Huazhong Gas, kendimizi endüstriyel ve endüstriyel sanat ve bilimde uzmanlaşmaya adadı. özel gaz üretme. Günümüzün ileri teknoloji dünyasında, özellikle yarı iletken sanayi, talep ultra yüksek saflık gazlar sadece bir tercih değildir; bu mutlak bir zorunluluktur. Bu makale eleştirel dünyayı ele alıyor safsızlık analizi için elektronik özel gazlar. En ufak şeyin bile nedenini araştıracağız kirlilik muazzam sonuçlara yol açabilir, bu anlaşılması zor şeyleri nasıl tespit ederiz? iz safsızlıklarıve bunun işletmeler için ne anlama geldiği. Anlamak gaz yabancı maddeleri ve bunların yöntemleri arıtma ve tespit gibi ICP-MSmodern sistemlerin güvenilirliğini ve performansını sağlamanın anahtarıdır. elektronik. Bu parça zaman ayırmaya değer çünkü fabrika içinden birinin katı kuralların sürdürülmesine ilişkin bakış açısını sunuyor. elektronik özel gazların saflığı, bir temel taşı yarı iletken Ve elektronik sektörler.

Elektronik Özel Gazlar Tam Olarak Nedir ve Yarı İletken Üretiminde Saflıkları Neden Bu Kadar Önemlidir?

Elektronik özel gazlar, sıklıkla şu şekilde anılır: elektronik gazlar veya yarı iletken gazlar, benzersiz bir kategoridir yüksek saflıkta gazlar Ve gaz karışımları Elektronik bileşenlerin üretimindeki karmaşık süreçler için özel olarak tasarlanmıştır. Onları dijital çağın görünmez mimarları olarak düşünün. Bunlar yarı iletkenlerde kullanılan gazlar imalat, silikon katmanların biriktirilmesi için silan (SiH₄), hazne temizliği için nitrojen triflorür (NF₃) gibi çok çeşitli bir aralığı içerir. argon (Ar) inert bir kalkan olarak ve çeşitli doping gazları elektriksel özelliklerini değiştirmek için fosfin (PH₃) veya arsin (AsH₃) gibi yarı iletken malzemeler. Dönem "elektronik uzmanlığı", bunların özel uygulamasını ve kompozisyonlarında gereken aşırı hassasiyeti vurgulamaktadır. Bunlar her gün karşılaştığınız şeyler değil endüstriyel gazlar; spesifikasyonları çok daha katıdır.

Bunların en büyük önemi saflık abartılamaz, özellikle yarı iletken üretimi. Modern entegre devreler (IC'ler), inanılmaz derecede küçük olan ve genellikle nanometre (metrenin milyarda biri) cinsinden ölçülen transistörlere ve iletken yollara sahiptir. Bu mikroskobik ölçekte istenmeyen tek bir atom bile kirlilik— küçük bir akıntıdaki bir kaya gibi davranarak amaçlanan elektrik akışını bozabilir veya yapısal kusurlara neden olabilir. Bu, hatalı bir çipe yol açabilir ve tek bir plaka üzerinde milyonlarca çipin üretildiği bir endüstride, yaygın çipin finansal ve itibar kaybına yol açabilir. kirlenme çok büyük olabilir. Bu nedenle, elektronik özel gazların saflığı tümünün üzerinde durduğu temel bir sütundur. elektronik ve yarı iletken sanayi standları. Herhangi kirlilik cihaz performansını, verimini ve güvenilirliğini tehlikeye atabilir; gaz saflığı kontrol esastır.

Huazhong Gas olarak müşterilerimizin şunu anlıyoruz: yarı iletken endüstrileri "Beş dokuz" (%99,999) ve hatta "altı dokuz" (%99,9999) saflık seviyelerini karşılayan veya aşan gazlar sağlama konusunda bize güvenin. Bu şu anlama gelir: herhangi bir kirlilik milyonda parçadan (ppm) ve hatta milyarda parçadan (ppb) daha düşük konsantrasyonlarda bulunmalıdır. Bunu sağlamak ve doğrulamak yüksek saflık seviyeler karmaşık gerektirir arıtma teknikler ve en önemlisi gelişmiş safsızlık analizi yöntemler. Beklenmedik bir durumun varlığı kirlilik aynı zamanda sorunları da gösterebilir gaz silindirleri veya tedarik zincirinde tutarlı kalite kontrollerini hayati önem taşıyor. Biz Azot silindiri Örneğin, nitrojen birçok yarı iletken imalat adımında çok kullanılan bir gaz olduğundan, sunulan ürünler bu katı standartları karşılamaktadır.

