Аммония (nh₃), Мөһим химик реагент буларак, төрле сәнәгать өлкәләрендә киң кулланыла, аның роле ярымүткәргеч җитештерүдә аеруча бик мөһим. Аммония ярымүткәргеч җитештерүнең берничә этапында, шул исәптән нитритлар, ион имплантацияләү, чистарту, чистарту һәм эшкәртү процессын кертү. Бу мәкаләдә аммиактуаль индустриядә аммиакта гаризаларын кабул итәчәк, җайланма чыгымнарын, чыгымнарны киметү, киметү, аз роле, ул шулай ук ​​IT-йөзле проблемалар һәм киләчәк үсеш тенденцияләре турында сөйләшәчәк.

1. аммиакның төп үзенчәлекләре һәм химик тәртибе

Аммоний - көчле эшкәртүчәнлеге белән танылган азот һәм годородтан тора һәм гадәттә сәнәгать азотилизатор җитештерүдә очрый. Аммония бүлмә температурасында газ булып бар, ләкин түбән температурада сыекландырыла ала, аны бик реактив газ чыганагы итә. Ярымүткәргеч индустриядә Аммонийның химик үзлекләре аны берничә критик процессның төп компоненты ясый, аеруча химик парлаштыруда (CV имплантация, чистарту / Эчинг операцияләре.

Аммоний молекулалары төрле металл, кремний һәм башка материаллар белән нитридлар формалаштыру яки аны яктыртырга мөмкин. Бу реакцияләр кирәкле нечкә киног материалларын формалаштырырга булышмый, ләкин шулай ук ​​электрик, җылылык, җылылык ояларын һәм механик үзлекләрен яхшырту, шуның белән ярымүткәргеч технологияләрен күтәрә.

2. ярымүткәргеч җитештерүдә аммиак гаризалары

Аммония ярымүткәргеч җитештерүдә, аеруча түбәндәге өлкәләрдә критик роль уйный:

2.1 Нитридның нитрид фильмнарын чыгару

Хәзерге ярымтимод җитештерүче, кремний нитриды (si₃n), алюминий нитриды (калин), титанум нитриды (калай), киң саклагычлар, электр изоляциясе яки үткәргеч материаллар итеп киң кулланылган. Бу нитрид фильмнарын чистарту вакытында Аммония бик мөһим азот чыганак булып хезмәт итә.

Химик парлы чүплек (CVD) - Нитрид кино чүпләү өчен иң еш очрый торган ысулларның берсе. Аммоний Силан кебек газлар белән реакцияләр белән реакцияләр, югары температурада силикон нитрид фильмнарын формалаштыра. Реакция түбәндәгечә:

3sih4 + 4nh3 → si3n4 + 12h2

Бу процесс кремний ваферы өстендә бердәм семпикун нитрикон катламы формалаштыруга китерә. Аммоний тотрыклы азот чыганакны бирә һәм конкрет шартларда башка газ чыганаклары белән реакция белән идарә итә, шуның белән фильмның сыйфатын, калынлыгын һәм бердәмлеген контрольдә тота.

Нитрид фильмнары искиткеч җылылык тотрыклылыгы, электр изоляциясе, һәм оксидлаштыруга каршы тору, аларны ярымүткәргеч җитештерүдә бик мөһим итә. Алар интеграль схемаларда (ICS) киң таралган изоляцион катламнар, электрод изоляция катламнары, оптоэлектрон җайланмаларда оптик тәрәзәләр буларак кулланыла.

2.2 Мөн имплантация һәм допинг

Аммоний шулай ук ​​ярымүткәргеч материалларның допинг процессында да мөһим роль уйный. Допинг - ярымүткәргеч җайланмалар өчен материалларның электр үткәрүчәнлеген контрольдә тоту өчен кулланылган бик мөһим техника. Аммонияне эффектив, еш кына башка газлар белән берлектә кулланыла (мәсәлән, Фосфин Ph₃ һәм DiLium Aralenide (GAAAS) кебек, Чирисон һәм Галиска һөҗүме белән имплантация кебек.

Мәсәлән, азот допинг кремнийның N-тип яки p тибындагы ярымүткәргечләр булдыру өчен көйли ала. Эффектив азот допинг процессларында Аммонийның иң чиста азык азотының нитоген чыганагын, допинг концентрацияләреннән төгәл контрольне тәэмин итә. Бу миниатуризацияләү һәм югары җитештерүчән җайланмалар җитештерү өчен бик зур күләмле интеграциядә (VLSI) җитештерү өчен критик.

2.3 Чистарту һәм этап

Чистарту һәм этап җибәрү - ярымүткәргеч җитештерүдә җайланмаларның өслек сыйфатын тәэмин итү өчен ачкыч. Аммония бу процессларда, аеруча Плазмада киң кулланыла, штаплау һәм химик чистарту.

