Без сәнәгать газлары җитештерү буенча махсуслашкан Кытайда заводта йөрдек. Минем ваемтаж ноктасымнан мин тулы технологиянең искиткеч эволюциясенә шаһитлек бирдем, күпчелек кеше беркайчан да күрми: ультра биек чисталык газлары. Телефоныгызда, компьютерда, машинада кечкенә микрочиплар заманча инженерия микрохлары микрохлары микрохлар микрорелары, ләкин аларның барлыкка килүе бу белгеч газларның төгәл һәм кимчелексез мөмкин түгел.

Сез сыйфатның мөһимлеген һәм ышанычлы тәэмин итү чылбырын аңлыйсыз, ләкин сез гаҗәпләнергә мөмкин Нигә Ярымүткәргеч газлар стандартлары бик күп. Ни өчен аргон җибәрү 99,99999% чиста булырга тиеш? Бу кулланма ярымүткәргеч уйлап чыгаручы дөньядагы пәрдә артка тартылыр. Кулланылган, эшләгән конкрет газларны өйрәнербез, һәм ни өчен аларның чисталыгы - иң критик фактор. Ахырда, сез чыганактагы продуктларны яхшырак аңларсыз һәм клиентларыгызга кыйммәтен аңлар өчен яхшырак тәэмин ителерсез.

Ни өчен махсус газлар ярымүткәргеч уйлап чыгарган өчен бик критик?

Бер генә тоткыч аш ашаган комсыз ашлык бөтен структураның җимерелүенә китерергә мөмкин. Бу кирәкле төгәллек дәрәҗәсе Ярымүткәргеч җитештерү сәнәгать. Бу тармакның "Төзелеш блоклары" кирпеч һәм миномет, ләкин атомнар түгел, һәм "кораллар" еш кына югары махсус газлар. Бөтен уйлап чыгару ан Интеграль схема Микроскопик масштабта була, анда материаллар катламнары, еш кына берничә атом калын гына, а Алладан китәләр кремикон вафер.

Болар Ярымүткәргеч процесслары искиткеч сизгер. Теләсә нинди кирәкмәгән кисәкчәләр яки химик пычраклык Микрочипның нечкә архитектурасын боза ала, аны файдасыздер. Монда кайда Газалар кулланыла. Алар USTRA-Чиста мохит булдыралар, яңа катламнар өчен чимал бирә, һәм электр өчен катлаулы юлларны кисәртә торган химик "масштаблы" акт. Бу Ярымүткәргеч җитештерү процессы катлаулы бию Химик реакцияләр, газлар - әйдәп баручылар. Бу газларның даими, ышанычлы һәм гаҗәеп тәэмин ителмәгән, хәзерге электроника юк иде.

Бу ярымүткәргеч җитештерүдә кулланылган газлар сезнең стандарт сәнәгать продуктлары түгел. Алар чистарту авыр булган чисталык дәрәҗәсе белән танышалар, еш аңлый, еш кына миллиардларга яки триллионга хәтта өлешләргә үлчәнә. Чөнки спектакль Ярымүткәргеч җайланмалар турыдан-туры атом структурасын турыдан-туры бәйләнгән. Омаль булырга тиеш, кислород яки су парларын реактив молекуласы газ оксидлашырга, үзгәрергә мөмкин Электр үзенчәлекләре схема һәм кимчелекләргә алып барган. Шуңа күрә белгечлек газлары сәнәгате технология дөньясы бик мөһим.

Ярымуар җитештерүдә кулланылган газларның төп категорияләре нинди?

Без сөйләшкәндә Ярымүткәргеч җитештерүдә газлар, алар, гадәттә, аларның функцияләре нигезендә берничә төп категориягә керәләр. Бу төркемнәрне аңлау һәрберсенең ролен ачыкларга ярдәм итә газ комплекста уйный җитештерү процессы. Бу бер-ике газ кына түгел; заманча ярымүткәргеч фаб 30дан артык төрле функциягә газлар һәм катнашмалар.

Беренче күпчелек газлар. Бу барлык объектта зур күләмдә кулланылган эш башлары. Алар турында фаборацион атмосфера дип уйлагыз. Иң еш очрый:

• Азот (n₂): Пычраткычларны чыгару һәм интерт мохит булдыру өчен палаталар һәм җиһазлар чистартылган өчен кулланыла.
• Кислород (O₂): Инсонсуляство булып эшләгән югары сыйфатлы кремиксид диоксиды (җанлы) катламнарны үстерү өчен кулланыла.
• Водород (h₂): Өслекләрне чистарту өчен кулланыла чүплек процесслар.
• Аргон (ар): Ан инерт газы Спутитер кебек процесслар өчен тотрыклы мохит булдыру өчен кулланыла.