Mikroskobik Eser Kirlilikler Bile Yarı İletken Üretim Hatlarını Nasıl Rayından Çıkarabilir?

Bazen bu kadar küçük bir şeyin nasıl olduğunu hayal etmek zordur. iz kirliliği Milyarda parça (ppb) ve hatta trilyonda parça (ppt) olarak ölçülen değerler bu kadar önemli sorunlara neden olabilir. Ama dünyasında yarı iletken üretim, bu mikroskobik kirleticiler büyük kötü adamlardır. Tipik bir yarı iletken üretim sürecini ele alalım: biriktirme (ince filmlerin yerleştirilmesi), dağlama (malzemenin çıkarılması) ve iyon implantasyonu (belirli atomların yerleştirilmesi) gibi düzinelerce, bazen yüzlerce hassas adımı içerir. Her adım, genellikle bir şirket tarafından oluşturulan veya sürdürülen, hassas şekilde kontrol edilen bir kimyasal ortama dayanır. elektronik özel gazlar. eğer bir kullanılan gaz Bu adımlardan birinde istenmeyen bir şey taşınır kirlilik, O kirlilik hassas katmanlarına dahil edilebilir. yarı iletken cihaz.

Örneğin, metalik yabancı maddeler Sodyum, demir veya bakır gibi maddeler çok düşük konsantrasyonlarda bile silikonun elektriksel özelliklerini büyük ölçüde değiştirebilir. İstenmeyen iletken yollar oluşturarak kısa devrelere yol açabilir veya elektron akışını engelleyen "tuzak" görevi görerek cihazı yavaşlatabilir veya tamamen arızalanmasına neden olabilirler. Bir kirlilik aynı zamanda bir proses adımında amaçlanan kimyasal reaksiyonlara da müdahale edebilir. Örneğin, bir kirletici Aşındırma gazında kullanılan aşındırma, az aşındırmaya veya aşırı aşındırmaya neden olarak levha üzerindeki kesin desenleri bozabilir. Etki yalnızca bireysel çipler üzerinde değil; tespit edilmemiş kirlilik Bu sorun, tüm gofret partilerinin hurdaya çıkarılmasına yol açarak milyonlarca dolarlık kayıplara, üretim gecikmelerine ve istikrarlı bir kaliteli malzeme tedariki sağlaması gereken Mark Shen gibi satın alma memurları için baş ağrısına neden olabilir. Bu, sağlamlığa olan kritik ihtiyacı vurgulamaktadır. eser safsızlık ölçümü.

Sorun şu ki, herhangi bir şey için "kabul edilebilir" seviye kirlilik küçülmeye devam ediyor yarı iletken cihaz özellikleri küçülür. Kabul edilebilir olarak kabul edilen şey kirlilik on yıl önceki seviye felaket olabilir kirlenme Bugün. Minyatürleştirmeye yönelik bu amansız çaba, gaz üreticileri ve analitik laboratuvarlar üzerinde iyileştirmeler yapma konusunda muazzam bir baskı oluşturuyor. tespit limiti Yetenekler. Eşit parçacık Çıplak gözle görülemeyen küçük toz parçacıkları olan safsızlıklar, fotolitografi adımlarında ışığı engelleyebilir veya levha yüzeyinde fiziksel kusurlar yaratabilir. Bu nedenle her potansiyeli kontrol etmek kirlilik – gaz halinde, metalik veya parçacık – çok önemlidir. kirlilik aralığı Sorunlara yol açabilecek etkenlerin sayısı oldukça fazladır ve kapsamlı çözümlere duyulan ihtiyacı vurgulamaktadır. gaz analizi.

En Yaygın Sorun Yaratanlar Nelerdir? Elektronik için Gazlardaki Safsızlıkların Belirlenmesi.

Hakkında konuştuğumuzda gazlardaki yabancı maddeler için tasarlanmıştır elektronik ve yarı iletken sektöründe, her biri ciddi zarar verme potansiyeline sahip çok çeşitli karakterlerle karşı karşıyayız. Bunlar tespit edilecek yabancı maddeler Genel olarak gaz, metalik ve partikül formlarına ayrılabilir. Bu yaygın sorun yaratanları anlamak etkili bir tedavinin ilk adımıdır. safsızlık analizi ve kontrol. spesifik mevcut yabancı maddeler gazın kendisine, üretim yöntemine, depolanmasına ve elleçlenmesine bağlı olarak değişiklik gösterebilir.

