پەقەت سانائەت ئازوت ئوغۇت ئىشلەپچىقىرىشىدا ئۇچرايدىغان ئومۇملاشقان. ئاممونىيە ئۆي تېمپېراتۇرىسىدىكى گاز سۈپىتىدە مەۋجۇت, ئەمما تۆۋەن تېمپېراتۇرىغا سۇيۇقلۇق بولۇپ قېلىشىغا بولىدۇ, ئۇنى يۇقىرى رېئاللىق گاز مەنبەسى قىلدى. يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ساندىسىدا, ئاممىياكتىكى خىمىيىلىك مۈلكى ئۇنى بىر قانچە ھالقىلىق داۋالاش پائالىيىتىنى ئۆزگەرتىدۇ, بولۇپمۇ خىمىيىلىك سومكا ئامانەت قويۇشلىرى (CVD Prodition ياكى تازىلاشتا مەشغۇلاتتا.

 

ئاممىياك مولېكۇلالىرى ھەر خىل مېتال, سىلكىسون ۋە باشقا ماتېرىياللار بىلەن نىترىسون, باشقا ماتېرىياللار بىلەن نىرىرىڭ ياكى ئۇلارنى قىسىپ ھالاك قىلىدۇ. بۇ رېئاكېزىت كېسەللىكلەر جەھەتتىنلا بولۇپلا قالماي, يەنە ماتېرىياللارنىڭ يەنە بىر قۇتا, ئىسسىقلىق كۈچى, ئىسسىقلىق ئېنېرگىيىسى, بۇ يەردىكى يېرىم چېكىنىش تېخنىكىسىنى ياخشىلاشتا.

 

2. يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساشتا ئاممىياكنىڭ ئىلتىماسى

ئاممونىيە يېرىم ئۆتكۈزگۈچتە ھالقىلىق رول ئوينايدۇ, بولۇپمۇ تۆۋەندىكى ساھەلەردە:

 

2.1 نىترېنى نېپىز فىلىملەرنىڭ ئامبىرى

زامانىۋى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياسىمىچىلىقتا, Suricleon Nitrite (Alricification (Alricium Natride (TN) قاتارلىق نېپىز فىلىملەر (كىچىك), ساختىبۇل), ساختا), ساختا), ساختا), ساختا), ساختا). بۇ نىمرىي فىلىملەرنىڭ ئامانەت قويۇشىدا, ئاممونسىيە ئىنتايىن مۇھىم راھىب بولۇپ كەلدى.

 

خىمىيىلىك ھور ئامورتىمان ئامانەت قويۇش (CVD) Nitrate FIAL EMATIONS نىڭ ئەڭ كۆپ ئۇچرايدىغان ئۇسۇللىرىنىڭ بىرى. ئاممىياك چوڭ تېمپېراتۇرىغا (ى) قاتارلىق تېغىسلىرى, يۇقىرى تېمپېراتۇرىغا ئىگە بولۇش ۋە كرېمنىي نەينىتلىق فىلىم ھاسىل قىلىدۇ. ئىنكاسى تۆۋەندىكىدەك:

 

3sih4 + 4nh3 → si3n4 + 12H2

 

بۇ جەريان سىلىككە كىرىپ كرېمنىي ۋارنىز يۈزىدىكى بىر تۇتاش سىگرەت ئازابىنى شەكىللەندۈردى. ئاممىييا مۇقىم ئازوت مەنبە بىلەن تەمىنلەيدۇ ھەمدە باشقا گاز مەنبەسىنىڭ كونكرېت شارائىتى بىلەن بولغان ئىنكاسىنى كونترول قىلىش تېزلىتىشنى قوزغىتىپ, بۇ ئارقىلىق فىلىمنىڭ سۈپىتىنى, قېلىنلىقى ۋە بىرلىككە كەلگەنلىكىنى قوزغىدى.

