يېرىم ئۆتكۈزگۈچنى ياساشتىكى ئازوتنى بىرلەشتۈرۈش (NF₃)
يانفونىڭىزدا ئەقلىي ئىقتىدارلىق تېلېفون, ئۈستەلدىكى كومپيۇتېر, ماشىنىڭىزدا كومپيۇتېر بولسا, ھەرىكەتسىز, ئالاھىدە گازنىڭ كۆرۈنمەيدىغانلىقىنىڭ مۇمكىن ئەمەسلىكى مۇمكىن ئەمەس. سانائەت تەبىئىي گاز زاۋۇتى بولۇش سۈپىتىم بىلەن ئاللېن, بۇ ھالقىلىق ماتېرىيالنىڭ زامانىۋى تېخنىكا شەكىللەندۈرىدىغانلىقىنى تۇنجى بىنۇمنى كۆردى. سودا رەھبەرلىرىگە ئوخشاش, مارك شېېننى چۈشىنىشكە ئوخشاش, بۇ گازلارنى چۈشىنىدۇ, بۇ گازلارنى چۈشىنىدۇ يېڭى پۇرسەتنى ئېچىش يېڭى پۇرسەت ساسلىق ئۈچۈن ئاچقۇچلۇق. بۇ ماقالە بۇ ساھەدىكى ئەڭ مۇھىم توپچىلارنىڭ مەركىزى سىزنىڭ ئەتراپلىق يېتەكچىسى: Nitrogen Trififorite (nf₃). بىز بۇ كۈچلۈكلەرنى چىشلەيمىز gas, ئۇنىڭ مۇھىم رولى ئۈستىدە ئىزدىنىش يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش جەريانىھەمدە ئۇنىڭ نېمە ئۈچۈن سۈپەت ۋە تەمىناتى پۈتۈن كۈچى بىلەن ئىنتايىن مۇھىملىقىنى چۈشەندۈرۈڭ ئېلېكترون مەھسۇلاتلىرى ئىشلەپچىقىرىدۇ سانائەت.
ئازوت تۈگمىسى زالىغا زادى نېمە (NF₃)
بىر قاراشتىلا, Nitrogen Trivoride, ھەمىشە ئۇنىڭ خىمىيىلىك فورمۇلا تەرىپىدىن كۆرسىتىلىدۇ Nf₃, بەلكىم باشقا سانائەتگە ئوخشايدۇ gas. ئۇ رەڭسىز, ئاسان يانىدىغان, ئاسان ۋە ئازراق پۇراق بىرىكمە. قانداقلا بولمىسۇن, دۇنيادا ئىلغار ئىشلەپچىقىرىش, بۇ gas يۇقىرى ئىقتىدارلىق قورال. بۇ بىرىكمە ئىشلەپچىقىرىلغان بىرىكمە بىر ئازوتتىن ياسالغان ئاتوم ۋە ئۈچ فتور ئاتوم. ئۇنىڭ كۈچىنىڭ ئاچقۇچى بۇ قۇرۇلمىدا. ئۆينىڭ تېمپېراتۇرىسىدا, Nf₃ نىسبەتەن مۇقىم ئىنېرت, تېخىمۇ كۆپ تۇراقسىز گازغا سېلىشتۇرغاندا بىخەتەر توشۇش ۋە بويسۇندۇرۇش بىخەتەرلىكى بىخەتەر.
ئېنېرگىيە قوللىنىلغاندا سېھىرگەرلىك يۈز بېرىدۇ. ئىچىدىكى يۇقىرى ئېنېرگىيە شارائىتىدا يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش قورالى, مەسىلەن پلازما كامېر, Nf₃ molecules پارچىلىنىش. ئۇلار پارچىلىنىپ كەتتى ئاكتىپ فتور رادىكال. ئۇنى مىكروسكوپ كۆلىمىگە كونترول قىلىنىدىغان پارتىلاشنى ئويلاڭ. بۇ ھەقسىز فتور ئاتوملار كېرەكسىز ماتېرىياللارنى, بولۇپمۇ كېرەكسىز ماتېرىياللارنى ۋە چىقىرىۋېتىشتە ئاجايىپ ئۈنۈملۈك سىلۋېر ئۇنىڭ بىرىكمىسى. ئۇنىڭغا ئېھتىياجلىق بولغاندا بۇ ئىقتىدار ئاكتىپ خالىسىڭىز Nitrogen Trividurie Gure ئېنىق دۇنياسىدىكى قىممەتلىك بايلىق ئۆزەك ياسىمىچىلىقى.
