Häzirki zaman tehnologiýalarynyň dünýäde ýarym ýarym Patyşa. Kiçijik, çylşyrymly çipler smartfonlarymyzda, interneti işleýän, önümlerimize we maglumat merkezlerine eýe. Emma bu çipsiň döredilmegine näme ygtyýarlykdyr? Jogap, geň galdyryjy gaz. Diňe hiç zat däl gaz, ýöne ýokary arassalyk gazlar düşünip bolmajak arassaçylyk. Senagatyň sen maddanyň ýaşaýan ýeri bolan Allen ýaly, Arkaýylygyň iň esasydygyna ilkinji edenini gördüm. Bu makala, öň naharynda bolan Mark Senini bellän işewür ýolbaşçylary üçin, gaz Üpjünçilik zynjyry. Hil we bahasyna düşünýärsiňiz, ýöne bu bazarda hakykatdanam muňa düşünersiňiz, düşünmeli näme üçin. Çylşyrymly dünýäsi kowarys ýarym tegelek önümçilik önümleri, Simpleönekeý adalgalarda ýekeje ýumrugy bölejik icinde gaz akym zawody millionlarça çykdajy edip biler. Bu dile dilini aýtmak üçin gollanmaňyz ýarym funt we aýrylmaz ýoldaş bolmak.

Gaz ýarymkabr klamasyny döretmekde gaz haýsy rol oýnaýar?

Özeninde, ýarym tegelek önümçilik önümleri mikroskopiki, mikroskopiki, köp gatly elektrik zynjyrlary Silikonbilen tanalýar wafli. Poçta markasynyň ululygy, banklar markasy bolan otagly otaglar we koridorlar bilen bir gapma-gonmak üçin, gapma-gonmak Bu biziň aýdýan masştabymyz. Muňa ýetmek üçin fiziki gurallary ulanyp bilmersiňiz. Munuň ýerine, tutuşlygyna Önümçilik prosesi takyk himiki himiki reaksiýalara we bu reaksiýalary üçin esasy ulag gaz.

Gazlar bu zynjyrlary gurýan göze görünmeýän eller hökmünde hereket edýär. Birnäçe möhüm iş edýärler. Käbirleri ýaly azrogen, Issünsiz samsiýalaryň öňüni almaga ajaýyp arassa we durnukly şert döretdi. Işiň gazlarynyň diýilmedik tarapyndan belli, hakyky gurluşyk bloklary ýa-da awtoulagly gurallardyr. Mysal üçin, belli bir Gazyň görnüşi Başga bir ýerde geçirilen geçiriji materiallaryň mikroskopiki gatlagyny goýmak üçin ulanylyp bilner gaz takyk ulanylýar ýürek zynjyrly ýoly emele getirmek üçin materiallar. Her ädim, arassalamakdan wafli Jemleýji tranzistorlary gurmak, belli bir zady öz içine alýar gaz ýa-da gazlaryň garyndysy. Takyklygy Gaz akymy we ony gönüden-göni himiki düzümi gönüden-göni onuň üstünliklerini aňladýar Çip önümçiligi prosesi.

Nýahlazlyk nemikdarlyk eksportynda arassalygy näme üçin beýle möhüm?

Gündelik durmuşymyzda azajyk tozan ýa-da Howa hapalanmagy uly mesele däl. Ýöne içinde ýarym ýarym gazylan zawod ýa-da "FAB:" bu betbagtlyk. Gurulýan komponentler a Silikon wafli köplenç nanometrlerde ölçelýär - bu metriň milliardlary. Bir nukdaýnazardan, bir adam saçynyň giň5,000 töweregi nanometr töweregi. Kiçijik tozan bölejik hatda dünýädäki ägirt uly gaýa ýarym ýarym galplyk.

Şonuň üçinem Arassalylyk gazlaryň iň möhüm aýratynlygydyr ýarymgargançakda ulanylýar önümçilik. Islendik islenmeýän molekula, kiçijik bir metal, kiçijik metal bolsun bölejikýa-da başgaça gaz molekula çökgünlik. Bu hapalanmak näzikligi doly bozup biler himiki reaksiýa ýerinde bolup geçýär wafliary. Ýeke çökgünlik emele getirýän zynjyry emele getirip, gysga zynjyr ýa-da üýtgedip biler ýarym funthoratoryň elektrik aýratynlyklary material. Sebäbi ýeke wafli ýüzlerçe ýa-da müňlerçe adam kiçijik çip bolup biler, bir kiçijik ýalňyşlyk ullakan maliýe ýitgisine sebäp bolup biler. Tutuş amal talap edýär Arassalaryň iň ýokary derejeleri asla işlemek.

Gazlarda hapa ýarymkulýatorynda nähili hapa bolmak?