Киләсе белгечлекләр, шулай ук ​​әйтелгән Электрон белгеч газлар. Бу бик конкрет, еш кына реактив Яисә куркыныч, зәгыйфь, газларны чыгару һәм чүпләү бурычларын үтәүче газлар. Алар кечерәк күләмдә кулланыла, ләкин күпкә югарырак, бик сак булган. Болар алга таба төркемнәргә бүленергә мөмкин:

• Саклау газлары: Бу газлар, Силан кебек (SHU₄), чип катламнары төзү өчен кулланылган материал чыганагы. Алар череп, а нечкә фильм материал кремикон вафер.
• Etchant GASES: Болар Рейтор газлар материалны сайлап алу өчен кулланыла. Мисалларга углерод тетраплуорид кебек флюорин кушылмалары бар (CF₄) һәм водород хлорид (HCL). Алар кулланыла Эчинг процессы район үрнәген кисәргә.
• Допант газлары: Бу газлар "доп" өчен кулланыла кремний, бу конкрет белән белә торып пычраклык а җәза) аны үзгәртү Электр үзенчәлекләре. Бу транзисторлар булдыру бик мөһим. Уртак Дорит газлар Арсин (Ash₃) һәм Фосфинны кертегез (PH₃).

Азот газы ярымүткәргеч фаборста булып эш итә?

Әгәр дә сез А белән йөрергә тиеш булсагыз Ярымүткәргеч уйлап чыгарыла Объект, иң моби газ Сез очрашыр идегез Азот. Бу һәрвакыт төп вакытта катнашмый Химик реакцияләр Чипны төзи торган бу аның роле бу реакцияләр өчен шартлар тудыру өчен бик кирәк. Азот кулланыла беренче чиратта аның инерциясе өчен; Башка элементлар белән бик тиз реакция ясамый, аны иң яхшы "тутыргыч" газ.

Өчен төп куллану Азот Интерт атмосферасын чистарту һәм булдыру. Теләсә нинди сизгер ярымүткәргеч процесс Башлый ала, палата кислород, су парлары, тузан кебек пычраткыч матдәләрдән азат булырга тиеш. Ышаныч Азот палата аша бу кирәкмәгән элементларны чыгарырга. Бу очраклы оксидлашу яки аны җимерәчәк башка реакцияләрне булдырмый вафер. Бу принцип коралларга һәм транспорт подсларына кагыла (бу битараф дип атала) кремний дулкыннары төрле этап арасында Manufactитештерү процессы.

Моннан тыш, Азот критик роль уйный фотолитография, район дизайнын вафка бастыру процессы. Хәзерге тирәнлек ультрафиолетта (DUV) литография, линза белән вафер Ультра саф белән тутырылган Азот (яки Аргон) Кыска дулкын озынлыгына һава белән сеңдермичә узу өчен. Бу инерт мохитсез, процесс мөмкин булмас иде. Минем тәҗрибәмдә, өзлексез, югары күләмгә сорау һәм зур чисталык таләп итә Азот Тапшыру - сөйләшүләр түгел.

Аргон камил мохит булдыруда нинди роль уйный?

Азот кебек, Аргон затлы газ, бу химик инерт. Ләкин, Аргон кулланыла Авырткан атом авырлыгы өстенлек биргән очракта. Бу кушымталарның иң мөһиме - чыдам чүплек, яки төкергән. Бу физик пар чүп процессы чыбыкны формалаштырган нечкә металл фильмнар салу өчен кулланыла Интеграль схема.

Спутерда, тутырылган вакуум палатада югары көчәнеш кулланыла Аргон газы. Бу уңай зарядлы плазма тудыра Аргон Ионнар. Бу ионнар тизләнде һәм без салынган металлдан ясалган "бакчадан ясалган максатка" (бакыр яки алюминий кебек). Бәрелешнең көче металл атомнарны максаттан чыгарып, аннары палата аша очып, палатада очалар кремикон вафер нечкә, бердәм катламда. Аргон Моның өчен бик яхшы, чөнки максатлы атомнарны эффектив тарату авыр, ләкин химик инерт, ул металл фильмы белән реакция ясар, ул булдырырга булыша. Бу бик яхшы тәэмин итә Металлларны чабу өчен мохит.