بۇ ئۆزگىچە قوش ماس كېلىدۇ Nf₃ زامانىۋىنىڭ ئۇۋىسى بولۇپ قالدى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ توقۇمىچىلىق. ئۇنىڭ مۇقىملىقى بىخەتەرلىك زەنجىشىغا بىخەتەرلىك ۋە ئىشەنچلىكلىككە ئېرىشىدۇ, ئۇنىڭ ئۈن پۇلى يارىتىش يۇقىرى ئىقتىدارلىق تازىلاش ۋە كونترول قىلىش ئىقتىدارىغا ئىگە. بىز تېخىمۇ چوڭقۇرلاپ كېلىمىز, بۇ خىل ئاۋازنىڭ قانداق بولىدىغانلىقىنى كۆرىسىز gas يەرشارىدىكى ئەڭ مۇرەككەپ ئۈسكۈنىلەرنىڭ يارىتىلىشىنى قوزغىتىدۇ.
نېمە ئۈچۈن ماتېماتىكا سانائىتى ئۈچۈن ئالاھىدە گاز كېتىدۇ?
مۇھىملىقىنى چۈشىنىش Nf₃, بىز ئالدى بىلەن ئۇنىڭ تېخىمۇ كەڭ رولىنى قەدىرلىشىمىز كېرەك گازلار ئىنتايىن مۇھىم چۈنكى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائىتى. ياساش توك قاچىلاش كىچىك كۆرۈنۈشنىڭ چوڭ-كىچىكلىكى ئۈچۈن بىر كاناي ساڭگىلاپ تۇرغانغا ئوخشايدۇ. ئۇ ئوخشىمىغان ماتېرىياللارنىڭ ئون بايرامنى قوشۇش ۋە ئېلىۋېتىش جەريانى سىلۋېر Wafer. ھەر بىر قەدەم, يالىڭاچ قۇرۇشتىن Wafer ئاخىرقى ئۆزەككە, ئالاھىدە كونترول قىلىنىدىغان ئىنچىكە-تەكلىمېتىردىغىنىغا تايىنىدۇ ئېلېكترونلۇق gase.
بۇ گازلار بىر قانچە ھالقىلىق ئىقتىدارلارنى ئورۇندىدى. بەزىلىرى argon ۋە hiyium, مۇقىم, ئاكتىپ بولمىغان مۇھىت يارىتىشتىكى كۈچلۈك, ئاكتىپ بولمىغان مۇھىت ۋە تېخىمۇ ئاكتىپ قۇتقۇزۇش چولپىنى ياساڭ. باشقىلار ئىشلىتىلىدۇ ئامانەت, ئۇ يەردە gas ئىشلىتىلىدۇ ئامانەت نېپىز ماتېرىياللار Wafer. مەسىلەن, خىمىيىلىك ھور ئامانەت (Cvd), گازلار ئۆزەكنىڭ چەمبىرىكىنىڭ بىر قىسمىغا ئايلىنىدۇ. ئاندىن ئۇ يەردە گاز بار Nf₃دېرىكتورلارنى بۇ قەۋەتتە كۆزدە تۇتۇپ, توكنىڭ ئېقىدىغان توكلۇق يول يارىتىش ئۈچۈن, بۇلار توك چىقىرىش.
تۇراقلىق, Ultra-يۇقىرى ساپلىق بۇ خىل گازلارنى تەمىنلەش, پۈتكۈل ئىشلەپچىقىرىش جەريانى توختاپ قالىدۇ. ھەتتا مىنۇس effurity a gas بىر تۈركۈم ۋافېرلارنى بۇزىدۇ, مىليون دوللار. بۇ نېمە ئۈچۈن يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقارغۇچىلار ئۇلارنىڭ گاز تەمىنلىگۈچىلىرىنىڭ سۈپىتى ۋە ئىشەنچلىكلىكى بىلەن ئاجايىپ سەزگۈر. ئۇنىڭ ساپلىقى gas سۈپەتكە بىۋاسىتە تەرجىمە قىلىڭ ئىشلەپچىقىرىش مەھسۇلاتلىرى ئاخىرقى مەھسۇلاتنىڭ.
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش ئۇسۇللىرىدە ئىشلىتىلگەن nf₃
Nitrogen Trivoride ئىككى ئاساسلىق, تەنقىداتتۇرۇش يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش جەريانى: پلازما ياڭراتقۇ ۋە كامېرنى تازىلاش. ھەر ئىككىسى يۇقىرى ئىقتىدارلىق MicroChips, بىر تەرەپ قىلغۇچتىن كەلگەنلىكى ئۈچۈن ئىنتايىن مۇھىم NAND Flash ئىچكى ساقلىغۇچ.
ئالدى بىلەن, ياڭراتقۇ توغرىسىدا پاراڭلىشايلى. بىر قەۋەت ماتېرىياللاردىن كېيىن سىلۋېر dioxide A غا ئامانەت قويۇلغان Wafer, بىر ئەندىزە ئۇنى يورۇتۇش ئارقىلىق مۆلچەرلەنگەن. The etch ئاندىن بۇ جەريان قوغدالمىغان رايونلاردىن ماتېرىيال چىقىرىپ تاشلايدۇ. Nf₃ ساھىبخاردقا كىرگۈزۈپ, a قۇرۇش پلازما-A نىڭ بۇلۇتلىرى ion زەررىچىلەر ۋە رېئاكتور فتور رادىكال. بۇ رادىكاللار ئېنىق بومبا Wafer يۈزى, سىلۋېر ئۇنى a غا ئايلاندۇرۇڭ gaste بىرىكمە (سىلۋېر TeTrafluoride) بۇ ئامباردىن ئاسانلا پۈركۈيدۇ. بۇ جەرياننىڭ ئېنىقلىقى پىكىر-تەپەككۇرنىڭ قېزىلىشىغا ئەگىشىپ, ئىنژېنېرلارغا ئىنسانلارنىڭ چېچىدىنمۇ نېپىز قانچە قېتىم نېپىز ئىدى.