Haçan çökgünlik bir prosesde bar gaz, "öldüriji sebäp bolup biler kemçilik. "Bu diňe kiçijik kemçilik däl; Bu a kemçilik bu bölümiň bu bölümine ähli mikrokipi hödürleýär wafli biderek. Munuň nähili bolýandygyny gözläliň. Wagtynda depozition gatlakda gurlan, inçe filmleriň gurulýan ýer bölegi, islenmeýän bölejik ýüzüne gonup biler. Indiki gatlagy ýokarsyna goýlanda, mikroskopiki bökmek ýa-da boşluk döredýär. Bu kemçilik gurulýan açistory bozup ýa-da geýmedik bir adama döredip biler ýa-da garaşylmadyk birine netijeli kesgitlemäň.

Munuň netijesi Fabyň aşaky setirine weýrançylyklar. Üstünligiň esasy ölçeg a ýarym ýarym FAB "hasyl" - ýekeje-den öndürilen iş çipleriniň göterimi wafli. Hatda kiçijik bir damja hasyl, 95% -den 90% -den çenli ýitirilen girdejiniň millionlarça dollardygyny görkezýär. Gaz hapalary azalmagyň göni sebäbidyr hasyl. Şonuň üçinem ýarym funt öndürijiler bilen gyzyklanýar gaz arassylygy. Munuň üçin belli däl gaz köp milliard dollarlyk gurallaryny girizmek, islendik zatlardan düýbünden mugt hapalanmak bu daýza edip biler ýarym fabruk ekin. Erroralňyşlyk üçin nol otagyň bar ýerinde mikroskopiki takyklyk oýny.

SEMCTONUCK gatnawynda ulanylýan esasy gazlar haýsylar?

Ulanylýan gazlaryň diapazonlary ýarym funt bähle, ýöne adatça iki kategoriýa bölünýär: maskar gazlar we hünär gazlary.

• Bulka gazlary: Bular ägirt uly mukdarda ulanylýar we önümçilik gurşawynyň düýbüni emele getirýär.

  • Nitrogen (n ₂): Bu işçi. Ultramyz Arassalylyk Azrogen Ekin meýdan gurallarynyň içinde "adminomfero" -dan peýdalanmak üçin ulanylýar. Bu kislorod, çyglylygyň we çyglylygyň we beýleki bölejikleri, islenmeýän oksidleminiň öňüni alýar hapalanmak ondan wafli.
  • Wodorod (h₂): Köplenç beýleki gazlar bilen bilelikde ulanylýar, wodorod belli bir derejede möhümdir depozition Transistor gurluşlaryny gurmak üçin zerur bolan himiki maddalary döretmek üçin zerur himiki himiki gurşawy döredildi.
  • Argon (ar): Inert hökmünde gaz, Armon, nyşana berlen bir prosesde ulanylýar, maksatly materiallary bombalamak üçin ulanylýan, şol bolsa ýerleşdirýän atomlary kakýar wafli. Muny döretmek üçin hem ulanylýar plazma Köplerde ýürek amallar.

• Hünärmen gazlar: Bular çylşyrymly, köplenç howply we ýörite proses öň ädimleri üçin ulanylýan ýokary in engineened gazlary. Olar "işjeň" maddalardyr.

  • Etematlar: Hlor (clorine) we wodorod bromrid (hbrororon) ýa-da çarwa brower ýa-da ýürek gatlaklara nagyşlar wafli.
  • DoPantlar: Arzanyň (Aş Witf) we FOPFINE (PHFE) ýaly gazlar, belli bir derejede tanyşdyrmak üçin ulanylýar çökgünlik giriň Silikon Transistçiler haýsy mowzuklara gözegçilik edilýärler.
  • DEEP DÜZGÜNLER: Sileen (sh₄) çeşme hökmünde ulanylýan nusgawy mysaldyr Silikon inçe filmleri goýmak üçin.

Belgiýa ýaly işeleýjeşçisiniň işgäri üçin bu gazlaryň hemmesiniň başgaça ulanylýandygyny bilmek üçin möhümdir, aşagy Arassalylyk.

Simpleönekeý şertlerde nepisligi we dykyzlygy düşündirip bilersiňizmi?

Ýarym funthoper önümleri Businessüzlerçe ädimleri öz içine alýar, ýöne olaryň köpüsi iki esasy prosesleriň görnüşleri bar: depozition we ýürek. Simpleönekeý şertlerde bulara düşünmek roluna düşünmegiň açarydyr gaz.

1. Dokumyz: gatlaklary gurmak
Pikrini etmek depozition molekulalar bilen sepýän ýaly. Maksat, ullakan-intra inçe, materialyň ajaýyp birmeňzeş gatlagyny goşmakdyr Silikon wafer.

