Глобаль ярымүткәргеч индустриясенең тиз үсеше белән, чип җитештерү процесслары нанометр чорына тулысынча керде. Бу бик төгәл җитештерү процессында, теләсә нинди минут әйләнә-тирә мохитнең үзгәрүе яки материаль пычраклык бөтен вафиннарның юкка чыгуына китерергә мөмкин. Шуңа күрә электрон специаль газлар һәм югары чисталыклы сәнәгать газлары алыштыргысыз роль уйный. Алар арасында, югары чисталык сыек аргон ярымүткәргеч фабларның көндәлек операцияләрендә кулланыла торган алыштыргысыз ачкычка әйләнде, аның төп химик инерциясе һәм искиткеч физик үзлекләре аркасында.

Бу мәкәлә чип җитештерү процессында сыек аргонның төп кулланылышын тирән анализлаячак һәм предприятия тәэмин итү чылбыры коллективлары өчен профессиональ сатып алу өчен кулланма бирәчәк.

Төп кушымталар: Ни өчен сыек аргон ярымүткәргеч җитештерүдән аерылмый?

Фронт-ахыр-линия (FEOL) ярымүткәргеч җитештерү процессында ярымүткәргечләр өчен сыек аргон, беренче чиратта, продукт җитештерүчәнлеген билгеләүче түбәндәге төп этапларда кулланыла:

• Физик пар парламенты (ПВД) / Спуттеринг: Сыек аргонны газлаштыру аркасында барлыкка килгән ультра-саф аргон газы, ПВД таркалу процессларында иң төп эш газы. Вакуум камерасында аргон ионнары электр кыры белән максатчан материалны бомбардировать итәләр, максатлы атомнар вафат өслегенә тигез итеп металл пленка ясыйлар. Pгары чисталык - фильмның тыгызлыгын һәм электр эзлеклелеген тәэмин итү өчен алшарт.
• 
  

• Абсолют куркынычсыз атмосфера: Монокристалл кремнийны тарту процессы (Чохральски процессы кебек) һәм югары температуралы анналь процесслары вакытында кремний югары температурада кислород белән җиңел реакцияләнә. Шуңа күрә, аргон газы һаваны алыштыру өчен өзлексез кертелергә тиеш, кислород һәм дымнан изоляцияләнгән абсолют инерт мохитен тәэмин итү, шуның белән кремний кристалл тактасының камил үсешен тәэмин итү.
• 
  
• Криогеника һәм вафер чистарту технологиясе: Экстремаль ультрафиолет (EUV) литографиясе кебек алдынгы процессларда сыек аргонның ультра түбән температурасы (кайнау ноктасы -186 ° C) кайвакыт төгәл җиһазларның суыту системаларында кулланыла. Шул ук вакытта, аргон аэрозол технологиясе шулай ук ​​нанометр масштаблы физик микро-чистарту өчен кулланыла, бу минут кисәкчәләр матдәсен җимергеч булмаган рәвештә бетерә ала.
• 
  

Сыйфат уңышны билгели: Pгары чисталыклы сыек аргонның катгый стандартлары

Ярымүткәргеч сәнәгатенең чималга таләпләре аеруча кырыс. Гади сәнәгать дәрәҗәсендәге сыек аргон гадәттә 99,9% яки 99,99% чисталыкка ирешергә тиеш, ләкин бу чип җитештерү ихтыяҗларын канәгатьләндерүдән ерак. Өчен квалификацияле югары чисталык сыек аргон, төп чисталык гадәттә 99,999% (5N), ә алдынгы төеннәрдә хәтта 99,9999% (6N) яки югарырак булырга тиеш.

Иң мөһиме - пычраклыкны контрольдә тоту. Кислород, азот, дым, гомуми углеводородлар (THC), һәм металл ионнары эчтәлеге ppb (миллиардка өлешләр) яки хәтта ppt (триллион өлешләре) дәрәҗәсендә катгый контрольдә тотылырга тиеш. Бер минутлык пычраклар газүткәргечкә кушылса да, ул вафин өслегендә микро-җитешсезлекләр барлыкка китерәчәк, чип кыска схемаларга яки агымның агып чыгуына китерә, уңыш күләмен турыдан-туры төшерә һәм зур икътисади югалтулар китерә.

Сатып алулар өчен кулланма: Профессиональ сыек Аргон тәэмин итүчесен ничек бәяләргә һәм сайларга?

Productionитештерү линияләре эшендә югары чисталыклы газларның хәлиткеч ролен исәпкә алып, тулы квалификацияле һәм сәләтле сыек аргон тәэмин итүчесен табу һәм тәэмин итү - сатып алу һәм тәэмин итү чылбыры коллективлары өчен төп бурыч. Потенциаль тәэмин итүчеләрне бәяләгәндә, түбәндәге өч үлчәмгә игътибар итергә киңәш ителә:

Сыйфатны контрольдә тоту һәм сынау мөмкинлекләре: Искиткеч тәэмин итүчеләр газ хроматографлары (GC) һәм масса спектрометрлары (MS) кебек иң югары дәрәҗәдәге эз анализлау җиһазлары белән җиһазландырылган булырга тиеш. Тапшырулар арасындагы чисталыкның абсолют эзлеклелеген тәэмин итү өчен, алар һәр партия өчен җентекле COA (Анализ сертификаты) бирә белергә тиеш.

Көчле тәэмин итү чылбырының ныклыгы һәм китерү тотрыклылыгы: Фаблар гадәттә 24/7/365 эшли, һәм эш вакыты бик югары. Шуңа күрә, тәэмин итүчеләр массакүләм локальләштерелгән сыеклык саклау мөмкинлекләренә, үзләренең криоген танкер йөк машиналарына һәм гадәттән тыш тәэмин итүне тәэмин итү өчен комплекслы планнарга ия булырга тиеш.

Алга киткән контейнерлар һәм анти-“икенчел пычрану” технологиясе: Газ чисталыгы никадәр югары булса да, транспорт вакытында пычранса файдасыз. Игътибар тәэмин итүченең криоген саклагычларына һәм танкерның эчке стеналарын эшкәртү технологияләренә (мәсәлән, Электрополишинг / EP эшкәртү кичергәнме), шулай ук ​​тутыру һәм тапшыру этапларында клапан һәм торба чистарту өчен Стандарт Операция процедуралары (SOP) булырга тиеш, югары чисталык заводтан клиент терминалына туры китерелергә тиеш.

Йомгаклау

Мур Законының өзлексез алга китүе астында, югары чисталыклы сыек аргон төп куллану гына түгел, ә алдынгы ярымүткәргеч процесслары өчен "күренми торган озату". Фәнни һәм катгый бәяләү һәм сайлау а сыек аргон белән тәэмин итүче Ярымүткәргечләр өчен сыек аргонның югары сыйфатлы һәм тотрыклы тәэмин ителешен тәэмин итү өчен тулы көч белән, һәр ярымүткәргеч җитештерү предприятиясе өчен процесс уңышын яхшырту һәм дөнья базарында көндәшлектә җиңү өчен төп нигез булып тора.