بىز جۇڭگودىكى بىر زاۋۇتنى سانائەت گاز قاچىلاشتا ئىشلىتىدىغان جۇڭگودىكى زاۋۇت. رىتراتنىڭ نۇقسانلىرىمدىن ئېيتقاندا, مەن بۇ كىشىلەرنىڭ ئەسلىگە كەلتۈرگەن تەرەققىيات كۈچىگە شالىت بولىۋالدىم, كۆپىنچە كىشىلەر ھەرگىز كۆرمەيدۇ: ئۇلترا يۇقىرى ساپلىق ماگنىت. تېلېفون, كومپيۇتېردا كىچىك تىپتىكى مىكرو قۇرۇلۇش دورىسى بولۇپ, ماشىنا زامانىۋى قۇرۇلۇش مىقدارى بولۇپ, ئۇلارنىڭ يارىتىلمىسى بۇ ئالاھىدە گازلارنى ئېنىق ۋە كەمتۈك بىلەن تەمىنلەش مۇمكىن ئەمەس.

سىز سۈپەت ۋە ئىشەنچلىك تەمىنلەش زەنجىرىنى چۈشىنىسىز, ئەمما ئويلىنىشىڭىز مۇمكىن نېمىشقا يېرىم ئۆتكۈزگۈچ گازلىرىنىڭ ئۆلچىمى بەك ئاسترونومىيە يۇقىرى. نېمىشقا پاراخوتنىڭ توشۇلۇشى 99.999% بولسا ساپ بولۇشى كېرەك? بۇ يېتەكچى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ دۇنياسىدىكى پەردەنى تارتىپ چىقىرىدۇ. بىز ئۇلارنىڭ نېمە قىلغان مەخلۇقنى ئىز قوغلىشىمىز, ئۇلارنىڭ كۈچى ئەڭ ھالقىلىق ئامىل. ئاخىرىدا, سىز مەنبەلىرىڭىزنى تېخىمۇ مەتدىڭ, ئۇلارنىڭ قىممىتىنى خېرىدارلارغا يەتكۈزۈپ بېرىدىغان تېخىمۇ تېز چۈشىنىشىڭىز بار.

نېمە ئۈچۈن ماتېماتىكا تومبېرنى توقۇش ئۈچۈن شۇنچە مۇھىم بولىدۇ?

قۇملۇق كەڭ بىنا بەرپا قىلىش تەسەۋۋۇر قىلىپ, بىر خىل قۇرغاقچىلىق پۈتۈن قۇرۇلمىنىڭ يىمىرىلىشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىشى مۇمكىن. بۇ تەلەپ قىلىنغان ئېنىقلىق دەرىجىسى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياسىغۇچى سانائەت. بۇ ساھەدە «قۇرۇلۇش چەكلەش ئېھتىماللىقى بار, ئەمما ئاتوملار, ئەمما ئاتوملار ۋە« قوراللار »دائىم ئالاھىدە ئالاھىدە گاز بار. پۈتكۈل توقۇلما of a توك قاچىلاش ماتېرىياللار, ئادەتتە ماتېرىياللارنىڭ قەۋەتلىرى, دائىم بىر نەچچە ئاتومۇنىڭ قېلىنلىقى, ئامانەت قويۇلغان ياكى تۈگەپ كەتكەن سىلئون ۋافېر.

بۇلار يېرىم ئۆتكۈزگۈچ جەريانى ئاجايىپ سەزگۈر. كېرەكسىز زەررىچە ياكى خىمىيىلىك ماددىلار effurity مىكرو تىپتىكى نازۇك قۇرۇلمىنى قالايمىقانلاشتۇرۇۋېتىدۇ, ئۇنى ئىشلىتىشكە ئەرزىيدۇ. بۇ يەردە gases are used. ئۇلار ئۇلترا پاكىز مۇھىت يارىتىپ, يېڭى قەۋەت ئۈچۈن خام ئەشيا بىلەن تەمىنلەڭ ھەمدە خىمىيىلىك «سۈرگۈچ» رولىنى ئوينايدۇ. The يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش جەريانى بىر مۇرەككەپ ئۇسسۇل خىمىيىلىك رېئاكسىيەشۇنداقلا گازلار باشلامچى ئۇسسۇلچىلار. توختىماي, ئىشەنچلىك ۋە ئالاھىدە ھالدا بۇ مەيدانلارنى تەمىنلەشسىز تەمىنلىمەيسىز, زامانىۋى ساپ شىركەتلەر مەۋجۇت ئەمەس.

The يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىشتا ئىشلىتىلىدىغان gases سىزنىڭ ئۆلچەملىك سانائەت مەھسۇلاتلىرىڭىز ئەمەس. ئۇلار چۈشىنىش قىيىن بولغان سۇسىز سەۋىيىگە يېتىش ئۈچۈن, دائىم بىر مىليارد دوللار ھەتتا زاپچاسلاردا ئۆلچەنگەن. چۈنكى بۇ ئىقتىدار يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلىرى ئۇلارنىڭ ئاتوم قۇرۇلمىسىنىڭ مۇكەممەللىكىگە بىۋاسىتە باغلانغان. ئوكسىگېن ياكى سۇ ھورىنىڭ رېئاكتىپلىق مولېكۇلى ئىنېرت بولۇشى كېرەك gas ئوكسىدلىنىشنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ, ئۆزگەرتىش ئېلېكتر خاسلىقى توك يولىنىڭ پراكتىكلىتنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ. بۇ نېمە ئۈچۈن? ئالاھىدە گاز كەسپى تېخنىكا دۇنياسىدا شۇنداق بولغان.

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساشتا ئىشلىتىلىدىغان گازلارنىڭ ئاساسلىق تۈرلىرى قايسىلار?

بىز پاراڭلاشقاندا يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىشتا گاز, ئۇلار ئادەتتە ئۇلارنىڭ ئىقتىدارىنى ئاساس قىلغان بىر قانچە ھالقىلىق تۈرگە چۈشۈپ قالىدۇ. بۇ گۇرۇپپىلارنى چۈشىنىش ھەر بىرىنى ئايدىڭلاشتۇرۇشقا ياردەم بېرىدۇ gas مۇرەككەپ ئويۇنلار ئىشلەپچىقىرىش جەريانى. ئۇ پەقەت بىر ياكى ئىككى قاچا ئەمەس. زامانىۋى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ 30 دىن ئارتۇق ئوخشىمايدۇ گاز ۋە ئىقتىدارلار.

بىرىنچىسى bulk gases. بۇلار ئەسلىھەلەردە كەڭ كۆلەمدە ياسالغان خىزمەتلەر. ئۇلارنى فابنىڭ ھالقىلىق كەيپىياتى دەپ ئويلاڭ. ئەڭ كۆپ ئۇچرايدۇ:

• ئازوت (n₂): يىغىش ۋە ئۈسكۈنىلەرنى يۇيۇش ئۈچۈن قۇرۇپ, بۇلغانغۇچىلارنى ئېلىۋېتىپ, ئىنېرت مۇھىتى يارىتىشقا ئىشلىتىلىدۇ.
• ئوكسىگېن (O₂): تىككۈچىلىككە ئوخشاش سۈپەتلىك كىرىمنىي Dioxide (SiO₂) قەۋىتىنى ئاشۇرۇش ئۈچۈن ئىشلىتىلىدۇ.
• ھىدروگېن (H₂): يۈزىنى تازىلاشقا ئىشلىتىلىدۇ ئامانەت جەريانلار.
• ئارگون (AR): An ئىنېرت گازى بۇرۇلۇش قاتارلىق جەرياننى مۇقىم مۇھىت يارىتىشقا ئىشلىتىلىدۇ.

كېيىنكىسى ئالاھىدە گازدەپمۇ ئاتىلىدۇ ئېلېكترونلۇق ئالاھىدە گاز. بۇلار ناھايىتى كونكرېت, دائىم ئاكتىپ ياكى خەتەر ۋە ئامانەت قويۇش ۋە ئامانەت قويۇشتىكى ھالقىلىق خىزمەتلەرنى ئورۇنداش. ئۇلار ئاز مىقداردا ئىشلىتىلىدۇ, ئەمما تەننەرخىنى تېخىمۇ يۇقىرى باھاغا ئىگە قىلىپ, ئىنتايىن ئېھتىياتچانلىق بىلەن بىر تەرەپ قىلىشنى تەلەپ قىلىدۇ. بۇلار ئوخشاش گۇرۇپپىلارغا ئوخشاش گۇرۇپپىلارغا ئايرىلىدۇ:

• ئامانەت قويۇش گېپى: بۇ تېغىس (Sih₄) غا ئوخشاش بۇ بېقىلغان, ئۆزەك قەۋەت قەۋەت قۇرۇشقا ئىشلىتىلىدىغان ماتېرىياللارنىڭ مەنبەسى. ئۇلار پارچىلىنىپ بېرىدۇ نېپىز پەردە ماتېرىيالنىڭ سىلئون ۋافېر.
• Etchant gases: بۇلار رېئاكسىيە گازى ماتېرىيالنى تاللاشقا ئىشلىتىلىدۇ. مىساللار كاربون تېبونفورنىت (CF) غا ئوخشاش ففىزېن بىرىكمىنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ ھىدروگېن خلورى (HCL). ئۇلار ئىشلىتىلىدۇ كىرىش جەريانى توك يولىنىڭ ئەندىزىسىنى ئاچىدۇ.
• دوپپا گازلىرى: بۇ گازلار «دوپپا» غا ئىشلىتىلىدۇ سىلۋېريەنى قەستەن مەلۇم دەرىجىدە تونۇشتۇرۇشنى كۆرسىتىدۇ effurity (a dopant) ئۇنى ئۆزگەرتىش ئېلېكتر خاسلىقى. بۇ ئىز قوغلىغۇچىلارنى قۇرۇشنىڭ ئاساسى. ئورتاق empant gases Assine (Ash₃) ۋە فوسفىن (PH₃) نى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ.

