Кесәңдәге смартфон, сезнең өстәлдә компьютер сезнең өстәлдәге алдынгы системалар, аның берсе дә белми торган газларның тавышсыз, күренми торган эшеннән башка мөмкин булмас иде. Индустриаль газ заводы хуҗасы, мин, Аллен, бу критик материалларның заманча технология түшәмеләрен ничек формалаштырганын күрдем. Марк Шен кебек, катлаулы глобаль тәэмин итү чылбырына йөри торган бизнес лидерлары өчен бу газларны аңлау яңа мөмкинлекләрне ачу өчен ачкыч. Бу мәкалә бу өлкәдәге иң мөһим уенчыларның берсенә сезнең комплекслы җитәкче сезнең тулы кулланма: Азот өчпочмак (NF₃). Без бу көчле сүзләрне кире кагарбыз газ, аның мөһим ролен өйрәнегез Ярымүткәргеч җитештерү процессы, һәм ни өчен аның сыйфаты һәм тәэмин итүе бөтен өчен иң мөһиме икәнен аңлат Электроника җитештерү сәнәгать.

Нитроген өчлек (NF₃) газы нәрсә?

Беренче карашка, Азот өчлек, еш кына аның химик формуласы белән күрсәтелгән Nf₃, бүтән сәнәгать кебек тоела газ. Бу төссез, ялансыз, бераз хәрәкәтсез ис кушылма. Ләкин, дөньяда Алга киткән җитештерү, бу газ югары җитештерүчән корал. Бу синтетик рәвештә җитештерелгән кушылма бер азот атомнан ясалган фтор атомнар. Аның көче өчен ачкыч бу структурада. Бүлмә температурасында, Nf₃ чагыштырмача тотрыклы һәм инерт, үзгәрүчән газлар белән чагыштырганда, аны тагын да үзгәрүчәнлек белән йөрергә һәм эшләргә этәрү.

Тылсым энергия кулланылганда була. Эчендә югары энергия шартларында ярымүткәргеч Aus җитештерү коралы, мәсәлән плазма Палата, Nf₃ молекулалар декомпоз. Алар аерылып, югары реактив фтор радикаллар. Аның турында микроскопик масштабта контроль шартлау кебек уйлагыз. Бу бушлай фтор Атомнар искиткеч материаллар белән реакциядә һәм бетерүдә бик эффектив эффектив, аеруча кремний Аның кушылмалары. Сезгә кирәк булганда тотрыклы булу сәләте реактив теләгәндә Азот өчплек төгәл дөньяда бәяләп бетергесез актив Чип җитештерү.

Бу уникаль исемлек ни өчен Nf₃ заманча нигезгә әйләнде Ярымүткәргеч уйлап чыгарыла. Аның тотрыклылыгы куркынычсызлыкны һәм ышанычлылыкны тәэмин итә, аның реактивлыгы җитештерүчеләргә кирәкле югары спектакльне һәм чыгаруны чыгаруны тәэмин итә. Без тирәнрәк дега барганда, сез бу гади тавышны күрерсез газ Earthирдәге иң катлаулы җайланмалар барлыкка китерергә мөмкинлек бирә.

Ни өчен ярымүткәргеч индустрия өчен белгечлек газлары кирәк?

Мөһимлеген аңлау Nf₃, Безгә башта киң рольне бәяләргә кирәк газлар бик мөһим өчен Ярымүткәргеч сәнәгате. Җитештерү Интеграль схема эскиз күләменең картинасында бина бөгерүгә охшаган. Бу төрле материалларның дистәләгән ультра-нечкә катламнарын өстәү һәм бетерү процессы кремний вафер. Яланаяк тудырудан һәрбер адым вафер Соңгы чипка, махсус контроль атмосферасы белән таяна электрон газлар.

Бу газлар берничә критик функцияне башкара. Кайберләре, кебек аргон һәм гелий, инертрарт оператор газлары буларак кулланыла, тотрыклы, реактив мохит булдыру һәм тагын да реактив газлар эретү өчен. Башкалар өчен кулланыла чүплек, кайда а газ кулланыла депозит нечкә материал фильмы вафер. Мәсәлән, химиктә Пар Чүплек (Cvd), Газалар чипның схемасына бер өлешкә әйләнә торган каты фильм булдырырга реакция ясыйлар. Аннары эхьтинг газлары бар, кебек Nf₃, бу катламнарда төгәл чыгыш ясау өчен, электр энергиясе агып чыгу өчен катлаулы юллар тудыра.