ئىككىنچى, تېخىمۇ كۆپ ئۇچرايدۇ, نىتورگېن تۈگمىنى ئىشلىتىش is a تازىلاش. In خىمىيىلىك ھور ئامبار (Cvd) جەريان, نېپىز فىلىملەر قاچان ئۆستۈرۈلدى Wafer, كېرەكسىز ماتېرىياللارمۇ بۇ جەريان كامېراسىنىڭ ئىچىنىڭ ئىچىنى تەشكىل قىلىدۇ. بۇ قالدۇق, دائىم ياسالغان سىلۋېر ياكى كرېمنىي نەينىide, ھەر بىرى بىر تەرەپ قىلىش ئارىلىقىدا چوقۇم ئېلىۋېتىلىشى كېرەك Wafer ياكى ۋاگېرلار. ئەگەر ئۇنداق بولمىسا, بۇ قۇرۇلۇشلار يىراقلاپ, كېيىنكى قەدەمدە يەر Waferنۇقساننى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ. بۇ يەردە, Nf₃ قۇرۇق ساكېرغا پېتىپ قالدى پلازما worked. كۈچلۈك فتور رادىكاللار چامبانلىق تاملارنى پاكىز قىلىپ, قاتتىق ئايلاندۇرىدۇ قالدۇق a gaste byproduct ئۇ ئاسانلا چىقىرىۋېتىلىدۇ. بۇ تازىلاش دەۋرى ساقلاش ئۈچۈن ئىنتايىن مۇھىم ئىشلەپچىقىرىش مۇھىتىنىڭ ساپلىقى ۋە ئېگىزلىكىگە كاپالەتلىك قىلىش ئىشلەپچىقىرىش مەھسۇلاتلىرى.
باشقا تاللاشلارغا سېلىشتۇرغاندا NF₃.
ئۇزۇن يىللار يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائىتى Citbon TeTrorcabons (PFCS) گە تاياندى (cfcs) ۋە hexafuoloethane (C₂f₆) تازىلاش ۋە قاچىلاش ئۈچۈن. شۈبھىسىزكى, بۇ بىرىكمىلەر ئاساسلىق چەكمە ئورنىتىلغان: ئۇلار ئىنتايىن كۈچلۈك نۇرلۇق. مەسىلەن, C₂f₆ بار يەر شارىنىڭ ئىسسىقلىق ئىقتىدارى (GWP) ۋە ئاتموسفېرادا 10,000 يىل داۋاملىشالايدۇ. مۇھىت بەلگىلىمىسىنىڭ چىڭىتىلىپ, كەسىپ تېخىمۇ كۆپ ھەل قىلىش چارىسى بار كېرەك.
بۇ يەردە Nf₃ ئېنىق يەڭگۈچى سۈپىتىدە پەيدا بولدى. While Nitrogen Trivoride شۇنداقلا كۈچلۈك يېشىل گازى, ئۇنىڭدا تەخمىنەن قىسقا ئاتموسفېرا ئۆمرى (500 يىلدىن). تېخىمۇ مۇھىمى, ئۇ تازىلاش جەريانىدا تېخىمۇ ئۈنۈملۈك. ئىچىدە پلازما كامېر, بىر نەچچە پىرسەنت Nf₃ Molecules ئۇلارنىڭ رېئاللىقىنى قويۇپ بېرىدۇ فتور PFC غا سېلىشتۇرغاندا. بۇ ئاز دېگەنلىك ئورۇنسىز gas كامېردىن تۈگىدى. Modern يېرىم ئۆتكۈزگۈچ بۇلارنىڭ ھەممىسىنى دېگۈدەك ۋەيران بولۇش (تاياقچە) نى قاچىلاڭ ئورۇنسىز Nf₃ ۋە زىيانلىق byproduct ئۇلار قويۇپ بېرىلگەن گاز.