ناتروگېن تەبىئىي گاز يېرىم ئۆتكۈزگۈچتىكى خىزمەتتىكى ئەسۋاب رولىنى ئوينايدۇ?

ئەگەر سىز يولدىن ئۆتمەكچى بولسىڭىز يېرىم ئۆتكۈزگۈچ توقۇمىچىلىق ئەسلىھە, ئەڭ ھەممىلا يېرىدە gas ئۇچرىشىپ قالامسىز? ئازوت. ھالبۇكى ئۇ ھەمىشە ئاساسلىق ئورۇنغا قويمايدۇ خىمىيىلىك رېئاكسىيە بۇ ئۆزەك پەيدا قىلغان, ئۇنىڭ رولى مۇۋەپپەقىيەت قازىنىش ئۈچۈن شارائىت يارىتىش ئۈچۈن مۇبەسلىكە. Nitrogen ئىشلىتىلگەن ئۇنىڭ ئىنچىكە بولۇشىنى ئاساسلىقى ئىنكار قىلىش. ئۇ باشقا ئېلېمېنتلار بىلەن قايتا-قايتا ئىنكاس قايتۇرمايدۇ, ئۇنى مۇكەممەل «تولدۇرغۇچى» قىلىدۇ gas.

ئاساسلىق ئىشلىتىش ئازوت تازىلاش ۋە ئىنېرت ئاتموسفېرا قاتلىمىدا. ھەر قانداق سەزگۈر يېرىم ئۆتكۈزگۈچ جەريانى بولىدۇ, كامېر چوقۇم ئوكسىگېنغا ئوخشاش ئۆمۈچۈك, سۇ ھورى ۋە چاڭ-توزان قاتارلىق بۇلغىما كېرەك. يۇقىرى ساپلىق ئازوت بۇ كېرەكسىز ئېلېمېنتلارنى ئۆچۈرۈۋېتىش ئۈچۈن كامېردىن يىراقلاشتى. بۇ تاسادىپىي ئوكسىدلىنىشقا ياكى بۇزۇلىدىغان باشقا ئىنكاسلارنى كۆرسىتىدۇ Wafer. ئوخشاش پرىنسىپ قورال ۋە قاتناش پويىزلىرىغا ئوخشاش پرىنسىپ (بايرام دەپ ئاتىلىدۇ) سىلكىنىش ۋافېر ئوخشىمىغان باسقۇچلار ئارىسىدا ئىشلەپچىقىرىش جەريانى.

ئۇندىن باشقا, ئازوت ھالقىلىق رول ئوينايدۇ foplivathograph, توك يولى لايىھىسىنى WAFER غا بېسىشنىڭ جەريانى. زامانىۋى چوڭقۇر ئۇلترا بىنەپشە (دۇۋى) lithography, لىنزا بىلەن بولغان بوشلۇق Wafer ئۇلترا ساپ ساپلاشتۇرۇلغان ئازوت (ياكى Argon) قىسقا دولقۇن ئۇزۇنلۇقىنىڭ نۇرىنى ھاۋا بىلەن سۈمۈرۈۋالىسىز. بۇ ئىنېرت مۇھىت بولمىسا, بۇ جەريان مۇمكىن ئەمەس. مەن فارقىلغا ئەگىشىش تەجرىبىسىدە, ئۈزلۈكسىز, يۇقىرى ھەجىم ۋە يۇقىرى ساپلىق تەلەپ قىلىنغان ئازوت تەمىنلەشكە بولمايدۇ.

مۇكەممەل مۇھىت يارىتىشتا ئارگون قايسى رول ئوينايدۇ?

Nitrogen غا ئوخشاش, Argon بىر ئالىيجاناب gas, مەنىسى خىمىيىلىك ئىنېرت. قانداقلا بولمىسۇن, Argon ئىشلىتىلگەن ئۆزىگە خوتلۇق ئاتوم ئېغىرلىقى ئەۋلىيا بىلەن تەمىنلىگەن كونكرېت قوللىنىشتا ئۈچۈن. بۇ قوللىنىشچان پروگراممىلارنىڭ ئەڭ مۇھىمى پالتېر ئامانەت قويۇلغان ياكى پۈركۈش. بۇ بىر فىزىكىلىق ھور ئامانەت قويۇش جەريانى نېپىز مېتال فىلىملەرنى قويۇپ, قايسى شەكىلنى شەكىللەندۈرىدۇ توك قاچىلاش.