Даими, ультра-Ышаныч Бу төрле газларның белән тәэмин итү, бөтен Manufactитештерү процессы тукталыр иде. Хәтта минускул пычраклык а газ Сугыш партиясен җимерергә, миллион долларлык долларга төшә ала. Шуңа күрә Ярымүткәргеч җитештерүчеләр газ белән тәэмин итүчеләренең сыйфатына һәм ышанычлылыгына искиткеч сизгер. Чисталыгы газ турыдан-туры сыйфатка тәрҗемә ителә һәм җитештерү уңыш соңгы продукт.

Ярым җитештерү процессларында NF₃ газы ничек кулланылган?

Азот өчлек ике башлангыч, критик кушымталар бар Ярымүткәргеч җитештерү процесслары: Плазма Эчинг һәм палата чистарту. Ике эш процессорларыннан югары җитештерүчән микрочиплар булдыру өчен икесе дә бик мөһим НАН Флеш хәтер.

Башта, әйдәгез эхәр сүзнең. Кебек материал катламыннан соң кремний диоксид а вафер, Яктылык кулланып, үрнәк планлаштырылган. Бу Эч Чыннан да, сакланмаган өлкәләрдән материалны бетерә. Nf₃ палатага кертелә һәм булдыру өчен энергия плазма- зарядлы болыт ион кисәкчәләр һәм реактив фтор радикаллар. Бу радикаллар төгәл бомбардировать итәләр вафер өслек, реакция кремний һәм аны а газлы кушылма (кремний Тетраплуорид) Палатадан җиңел генә сузылырга мөмкин. Бу процессның төгәллеге - инженерлар кеше чәчләреннән меңләгән вакыт нечкәлектән торган үзенчәлекләрне кисәргә мөмкинлек бирә.

Икенче, һәм еш очрый, Азотның өчлек куллану а Газны чистарту. Вакытында Химик пар (Cvd) процесс, анда нечкә фильмнар үсә торган процесс вафер, Кирәкле материал процесс палатасының эчке диварларында да төзи. Бу калдык, еш кына ясалган кремний яки кремний нитриды, һәрберсен эшкәртү арасында тулысынча бетерелергә тиеш вафер яки сафлар партиясе. Notк икән, бу төзү киләсе көнне ялтырап тора һәм җир вафер, кимчелек куеп. Монда, Nf₃ буш палатага җибәрелә плазма кабызыла. Көчле фтор Катыләрне әйләндереп алу радикаллар палатасы диварларын чистарту калдык а газлы бертөрле җиңел алынды. Бу чистарту циклы саклау өчен критик җитештерү мохитенең чисталыгы һәм югары тәэмин итү җитештерү уңыш.

Альтернатива белән чагыштырганда NF₃ нәрсәдән өстен чистарту газы ясый?

Озак еллар, Ярымүткәргеч сәнәгате Перфлуорокарбоннарга (PFC) углерод тетраплуориды (CF₄) һәм Hexafluoroethane (C₂f₆) чистарту һәм этап алу өчен. Эффектив булса да, бу кушылмалар зур кимчелек белән килде: алар бик озын атмосфера гомере белән көчле парник газлары. Мәсәлән, C₂f₆ а Gultгары глобаль җылыну потенциалы (Gwp) һәм 10,000 ел атмосферада дәвам итә ала. Экологик кагыйдәләрне көчәйткәндә, тармакта яхшырак чишелеш кирәк иде.

Монда кайда Nf₃ ачык җиңүче итеп барлыкка килде. Шул вакытта Азот өчлек шулай ук ​​а Чүлмәкле парник газы, аның атмосфера гомере җитми (якынча 500 ел). Иң мөһиме, чистарту процессында бик нәтиҗәлерәк. Эчендә плазма Палата, күпкә югарырак Nf₃ Молекулес реактив рәвештә чыгарырга фтор PFCS белән чагыштырганда. Бу азрак аңлата Тикшерелмәгән газ палатадан арып бетә. Заманча Ярымүткәргеч фабс шулай ук ​​бөтен диярлек җимергеч системаларын урнаштырыгыз Тикшерелмәгән Nf₃ һәм зарарлы бертөрле азат ителгәнче газлар.

Higherгары эффективлыкның һәм нәтиҗәлерәк туганнар берләшүе - фактик Теплица газы кулланудан Nf₃ иске PFC газлары белән шөгыльләнәләр. Бу югары күрсәткеч - аның киң таралуының төп сәбәбе.