تېخىمۇ يۇقىرى ئۈنۈمنىڭ بىرلەشتۈرۈلۈشى ۋە تېخىمۇ ئۈنۈملۈك ئىشتىن بوشىتىش ھەقىقىي مەنىنى بىلدۈرىدۇ پارنىك گاز قويۇپ بېرىش ئىشلىتىشتىن Nf₃ كونا PFC گازلىرىدىن كۆرۈنەرلىك تۆۋەن. بۇ ئەۋزەل ئىقتىدار ئۇنىڭ كەڭ قورساقلىق بېقىشىنىڭ مۇھىم سەۋەبى.
| ئىقتىدار | Nitrogen Trififorite (nf₃) | Perfuoucorcacarbons (E..g., C₂f₆) |
|---|---|---|
| تازىلاش ئۈنۈمىنى تازىلاش | بەك يۇقىرى | ئوتتۇراھال |
| پلازما ئايرىلىش | > 95% | % 10-40 |
| گاز ئىشلىتىش | تۆۋەنكى توملار تەلەپ قىلىنىدۇ | تېخىمۇ يۇقىرى ھەجىم تەلەپ قىلىنىدۇ |
| جەريان ۋاقتى | تېز تازىلاش دەۋرىيلىكى | ئاستا تازىلاش دەۋرىيلىكى |
| مۇھىت تەسىرى | تۆۋەندە تۆۋەنرەك قويۇپ بېرىش | بەك يۇقىرى, ئۇزۇن ئاتموسفېرا ھاياتى |
| تەننەرخ | تېخىمۇ يۇقىرى ئىشلەپچىقىرىش مەھسۇلاتلىرى, تۆۋەنلەش ۋاقتى توشمايدۇ | ئۈنۈملۈك, تېخىمۇ كۆپ ئىسراپچىلىق |
يۇقىرى ساپلىق ئازوتنى قانداق ئىشلەپچىقىرىلىدۇ?
ئىشلەپچىقارغۇچى بولۇش سۈپىتى بىلەن, مەن بۇ مەھسۇلاتنى ئېيتىپ بېرەلەيمەن Nf₃ مۇرەككەپ ۋە يۇقىرى كونترول قىلىنغان ئىشلەپچىقىرىش جەريانى. بۇ مەقسەت ئاجايىپ ساپ پارتلاش% 99.999.999% ياكى ئۇنىڭدىن يۇقىرى effurity ئاپەتكە ئىگە بولالايدۇ يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش. بۇ جەريان يۇقىرى رېمونت قىلىنغان خىمىيىلىك ماددىلارنى بىر تەرەپ قىلىش تەجرىبىسىنى تەلەپ قىلىدۇ فتور.
The Nf₃ gridjiction ئادەتتە ئىنكاس قايتۇرۇشنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ ئاممىياك (a بىرىكمە ئازوتنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ) ياكى ئاممون frororide ئېلېمېنت بىلەن بىرىكمە فتور رېئاكتوردىكى گاز يۇقىرى تېمپېراتۇرا. بۇ ئىنكاسلار گازلارنىڭ ئارىلاشمىسىنى ھاسىل قىلىدۇ Nf₃ئىناۋەتسىز ماتېرىياللار ۋە ھەر خىل ماتېرىياللار. ھەقىقىي رىقابەت, تەمىنلىگۈچىنىڭ مۇتەخەسسىسى ھەقىقىي كۆرسىتىۋاتقان يەردە, بار پاكلىنىش تۆۋەندىكى باسقۇچ.
خام gaste ئارىلاشما بىر قانچە ئۆتىدۇ پاكلىنىش كېرەكسىز بىرىكمىلەرنى ئۆچۈرۈشنىڭ قەدەم باسقۇچلىرى. بۇ ھەمىشە بىر يۈرۈش سۈرتۈش, ئېلانلار, ۋە crygeic custic custions جەريانلىرى. The تارقىتىش جەريانىبولۇپمۇ ئىنتايىن تۆۋەن تېمپېراتۇرىنى ئىشلىتىپ, ئۇلارنىڭ قايناق نۇقتىلىرىغا ئاساسەن ئوخشىمىغان گازلارنى ئىشلىتىڭ, ئايرىۋېتىڭ Nf₃ قالغان ناتونۇش دورىلىرىدىن. ھەر بىر قەدەم ئىلگىرى ئىلغار ئانالىز ئۈسكۈنىلىرى بىلەن نازارەت قىلىنغان بولۇپ, ئاخىرقى مەھسۇلاتنىڭ قاتتىق دەرىجىدىكى ئۆلچىمىگە خىلاپلىق قىلىشىغا كاپالەتلىك قىلىدۇ يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائەت. بۇ ۋەدە سۈپەتنى كونترول قىلىش

NF₃ گازىنىڭ بىخەتەرلىكى ۋە بىر تەرەپ قىلىش قايسى?
بىخەتەرلىك سانائەتتىكى ئەڭ مۇھىم مۇھىم gas سودا. While Nf₃ ئۆي تېمپېراتۇرىسىدا ئاسان ياشقا كىرمەيدۇ, نىسبەتەن مۇقىم ئەمەس, ئۇ كۈچلۈك ئوكسىدلىنىشنىڭ, بولۇپمۇ يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا, بولۇپمۇ يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا. بۇ ئاسان يانىدىغان ماتېرىياللار بىلەن زورلۇق بىلەن ئىنكاس قايتۇرىدىغانلىقىنى ۋە ئەستايىدىل بىر تەرەپ قىلىشنى تەلەپ قىلىدىغانلىقىدىن دېرەك بېرىدۇ. دەسلەپكى خەتەر ئۇنىڭ زەھەرلىك چېكىملىك. inhaling the gas زىيانلىق, شۇڭا مۇۋاپىق ھاۋا ئالماشتۇرۇش, شۇڭا مۇۋاپىق ھاۋا ئالماشتۇرۇش ۋە شەخسىي قوغداش ئۈسكۈنىلىرى كەم بولسا بولىدۇ ياساش تور بېكىتى.