پاكارتتا, ۋاكۇئۇمان كاۋچۇكقا تولغان ۋاكۇئۇمان كامېراسىدا ئارگون گازى. بۇ ئىجابىي ئەيىبلەنگەن پلاستىنكا Argon ions. بۇ ئىئونلار مېڭە ۋە «نىشان» دىن ياسالغان «نىشان» دىن ياسالغان «نىشان» دىن ياسالغان (مىس ياكى ئاليۇمىنغا ئوخشاش). سوقۇلۇش كۈچىنىڭ كۈچى نىشاننى چەككەن مېتال ئاتوملار نىشانغا قاراپ ماڭدى, ئاندىن كامېر ۋە چاپاننى چۆرىدىگەن سىلئون ۋافېر نېپىز, فورما قەۋىتىڭىز. Argon بۇ ئىنتايىن ئېغىر, چۈنكى, خىمىيىلىك ئاتموسسىيەنى ئۈنۈملۈك تارقاتقان, ئەمما خىمىيىلىك ئىنېرت, خىمىيىلىك ئىننىي كىنولار بىلەن ئىنكاس قايتۇرىدىغان مېتال ئىنرىي بىلەن ئىنكاس قايتۇرىدىغانلىقى يېتەرلىك ئەمەس. ئۇ مۇكەممەل تەمىنلەيدۇ مېتاللارنىڭ پالەك ئامانەت قويۇلغان مۇھىت.

باشقا ئاچقۇچلۇق ئىشلىتىش Argon سۈنئىي ئۇسۇلدا. بۇنىڭدا كىرىش جەريانى, Argon دائىم ئارىلاشتۇرۇلىدۇ ئاكتىپ edatran gas. The Argon خىمىيىلىك دورا ۋە جىمجىت بوتۇلكىنى ئېچىش, خىمىيىلىك دورا رىسكىلكىنى مۇقىملاشتۇرۇپ, ماۋمانچە تۆشۈككە كاپالەتلىك قىلىش ۋە ماتېرىيالدىكى تېخىمۇ ئېنىق, تىك تۆۋەنلەش يارىتىشقا ياردەم بېرىدۇ. ئىشەنچلىك تەمىنلەش ئارگون تەبىئىي گاز سىلىندىر مېتال ياكى ئىلغار ياللۇغى بىر ئەسلىھە ئۈچۈن ئىنتايىن مۇھىم.

ھاردروگېننىڭ ئامانەت قويۇش ۋە تازىلاش ئۈچۈن قانداق ئىشلىتىلىدىغانلىقىنى چۈشەندۈرۈپ بېرەلەمسىز?

ئازوت ۋە ئالگېگېلغا دىققەت قىلىشقا ئەرزىيدۇ, ھىدروگېن يۇقىرى بولۇش ئۈچۈن قەدىرلىنىدۇ ئاكتىپ, ئەمما ناھايىتى پاكىز ۋە كونترول قىلىنغان ئۇسۇلدا. ھىدروگېن ئىشلىتىلىدۇ كەڭ كۆلەمدە يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياسىغۇچى يۈزى ۋە مەلۇم بىر تۈردە تازىلاش ئۈچۈن ئامانەت Epitaxial نىڭ ئۆسۈشى. ئۇنىڭ كىچىك ئاتوم چوڭلۇقى ئۇنى باشقا گازلارغا سىڭىپ كىرىشكە يول قويىدۇ.

يېڭى بىر قەۋەتتىن بۇرۇن ئا Wafer, يەر يۈزى چوقۇم ئاتوم سەۋىيىسىگە تىترەپ, ئاتوم سەۋىيىسىگە تىتلىشى كېرەك. ھىدروگېن گازى يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا ئىشلىتىلگەن «ھىدروگېن پىكې» دەپ ئاتىلىدۇ, ئۇ شەكىللىك ئوكسىد (نېپىز, تەبىئىي يۈز بېرىدىغان بىر قاتار قەۋەت قەۋىتى) سىلۋېر يۈزى. The ھىدروگېن ئوكسىگېن بىلەن ئىنكاس قايتۇرىدۇ, سۇ ھورىنى شەكىللەندۈرىدۇ (H₂O) نى شەكىللەندۈرىدۇ, ئاندىن كامېردىن چىقىپ كەتتى, ئىپتىدائىي سىلۋېر يەر يۈزى كېيىنكى قەدەمگە تەييار.

ھىدروگېن شۇنداقلا ئاچقۇچلۇق تەركىب epitaXial ئۆسۈپ يېتىلىش (ياكى «EPI»), بىر كەركىداننى ئۆز ئىچىگە ئالغان جەريان سىلۋېر ئۈستىدە سىلئون ۋافېر. بۇ يېڭى قەۋەتنىڭ مۇكەممەل خرۇستال قۇرۇلمىسى ۋە ئېنىق كونترول قىلىنىدىغان dopant سەۋىيىسى. ھىدروگېن توشۇغۇچى سۈپىتىدە ھەرىكەت قىلىدۇ gas for سىلۋېر مەنبە gas (سىلاس ياكى ترۋلوكورىنىغا ئوخشاش). ئۇ يەنە سەرخىل ئوكسىگېن ئاتوملىرىنى بىكار قىلىش ئارقىلىق پاكىز ئېشىش مۇھىتنىمۇ كاپالەتكە كاپالەتلىك قىلىدۇ. بۇ خىل يۇقۇملىنىشنىڭ سۈپىتى يۇقىرى دەرىجىلىك بىر تەرەپ قىلغۇچنىڭ ئىقتىدارىغا تايىنىپ, ساپلىقىنى ساپلاشلەندۈردى ھىدروگېن سىلىندىر تەمىنلەش مۇتلەق ھالقىلىق.