Ничек чиста чисталык азоты азотының үфесе чыгарыла?

Җитештерүче буларак, мин сезгә җитештерүне әйтә алам Nf₃ катлаулы һәм югары контроль җитештерү процессы. Максат - искиткеч саф чиста булган соңгы продукт булдыру - еш кына 99,9999% чисталык яки югарырак, чөнки хәтта кечкенә пычраклык өчен катастрофик булырга мөмкин Ярымүткәргеч җитештерү. Процесс бик реактив химик матдәләр белән эш итүне таләп итә, аеруча фтор.

Бу NF₃ җитештерү гадәттә реакцияне үз эченә ала Аммоний а кушылма азот бар) яки аммониум фтор Элемент белән кушылма фтор Реакторда газ Highгары температура. Бу реакция газларның катнашмасы чыгара, шул исәптән Nf₃, тикшерелмәгән материаллар, төрле продуктлар. Чын проблема, тәэмин итүченең тәҗрибәсе чыннан да күрсәтә, чистарту Киләсе этап.

Чимал газлы катнашма берничә аша уза чистарту кирәкмәгән кушмаларны чыгару өчен адымнар. Бу еш кына скайрбблингны үз эченә ала, AdSorption, кроген диниляция процесслары. Бу дистилла процессы, Атап алганда, бик түбән температураны кайнап торган нокталарына карап төрле газларны аеру өчен күп температураны куллана, аны изоляцияләү Nf₃ Калган пычраклардан. Everyәрбер адым соңгы продуктның сызыкның сызыклы спецификацияләренә туры килүен тәэмин итү өчен алдынгы аналитик җиһазлар белән күзәтелә ярымүткәргеч сәнәгать. Бу сыйфат белән идарә итүгә тугрылык - калганнардан ышанычлы тәэмин итүчеләрне аеру.

NF₃ GAS өчен куркынычсызлык һәм эшкәртү нинди?

Куркынычсызлык сәнәгатьтә төп өстенлек газ бизнес. Шул вакытта Nf₃ Бүлмә температурасында янып торган һәм чагыштырмача тотрыклы, ул аеруча югары температурада көчле оксидлаштыру агенты. Димәк, ул янып торган материаллар белән каты реакцияли ала һәм сак булырга тиеш. Төп куркыныч - аның васыви; сулыш алу газ зарарлы булырга мөмкин, шуңа күрә тиешле вентиляция һәм шәхси саклагыч җиһазлар кирәк Manufactитештерү мәйданы.

Бөтен тәэмин итү чылбыры, безнең заводтан клиентка кадәр ярымүткәргеч фаб, куркынычсызлык тирәсендә төзелгән. Nf₃ югары басым астында махсус эшләнгән корыч цилиндрларда ташыла. Бу цилиндрлар каты сынау һәм аларны истә калдыру өчен сертификацияләнә газ. Тапшыручы буларак, без куркынычсызлык мәгълүматлары таблицаларын (SDS) һәм клиентларыбызга тиешле саклагыч, тоташу һәм эшкәртү процедуралары белән тәэмин итәбез. Бу күрсәтмәләрне үз эченә ала Агым ставкасы контроль һәм агып чыгу системалары.

Марк кебек бизнес хуҗалары өчен, төп борчылуы - исбатланган куркынычсызлык рекорды булган тәэмин итүче белән хезмәттәшлек иткән шома һәм ышанычлы тәэмин итү чылбыры бик мөһим. Тапшыручыдан куркынычсызлыкны саклау яки чиста куркынычсызлык протоколлары булмау - зур кызыл байрак. Без продукт кына түгел, ә логистик ярдәм һәм куркынычсызлык тәҗрибәсен тәэмин итү буенча горурланабыз газ Кил, юлның һәр адымын куркынычсыз эш итәләр.

Азот белән тулыландырамы? Экологик йогынтысын аңлау.

Экологик аспектлар турында ачык булу бик мөһим Nf₃. Әйе, Азот өчлек көчле Теплица газы. Климат үзгәрүе буенча хөкүмәтара коллектив (IPCC) аның глобаль җылыну потенциалы (gwp) еланнан зуррак меңләгән тапкыр күбрәк булуын исәпкә алды диоксид 100 ел эчендә. Бу тармакның бик җитди каралуы.