زاۋۇتتىن, زاۋۇتىمىزدىن, زاۋۇتتىن خېرىدارغا يېرىم ئۆتكۈزگۈچ FAB, بىخەتەرلىكنى ئەتراپىدا ياسالغان. Nf₃ يۇقىرى بېسىم ئاستىدا ئالاھىدە لايىھەلەنگەن پولات يۈزىدە ئولتۇراقلاشقان. بۇ سىلىندىرلار قاتتىق سىناق ۋە گۇۋاھنامىگە ئېرىشىدۇ, ئۇلارنىڭ بىخەتەر بولۇشىغا كاپالەتلىك قىلىڭ gas. ئەر-ئاپپارات ئەسەر بولۇش سۈپىتىمىز بىلەن, بىز تەپسىلىي بىخەتەرلىك ئۇچۇرى جەدۋىلىلەرنى تەپسىلىي بايان قىلىمىز ۋە مۇۋاپىق ساقايتىش, ئۇلىنىشنى مۇۋاپىق ساقلاش, ئۇلىنىش ۋە بىر تەرەپ قىلىش رەسمىيىتى بىلەن تەمىنلەيدۇ. بۇ كۆرسەتمىلەرنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ ئاقما كونترول ۋە ئاشكارىلاش سىستېمىسى.
كارخانا خوجايىنلىرىغا ئوخشايدۇ بەلگەقا ئوخشايدۇ, تەمىنلىگۈچى بىخەتەرلىك خاتىرىسى ئىنتايىن كۆڭۈل بۆلىدىغان ئىلگىرى, بىلەن تەمىنلەش زەنجىرى ئىنتايىن كۆڭۈل بۆلىدۇ. ئۈنۈمسىز ئالاقە ياكى تەمىنلىگۈچىدىن ئېنىق بىخەتەرلىك كېلىشىمى كەمچىل بولغان ئاساسلىق قىزىل بايراق. بىز پەقەت بىر مەھسۇلات بىلەن تەمىنلەشنى ئۆزىمىز بىلەن تەمىنلەشتىن پەخىرلىنىمىز, ئەمما ئىز قوغلاش ئۇسۇلى ۋە بىخەتەرلىك تەجرىبىسىنى ئۆز ئىچىگە ئالغان تولۇق مۇلازىمەت gas يېتىپ كېلىپ, بىخەتەر ھەر بىر باسقۇچنى بىر تەرەپ قىلدى.
ئازوت گۈللۈك سوۋۇتۇش سۈيىمۇ? مۇھىت تەسىرىنى چۈشىنىش.
مۇھىت تەرەپلىرى ھەققىدە سۈزۈك بولۇش ئىنتايىن مۇھىم Nf₃. ھەئە, Nitrogen Trivoride كۈچلۈك پارنىك گازى. كېلىمات ئۆزگىرىشىدىكى ۋاقىتلىق تاختايلار dioxide 100 يىلدىن كۆپرەك ۋاقىت. بۇ ساھەنىڭ ئىنتايىن ئەستايىدىل مۇئامىلە قىلىدىغانلىقى.
قانداقلا بولمىسۇن, بۇ ھېكايە ئۇ يەردە ئاخىرلاشمايدۇ. The مۇھىتىغا تەسىر كۆرسىتىدۇ گازنىڭ يوشۇرۇن كۈچىگە باغلىق ئەمەس, ئەمما بۇنىڭ قانچىلىك ئامونىفېرغا تارقىتىلىدۇ. ئىلگىرى تىلغا ئېلىنغاندەك, Nf₃ ئەڭ ئۈنۈملۈك. زامانىۋىدە يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئەسلىھە, مۇتلەق كۆپ ساندىكى كىشىلەر ئىشلىتىلگەن گاز ئىشلەپچىقىرىش جەريانىدا ئىستېمال قىلىنغان ياكى يوقىلىدۇ. The پلازما ئۇنى پارچىلايدۇ ئورۇنسىز gas بۇ ھەددىدىن زىيادە ئېشىپ كەتكەن سىستېما سىستېمىسىغا ئەۋەتىلىدۇ. بۇ سىستېمىلارنىڭ ئىنتايىن ئۈنۈملۈك, قالغانلارنىڭ% 99 تىن كۆپرەكىنى يوقىتىدۇ Nf₃.