ئۇلاردىكى مەقسەتلىك گاز بار, ئۇلار مىكروسكوپ توك قاچىلىرىنى قانداق ئويلايدۇ?

ئەگەر ئامانەت قويغۇچلارنىڭ ئۈستۈنكى قەۋەت بىنا بەرسە, يەيت ئورنىتىش پەقەت توك يولى ئەندىزىسىنى يارىتىش ئۈچۈن يىراقلاپ كەتتى. ئۇنى مىكروسكوپ ھەيدەش دەپ ئويلاڭ. ئەندىزەدىن كېيىن ئېنىقلانغاندىن كېيىن foplivathograph, etchant گازلار بىلەن تەمىنلەش خىمىيىلىك ۋاسىتىلەرنى قوغدالمىغان رايونلاردىن چىقىرىۋېتىشنى كۆرسىتىدۇ Wafer. بۇ ئەڭ مۇرەككەپ ۋە ھالقىلىق قەدەملەرنىڭ بىرى ئۆزەك ياسىمىچىلىقى.

The گىرىم بۇيۇملىرىدا ئىشلىتىلىدۇ جەريان ئادەتتە فراكتورى, خلور ياكى برومونى ئاساس قىلغان بىرىكمىلەر بولىدۇ. تاللاش gas ماتېرىيالنىڭ شەكىللىنىشىگە باغلىق.

• فتوردىن ئاساسلانغان گازلار . سىلۋېر Silimon Dixide.
• خلورغا ئاساسلانغان گازلار .

بۇلار رېئاكسىيە گازى پلازما ئۆيىگە كىرگۈزۈلدى. پلازما ئارام ئالىدۇ gas مولېكۇلا ناھايىتى يۇقىرى ئاكتىپ ئىرق ۋە رادىكاللار. بۇ رادىكاللار ئاندىن يەر يۈزى بىلەن ئىنكاس قايتۇرىدۇ Wafer, ئاسان پۈركۈشنى شەكىللەندۈرىدىغان يېڭى تۇراقسىز بىرىكمە شەكىللەندۈرۈش, شۇڭا «ئوت-چۆپ» ماتېرىيال. تەلەپ قىلىنغان ئېنىقلىق نىشان etch ئاستا-ئاستا (ئانسوتروپوپول). Modern يېرىم ئۆتكۈزگۈچ مۇرەككەپ گاز ئارىلاشمىسى ھەمدە بۇنى ئەمەلگە ئاشۇرۇش ئۈچۈن ئەستايىدىللىق بىلەن كونترول قىلىنىدىكەن.

خىمىيىلىك ھورنىڭ ئامانەت پۇلى (CVD) ۋە قايسى گازلار قاتناشقان?

خىمىيىلىك ھور ئامبار (CVD) يۈز بەردى ئامانەت قويۇش جەريانى in يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياسىغۇچى. ئۇ قۇرغان ھەر خىل ئىزولياتورلۇق ۋە ئۆتكۈزۈش نۇسخىسىنى يارىتىش ئۈچۈن ئىشلىتىلىدىغان ئاساسلىق ئۇسۇل يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىسى. ئاساسىي ئىدىيە ئا gas (ياكى گازنىڭ ئارىلاشمىسى) قىزىپ كەتتى Wafer. ئىسسىقلىق كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ gas ۋافېرنىڭ يۈزىگە ئىنكاس قايتۇرۇڭ ياكى پارچىلىنىپ, كۆزلىگەن ماتېرىيالنىڭ كەينىدىن قالسىلا.

بۇ ئىنكاسلارنىڭ ھەر بىرى ئاجايىپ مۇقىم شارائىت ۋە ئىنتايىن مۇھىم يۇقىرى ساپلىق گاز. مەسىلەن, سىلاسنى ئىشلىتىپ سىلاسنى ئىشلىتىپ پولىسنىكسون قەۋىتىنى ئامانەت قويغاندا effurity in gas SkypoM Donicon DIOXIES نى شەكىللەندۈرۈش ئۈچۈن, ئۇنىڭ ئورنىغا جەدۋەلنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ, قاتلامدىكى ئۆتكۈزگۈچ خۇسۇسىيىتىنى ۋەيران قىلىدۇ. بۇ بىزنىڭ تەمىنلىگۈچى بولۇش سۈپىتىمىز بىلەن, تەمىنلىگۈچى بولۇش سۈپىتىمىز بىلەن, تېخىمۇ قاتتىق دىققەت قىلىڭ پاكلىنىش ۋە بۇلارنى تەھلىل قىلىش ئامانەت قويۇش. پۈتۈن كۇتۇپخانا كۆپ مىقداردىكى ساپ ساپلىق ئالاھىدە گاز بىز تەكلىپ, بىز بۇ قاتتىق تەلەپلەرنى يىغىنچاقلاشقا قاراپ بېقىلىدۇ.