Gazlı safsızlıklar ana gazda başka gazlar mevcut mu? özel gaz. Örneğin, yüksek saflık nitrojen, ortak gaz halinde safsızlıklar oksijen (O₂), nem (H₂O), karbon dioksit (CO₂), karbon monoksit (CO) ve hidrokarbonları (CHₓ) içerebilir. Oksijen ve nem son derece reaktif olduklarından ve istenmeyen oksidasyona yol açabildiklerinden özellikle sorunludur. yarı iletken malzeme veya proses ekipmanı. Hatta bir inert gaz beğenmek argonbunlar eser düzeylerde mevcut olabilir. Şirket olarak sıklıkla bir analiz talebiyle karşılaşıyoruz. geniş yelpazedeki yabancı maddelerBu reaktif türler dahil. Örneğin yeteneklerimiz arasında karmaşık üretimler yer alıyor Gaz karışımı Potansiyel gazlar da dahil olmak üzere her bir bileşenin kontrol edildiği ürünler safsızlıklar, her şeyden önemlidir.

Metalik yabancı maddeler bir diğer önemli endişe kaynağıdır. Bunlar sodyum (Na), potasyum (K), kalsiyum (Ca), demir (Fe), bakır (Cu), nikel (Ni), krom (Cr) ve alüminyum (Al) gibi metal atomlarıdır. Hammaddelerden, üretim ekipmanlarından (boru hatları ve reaktörler gibi) ve hatta gaz silindirleri uygun şekilde tedavi edilmezse kendileri. Bahsedildiği üzere bunlar metal yabancı maddeleri elektrik performansını ciddi şekilde etkileyebilir. yarı iletken cihazlar. Bunları ppb veya ppt seviyelerinde tespit etmek, İndüktif Eşleşmiş Plazma Kütle Spektrometrisi gibi oldukça hassas analitik teknikler gerektirir (ICP-MS). Ayrıca şunu da dikkate almamız gerekiyor parçacık konu. Bunlar, içinde asılı duran küçük katı veya sıvı parçacıklardır. gaz akışı. Plakalarda fiziksel kusurlara neden olabilirler, ekipmandaki nozülleri tıkayabilir veya başka sorunlara yol açabilirler. kirleticiler. Filtreleme, partiküllerin uzaklaştırılmasında kilit öneme sahiptir ancak seviyelerinin izlenmesi de kapsamlı bir sürecin parçasıdır. gaz kalitesi programı. Bazı elektronik özel gazlar aynı zamanda aşındırıcı gazlar veya zehirli gazlar, bunların ele alınmasına ve analiz edilmesine başka bir karmaşıklık katmanı ekleyerek, kirlilik profil bu tehlikeleri şiddetlendirmez.

ICP-MS: Yarı İletken Gazlardaki Metalik Safsızlıkların Tespiti İçin Altın Standart?

Konuya gelince metalik safsızlıkların analizi içinde ultra yüksek saflıkta gazlar, İndüktif Eşleşmiş Plazma Kütle Spektrometresi veya ICP-MS, yaygın olarak lider bir teknoloji olarak kabul edilmektedir. Geniş bir aralıktaki verileri tespit edebilen ve ölçebilen güçlü bir analitik tekniktir. element safsızlıkları, çoğu zaman şaşırtıcı derecede düşük seviyelere iner; bazı elementler için trilyon başına parça (ppt) ve hatta katrilyon başına parça (ppq) düşünün. Bu hassasiyet tam da bu yüzden ICP-MS için o kadar önemli hale geldi ki yarı iletken tartıştığımız gibi, en küçük izlerin bile olduğu endüstri metalik yabancı maddeler zararlı olabilir ürün kalitesi.

Nasıl ICP-MS sihrini işe yaradı mı? Basit bir ifadeyle, numune gazı (veya gazdan türetilmiş bir çözelti), tipik olarak aşağıdakilerden oluşan çok sıcak bir plazmaya verilir. argon. 6.000 ila 10.000°C sıcaklıklara ulaşan bu plazma, gaz moleküllerini parçalayacak ve mevcut atomları iyonlaştıracak kadar enerjiktir. metalik yabancı maddeler. Bu iyonlar daha sonra plazmadan çıkarılır ve bir kütle spektrometresine yönlendirilir. Kütle spektrometresi çok hassas bir filtre gibi davranarak iyonları kütle-yük oranlarına göre ayırır. A dedektör daha sonra her spesifik kütle için iyonları sayar ve hangi elementlerin hangi miktarda mevcut olduğunu belirlememize olanak tanır. Yeteneği ICP-MS geniş bir yelpazede tarama yapmak için özel gazlardaki metalik yabancı maddeler aynı zamanda onu yüksek verimli hale getirir.

