Icarymgeçiriji önümçilik, üç sany esasy görnüşli kategoriýa edip boljak köp sanly dürli gazlara bil baglaýar: köp sanly gazlar, Hünärmen gazlarwe gämi gazlary. Bu gazlar, näzik we çylşyrymly, çylşyrymly fabrik prosesini zaýalap biler.

Köp sanly gazlar

Nitrogen (n ₂):

Guramasy: NEC arassalaýyş kameralaryny, şol sanda prosem gurnama kameralaryny, şol sanda adaty iş naharynda hyzmat edýän kamera hödürleýär.
Goşmaça bellikler: nitrogen köplenç okisliligi azaltmak üçin süpekon wafrs-daky azalýar we saklanýar. INSTANAT häsiýeti, beýleki materiallar bilen reaksiýa bildirmeýän munuň beýleki materiallar bilen reaksiýa bildirmeýändigini, arassa gaýtadan işlemegi goldamak üçin amatly şertleri saklamak üçin amatly görnüşde döredýär.

Argon (ar):
Roly: Plazm amallarynyň gatnaşmagyndan başga-da Ar Argon esasy ýokary derejeli işler işleriniň möhümdigini öňe sürülýär.
Goşmaça bellikler: sebäbi onuň köp material bilen reaksiýa bildirmeýär, sebäbi Ar Argon hem metal metallara hapalaşdyrmazdan ýa-da dilektron film goýmak üçin kömek etmek, bu metro mirasy ýa-da dieolinasiki filmlere goýmaga kömek edýän puuter üçin hem ulanylýar.

Erium (ol):
Guramasy: geliligi terminal serişdeleri reaktiw proseslerde temperaturan temperaturasy sowatmak we gizlemek üçin bahalaryň döredijiligi edýär.
Goşmaça bellikler: reaktiw dälligi we oppaliki ýoldan hapalamazdan saklamak üçin ýokary energiýa we başarnykym ulgamlarynda köp energiýa ulgamynyň ýokary energiýa lärhanasy ulgamlarynda ulanylýar.

Wodorod (h₂):
Rolyýar berişleri aňçäm daşyp, wodder bolsa, wodder bolsa, Amerikanyň amatly ýerini arassalamakda kömek edýär we Epitakoks wagtynda wafaflaryň ýüzüne-de, himiki realimlere gatnaşmaga kömek edip biler.
Goşmaça bellikler: inçe filmleriniň ugry ululyk döredilmegi, elektrik häsiýetlerini üýtgetmek ep-esli gözegçilik etmäge has köp gözegçilik etmäge mümkinçilik berýär.

Specialörite gazlar we dozalar

Salan çep (sh₄):
Roly: Silikon depozy üçin deslapky bolmakdan başga, sileen elektrik aýratynlyklaryny gowulandyrýan patençly file polimiýalaşdyrylan peç etmek filmi bolup biler.
Goşmaça bellikler: Kömekçi, howa ýa-da kislorod bilen garylanda howpsuzlyk aladalary sebäpli reaktiwlik sebäpli seresaplylyk bilen işlenýär.

Ammiak (nhre):
Roly, nitril çm filmlerini öndürmekden başga-da Ammoniýa ýarym funksiýa enjamlarynyň ygtybarlylygyny ýokarlandyrmak üçin köpelýän ýerlere öndürýän peçleri hereketlendirijileri makul bilmekde möhümdir.
Goşmaça bellikler: azoten goşundylary hile-ny üýtgedip, elektron aýratynlyklary gowulaşdyrmagy talap edip biler.

FOSfin (PHAF), Arzt (ASHRE), we Dibrora (Burh₆):
Roly: Bu gazlar, ösen ýarymikor enjamlarynda islenýän elektrik aýratynlyklaryny gazanmak üçin diňe zerurdyr.
Goşmaça bellikler: zäherliligi berk howpsuzlyk protokollar we ýasama howplary azaltmak üçin berk howpsuzlyk protokollarynda berk howpsuzlyk protoktionlaryna we monitor ulgamlaryna gözegçilik edýär.