بۇ كەسىپ PFCS دىن كەلگەن Nf₃, دورا تەرەققىي قىلىش تېخنىكىسىنى كەڭ كۆلەمدە بىرلەشتۈرۈپ, ئەمەلىيەتتە ساپنى ئازايتىشنى كەلتۈرۈپ چىقاردى پارنىك گاز قويۇپ بېرىش ھەر بىر ئىشلەپچىقىرىش بىرلىكى. مەسئۇل يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقارغۇچىلار ھەمدە گاز تەمىنلىگۈچىلەر بىرلىكتە ئىشلەيدۇ, بۇ بومبىنىڭ كىچىكلىشىگە كاپالەتلىك قىلىڭ. بۇ تازىلاش جەريانىنى ئەڭ ئاز ئىشلىتىشنى رەت قىلىدۇ gas يۇقىرى دەرىجىدىكى ئىقتىدارنىڭ نورمالسىزلىق سىستېمىسىنى زۆرۈر ۋە ئاسراش. شۇڭا, Nf₃ كۈچلۈك پارنىك گازى تەجرىبىخانا رايونىدا, ئۇنىڭ ھەقىقىي مۇھىت ئاسپىرانتلىق يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياسىغۇچى ئەستايىدىللىق بىلەن باشقۇرۇلىدۇ ۋە ئالماشتۇرۇلغان باشقا تاللاشلارغا قارىغاندا كۆرۈنەرلىك تۆۋەن.
چوڭ يېرىم ئۆتكۈزگۈچنىڭ ئەۋلادلىرى ئۈچۈن قايسى نۇقتىنىڭ تەسىرى بار?
زامانىۋى كۆلەم يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياسىغۇچى كىشىنى ھەيران قالدۇرىدۇ. مېگ-فابا داڭلىق بولغان ئەڭ چوڭ ئەسلىھەلەر, ئوتتۇراھال زەھىس ئىستېمالنى ئىستېمال قىلىڭ. ئازوتقا ئوخشاش بىر قىسىم گازلارغا ئوخشاش ئازوتقا ئوخشاش, بۇ ئارقىلىق مىڭلىغان سىلىندىرلارغا يۈك قويۇش ياكى ئەسلىھەلەرگە بىۋاسىتە ھاسىل قىلىش تېخىمۇ ئۈنۈملۈك. بۇ دەپلا ئاتىلىدۇ نەق مەيداندا ئەۋلاد. ئالاھىدە ئالاھىدە ۋە ئاكتىپ gas like Nf₃, سەل ئوخشىمىغان مودېللار يېڭىدىن گۈللىنىۋاتىدۇ: نەق مەيداندا تازىلاش ۋە تەھلىل قىلىش.
تولغاندا Nf₃ gridjiction بىر FAB دا ئادەتتىكى بولغاچقا, چوڭ تىپتىكى ئىشلەتكۈچىلەر دائىم مۇرەككەپلەشتۈرۈلىدۇ نەق مەيداندا گاز باشقۇرۇش سىستېمىسى. كۆپ مىقداردا تەمىنلەش Nf₃ FAB غا يەتكۈزۈلىدۇ, ئاندىن بۇ سىستېما ئاخىرقى باسقۇچقا تەڭ پاكلىنىش ۋە ئۇدا سۈپەت ئانالىزى gas قىممەت باھالىق ئىشلەپچىقىرىش قوراللىرىغا كىرىدۇ. بۇ ئۆزلۈكىدىن سۈپەت كونتروللۇقى بىلەن تەمىنلەيدۇ, ئالاقىلىشىش لىنىيىسىدىن يوشۇرۇن بۇلغىنىشنىڭ تۇتۇلۇشىغا كاپالەتلىك قىلدى. بۇ ئۇسۇل كۆپ مىقداردىكى كاپالەت بىلەن سېتىۋېلىشنىڭ ئىقتىسادىي پايدىسىنى بىرلەشتۈردى نەق مەيداندا باشقۇرۇش.
تەرەققىي قىلىۋاتقان تەمىنلەش مودېلى ناھايىتى مۇھىم. تەمىنلىگۈچى بولۇش سۈپىتى بىلەن, سىلىندىرلارنى تولدۇرىمىز. بىز ھازىر ئىشلەيمىز يەر شارى يېرىم ئوكۇل ئىشلەپچىقارغۇچىلار تەبىئىي گاز يەتكۈزۈش ۋە باشقۇرۇش ھەل قىلىش چارىسىنى لايىھىلەش ۋە يولغا قويۇش. بۇ مەخسۇس ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ ئىشلەپچىقىرىش لىنىيىسى ئاساسلىق خېرىدار, مەخسۇس ئەشيا ئوبوروتى ياكى بىر گەۋدىسى بىلەن ماس كېلىدۇ نەق مەيداندا سىستېمىلار. ئۇ جانلىق ۋە ئىشەنچلىك تەمىنلەش زەنجىرى بىلەن تەمىنلەيدىغان جانلىق ۋە ئىشەنچلىك تەمىنلەش زەنجىرىنى تەمىنلەشكە مۇناسىۋەتلىك 21-ئەسىر ياسىغان. بۇ بىزنىڭ ئىستراتېگىيىمىزنىڭ مۇھىم بىر قىسمى, بولۇپمۇ ئەقىل-پاراسەتكە بولغان خېرىدارلارنىڭ مۇھىم يېرى ئىشلەپچىقىرىش ئىقتىدارى.