 

Nittride فىلىم ئېسىل توپچىلارنىڭ مۇقىملىقى, توك ئىزاق ۋە ئوكسىدلاشتۇرۇش قارشى كەسكىنلىكىگە ئىگە بولۇپ, يېرىم ئۆتكۈزۈۋېلىشتىن ساقلىنىشچانلىقى ئىچىدە ئىنتايىن مۇھىملىقنى سالىدۇ. ئۇلار توپلانغان ئاياغ قەۋىتى (】لەر تۈركۈملەپ ئىشلەپچىقىرىش شەكلى, ئېلېكتر ۋاسىتىلىرىنى توردا ئۆرۈلۈپ چۈشۈش ۋە ئوپتىكىلىق ئۈسكۈنىلىرىدە ئىشلىتىلىدۇ.

 

2.2 ئىئون كۆچۈرۈش ۋە چېكىنىش

ئاممىياك يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ماتېرىياللىرىنىڭ دورا قىلىش جەريانىدا مۇھىم رول ئوينايدۇ. چېكىش يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلىرىنىڭ توقۇنۇشۇپ قېلىشتىدىكى ئېلېكتر نېمەلۇقىنى كونترول قىلىش ئۈچۈن ئىشلىتىلىدىغان ھالقىلىق تېخنىكا. ئاممىييانى, ئۈنۈملۈك ئازوت مەنبەسى بولۇش سۈپىتى بىلەن, باشقا گازلىرى بىلەن نېمى بولۇشنىلا ئىشلىتىلىدۇ (مەسىلەن, باشقا گازلىرى بىلەن سىگنال, دىبرانې بونىغا كۆچۈش) ئازوتقا ئوخشاش ماتېرىياللارغا كۆچۈرۈلگەن رېتىملىق ۋە گال خالېنىستىن گاليورد سۈرىسىگە كۆچۈش).

 

مەسىلەن, ئازوت چېكىش كرېمنىينىڭ ئېلېكتر خۇسۇسىيىتىنى تەڭشەش ئۈچۈن Snomic ياكى P تىپى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ھاسىل قىلالايدۇ. يېتەرلىك ئازوت قىلىش جەريانىدا, ئاممىييون يۇقىرى ساپلىق ئازوت مەنبە بىلەن تەمىنلەيدۇ, ئېنىقلىقتىن قۇتۇلۇشىغا كاپالەتلىك قىلىش. بۇ ئوتتۇرا ئۆلچەملىشىش ۋە ئىشلەپچىقىرىشقا ئىنتايىن ماس كېلىدىغان ئۈسكۈنىلەرنىڭ ئىنتايىن موتسىكۇرلۇقى ۋە ئىشلەپچىقىرىشىغا ئىنتايىن مۇھىم.

 

2.3 تازىلاش ۋە قاچىلاش

چاتاق چىقىرىش ۋە ئىشلىتىش ئارقىلىق يېرىم يىلسىز ياساش ئورنىدىكى ئۈسكۈنىلەرنىڭ يەر يۈزىنىڭ ئورنىنى يوشۇرىدۇ. ئاممىياك بۇ جەريانلاردا نۇرغۇن جەريانلاردا كەڭ قوللىنىلىدۇ, بولۇپمۇ پلاما تاماق ۋە خىمىيىلىك تازىلاشتا.

 

پورتما ئېتتىزىدا, ئاممونىيەدە باشقا گازلار بىلەن بىرلەشتۈرۈپ, ئورگامىن قەۋملىرى بىلەن بىرلەشتۈرۈلىدۇ, ئورۇق قەۋەت ۋە WAFER-يۈزىدىن كەلگەن مېتاللارنى بۇزىدۇ. مەسىلەن, ئاممونىيە ئوكسىگېن ئوكسىگېنلىق ئىنكاس ھاسىل قىلىپ, سىرتقى ئوكسى ئوكيانلىرىنى ئۈنۈملۈك ئۆچۈرۈپ, كېيىنكى جەريانلارنىڭ مۇقىملىقىغا كاپالەتلىك قىلدى.

 

بۇنىڭدىن باشقا, ئاممونىيا تەكشۈرۈش جەريانىدىكى قالدۇرغۇچىلارنىڭ قالسىمۇ بولىدۇ, خىمىيىلىك رېئاكسىيە پارتېنتى ياكى ۋاقىتلىق رېئاكسىيە سەۋەبىدىن شەكىللەنگەن, شۇڭا ۋاسانىڭ يۇقىرى ساپلىقىنى قوغداش ئۈچۈن ئىز قوغلاش تۆلەم قايتۇرۇشىغا ياردەم بېرىدۇ.

