Ярымүткәргеч җитештерү форумының төрле газларына таяна, алар өч төп төргә бүленә дә: күпчелек газлар, белгечлекләрһәм эяс газларны. Бу газлар пычрануны булдырмас өчен бик зур чисталык булырга тиеш, алар нечкә һәм катлаулы уйлану процессын җимерергә мөмкин.

Күпчелек газлар

Азот (n₂):

Роль: n₂ берничә максатка ирешә, шул исәптән пургингуктура корабльләре һәм ярымүткәргеч җитештерүнең төрле этапларында инттмент атмосферасы белән тәэмин итү.
Өстәмә язмалар: Нитроген еш кына оксидлашуны киметү өчен кремнийны ташлауда еш эшли. Аның инерт табигате аның башка материаллар белән реакция ясамый, чиста эшкәртү мохитен саклау өчен идеаль.

Аргон (ар):
Роль: Плазма процессларында катнашуына өстәп, Аргон контроль газ композицияләре бик мөһим булган процессларда инструменталь.
Өстәмә язмалар: Чөнки ул күпчелек материаллар белән реакция ясамый, аргон шулай ук ​​әйләнү өчен кулланыла, бу металл яки диэлектрик фильмнарда пычратмыйча сакланырга тиеш.

Гелий (ул):
Роль, гелийның җылылык үзенчәлекләре аны суыту һәм реактив процесслар вакытында температура эзлеклелеген саклап калу өчен.
Өстәмә язмалар: Реаль булмаган табигать һәм оптик юлдан файдасызлыкны саклау сәләте аркасында, еш кына эре корылма лазер системаларында кулланыла.

Водород (h₂):
Роль: Аннилингта кулланудан тыш, водород шулай ук ​​алардан курку өслеген чистартырга һәм эпитаксие вакытында химик реакцияләрдә катнаша ала.
Өстәмә язмалар: НИЧЕК Фильмнар чыгаруда водород куллану, сайлап алынган материаллардагы ярымүткәргеч материалларда отрятор концентрациясен исәпкә алмаганда.

Белгечлек газлар һәм допантлар

Силан (SIH₄):
Роль: кремний чүплек итүе өчен прекурсор булудан кала, Силан электрон характеристиканы яхшырта торган пассацион фильмда катнашырга мөмкин.
Өстәмә язмалар: Аның реактивлыгы куркынычсызлык проблемалары аркасында, аеруча һава яки кислород белән кушылганда җентекләп эш таләп итә.

Аммония (nh₃):
Роль: Нитрид фильмнары җитештерүгә өстәп, Аммония ярымүткәргеч җайланмаларның ышанычлылыгын көчәйтә торган пассивация катламнар җитештерүдә мөһим.
Өстәмә язмалар: Электрон хаталарны яхшырту өчен, азимонга кертү таләп итә торган процессларда катнаша ала.

Фосфин (ph₃), Арсен (Ash₃), һәм Диборан (B₂h₆):
Роль: Бу газлар допинг өчен бик мөһим түгел, ә алдынгы ярымүткәргеч җайланмалардагы кирәкле электр милегенә ирешү өчен бик мөһим.
Өстәмә язмалар: Аларның токсикы куркынычларны йомшарту шартларында катгый куркынычсызлык протоколларын һәм монитор системаларын карый.

Газларны чыгару һәм чистарту

Флюорокарбонс (CF₄, SF₆):
Роль: Бу газлар коры эхетлау процессларында эшлиләр, бу дым эчәге ысуллары белән чагыштырганда югары төгәллек тәкъдим итә.
Өстәмә язмалар: CF₄ һәм SF₆ кремнийга нигезләнгән материалларны эффектив рәвештә эләгү мөмкинлеге аркасында бик мөһим, хәзерге микроектронтоника буенча яхшы үрнәк чишү өчен.

Хлор (кл₂) һәм водород фториды (HF):
Роль: Хлор аеруча металлларга, аеруча металл өчен, HF Кремний Дионоксидны бетерү өчен бик мөһим булганда.
Өстәмә язмалар: Бу газларның берләшүе төрле туктаусыз этаплары вакытында эффектив катламны бетерү өчен эффектив катламны бетерү өчен мөмкинлек бирә, соңрак эшкәртү адымнары өчен чиста өслекләрне тәэмин итә.

Азот өчплуорид (nf₃):
Роль: Nf₃ - CVD системаларында экологик чистарту өчен, пычраткыч матдәләр белән җавап бирү өчен, пычраткыч эшләрне саклау.
Өстәмә язулар: Nf₃ның чистарту эффективлыгы турында борчылуларга карамастан, берничә заводларда өстенлекле сайлау ясый, гәрчә аның тәкъдиме экологик уйлар таләп итә.

Кислород (O₂):
Роль: Оксидара эслендордан ярдәм иткән оксидлашу процесслары ярымүткәргеч корылмаларында мөһим изоляцион катлам булдыра ала.
Өстәмә язмалар: Кичниконның кремний оксидлашу роле, җанлы катламнарны формалаштыру һәм район компонентларын яклау өчен бик мөһим.

Ярымүткәргеч җитештерүдә барлыкка килүче газлар

Aboveгарыда күрсәтелгән традицион газаларга өстәп, башка газлар ярымүткәргеч җитештерү процессында игътибар итә, шул исәптән:

Углерод газы (CO₂): Кайбер чистартуда һәм заявкаларда кулланыла, аеруча алдынгы материаллар белән бәйле булганнар.

Силикон Дионоксид (сио₂): Стандарт шартларда газ булмаса да, кремний газидының парлы формалары билгеле саклагыч процессларында кулланыла.

Экологик уйлар

Ярымүткәргеч индустриясе төрле газлар куллану белән бәйле экологик йогынты ясауга юнәлтелгән, аеруча чүлмәкле парник газлары булган кешеләр. Бу алдынгы газ белән идарә итү системаларын үстерүгә һәм түбән экологик эзлекле эзлеклелек белән охшаш өстенлекләр бирә алырлык альтернатив газларны разведка кадәр китерде.

Йомгаклау

Ярымүткәргеч җитештерүдә кулланылган газлар ясау процессларының төгәллеген һәм эффективлыгын тәэмин итүдә мөһим роль уйный. Технология алга киткәндә, ярымүткәргеч сәнәгате газ чисталыгын яхшырту өчен, шул ук вакытта аларны куллану белән бәйле куркынычсызлык һәм экологик проблемаларга мөрәҗәгать итәргә омтыла.