Sırasında ICP-MS inanılmaz derecede güçlü, özellikle de zorluklarla uğraşırken, zorlukları da yok değil yarı iletkenlerde kullanılan gazlar imalat. Yaygın bir yaklaşım, tuzak kurmaktır. safsızlıklar büyük miktarda gazdan bir toplama ortamına veya bir sıvıya aktarılır ve bu daha sonra analiz edilir. ICP-MS. Ancak doğrudan gaz direkt enjeksiyonu içine ICP-MS Sistem, özel arayüzler gerektirmesine rağmen belirli uygulamalar için de daha yaygın hale geliyor. Yöntemin seçimi spesifik duruma bağlıdır. gaz yabancı maddeleri ilgi konusu, matris gazı ve gerekli tespit limiti. Huazhong Gas olarak, en son teknolojiye sahip analitik ekipmanlara büyük yatırım yapıyoruz. ICP-MS Yetenekler, çünkü güvenilir sağlamanın gerektiğini biliyoruz safsızlık analizi veriler müşterilerimizin bize duyduğu güvenin temelidir yüksek saflıkta elektronik gazlar. Kesinliği ICP-MS sağlanmasına yardımcı olur gazların saflığı için sıkı talepleri karşılıyor elektronik sınıf malzemeler.

Elektronik ve Yarı İletken Endüstrileri için Değişmez Gaz Saflığı Neden Pazarlık Edilemez?

Tereddütsüz olma ihtiyacı gaz saflığı içinde elektronik ve yarı iletken endüstrileri sadece bir tercih değil; modern cihaz imalatının fiziği ve ekonomisi tarafından yönlendirilen temel bir gerekliliktir. Gibi yarı iletken cihaz özellikleri nanometre ölçeğine küçülür, her türlü veriye karşı hassasiyetleri kirlenme hızla yükseliyor. Bir kirlilik Daha eski, daha büyük cihazlarda göz ardı edilebilecek düzeydeki bu sorunlar, artık son teknoloji çiplerde büyük arızalara neden olabiliyor. Bu, verimi - gofret başına iyi talaş yüzdesini - doğrudan etkiler ve verimdeki küçük bir düşüş bile, bir süre boyunca milyonlarca dolarlık gelir kaybına yol açabilir. yarı iletken üretici.

Modern bir mikroişlemcinin veya bellek yongasının karmaşık mimarisini düşünün. Her biri minyatür mühendislik harikası olan milyarlarca transistör içerir. Bu transistörlerin performansı, transistörlerin kesin elektriksel özelliklerine bağlıdır. yarı iletken kullanılan malzemeler oldukça hassastır. safsızlıklar. Örneğin, belirli metalik yabancı maddeler silikon bant aralığına istenmeyen enerji seviyeleri getirebilir, bu da kaçak akımın artmasına veya taşıyıcı hareketliliğinin azalmasına yol açabilir. Bu, daha yavaş, daha az verimli veya tamamen işlevsiz cihazlar anlamına gelir. Gazlı safsızlıklar Oksijen veya nem gibi etkenler, istenmeyen oksit katmanlarının oluşmasına, film kalınlıklarının veya cihazın çalışması için kritik olan arayüz özelliklerinin değişmesine neden olabilir. Genel gaz kalitesi doğrudan şuna çevirir: ürün kalitesi ve güvenilirlik.

Ayrıca, elektronik ve yarı iletken endüstrileri Oldukça karmaşık ve pahalı üretim süreçleriyle karakterize edilirler. Tek bir yarı iletken imalat tesisinin ("fabrika") inşa edilmesi ve donatılması milyarlarca dolara mal olabilir. kullanılan gazlar bu maliyetli süreç adımlarının çoğunun ayrılmaz bir parçasıdır. eğer bir özel gaz bir şeyle kirlenmiş kirlilikbu durum yalnızca şu anda işlenmekte olan gofretleri etkilemez; aynı zamanda pahalı işleme ekipmanının kendisini de kirletebilir. Bu, temizlik ve yeniden kalifikasyon için daha uzun aksama sürelerine yol açabilir, maliyetlerin daha da artmasına ve üretim programlarının aksamasına yol açabilir; bu, müşterilerinin taleplerini karşılamak için zamanında teslimata güvenen Mark Shen gibi biri için büyük bir sıkıntı noktasıdır. Bu nedenle, elektronik özel gazların saflığı titizlikle safsızlık analizi tüm tedarik zinciri için kritik bir risk azaltma stratejisidir. Odaklanma yüksek saflıkta gazlar acımasız çünkü riskler inanılmaz derecede yüksek.

Özel Gazlardaki Metalik Safsızlıkların Analizinde Hangi Temel Zorluklarla Karşılaşıyoruz?