 

3. يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ساندىكى ئاممىياكنىڭ ئەۋزەللىكى

ئاممىياك يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساشتا بىر قانچە ئارتۇقچىلىق بىلەن تەمىنلەيدۇ, بولۇپمۇ تۆۋەندىكى ساھەلەردە:

 

3.1 ئۈنۈملۈك ئازوت مەنبەسى

ئاممىييا خەلقئارا ناتروگېن مەنبەسى نىترىگېن ئاتمېننىڭ ئامبار ۋە دورا مىقدارىنىڭ زاسلىقىنىڭ مۇقىم ۋە ئېنىق تەمىنلىنىشى. بۇ يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياسىغۇچىنىڭ ياسىمىچىلىقىدا مىكرو ۋە نانو يۇقۇمى ئۈچۈن ئىنتايىن مۇھىم. نۇرغۇن ئەھۋاللاردا, ئاممىييا باشقىلار تېخىمۇ ئاكتىپ بىپەرۋالىق قىلىپ, باشقا ئازوت مەنبەنىڭ چولسلىرىغا قارىغاندا تېخىمۇ ئاكتىپ پۇل ۋە كونترول قىلالمايدۇ (مەسىلەن ئازوت گازى ياكى ئازوت ئۆسمىسى).

 

3.2 مۇنەۋۋەر جەريان كونترول قىلىش

ئاممىياكنىڭ رېئونىكى, ھەر خىل مۇرەككەپ جەريانلاردىكى تېز سۈرئەتلىك بېسىم ۋە فىلىم بىلەن تېخىمۇ پايدىلىنىپ, فىلىم قېلىنلىقى. ئاممىيوننىڭ ئېقىمى نىسبىتىنى تەڭشەش ئارقىلىق, تېمىنىڭ, تېمىنىڭ, تېمىنىڭ, تېمىچى بولۇشى ۋە قۇرۇلمىنىڭ قۇرۇلمىسىنى كونترول قىلىشىغا ئىگە بولۇشى مۇمكىن, ئۈسكۈنىلەرنىڭ ئۆزگىرىشىنى ئەلالاشتۇرالايدۇ.

 

3.3 تەننەرخ ۋە مۇھىت دوستلۇقى

باشقا تويەكە مەنبەسىگە سېلىشتۇرغاندا, ئاممىياك تەننەرخى بىر قەدەر تۆۋەن بولۇپ, يۇقىرى مىقداردا ئىشلىتىش ئۈنۈمى ئۈنۈمنى, ئۇنى كەڭ كۆلەملىك يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىشتا ئىشلەپچىقىرىلىدۇ. شۇنىڭدىن ئېشىپ, ئاممىياك يىغىلىش ۋە ئۆزگەرتىش تېخنىكىلار مۇھىتنىڭ ھاۋالىسىگە تۆھپە قوشىدۇ.

 

4. بىخەتەرلىك ۋە مۇھىت مەسىلىسى

قارىمىغا كەلسەك, يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياسىمىچىلىقتا كۆرۈنەرلىك رولغا قارىماي, ئاممونىيە يوشۇرۇن خەتەرنى ئوتتۇرىغا قويدى. ئۆي تېمپېراتۇرىسىدا, ئاممىياك تەبىئىي گاز ۋە ئۇنىڭ سۇيۇقلۇق شەكلىدە, ئۇ قاتتىق چىرىپ, زەھەرلىك, زەھەرلىك چېكىملىكنى قاتتىق ئىجرا قىلىشنى تەلەپ قىلىدۇ.