دەرىجىدىن تاشقىرى ئېگىزلىكى نېمىشقا يېرىم ئۆتكۈزگۈچ گازىنىڭ ئەڭ مۇھىم ئامىلى بولىدۇ?

مەن بۇنى ھەددىدىن ئاشۇرۇۋەتمەيمەن يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائىتى, purity ھەممە نەرسە. بۇ ئاتالغۇ يۇقىرى ساپلىق % 99 ياكى 99.9%. For يېرىم ئۆتكۈزگۈچ گازىبىز سۆزلەۋاتىمىز دەرىجىدىن تاشقىرى يۇقىرى ساپلىق (UHP), ئادەتتە 99.999% (دائىم «بەش nines») ياكى ئۇنىڭدىن يۇقىرى. بەزى ھالقىلىق gaste, تەلەپ 99.999% بولسا («ئالتە nines») ياكى ئۇنىڭدىنمۇ يۇقىرى بولىدۇ. سەۋەبى ئاددىي: بۇلغانغۇچىلارنىڭ ئىپادىسىنى ئۆلتۈرىدۇ.

زامانىۋى Microchip دىكى ئىقتىدارلار نامبىيەدە ئۆلچەنگەن. بۇ كۆلەمدە, يەككە چەتئەل زەررىچىسى ياكى كېرەكسىز مولېكۇلا نازارەتچىنىڭ ئوتتۇرىسىدا تاش. An effurity قىلالايدۇ:

• ئېلېكترونلۇق خۇسۇسىيەتنى ئۆزگەرتىش: ئازغىنە تودنىي ئىئونلار تەرجىمىھالىنىڭ چەكلىمىسىنى ئۆزگەرتەلەيدۇ, ئۇنى خاتا ۋاقىتتا ئالماشتۇرۇش ياكى تاقاشنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ.
• قۇرۇلمىلىق كەمتۈكلەرنى يارىتىش: ئوكسىگېن مولېكۇلا پارتلاتتىسىنىڭ ئېشىشى مەزگىلىدە مۇكەممەل خرۇستال قۇلۇپىنى قالايمىقانلاشتۇرۇپ, ئېلېكترون ئېقىمىنى شەكىللەندۈرىدۇ.
• قىسقا توك قاچىلاشنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ: مېتال زەررىچىسى ئىككى قوشنا ئېلىپ يۈرۈش لىنىيىلەرنى كۆتۈرۈۋالىدۇ, ئۆلۈك قىسقا.
• Likel نى ئازايتىڭ: تېخىمۇ كۆپ بۇلغانغۇچىلار, ھەر بىرىدە كەمتۈك ئۆزەك سانى تېخىمۇ يۇقىرى Waferشۇنداقلا پايدا ئېلىشنى بىۋاسىتە ئەيىبلەيدۇ.

بۇ ئىشلەپچىقارغۇچى بولۇش سۈپىتىمىز بىلەن سېنىڭ ئەڭ سېمىز مەبلىغىمىز پاكلاش ۋە ئانالىز ئۈسكۈنىلىرىدە بولۇپ قالدى. ھەر بىر تۈركۈم گاز چوقۇم ئۇنىڭ خېرىدارلىرىدىكى بىر مىليارد (PPB) ياكى زاپچاسلىرى (PPB) (PPT) نىڭ (PPT) ئۆلچىمىدە. The يۇقىرى ساپلىققا بولغان ئېھتىياج قايسىسىنى قوزغايدۇ ئالاھىدە گاز بازىرى ئېلېكترون مەھسۇلاتلىرى ئۈچۈن.

يۇقىرى ساپلىق بىلەن تەمىنلەش سۈپىتى ۋە ئىشەنچلىك تەمىناتقا قانداق كاپالەتلىك قىلالايمىز?

ماركقا ئوخشاش بىر خادىم بەلگىسىگە ئوخشاش, بۇ ئەڭ مۇھىم سوئال. ئېسىل باھا ئەگەر شۇنداق بولسا gas سۈپەت ماس ​​كەلمەيدۇ ياكى مال ئەۋەتىش كېچىكىدۇ. مەن قورقۇنچلۇق ھېكايىلەرنى ئاڭلىدىم: تەھلىلچىلەر ئانالىز قىلىش گۇۋاھنامىسى بىلەن تەمىنلەيدۇ, ياكى مال ئەۋەتىش ئالاھىدە گاز بىر نەچچە ھەپتە تاموژنادا تۇتۇلۇۋاتىدۇ, توختاپ قېلىش ئۈچۈن ئىشلەپچىقىرىش لىنىيىسىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىۋاتىدۇ. بۇ ئازاب نۇقتىلىرىنى خىتاب قىلىش بىزنىڭ سودا پەلسەپىمىزنىڭ يادروسى.