Тагын бер төп куллану Аргон плазмада. Монда Эчинг процессы, Аргон еш очраталар реактив etchant газ. Бу Аргон Плазманы тотрыклыландырырга һәм физик яктан бомбардлаштырырга булыша, химик эфирга булышу һәм материалда төгәлрәк, вертикаль кисүләр ясау. Ышанычлы тәэмин итү Аргон газ цилиндрлары теләсә нинди учреждение өчен металлизация яки эчәкне башкаручы өчен бик мөһим.

Видрогорның чүпләү һәм чистарту өчен ничек кулланыла аласыз?

Аз, аргон динсезләр өчен бәяләнгән вакытта, Водоген югары булу өчен бәяләнә реактив, ләкин бик чиста һәм контрольдә тотылган. Водород кулланыла киң Ярымүткәргеч җитештерү өслекләрне чистарту һәм билгеле бер төрдә чүплек эпитаксиаль үсеш дип атала. Аның кечкенә атомы зурлыгы аны үтеп керергә һәм башка газлар белән эшләргә мөмкинлек бирә.

Яңа катлам а вафер, өслектә атом дәрәҗәсенә кадәр өслек бик чиста булырга тиеш. Водород газы теләсә нинди туган оксидны чыгару өчен "водород пешерүче" дип аталган "водород пешерүче" дип атала (семний гыйффәтле диксид катламы). кремний өслеге. Бу водоген кислород белән реакция, су парларын (H₂o) формалаштыр, аннары палатадан, бу палатадан чыгарыла, бу палатадан чыгарылды кремний киләсе адымга өслек.

Водоген шулай ук ​​төп компонент эпитаксиаль үсеш (яки "EPI"), бер кристаль катлам үстерүче процесс кремний өстендә кремикон вафер. Бу яңа катламның камил кристалл структурасы бар һәм төгәл контрольдә тотылды җәза дәрәҗәләр. Водоген оператор булып эшли газ өчен кремний Чыганак газ (силан яки трихлорозилан кебек). Бу шулай ук ​​чиста үсеш мохитен теләсә нинди кисле кислород атомнарын тәэмин итеп тәэмин итә. Бу эпитаксиаль катламның сыйфаты югары мәшәкатьле процессорларның чыгышыннан бик мөһим, чистарту Водород цилиндр бөтенләй тәнкыйть бирегез.

Нәрсә ул "Этча газлар һәм микроскопик схемалар ничек?

Әгәр дә катлам катламнар төзү турында булса, эхчинг аларны район үрнәген булдыру өчен сайлап алу турында бара. Моны микроскопик скульптинг дип уйлагыз. Patternрнәкне кулланып фотолитография, etchant газлар тәэмин итү өчен кулланыла Химик - сакланмаган өлкәләрдән материалны чыгару дигән сүз вафер. Бу иң катлаулы һәм критик адымнарның берсе Чип җитештерү.

Бу Эчингта кулланылган газлар Процесс гадәттә фтор, хлор, яки броминага нигезләнгән кушмалар. Сайлау газ материалга бәйле.

• Фтор нигезендә газлар (мәсәлән, cf₄, sf₆, nf₃) Эчинг өчен бик яхшы кремний һәм кремикон диоксид.
• Хлор нигезендәге газлар (Э.Г., CL₂, BCL₃, HCC) алюминий кебек металл эшкәртү өчен еш кулланыла.

Болар Рейтор газлар плазма палатасына кертелә. Плазма сындыра газ молекулалар югары реактив Ионнар һәм радикаллар. Бу радикаллар аннары өслек белән реакция вафер, яңа үзгәрүчән кушылма формалаштыру, ул материаль яктан "эче". Кирәкле төгәллек бик зур; Максат Эч туры аста (анисотропик) бизәкле катламны тартып булмый. Заманча Ярымүткәргеч фабс Комплекс кулланыгыз Газ катнашмалары Бу ирешү өчен җентекләп контрольдә тотылган плазма шартлары.

Химик парлар нәрсә ул (CVD) һәм нинди газлар катнаша?

Химик парлаштыру (CVD) - нигез ташы чүп процессы кертә Ярымүткәргеч җитештерү. Бу төрле изоляцион һәм үткәргечле нечкә фильмнарны булдыру өчен кулланыла торган төп ысул. Ярымүткәргеч җайланма. Төп идея - а газ (яки газларның катнашмасы) җылытылган вафер. Җылылык тудыра газ Кирәкле материалның каты фильмы калдыру, вафе өслегендә.