  1. ساقلاش ۋە توشۇش: ئاممىياك چوقۇم تۆۋەن تېمپېراتۇرا ۋە يۇقىرى قاچا-قۇچىلار ۋە يۇقىرى بېسىملارنى ئىشلىتىپ ئېقىپ كېتىشنىڭ ئالدىنى ئېلىش ئۈچۈن, ئاممىياك ۋە يۇقىرى بېسىمدا ساقلىنىشى كېرەك.
  2. مەشغۇلات بىخەتەرلىكى: يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش لىنىيىسىدىكى تىجارەتچىلەر مۇنداقچە, Geggles, پەلەي ۋە گاز زاپچاسلىرىنىڭ ئالدىنى ئېلىش كېرەك.
  3. ئىسراپچىلىق تەبىئىي گازنى داۋالاش: ئاممونىيەنى ئىشلىتىش زىياپەتسىز تاشلاندۇق ماھىبى بولسا بولىدۇ, شۇڭا زەھەرلىك چېكىملىكنىڭ ئەمەلىيلەشتۈرۈش سىستېمىسىنى ئىشلەپچىقارسا بولىدۇ, بۇلغىما مۇھىت ئۆلچىمىگە يولۇقماي تۇرۇپ چوقۇم بولۇشى كېرەك.

 

يېرىم ئوكۇل ئىشلەپچىقىرىش ئۇسۇللىرى داۋاملىق ئىلگىرى سۈرۈپ, تېخىمۇ يۇقىرى ئۈسكۈنى ئىقتىدار ئىقتىدارى كۆپەيدى, ئاممىييانىڭ سانائەتتىكى رولى داۋاملىق تەرەققىي قىلىدۇ. بۇ يۇقىرى دەرىجىدىن ئېنىقلىق كۆلەملەشتۈرۈش سۈركىلىش سۇ بىرىكمە بولۇپ, كىنومېتىر ھېسابلاش ئۆزى ۋە ئىلغار ئورمانلىق تېخنىكىسى قاتارلىقلار توغرا. بۇنىڭدىن باشقا, مۇھىت نىزلىي, مۇھىت نىيىتىگە يېشىل ياساش ۋە يېتىشتۈرۈشنى تەرەققىي قىلدۇرۇش كلونونىنىڭ تېخنىكىسىنى تېخنىكىسىنىڭ تېخنىكىسىنى تەرەققىي قىلدۇرۇش تېخىمۇ كەسىپنىڭ كەلگۈسىدىكى ھالقىلىق ئامىل بولۇپ قالىدۇ.

 

ئاممىييانىڭ يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائىتىدىكى قوللىنىشچان پروگراممىلىرى زامانىۋى ئېلېكترون مەھسۇلاتلىرىنىڭ تەرەققىياتىدىكى مۇستەھكەم ئاساس بىلەن تەمىنلەيدۇ. ئۇنىڭ ئىشلەپچىقىرىش ئۈنۈمى ئۈنۈمىنى ئۆستۈرگەن رولى, ئىشلەپچىقىرىشنى ئازايتىش ۋە يۇرادا تېخنىكىدا يېڭىلىق يارىتىشنى ئازايتىش ئەندىشىسى ناچارلاشتى. تېخنىكا تەرەققىياتلار بولغاچقا, ئاممونىيەنىڭ ئىلتىماسى داۋاملىق كېڭىيىۋاتىدۇ, يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ساھەسىگە تېخىمۇ زور ئۈنۈمدە تەرەققىي قىلىشىغا تىرىشىدۇ.

ئاممىياك, ئەڭ مۇھىم خىمىيىلىك رېمونت قىلىش سۈپىتىدە, يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساشتا چوڭقۇرلۇق رول ئوينايدۇ. نىۋىتسىز فىلىملەر, چېكىش ۋە تازىلاش / ياڭرىتىش ئۈچۈن ئىنتايىن مۇھىم. يېرىم ئۆتكۈزگۈچنىڭ ئىشلىتىلىشى داۋاملاشماقتا, ئاممىياكنىڭ قوللىنىشچان پروگراممىلىرى كۆپەيدى, تېخنىكىلىق ئۆتۈنۈپ بېرىش ۋە يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائىتى تېخىمۇ ئۈنۈملۈك ۋە مۇھىت ئاسرايدىغان دائىرىدە كۈچىيىدۇ.

ئېلېكترونلۇق گاز ئاممىياك