Плазмада аммиакта органик пычраткыч матдәләрне, оксид катламнарын, олылар өслегеннән чыгарырга булышу өчен, Аммоний кебек башка газлар белән берләштерелергә мөмкин. Мәсәлән, аммион кислород төрләре белән реактор белән реакция ясый, алар өске оксидларны эффектив рәвештә чыгару һәм киләсе процессларда тотрыклылыкны тәэмин итәләр.

Моннан тыш, Аммония чистарту процессларында эретүче булып эшли ала, химик реакцияләр яки процессның проблемалары начар булганга, вафуның югары сафлыгын саклап калу.

3. Ярымдагы ярымфектор сәнәгатендә Аммонияне өстенлекләре

Аммония ярымүткәргеч җитештерүдә берничә өстенлек бирә, аеруча түбәндәге өлкәләрдә:

3.1 Эффектив азот чыганагы

Аммоний - эффектив һәм саф азот чыганагы, нитроглы фильмнарны һәм допинг процессларын чистарту өчен тотрыклы һәм төгәл тәэмин итү бирә. Бу ярымүткәргеч җитештерүдә микро-масштаблы җайланмалар ясау өчен бик мөһим. Күп очракларда Аммония башка азот чыганагына караганда реактив һәм контрольдә тоела (азот газ оксидлары кебек).

3.2 Искиткеч процесс белән идарә итү

Аммонияне реактивалылык аңа төрле катлаулы процессларда реакция ставкаларын һәм фильм калынлыгын төгәл контрольдә тотарга мөмкинлек бирә. Аммонийның, температура, реакция вакытын көйләп, фильмнарның калынлыгын, бердәмлекне, бердәмлеккә һәм структур характеристикаларын төгәл контрольдә тотарга мөмкин, шулай итеп җайланмалар чыгыш ясауын оптимальләштерергә мөмкин.

3.3 бәясе - эффективлык һәм әйләнә-тирә мохит дуслыгы

Башка азот чыганагы газлары белән чагыштырганда, аммича бәядә чагыштырмача түбән, югары күләмле ярымүткәргеч җитештерүдә бик өстенлекле итү. Моннан тыш, Аммония эшкәртү һәм кабат куллану, аның экологик дуслыгына өлеш кертү.

4.. Куркынычсызлык һәм экологик проблемалар

Ярымуар җитештерүдә аның мөһим роленә карамастан, Аммоний потенциал куркынычларын тәкъдим итә. Бүлмә температурасында Аммония - газ, һәм аның сыек формасында, бу бик нык куркынычсызлыкны тәэмин итүне таләп итә торган катгый куркынычсызлык таләп итә.

1. Саклау һәм транспорт: Аммонияне түбән температурада һәм югары температурада сакланырга тиеш, спектакльләрне булдырмас өчен махсус контейнерлар һәм торба үткәргечләре ярдәмендә.
2. Оператив куркынычсызлык: Ярымүткәргеч җитештерү линияләрендәге операторлар акросияләр, перчаткалар, газ маскалары, кеше организмына аммитьус экспозициясен булдырмас өчен.
3. Газны эшкәртү: Аммонияне куллану зарарлы калдыкларны китерергә мөмкин, шуңа күрә калдык газ эшкәртү системалары булырга тиеш, бу эмиссия экологик стандартлар белән очрашуларын тәэмин итү өчен булырга тиеш.

Ярымүткәргеч җитештерү процесслары алга барган саен, аммихтагы роле үсешне дәвам итәчәк. Бу аеруча Nano-масштаблы интеграль схемаларда, квантны исәпләү чипларында, алдынгы пакетлар технологияләрендә дөрес. Өстәвенә, әйләнә-тирә мохит кагыйдәләре катгый булып, яшел җитештерү һәм аммиак эшкәртү технологияләрен үстерү тармакның киләчәгендә критик факторга әйләнәчәк.

Ярымфактор сәнәгатендәге Аммониянең гаризалары хәзерге электроника үсеше өчен ныклы нигез бирә. Productionитештерү нәтиҗәлелеген күтәрүдә, җитештерү чыгымнарын киметүдә, җитештерү чыгымнарын киметү, технологик инновацияләрне киметү ролен алыштыра алмый. Технология алга киткәндә, Аммониянең гаризасы киңәячәк, ярымтимод сәнәгатенә зур эффективлыкка һәм экологик тотрыклылыкка каршы торачак.

Аммоний, Мөһим химик реагент буларак, ярымүткәргеч җитештерүдә төп роль уйный. Нитрид фильмнарын, допинг, допинг, чистарту процессларын чистарту өчен бик мөһим. Ярымүткәргеч технологиянең дәвамлы барышы белән Аммониянең гаризалары үсү өчен, технологик алгарышка зур өлеш кертә һәм экологик чиста якка булышу өчен зур өлеш кертәчәк.