سۈپەتكە كاپالەتلىك قىلىش پاكلىنىش جەريان. بىز ئىلغار سىستېمىلارنى توپلاش ۋە مەخسۇس ئېلانلارغا ئوخشاش ماتېرىياللارنى چىقىرىپ تاشلاش ماتېرىياللىرىنى چىقىرىپ تاشلاش ماتېرىياللىرىنى ئىشلىتىمىز. ئەمما بۇ جەريان ئۇ يەردە ئاخىرلاشمايدۇ. ئەڭ ھالقىلىق قەدەم دەلىللەش. بىز ئەۋەتىلگەندىن بۇرۇن, ھەر بىر سىلىندىردىكى ئاممىۋى سۈزۈك تامېۋىيەنى ئىشلىتىپ, ھەر بىر سىلىندىرنى ئىشلىتىپ, ئەۋەتىلگەن ھەر بىر سىلىندىرلىق ئەسۋابلارنى ئىشلىتىپ, ئەۋەتىلگەن. بىز ھەر بىر تۈركۈمدىكى تەھلىل (COA) نى تەھلىل قىلىش ۋە ھەقىقىي دەلىللەش ئىسپاتى بىلەن تەمىنلىدۇق گاز ساپلىقى.

A ئىشەنچلىك تەمىنلەش زەنجىرنىڭ باشقا يېرىمى. بۇنىڭغا چېتىلىدۇ:

• كۈچلۈك سىلىندىرنىڭ تەييارلىقلىرى: سىلىندىرلار ئۈچۈن دەرىجىدىن تاشقىرى يۇقىرى ساپلىق ماڭىدۇ ئالاھىدە تازىلاش ۋە پاسسىپ جەرياننى ئۆز ئىچىگە ئالغانلىقىغا كاپالەتلىك قىلىش ئۈچۈن ئالاھىدە تازىلاش جەريانىنى ئۆتۈندى gas.
• ئەقلىي ئەشيا ئوبوروتى: بىز يۇقىرى بېسىملىق ۋە بەزىدە ۋارقىراش قائىدىلەرنى چۈشىنىدىغان ۋە بەزىدە قورال-ياراغلارنى ئاساس قىلغانلىقىنى چۈشىنىمىز. بىز بارلىق زۆرۈر ھۆججەتلەرنى سۇندۇرىمىز.
• Cleval ئالاقىلىشىش: بىزنىڭ سېتىش ۋە قوللىغان گۇرۇپپىلىرىمىز دائىملىق يېڭىلانمىلارنى تەمىنلەش ئۈچۈن تەربىيەلەنگەن. سىزنىڭ بۇيرۇقىڭىزنىڭ ئەھۋالىنى ھەمىشە ئاخىرقى يەتكۈزۈشتىن ھەقىقىي بىلىسىز. مۆلچەرلىگىلى بولىدىغانلىقىنى چۈشىنىمىز يۇقىرى ساپلىقنى تەمىنلەش خېرىدارلىرىمىز ئۈچۈن ئۆزىنىڭ ئىشلەپچىقىرىش مۇددىتىنىڭ باشقۇرۇشىدا ئىنتايىن مۇھىم. بىز ھەتتا ھەر خىل تەكلىپ قىلىمىز گاز ئارىلاشمىسى كونكرېت جەريان ئېھتىياجىنى قاندۇرۇش.

كەلگۈسى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائىتىدىكى گازلارنى نېمە تۇتىدۇ?

The يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائىتى ھەرگىز توختاپ قالمايدۇ. سەلتوسىكۇسنى ئالدىن پەرەز قىلغىنى, ئۆزەك ئېتىش توختىمالى توختىماي كىچىكرەك كىچىك, تېخىمۇ كۈچلۈك ئۈسكۈنىلەرنى بارلىققا كەلتۈرىدۇ. بۇ توختاۋسىز يېڭىلىقتىكى يېڭىلىقلارنى بىۋاسىتە تەسىرلەندۈرىدۇ گاز ۋە ئارىلاشمىلار ئۇلارنىڭ توقۇلمىلىرىدا ئىشلىتىلىدۇ. بىز يۆتكىگەندەك كېيىنكى ئەۋلاد يېرىم ئۆتكۈزگۈچ تېخنىكا ئورنىتىلغان, بۇ ئىقتىدار تۇتۇلۇشى بىلەن بىر ئاز بىر ناماراڭ, پەقەت بىر ئاز بىر ئازاداد, گاز ساپاسىنىڭ تەلىپى تېخىمۇ يۇقىرىغا ئايلىنىدۇ.