Ләкин, хикәя монда бетми. Бу әйләнә-тирә мохиткә йогынты газ потенциалына гына түгел, ә аның күпме шартлы атмосферага бәйле. Алда әйтелгәнчә, Nf₃ бик эффектив. Заманча ярымүткәргеч Объект, күпчелек күп Газ кулланылган җитештерү процессында кулланыла яки җимерелә. Бу плазма Аны өзә, һәм теләсә нинди Тикшерелмәгән газ Бу арыганны җәяүле системасына җибәрелә. Бу системалар бик эффектив, еш кына калганнарның 99% тан артыгын юк итә Nf₃.

PFC-дан тармак сменасы Nf₃, Ашау технологияләрен киң таралган куллану белән берлектә, чыннан да чиста кимү булды Теплица газы җитештерү берәмлекләренә. Җаваплы Ярымүткәргеч җитештерүчеләр Газ белән тәэмин итүчеләр чыгаруны тәэмин итү өчен бергә эшлиләр. Бу чистарту процессын оптимальләштерүне үз эченә ала газ иң югары күрсәткеч өчен киселеш системаларын кирәк һәм саклау. Шулай итеп, шул вакытта Nf₃ көчле Теплица газы Лабораториядә, аның реаль дөнья экологик эзе Ярымүткәргеч җитештерү Ул алыштырылган альтернативаларга караганда җентекләп идарә итә.

Зур ярымүткәргеч фабс өчен шәһәр эшлекле буынының роле нинди?

Заманча масштаб Ярымүткәргеч җитештерү сокландыргыч. Мега-фабс дип аталган иң зур объектлар, бик күп газны кулланалар. Кайбер газлар, азот кебек, аз, аларны меңләгән цилиндрларда йөк ташучы түгел, ә турыдан-туры оешмага туры китереп, алар. Бу дип атала сайтта буын. Бик махсуслаштырылган һәм реактив өчен газ кебек Nf₃, Бераз төрле модель барлыкка килми: сайтта чистарту һәм анализ.

Тулы булганда NF₃ җитештерү Фабта аның катлаулылыгы аркасында зур масштаблы кулланучылар еш кына катлаулы сайтта газ белән идарә итү системалары. Күпчелек тәэмин итү Nf₃ фабка китерелә, аннары бу система соңгы этапны башкара чистарту һәм элекке өзлексез анализ газ кыйммәтле җитештерү коралларына керә. Бу сыйфатлы контроль катламын тәэмин итә, тәэмин итү линиясеннән пычрануны тоташтырырга. Бу алым күпләп сатып алуның икътисади өстенлекләрен сыйфат белән тәэмин итү белән берләштерә сайтта идарә итү.

Бу эгнек белән тәэмин итү модельләрен аңлау мөһим. Тапшыручы буларак, без үз хезмәтләребезне цилиндрларны тутырып киңәйттек. Без хәзер белән эшлибез Глобаль ярымүткәргеч җитештерүчеләр Газны проектлау һәм тормышка ашыру өчен, комплекслы газ тапшыру һәм идарә итү чишелешләре. Бу махсус булырга мөмкин җитештерү линиясе зур клиент өчен, махсус логистика, яки аларның интеграциясе сайтта системалар. Бу таләпчән ихтыяҗлар белән туры килгән сыгылучан һәм ышанычлы тәэмин итү чылбырын бирү турында XXI гасыр җитештерүче. Бу безнең стратегиянең төп өлеше, аеруча клиентларга хезмәт иткәндә җитештерү куәтләре.

Nf₃ сафлыгы чип җитештерүдә җитештерү уңышына ничек тәэсир итә?

Белән ярымүткәргеч Дөнья, "уңыш" - барысы да. Бу яхшы, эшче чиплар кремний вафер. Югары уңыш югары рентабельлелек дигәнне аңлата; Түбән уңыш финанс яктан зарарлы булырга мөмкин. Процесс газының чисталыгы, аеруча реактив газ кебек Nf₃, туры һәм драматик йогынты бар җитештерү уңыш.

Күз алдыгызга китерегез пычраклык дымлы кисәкчәләр (H₂o) яки бүтән газлы кушылма белән кушылган Nf₃. Сизгер эхч процесс вакытында пычраклык Чипның схемасында микроскопик кимчелек китерә торган химик реакциягә комачаулый ала. Ул блоклый ала Эч, ул материал калдыру, яки артык материалны чыгару, артык материалны чыгару. Яисә юл, нәтиҗәдә Интеграль схема соңгы тестын уңышсыз калдырачак. Сез миллионлаган транзисторны бер чипка ясыйсыз, хәтта бер "килүче җитешсез" пычраклык бөтен чипны файдасыз итеп күрсәтә ала.