Whip ياسىمىچىلىقىدا NF₃S قانداق تەسىر كۆرسىتىدۇ?
In يېرىم ئۆتكۈزگۈچ دۇنيا, «ھوسۇل» ھەممە نەرسە. ئۇ ياخشى, ئىشلەش ئۆزەكلىرىنىڭ نىسبىتى سىلۋېر Wafer. يۇقىرى ھوسۇللۇق يۇقىرى قىممەتنى كۆرسىتىدۇ. تۆۋەن پايدا مالىيە جەھەتتىن ۋەيران بولۇشى مۇمكىن. بۇ جەريان گازنىڭ ساپلىقى, بولۇپمۇ ئاكتىپ gas like Nf₃, ئۇدا بىۋاسىتە ۋە دراماتىك تەسىر كۆرسىتىدۇ ئىشلەپچىقىرىش مەھسۇلاتلىرى.
تەسەۋۋۇر قىلىپ بېقىڭ effurity كىچىككىنە زېرىكىش (H₂O) ياكى باشقا بىرى gaste بىرىكمە ئارىلاشتۇرۇلغان Nf₃. سەزگۈرلۈك ساقلاش جەريانىدا, يەنى effurity خىمىيىلىك رېئاكسىيەگە دەخلى قىلالايدۇ, ئۆزەكنىڭ چەمبىرىكىدە مىكروسكوپ كەمتۈك پەيدا قىلىدۇ. ئۇ بەلكىم توسۇشى مۇمكىن etch, ماددىنىڭ بولماسلىقى ياكى تۆشۈكنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدىغان ماتېرىياللارنى قويۇپ, بەك كۆپ ماتېرىيال چىقىرىپ تاشلاش. ھەر ئىككىمىز, نەتىجىدە توك قاچىلاش ئاخىرقى سىناقنى مەغلۇپ قىلىدۇ. بىر ئۆزەكنى بىر ئۆزەك, ھەتتا «قاتىل» دىن كېلىپ چىققان effurity بارلىق ئۆزەكنى بىكار قىلالمايدۇ.
بۇ بىزنىڭ سۈپەت كونتروللۇقىدا شۇنچە كۆپ مەبلەغ سالغانلىقىمنىڭ سەۋەبى. گۇۋاھنامە بىلەن تەمىنلەش, Ultra-يۇقىرى ساپلىق Nf₃بىز خېرىدارلىرىمىزغا ئىشەنچىمىزگە ئىشىنىمىز gas كەمتۈكلۈكنىڭ مەنبەسى بولمايدۇ. قويۇقلۇقىنى كونترول قىلىش ھەر بىر بۆلەكنىڭ بىر مىلياردلۇق دەرىجىسىگە چۈشۈپ قالىدۇ ئىشلەپچىقىرىش جەريانى مۇقىم ۋە تەكرارلىغىلى بولىدۇ. مۇقىم جەريان ئالدىن پەرەز قىلىشقا بولىدىغان ۋە يۇقىرى ئىشلەپچىقىرىش مەھسۇلاتلىرى, بۇ ھەر بىرسى ئۈچۈن ئەڭ ئاخىرقى نىشان يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقارغۇچى. بىزنىڭ رولىمىز بىلەن تەمىنلىگۈچىمىز يۇقىرى ساپلىق ئالاھىدە گازى ئۆزگەرگۈچى مىقدارلارنى يوقىتىش ۋە مۇرەسسەسىز سۈپەت بىلەن تەمىنلەش.
نېسىروگېن تۈپەيلىدىن تەمىنلىگۈچىدە نېمىلەرنى ئىزدەيسىز?
ماركقا ئوخشاش بىر خادىمنىڭ موماي ئۈچۈن مۇۋاپىق تەمىنلىگۈچىنى تاللاش ئۈچۈن مۇۋاپىق تەمىنلىگۈچىنى تاللاش Nf₃ باھانى توپلاشتىن يىراقلاپ كەتتى. ناچار ھەمكارلىق ئورنىدىن ئايرىلىش كىيىمى, سۈپەت مەسىلىسى, دىققەت - نامراتلار بىلىملىكلەر بەك يۇقىرى. مېنىڭ كەچۈرمىگۈچلەرگە ئاساسەن, بۇ يەردە ئويلىنىشقا تېگىشلىك مۇھىم ئامىللار:
ئالدى بىلەن تەكشۈرگىلى بولىدىغان سۈپەت ۋە گۇۋاھنامە. ئىشەنچلىك تەمىنلىگۈچى ئانچە ئىچكى ساقلىغۇچ ئانالىز (COA) نى تەھلىل قىلىش, ساپلىق دەرىجىسى ۋە بايقالغان نۇرىنى تىزىش. ئۇلار ISO 9001 غا ئوخشاش خەلقئارا ئۆلچەمگە ئەمەل قىلىشى كېرەك. ئۇلارنىڭ ئانالىز ئىقتىدارىدىن سوراش. ئۇلاردا تەلەپ قىلىنغان سەۋىيىدىكى بۇلغانغان ئۈسكۈنىلەر بارمۇ? يېرىم ئۆتكۈزگۈچ قوللىنىشچان پروگراممىلار?