Çüýşe we arassalamak gazlary

Flororarbonlar (CF₄₄, SF₆):
Roly: Bu gazlar, çygly ethit enjamlary bilen deňeşdirilende ýokary takyklygy hödürleýän ýokary esse ýokary meýilli ýokary takyklygy hödürleýän ýokary esse ýokary meýilli ýokary takyklygy hödürleýän ýokary esse ýokary meýilli ýokary takyklygy hödürleýän rol oýnaýar.
Goşmaça bellikler: CF₄ we şaý-si mordakonika esasly materiallary netijeli şertlendirýän, daşky derejede şekillendiriş şertlerine ep-esli ösüş ukybyna mümkinçilik berýän, sebäbi häzirki zaman mikroelektronika ulgamyna şert döretmäge mümkinçilikleri sebäpli möhümdir.

Hlor (klam) we wodorod fertoridi (hf):
Guramasy: hlorin, esasanam metallar üçin agressiw ethat tutmak mümkinçiliklerini üpjün edýär, HF kremnon diioxide ýok edilýär.
Goşmaça bellikler: Bu gazlaryň soňkynyň indiki gaýtadan işleýän ädimler üçin amatly ýerleri alyp barýan netijeli ýerinden aýrmaga mümkinçilik berýär.

Nitrogen trifluuride (nf₃):
Guramasy: NFW, iň amatly öndürijiligi saklamak üçin hapalanýan çeşmelerçiler bilen jogap bermek CVD ulgamlarynyň daşky gurşawy arassalamaly.
Goşmaça bellikler: tenarýaka gaz potensialy bilen baglanyşykly meseleler köp sanly zawodda tüýs ýürekden saýlanmagy artdyrdylar, egili daşky gurşaw garaýyşlaryny talap edýär.

Kislorod (o₂):
Rolu: kislorgiýa tarapyndan ýeňilleşdirilen oksidion prosesler ýarymgykçylyk gurluşlarynda möhüm izolýasiýa gatlaklaryny döredip bilerler.
Goşmaça bellikler: Sio₂ gatylyjylary döretmekdäki koliron okaýjyny öndürmekdäki kislýonyň roluny, aýan edilmegi we zenan komponentlerini goramak üçin möhümdir.

Ýarym etrap öndürýän gazlandyrylan gazlar

Aboveokarda sanalan adaty gazlerden başga-da, beýleki mukler ýarym önümçilik önümçiliginde üns berip durýar, şol sanda:

Kömürturşy gazy (COE): Käbir arassalanmak we taping programmalarynda, esasanam ösen materiallary öz içine alýanlar üçin ulanylýar.

Silikon diixidisi (sio₂): Goşmaça şertlerde gazasyz gaz bolmasa, "Fickon DiOxid görnüşleriniň käbir aşakdakylardan giňişlikde ulanylýar.

Daşky gurşaw meseleleri

Ifarym ýurt senagatynyň giň binalary, dürli binalaryň, esasanam kaliýe täsirini mahsus, ösen ýakymly galyklar bilen baglanyşykly ösmegi bilen baglanyşykly daşky gurşaw täsirini azaldylýar. Bu ösen gaz dolandyryş ulgamlarynyň ösdürilmegine we daşky gurşaw aýak yzlary bilen şuňa meňzeş opsiýalary berip biljek alternatiw gazlere sebäp boldy.

Netije

Bu ajaýyp jaýlarda ajaýyp önümçilik oýnamagyň oňatlaşdyryş oýnunda ýasatly prosektleriň takyklygyny we netijeliligini üpjün etmekde ýüze çykýar. Therein modiri belentler ýaly mynasyp babatda, birleşdirgişlik we dolandyryşyň ulanylyşy bilen baglanyşykly howpsuzlygyny we daşky gurşawyň ýagdaýlaryny yzygiderli görkezýär.