Analiz ediliyor metalik yabancı maddeler içinde özel gazlarözellikle kullanılanlar yarı iletken endüstri, benzersiz bir dizi zorlukla karşı karşıyadır. Birincil zorluk, bu maddelerin bulunduğu son derece düşük konsantrasyonlardan kaynaklanmaktadır. safsızlıklar genellikle milyarda parça (ppb) ve hatta trilyonda parça (ppt) aralığında sorunlu olabilir. Bu kadar küçük miktarların tespit edilmesi ve doğru bir şekilde ölçülmesi, yalnızca aşağıdakiler gibi son derece hassas analitik enstrümantasyonu gerektirmez: ICP-MS ama aynı zamanda olağanüstü derecede temiz analitik ortamlar ve harici ortamların girmesini önlemek için titiz numune işleme protokolleri kirlenme.

Önemli zorluklardan biri örnek tanıtımıdır. Birçok kullanılan özel gazlar içinde elektronik oldukça reaktif, aşındırıcı ve hatta piroforiktir (havada kendiliğinden tutuşur). Bunları güvenli ve etkili bir şekilde aktarma gazlar gibi analitik bir araca ICP-MS değiştirmeden numune gazı veya cihazın kirlenmesi, özel arayüzler ve kullanım prosedürleri gerektirir. Örneğin doğrudan enjekte etmek aşındırıcı gaz hidrojen klorürün (HCl) bir standarda dönüştürülmesi gibi ICP-MS sistem ona ciddi şekilde zarar verebilir. Bu nedenle, çarpan yakalama (gazın bir sıvı içerisinden kabarcıklandırılması) gibi dolaylı yöntemler safsızlıklar) veya kriyojenik yakalama sıklıkla kullanılır. Ancak bu yöntemler kendi potansiyel kirlenme veya mükemmel şekilde gerçekleştirilmezse analit kaybı. Seçimi taşıyıcı gaz gerekirse seyreltme için kusursuz olmalıdır saflık.

Diğer bir zorluk ise "matris etkisi"dir. Toplu gaz kendisi (örn. argon, nitrojen, hidrojen) tespitine müdahale edebilir iz safsızlıkları. Örneğin, ICP-MSyığından oluşan plazma gaz bazı hedeflerle aynı kütle-yük oranına sahip çok atomlu iyonlar oluşturabilir metalik yabancı maddeleryanlış pozitiflere veya hatalı ölçümlere yol açar. Analistler çarpışma/tepki hücreleri gibi teknikleri kullanmalıdır. ICP-MS veya bu spektral girişimlerin üstesinden gelmek için yüksek çözünürlüklü kütle spektrometresi. Ayrıca, niceliksel olarak kullanılan kalibrasyon standartları metal yabancı maddeleri Son derece doğru ve izlenebilir olmalı ve analizin güvenilirliğini sağlamak için tüm analitik süreç doğrulanmalıdır. safsızlık analizi sonuçlar. Bir tedarikçi olarak biz de ürünün bütünlüğü konusunda endişeleniyoruz. gaz silindirleri ve katkıda bulunma potansiyelleri metalik yabancı maddeler Bu da sürekli kalite kontrolünü gerektirir.

Gaz Değişim Cihazı Kullanmak Eser Safsızlık Ölçümünün Doğruluğunu Artırabilir mi?

Evet, gaz değişim cihazı kullanarak doğruluğunun artırılmasında gerçekten önemli bir rol oynayabilir. eser safsızlık ölçümüözellikle zorlu sorunlarla uğraşırken gaz matrisler veya ultra düşükleri hedeflerken algılama sınırları. A gaz değişim cihazıBazen matris eleme sistemi olarak da anılan sistem, esas olarak yığının seçici olarak çıkarılmasıyla çalışır. gaz (ana bileşeni numune gazı) konsantre olurken iz safsızlıkları ilgi çekici. Bu ön konsantrasyon adımı, aşağıdaki gibi sonraki analitik tekniklerin hassasiyetini önemli ölçüde artırabilir: ICP-MS veya gaz kromatografisi sistemler.

Birçoğunun ardındaki prensip gaz değişim cihazları yarı geçirgen bir membranı veya seçici bir adsorpsiyon/desorpsiyon mekanizmasını içerir. Örneğin, bir paladyum membranı hidrojeni seçici olarak uzaklaştırmak için kullanılabilir. gaz karışımı, diğerlerine izin vermek gazlardaki yabancı maddeler konsantre olmak ve bir yere geçmek dedektör. Benzer şekilde, belirli adsorban malzemeler belirli maddeleri hapsedebilir. safsızlıklar bir akıştan gaz daha sonra daha küçük bir temiz hacimde termal olarak desorbe edilebilen akış taşıyıcı gaz analiz için. Toplu miktarı azaltarak gaz ulaşmak dedektörBu cihazlar matris parazitlerini en aza indirir, arka plan gürültüsünü azaltır ve hedefin sinyal-gürültü oranını etkili bir şekilde artırır. iz safsızlıkları. Bu daha düşük bir değere yol açabilir algılama sınırı.