Шуңа күрә без сыйфат контролендә шулкадәр зур инвестиция салабыз. Сертификатлы, Уналтра-Ышаныч Nf₃, без клиентларга ышаныч бирәбез газ кимчелекләр чыганагы булмас. Концентрацияне контрольдә тоту һәр компоненттан өлешчә өлешләргә кадәр өлешчә дәрәҗәдә Manufactитештерү процессы тотрыклы һәм кабатлана. Тотрыклы процесс алдан әйтелгән һәм биеклеккә китерә җитештерү уңыш, бу һәрберсе өчен төп максат ярымүткәргеч җитештерүче. Тәэмин итүче буларак безнең ролебез Югары чисталык махсус газлары үзгәрүчәннәрне бетерү һәм компромисс сыйфаты продукты бирү.

Азык белән тулыландыру белән нәрсә эзләргә кирәк?

Марк кебек сатып алулар офицеры өчен, критик материал өчен кирәкле тәэмин итүчене сайлый Nf₃ бәяләрне чагыштырудан ерак. Начар партнерлык-җибәрү тоткарланулары, сыйфатлы сораулар, начар аралашу - бик югары. Минем тәҗрибәмгә нигезләнеп, монда кызыклы факторлар:

Беренчедән, тикшерелгән сыйфат һәм сертификатлар. Ышанычлы тәэмин итүче һәр җибәрү белән анализ (coa) сертификаты бирәчәк, чисталык дәрәҗәсен җентекләп һәм ачыкланган пычракларны санап чыгачак. Алар 9001 кебек ISO халыкара стандартларга туры килергә тиеш. Аналитик мөмкинлекләре турында сора. Аларга кирәкле дәрәҗәдә пычракларны ачыклау җиһазлары бармы? ярымүткәргеч Кушымталар?

Икенчедән, тәэмин итү чылбыры ышанычлылыгы һәм ачыклык. Тотнакларны булдырмас өчен, тәэмин итүче логистик челтәргә күрсәтә аламы? Аларның артык булуы бармы? җитештерү куәтләре тотрыклы тәэмин итүне тәэмин итү өчен? Монда аралашу ачкыч. Сезнең тәэмин итүченең актив булырга тиеш, җибәрү турында яңалыклар һәм сорауларга җавап бирү өчен җиңел. Бу турыдан-туры юлсыз аралашуның авырту ноктасын туры китерә.

Ниһаять, техник экспертиза эзләгез. Яхшы тәэмин итүче продукт сатмый; Алар чишелеш күрсәтәләр. Алар сезнең кушымталарыгызны аңларга һәм техник ярдәм күрсәтә алам. Алар куркынычсызлык, эшкәртү, хәтта әйләнә-тирә мохит кагыйдәләре турында белемле булырга тиеш Газ кушымталары. Белемле партнер булып эш итә алган тәэмин итүче, сатучы гына, аннан чиксез кыйммәтлерәк. Бу экспертиза - озак вакытлы, керемле мөнәсәбәтләр нигезе. Без барлык клиентларыбыз өчен дә гадел түгел, бу партнер булырга омтылабыз газ Ләкин аның белән килгән җан тынычлыгы.

Төп юл

• Кирәк корал: Азот өчпочмак (NF₃) критик белгечлек газ плазма эхетлау һәм палата чистарту өчен кулланыла Ярымүткәргеч җитештерү процессы.
• Supгары күрсәткеч: Nf₃ Моннан тыш, һәм иске PFC газларына караганда экологик йогынты ясаң, аны алыштырды, биек куллану ставкалары һәм заманча астральлык системалары аркасында алыштырыла.
• Чисталык - рентабельлелек: Ультра-югары чисталык Nf₃ сөйләшеп булмый. Хәтта эзләр дә аудагы кимчелекләргә китерергә мөмкин кремний вафер, кискен киметү җитештерү уңыш һәм рентабельлелек Чип җитештерү.
• Куркынычсызлык һәм эшкәртү - ачкыч: Тотрыклы булганда, Nf₃ агулы һәм оксидлашу газ Бу махсус эшкәртү, сертификатланган цикриндерлар, куркынычсызлык протоколларын тирән аңлау таләп итә.
• Тапшыручы сайлау бик мөһим: Сайланганда Nf₃ Тапшыручы, тикшерелгән сыйфат, тәэмин итү чылбыры ышанычлылыгы, ачык аралашу, ачык аралашу, һәм бәядән берүзе тәэмин итү.