Бу реакцияләрнең һәрберсе искиткеч тотрыклы шартлар таләп итә Ышаныч газлары. Мәсәлән, полисиликон катламын Силан кулланганда, теләсә нинди кислород пычраклык белән газ Агым кремний газидына формалашырга, катламның үткәргеч үзлекләрен җимерәчәк. Шуңа күрә без, тәэмин итүче буларак, бик игътибар итегез чистарту Аларны анализлау чүплек газлары. Бөтен китапханәсе Зур чистарту белгечлеге газлары Без бу төп таләпләргә туры килергә әзер.

Ни өчен ультра-югары чисталык ярымүткәргеч газлары өчен иң мөһим фактор?

Мин моны артык арттыра алмыйм: Ярымүткәргеч сәнәгате, Чисталык Барысы да. Термин Ышаныч 99% яки хәтта 99,9% дигән сүз түгел. Өчен Ярымүткәргеч газлар, без сөйләшәбез Ультра-югары чисталык (UHP), гадәттә, гадәттә 99,999% (еш "биш нин" дип атала) яки югарырак. Кайбер критик өчен процесс газлары, Тотрыклылык 99,99999% (алты нин ") яки хәтта югарырак булырга мөмкин. Сәбәбе гади: пычраткыч матдәләр эшне үтерә.

Заманча микрочипның үзенчәлекләре Нанометрларда үлчәнәләр (метрлы миллиардлардан). Бу масштабта бер чит ил кисәкчәләре яки кирәкмәгән молекуласы супергайвер уртасында олырак. Ан пычраклык булдыра ала:

• Электр үзенчәлекләре: Адашкан натриум ион, транзисторның бусагистрал көчәнешен үзгәртә ала, аны дөрес булмаган вакытта сүндерергә яки сүндерергә этәрә.
• Структур җитешсезлекләр булдырыгыз: Кислород молекуласы эпитаксиаль үсеше вакытында иң яхшы кристалл тактасын боза ала, электрон агымга комачаулый торган "өземтә" на.
• Кыска схемаларга китерә: Металл кисәкчәсе ике күрше үткәргечне җиңә ала, үлгән кыска.
• Уңышны киметү: Күпчелек пычраткыч матдәләр, һәрберсендә кимчелекле чипс саны арта вафер, кем турыдан-туры тетрәнү.

Шуңа күрә, шуңа күрә, җитештерүче буларак, безнең иң зур инвестицияләр чистарту һәм аналитик җиһазларда. Һәр партия Газ булырга тиеш Аның клиентлары кирәк булган триллион (PPB) (PP) (PP) (PP) (PP) белән танышуын тәэмин итү. Бу Highгары чисталык газларына сорау барысы да куя махсус газ базары Электроника өчен.

Биек чиста газларның сыйфатын һәм ышанычлы тәэмин итүне ничек тәэмин итәргә?

Марк кебек сатып алулар офицеры өчен бу иң мөһим сорау. Зур бәя мәгънәсез газ Сыйфат туры килми, җибәрү соң. Мин куркыныч хикәяләр ишеттем: моди анализ сертификатлары, яки җибәрү тәэмин итүче тәэмин итүчеләр белгечлекләр Атналарда таможняда тоту, җитештерү линиясенә китерә. Бу авырту нокталарына мөрәҗәгать итеп, безнең бизнес фәлсәфәсе.

Сыйфатын тәэмин итү чистарту процесс. Без криоген дистиллеры кебек алдынгы системаларда һәм махсуслаштырылган адсорбат материалларын кулланабыз. Ләкин процесс анда бетми. Иң критик адым - тикшерү. Без заманча цилиндрны сынау алдыннан газ хроматографиясе (GC-MS) кебек заманча аналитик корал кулланабыз. Без клиентларыбызны һәр партия өчен җентекләп һәм чын анализның җентекле һәм чын таныклыгы белән тәэмин итәбез, гарантияли Газ сафлыгы.