Faydaları gaz değişim cihazı kullanarak analiz ederken özellikle belirgindir elektronikteki yabancı maddeler Doğrudan işlenmesi zor olan veya analitik cihazlarda önemli parazitlere neden olan gazlar. Örneğin, oldukça reaktif bir ortamda eser miktardaki oksijeni veya nemi ölçmeye çalışırken özel gaz, A gaz değişim cihazı potansiyel olarak bunları ayırabilir safsızlıklar daha iyi huylu bir duruma taşıyıcı gaz beğenmek argon veya helyum onlar ulaşmadan önce dedektör. Bu yalnızca doğruluğu arttırmakla kalmaz, aynı zamanda hassas analitik bileşenleri de koruyabilir. Üreticisi olarak %99,999 Saflıkta 50L Silindir Ksenon Gazıistisnai durumların doğrulanmasında bu tür ileri tekniklerin değerini anlıyoruz. saflık nadir ve özel gazlar. Bu teknoloji kritik durumlarda yardımcı olur gaz arıtma ve doğrulama aşamaları.

Kritik Bağlantı: Yarı İletken Üretiminde Doğrudan Kullanılan Gazlarda Safsızlık Analizi.

The yarı iletken üretiminde doğrudan kullanılan gazlar üretim sürecinin can damarıdır. Bunlar sadece toplu gazlar nitrojen gibi ve argonama aynı zamanda geniş bir yelpazede elektronik özel gazlar örneğin epitaksiyel gazlar (örneğin silan, büyüyen kristal katmanlar için gerekli olan), aşındırma gazları (örn. desenlendirme için NF₃, SF₆, Cl₂), iyon implantasyon gazları (örneğin, doping için arsin, fosfin, bor triflorür) ve biriktirme gazları. Bunların her biri için gerekli gazlarkabul edilebilir düzeyi ve türü kirlilik sıkı bir şekilde tanımlanır çünkü herhangi bir sapma doğrudan üründe kusurlara dönüşebilir. yarı iletken gofret. Bu yapar safsızlık analizi bunlar için proses gazları Kesinlikle kritik bir kalite kontrol adımı.

Transistörlerde yaygın bir yalıtkan olan ince bir silikon dioksit tabakasının birikmesini düşünün. Eğer oksijen gaz kullanılır bu işlem için hidrokarbon içerir safsızlıklarkarbon oksit tabakasına dahil edilebilir, bu da onun yalıtım özelliklerini bozabilir ve potansiyel olarak cihazın arızalanmasına yol açabilir. Benzer şekilde, eğer bir gravür gaz beklenmedik bir şey içeriyor kirlilikaşındırma hızını veya seçiciliğini değiştirerek özelliklerin çok büyük, çok küçük veya yanlış şekillendirilmesine neden olabilir. Hatta bir kirlilik bir şekilde inert gaz beğenmek Argon gazı silindiri Püskürtme için kullanılan malzeme levha yüzeyine aktarılarak film kalitesini etkileyebilir. Bir etki kirlilik genellikle sürece özgüdür, yani kirlilik tek adımda tolere edilmesi kritik olabilir kirletici diğerinde.

Bu kritik bağlantı kapsamlı bir yaklaşımı gerektirmektedir. safsızlık analizi. Bu sadece nihai ürünü kontrol etmekle ilgili değil; Hammaddelerin, proses içi akışların ve son aşamaların izlenmesini içerir. gaz saflaştırma aşamaları. İçin yarı iletken uzmanlığı gazlar, teknik özellikler yarı iletkendeki yabancı maddeler uygulamalar genellikle son derece sıkıdır ve analitik tespitin sınırlarını zorlar. Müşterilerimizle yakın işbirliği içerisinde çalışıyoruz. yarı iletken ve elektronik kendi spesifik alanlarını anlamak için alan kirlilik farklı hassasiyetler gazlar ve gaz karışımları. Bu işbirlikçi yaklaşım, saflıkta özel gazlar ileri üretim süreçlerinin zorlu gereksinimlerini sürekli olarak karşılıyoruz. Buradaki zorluk bir şeyin tespit edilmesinde yatmaktadır. geniş yelpazedeki yabancı maddeler giderek azalan seviyelerde.