ئىككىنچى, تەمىنلەش زەنجىرلىكى ۋە سۈزۈكلۈكنى ئاشۇرۇش. تەمىنلىگۈچىنىڭ پۇختا ئەشيا ئوبوروت تورىنى نامايان قىلالايدۇ? ئۇلارنىڭ ئارتۇقچىلىقىنىمۇ قىلىڭ ئىشلەپچىقىرىش ئىقتىدارى مۇقىم تەمىنلەشكە كاپالەتلىك قىلىش كېرەكمۇ? ئالاقىلىشىش بۇ يەردىكى ئاچقۇچ. تەمىنلىگۈچىڭىز ئاكتىپ بولۇشى, مال چىقىرىش مىقدارى بىلەن تەمىنلىشى ۋە سوئاللارغا جاۋاب بېرەلەيدىغانلىقىڭىز كېرەك. بۇ ئۈنۈمسىز ئالاقەنىڭ ئاغرىق نۇقتىلىرىنى بىۋاسىتە رەت قىلدى.
ئاخىرىدا, تېخنىكىلىق تەجرىبىنى ئىزدەڭ. ياخشى تەمىنلىگۈچى پەقەت مەھسۇلات ساتمايدۇ. ئۇلار ھەل قىلىش چارىسى بىلەن تەمىنلەيدۇ. ئۇلار سىزنىڭ پروگراممىلىرىڭىزنى چۈشىنىشى ۋە تېخنىكىلىق قوللىيالامدۇ? ئۇلار بىخەتەرلىك, بىر تەرەپ قىلىش, بىر تەرەپ قىلىش ۋە مۇھىت چىقىرىش ئۆلچىمى بىلەن قارىشىش كېرەك. گاز ئىلتىماسى. بىلىملىك ھەمراھى بولۇپ كىم بىلىملىك ئادەم بولۇپ, پەقەت ساتقۇچى بولغاندىنمۇ قىممەتلىك بولىدۇ. بۇ تەجرىبە ئۇزۇن مۇددەتلىك, پايدا ئالىدىغان مۇناسىۋەتنىڭ ئاساسى. بىز بارلىق خېرىدارلىرىمىز ئۈچۈن بۇ ھەمراھىمىزغا تىرىشىمىز, پەقەت ئەمەس gas ئەمما ئۇنىڭ بىلەن بىللە كېلىدىغان خاتىرجەملىك.
ئاچقۇچلۇق يول
- ماھىيەتلىك قورال: Nitrogen Trififorite (nf₃) ھالقىلىق كەسىپ gas پلازما ياڭراتقۇغا ئىشلىتىلىدۇ يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش جەريانى.
- ئەۋزەل تاللاش: Nf₃ تېخىمۇ ئۈنۈملۈك بولۇپ, كونا PFC دىن ئۈنۈملۈك مۇھىت تەسىرى بار, يۇقىرى ئىشلىتىش نىسبىتى ۋە زامانىۋى تېما ۋە زامانىۋى تېمالىشىش سىستېمىسىغا قارىغاندا ياخشى بولغان مۇھىت تەسىرى بار.
- پاكلىق پايدىسى: دەرىجىدىن تاشقىرى يۇقىرى ساپلىقى Nf₃ سۆھبەتلىشىشكە بولمايدۇ. ھەتتا ئىز قوغلاش ھەتتا بىر تەرەپ قىلغۇچنى يوقىتىدۇ سىلۋېر Wafer, كەسكىن ئازايتىش ئىشلەپچىقىرىش مەھسۇلاتلىرى ۋە پايدا ئۆزەك ياسىمىچىلىقى.
- بىخەتەرلىك ۋە بىر تەرەپ قىلىش ئاچقۇچ: مۇقىم بولسىمۇ, Nf₃ زەھەرلىك ۋە ئوكسىدلىنىش gas ئالاھىدە بىر تەرەپ قىلىنغان بىر تەرەپ قىلىنغان, ئېتىراپ قىلىنغان قۇرغالدېرلارنى تەلەپ قىلىدۇ, بىخەتەرلىك كېلىشىم تۈزۈشىنى چوڭقۇر چۈشىنىدۇ.
- تەمىنلىگۈچى تاللاش ئىنتايىن مۇھىم: تاللىغاندا Nf₃ تەمىنلىگۈچى, دەلىل-ئىسپات ساقلاش سۈپىتى, تەمىنلەش سۈپىتى, تەمىنلەش زەنجىرسىمان ئىشەنچلىك ۋە چوڭقۇر تېخنىكىلىق ئۇسۇللار بىلەن يالغۇزلۇق.