بىز يېڭى ماتېرىياللارغا يۈزلىنىش يۈزلىنىشىمىز سىلۋېرمەسىلەن, گال جەمئىيەت يەڭدار (گان) ۋە كىرىسلىق كاربون (sic), يەنى يېڭى ۋە ئوخشىمايدۇ gaste يىغىش ۋە ئامانەت قويۇش. تېخىمۇ مۇرەككەپ 3D بىناكارلارنى تېخىمۇ مۇرەككەپ 3D كىتابلىرىغا قارىغاندا, ئۇ تېخىمۇ مۇرەككەپ 3D بىناكارلارغا قارىتا يەنە بىر مۇرەككەپ 3D قۇرۇپ, بۇ ئېھتىياجغا ئوخشاش, بۇ ئېھتىياج تېخىمۇمۇ ئېنىق ئامانەت ۋە etch قەدەم باسقۇچلار. بۇ دېگەنلىك ئالاھىدە گاز كەسىپلەر چوقۇم يېڭى مولېكۇلا ياساش ۋە تېخىمۇ يۇقىرى سەۋىيىگە يېتىشى كېرەك پاكلىنىش.

بىلەن تەمىنلىگۈچىدەك دىققەت بىلەن كەلسەك, كەلگۈسى ھەمكارلىققا ئۇچرىمايدۇ. ئۇ پەقەت سىلىندىرنى سېتىشقا يەتمەيدۇ gas. بىز خېرىدارلىرىمىز بىلەن يېقىندىن ھەمكارلىشىشىمىز كېرەك ئېلېكترون مەھسۇلاتلىرى ئىشلەپچىقىرىدۇ ئۇلارنىڭ كەلگۈسىدىكى تېخنىكا يول خەرىتىسىنى چۈشىنىدىغان ساھە. بۇ بىز يېڭىنىڭ ئېھتىياجىنى ئالدىن مۆلچەرلىشىمىزغا يول قويىدۇ يۇقىرى ساپلىق گاز ئۇلارنى ئىشلەپچىقىرىش ۋە ئانالىز مۇھىتقا مەبلەغ سېلىش. كۆرۈنمەيدىغان قەھرىمانلار يېرىم ئۆتكۈزگۈچ دۇنيا-مايغى - داۋاملىق تېخنىكا تەرەققىياتنى ئالدىنقى قاتارىدا بولىدۇ.

ئاچقۇچلۇق يول

يېرىم دەرىجىدىن تاشقىرى سانائەت چوتلىرى بولغاچقا, يېرىم ئۆتكۈزگۈچ بازىرىغا يېتىدۇ, بۇ يەردە ئەستىكى ئەڭ مۇھىم ئىش:

• پاكلىق پارامېتىر: ئەڭ ھالقىلىق ئامىل دەرىجىدىن تاشقىرى يۇقىرى ساپلىق. بۇ يەردە بۇ يەردە, ھەتتا مىلياردقىلۇق قاتلامدىكى زاپچاسلارنىڭ مەغلۇبىيىتىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىپ, ئىشلەپچىقىرىش مەھسۇلاتلىرىنى ئازايتىشى مۇمكىن.
• گازلارنىڭ ئالاھىدە خىزمىتى بار: گازلار ئالماشتۇرغىلى بولمايدۇ. ئۇلار ئىنېرت, ئارگېن, ئارگونگاگېن, ئارگون (قۇر), قۇرۇلۇش قەۋىتى قۇرۇش قاتارلىق ئالاھىدە ئۇسۇللار.ئامانەت قويۇش سىلئونغا ئوخشاش)etchant gases CF غا ئوخشاش).
• تەمىنلەش زەنجىرى ھالقىسى: ئىشەنچلىك تەمىنلىگۈچى مەھسۇلات ساتىدىغاندىنمۇ كۆپ. ئۇلار قاتتىق سىناق ئارقىلىق سۈپەتكە كاپالەتلىك قىلىدۇ, ھەقىقىي گۇۋاھنامە بېرىدۇ, مۇتلەقفىgeations نى باشقۇرۇش ۋە تەننەرخنى تۆۋەنلىتىشكە توسقۇنلۇق قىلىش.
• تېخنىكىلىق بىلىم قىمار قوشۇش: چۈشىنىش نېمىشقا مەلۇم بىر gas ئىشلىتىلىدۇ ۋە نېمىشقا ئۇنىڭ ساپلىقى شۇڭا ھالقىلىق تەجرىبە قىلالايسىز, ئۆزىڭىزنىڭ خېرىدارىڭىزغا تېخىمۇ ئۈنۈملۈك شېرىك بولىدۇ, سۈپەت ۋە ئۇزۇن مۇددەتلىك ئىشەنچنى ئاقىلالايدۇ.
• بۇ كەسىپ تەرەققىي قىلىدۇ: كىچىكرەك ۋە تېخىمۇ كۈچلۈك ئۆزەكلەرنىڭ ئىتتىرىش كۈچى يېڭى, ھەتتا ساپېرنىڭ تەلىپىنى كۆرسىتىدۇ ئالاھىدە گاز پەقەت داۋاملىق تەرەققىي قىلىدۇ. ئالدىغا قاراش بىلەن تەمىنلىگۈچى بىلەن ھەمكارلىشىش يېقىنلاشنىڭ ئاچقۇچى.