Laboratuvarın Ötesinde: Kirlenmeyi Önlemek İçin Yüksek Saflıkta Yarı İletken Gazların Kullanımına İlişkin En İyi Uygulamalar.

sağlanması elektronik özel gazların saflığı olunca bitmiyor gaz üretim tesisimizden ayrılıyor. Bunu sürdürmek saflık kullanım noktasına kadar yarı iletken fab, taşıma, depolama ve dağıtım konusunda titiz bir dikkat gerektirir. Hatta en yüksek saflık gazı Doğru yönetilmezse kirlenebilir. Huazhong Gas'ta sadece üretime odaklanmıyoruz yüksek saflıkta gazlar Aynı zamanda müşterilerimize, aşağı yöndeki girişimlerin önlenmesine yönelik en iyi uygulamalar konusunda tavsiyelerde bulunuruz. kirlenme.

Temel en iyi uygulamalar şunları içerir:

• Bileşen Seçimi: Gaz dağıtım sistemindeki tüm bileşenler – dahil gaz silindirleri, regülatörler, vanalar, borular ve bağlantı parçaları – uygun malzemelerden yapılmalı (örn. elektro-parlatılmış paslanmaz çelik) ve özel olarak temizlenmeli ve sertifikalandırılmalıdır. ultra yüksek saflık (UHP) hizmeti. Yanlış malzemelerin kullanılması gaz çıkışına neden olabilir safsızlıklar veya bir metalik kirlilik içine sızan gaz akışı.
• Sistem Bütünlüğü: Gaz dağıtım sistemi sızdırmaz olmalıdır. Küçük sızıntılar bile atmosferik kirleticiler Oksijen, nem gibi parçacık sisteme girecek madde, uzlaşma gaz saflığı. Düzenli sızıntı kontrolü önemlidir.
• Temizleme Prosedürleri: Her bağlantı yapıldığında veya silindir değiştirildiğinde uygun temizleme prosedürleri kritik öneme sahiptir. Bu, hatların bir yüksek saflıkta inert gaz (beğenmek argon veya nitrojen) sıkışmış havayı çıkarmak için veya safsızlıklar. Yetersiz temizleme yaygın bir kaynaktır kirlenme. Tutarlılığı sağlamak için sıklıkla otomatik temizleme panellerini öneriyoruz.
• Özel Ekipman: Belirli amaçlar için özel regülatörlerin ve hatların kullanılması gazlar veya aileleri gazlar çapraz bulaşmayı önleyebilir. arasında geçiş yaparken bu özellikle önemlidir. inert gaz ve reaktif veya aşındırıcı gaz.
• Silindir Kullanımı: Gaz silindirleri zarar görmemesi için dikkatli kullanılmalıdır. Bunlar belirlenmiş, iyi havalandırılan alanlarda depolanmalı ve "ilk giren ilk çıkar" envanter yönetimi uygulanmalıdır. Kullanma özel nem ve oksijen Kritik noktalardaki analizörler aynı zamanda bu ortak girişlerin izlenmesine de yardımcı olabilir. safsızlıklar.

Yeniden satış veya üretimde kullanılmak üzere gaz tedarik eden Mark Shen gibi müşteriler için bu işleme uygulamalarını anlamak, ürün kalitesi kendi müşterilerine söz veriyorlar. Bu ortak bir sorumluluktur. Biz Hidrojen silindiri Örneğin ürünler, önlemek için doldurulur ve bakımı yapılır. kirlilik ancak son kullanıcının sistemi de aynı derecede önemli bir rol oynar. Karşı mücadele kirlilik üretimden uygulamaya kadar sürekli bir çabadır.

Kristal Küreye Bakış: Elektronik Sınıftaki Gazlara Yönelik Safsızlık Tespitinde Gelecekte Hangi Yenilikleri Bekleyebiliriz?

Her zamankinden daha yüksek arayışı saflık içinde elektronik dereceli gazlar ve daha hassas kirlilik tespiti yöntemler, inovasyonun aralıksız hızının yönlendirdiği sürekli bir yolculuktur. yarı iletken endüstri. Cihaz özellikleri 10 nanometrenin altına indikçe ve yeni malzemeler ve mimariler ortaya çıktıkça (3D NAND ve Gate-All-Around transistörler gibi), etkisi daha da sönükleşiyor. iz safsızlıkları daha belirgin hale gelecektir. Bu, her iki alanda da daha fazla ilerlemeyi gerektirecektir. gaz arıtma teknolojiler ve safsızlık analizi Yetenekler.