A ышанычлы тәэмин итү Чылбыр тигезләмәнең калган яртысы. Бу үз эченә ала:

• Силиндрны әзерләү: Өчен цилиндрлар Ультра-югары чисталык газлары Контейнер үзе пычрануны тәэмин итү өчен махсус чистарту һәм паспация процессы кичерә газ.
• Акыллы логистика: Без югары басым һәм кайвакыт куркыныч материал җибәрү кагыйдәләрен аңлыйбыз. Без шома гореф-гадәтләрне чистарту өчен кирәкле документлар бирәбез.
• Чиста аралашу: Безнең сату һәм ярдәм коллективлары даими яңартулар бирергә өйрәнәләр. Сез заказның торышын һәрвакыт белерсез, җитештерүдән соңгы тапшырудан. Без алдан әйтеп була Highгары чисталык газлары белән тәэмин итү клиентларыбыз өчен үзләренең үз җитештерү графикларын идарә итү өчен бик мөһим. Без хәтта төрле тәкъдим итәбез Газ катнашмасы Конкрет процесс ихтыяҗларын канәгатьләндерү вариантлары.

Ярымүткәргеч индустриядә газлар өчен киләчәк нәрсә көтә?

Бу Ярымүткәргеч сәнәгате беркайчан да туктама. Мур законы белән алдан әйтелгәнчә, чипмерс гел кечерәк, тизрәк, көчлерәк җайланмалар тудырырга этәрә. Бу туктаусыз инновация турыдан-туры тәэсир итә Газлар һәм катнашмалар Аларның уйларында кулланыла. Безгә күченгәндә Киләсе буын ярымүткәргеч Технология, үзенчәлекле зурлыклар булган, берничә нанометрга кысыла, газ чисталыгы таләпләре тагын да экстрема булачак.

Без яңа материалларга тенденцияне күрәбез кремний, Gallium Nitriide (ган) кебек һәм кремний кремний карбайды (SIC), бу яңа һәм төрле таләп итә процесс газлары Эчинг һәм чүпләү өчен. Финлит һәм капкалы-барап-тирәдәге катлаулы 3D архитектурага күченү бар (Гаа) Транзисторлар, бу тагын да зуррак төгәллек таләп итә чүплек һәм Эч адымнар. Бу белгечлек Сәнәгать яңа молекулаларны үстерү һәм тагын да югарырак дәрәҗәләргә ирешү өчен индустрия чистарту.

Тапшыручы буларак аңлавымнан килгән киләчәк партнерлык турында. Бу цилиндрны сату өчен җитәрлек түгел газ. Без клиентларыбыз белән тыгыз эшләргә тиеш Электроника җитештерү киләчәк технология юлларын аңлау. Бу безгә яңа кирәклеген көтәргә мөмкинлек бирә Ышаныч газлары һәм аларны тәэмин итү өчен җитештерү һәм аналитик мөмкинлекләргә инвестицияләр салыгыз. Күренми торган геройлар ярымүткәргеч Дөнья - газлар - технологик алгарышның алгы сафында булуын дәвам итәчәк.

Төп юл

Ярыштылучы ярымүткәргеч базарлыгы өчен сәнәгать газлары чыганагы булганда, монда иң мөһим әйберләр:

• Чисталык - Пирамунт: Иң критик фактор Ультра-югары чисталык. Пычраткыч матдәләр, миллиардларга караганда, хәтта миллиард дәрәҗәдәге, катастрофик җайланманың уңышсызлыгына китерергә мөмкин һәм җитештерү уңышын киметергә мөмкин.
• Газаларның махсус эш урыны бар: Газлар алышынмый. Алар инерт атмосфераларын булдыру кебек аерым процесслар өчен кулланыла (азот, аргон), төзелеш катламнары (чүплек газлары силан кебек), һәм схемаларны уеп ясау (Etchant газлары cf₄ кебек.
• Тапшыру чылбыры критик: Ышанычлы тәэмин итүче продукт сату гына түгел. Алар каты сынау аша сыйфатны тәэмин итәләр, чын сертификатны тәэмин итәләр, катлаулы логистикалар белән идарә итәләр, һәм кыйммәтле җитештерүне булдырмаска урынлы элемтәләрне саклап калалар.
• Техник белем кыйммәт өсти: Аңлау Нигә билгеле бер газ кулланыла һәм Нигә Аның чисталыгы бик мөһим, сезгә клиентларыгыз өчен эффектив партнер булырга, сыйфатын акларга һәм озак вакытлы ышанычны төзергә мөмкинлек бирә.
• Тармак үсә: Кечерәк һәм көчлерәк чипс өчен этәргеч яңа, хәтта сафрак таләпне аңлата белгечлекләр үсүен дәвам итәчәк. Алга таба тәэмин итүче белән хезмәттәшлек итү - алда тору ачкычы.