Birkaç eğilimi öngörebiliriz:

• Alt Tespit Limitleri: gibi analitik teknikler ICP-MS, Gaz Kromatografisi-Kütle Spektrometrisi (GC-MS) ve Kavite Halkalı Spektroskopisi (CRDS) gelişmeye devam edecek ve algılama sınırları daha geniş bir alan için kirlilik aralığı tek haneli ppt seviyelerine ve hatta ppq alanına kadar. Bu, iyon kaynaklarında, kütle analizörlerinde ve dedektör teknoloji.
• Yerinde ve Gerçek Zamanlı İzleme: izleyebilen analitik sistemlere yönelik artan bir talep var. gaz saflığı gerçek zamanlı olarak doğrudan kullanım noktasında yarı iletken muhteşem. Bu, herhangi bir şeyin anında tespit edilmesini sağlar. kirlenme olaylar veya sürüklenmeler kirlilik Düzeltici eylemlerin daha hızlı gerçekleştirilmesini ve ürün kaybının en aza indirilmesini sağlar. Minyatürleştirilmiş sensörler ve gelişmiş kemometrik algoritmalar burada önemli bir rol oynayacak.
• Kompleks Gaz Karışımlarının Analizi: Gelecek yarı iletken süreçler daha karmaşık olabilir gaz karışımları birden fazla reaktif bileşenle. Analiz ediliyor safsızlıklar bu tür zorlu matrislerde yeni analitik stratejiler ve gelişmiş veri yorumlama araçları gerekecektir. Bir ölçümü yapabilme yeteneği kirlilik Bir bileşenin diğerlerinin müdahalesi olmadan çalışması çok önemli olacaktır.
• "Öldürücü" Safsızlıklara Odaklanın: Araştırma spesifik tanımlamalara devam edecek yarı iletkendeki yabancı maddeler Son derece düşük seviyelerde bile cihaz performansı veya verimi üzerinde orantısız derecede büyük etkiye sahip olan işlemler. Analitik yöntemler daha çok bu "katil"e yönelik olacak safsızlıklar.
• Veri Analitiği ve Yapay Zeka: Gelişmiş teknolojiler tarafından üretilen büyük miktarda veri safsızlık analizi trendleri belirlemek ve potansiyeli tahmin etmek için yapay zeka ve makine öğrenimi kullanılarak sistemlerden yararlanılacak kirlenme Sorunları giderin ve optimize edin gaz arıtma süreçler. Bu, reaktif problem çözme yerine proaktif kalite kontrolüne yardımcı olabilir.

Huazhong Gas olarak bu gelişmelerin ön saflarında yer almaya kararlıyız. Bilimi ilerletmek için endüstri ortakları ve akademik kurumlarla işbirliği yaparak araştırma ve geliştirmeye sürekli yatırım yapıyoruz. yüksek saflıkta gaz üretim ve safsızlık analizi. Mark Shen gibi kalite bilincine sahip olanlar da dahil olmak üzere müşterilerimiz için bu, güvenilir bir tedarik anlamına gelir. elektronik özel gazlar gelişen ihtiyaçlarını karşılayan elektronik ve yarı iletken endüstrileri. Ürün yelpazemiz HelyumEtkisizliği ve özel uygulamalarda kullanılmasıyla bilinen, aynı zamanda minimum güvenlik sağlamak için bu gelişmiş analitik incelemeden de yararlanıyor. kirlilik seviyeleri.

Hatırlanması Gereken Temel Çıkarımlar:

• Elektronik özel gazlar için temeldir yarı iletken imalatve onların saflık pazarlık konusu olamaz.
• Eşit iz safsızlıklarıppb veya ppt cinsinden ölçülen, önemli kusurlara ve verim kaybına neden olabilir. yarı iletken cihazlar.
• Yaygın gazlardaki yabancı maddeler diğer gazları (O₂, H₂O gibi) içerir, metalik yabancı maddeler, Ve parçacık konu.
• ICP-MS tespit etmek için temel bir teknolojidir. geniş yelpazedeki yabancı maddeler, özellikle metalik yabancı maddeler, ultra düşük seviyelerde.
• Bakım gaz saflığı titiz kullanım ve sistem bütünlüğü gerektirir. gaz silindiri önlemek için kullanım noktasına kirlenme.
• Gelecek daha da düşük görecek algılama sınırları, gerçek zamanlı izleme ve yapay zeka odaklı safsızlık analizi için elektronik sınıf gazlar.
• Her potansiyeli kontrol etmek kirlilik sağlanması açısından hayati öneme sahiptir. ürün kalitesi ve modernin güvenilirliği elektronik.