• Bu proses: Bir proses gaz (sile ýaly) a bilen garylýar daşaýjy gaz (ýaly) azrogen ýa-da wodorod). Bu gaz Garyndagy soň öz içine alýan kamerada girizildi wafli. A himiki reaksiýa köplenç ýylylyk ýa-da a plazma, molekulalara "çökgünlik" -a sebäp bolýar gaz we gaty emele getiriň inçe film üstünde wafliary.
• Näme üçin arassalyk möhüm? Hapamly zat bar bolsa bölejik içinde gaz akym, pürküji boýagyňyza düşýän tozanyň nazary ýalydyr. Gurluşy döretmäge, täze gatlakda ýerleşdiriler kemçilik. Islenmeýän bolsa gaz mollak, gatlakyň himiki makalasyny we elektrik aýratynlyklaryny üýtgedip biler.

2. Etching: zynjyrlary oýmak
Gatlak gurlandan soň, zynjyryň nagşyny özüne çekmeli. Ýürek materiallary saýlap almak prosesi.

• Bu proses: Muňa wafli fotoresist diýilýän ýagty duýgur materiallar bilen örtülýär. Bir nagyş oňa gönükdirilendir (galam ýaly). Açylan ýerler, soň gatylaşdy. Muňa wafli Soňra we bir adam bilen doldurylan kamerada ýerleşdirildi gaz (FEKTINE DÖWRÜN GÖRNÜŞ GÖRNÜŞI ýaly). Bu gaz güýçlendirildi plazma ýagdaýy, ýokary reaktiw etmek. Muňa plazma bomba wafli, himiki taýdan himiki taýdan nahar iýýär Diňe galam bilen goralmadyk ugurlarda.
• Näme üçin arassalyk möhüm? Gazlarda hapalar Ethingmek üçin ulanylýar, reaksiýa derejesini üýtgedip biler. Bu sorutlara gaty dar-dar, hem asla ýok bolar ýa-da asla ýok bolar. Metal bölejik çökgünlik hatda blokirläp bilerdi ýürek Zynjyrdan has şyllanmaýan näbelli materiallaryň içinden "poz" -dan soň galdyran prosesiň aňyrsynda galdyrdy.

Ultrra-Ali gaz arassalygy ölçelýär we saklanýar?

Içinde Global ýarymgunçuçylyk pudagy, "göterimi" bezelýän adaty adaty ölçegler. Biz bilen iş salyşýarys hapalanmak düşünmek kyn bolan masştabda. Arassalygy ölçelýär bronillendirýän bölekleri (ppt). Bu hemmeler üçin diýmekdir trillion gaz Molekulalar, diňe bir ýa-da iki hapalanmak molekulasy bolup biler.

Bu derejä ýetmek we barlamak gaz arassylygy, çylşyrymly ulgam gaz arassalamak we derňew talap edilýär.

Zawodymyzda, diňe öndürmäge däl gaz; Biz ýaşaýarys we dem alýarys hil barlagy. Muňa gaz üpjünçiligi zynjyr ýarym ýarym FAB ulanylyş nokadynda gönüden-göni oturdylan aýratynlyklary öz içine alýar. Mundan başga-da, ösen gaz derňewi gurallar üçin ulanylýar Hakyky gözegçilik. Usullary ýaly usullar Atmosfera basyşy Ionizasiýa massasy spektrometriýa (merms) ýerine ýetirip biler hapalanmak Zerde-trillion derejesine çenli Uhp gaz (Ultrra-ýokary arassalamak) gaýtadan iş guralyna laýyk gelýär.

Rightokary kwartira üpjün edijisini ygtybarly üpjün edýär?

Iberiş gijikdirilmegi we galp şahadatnamalary, ygtybarlylygy, ygtybarlylygy, ygtybarlylygy başdan geçirenler hemme zatdyr. Dünýäsinde ýokary derejeli ýarym şkaf Gamlar, ygtybarlylygy üç sütün-de durýar: Önümiň yzygiderliligi, önümçilik yzygiderliligi we maddy-tehniki taýýarlaýar.

1. Önümçilik yzygiderliligi: Ygtybarly üpjün ediji işsiz we artykmaç önümçilik mümkinçilikleri bolmaly. Zawodyň ýedi önümçilik lukumyz, mysal üçin edip biljekdigimize göz ýetiriň ýokary isleg bilen tanyşyň we bir setirde bir mesele tutuş çykyşymyzy saklamaýar. Bu köp milliard dollarlyk ýapyşyp biljek netijeleriniň bozulmalaryny azaltmak howpuny azaldýar ýarym ýarym fab.
2. Giňilik hil kepilligi: Barlygy talap etmek ýeterlik däl ýokary derejeli gaz. Subut edip bilmeli. Bu, häzirki zaman analitiki enjamlara maýa goýmagy aňladýar hapalanmak. Şeýle hem, her iberiş bilen derňewi, yzarlamagyň (COA) aç-açan, yzarlap boljak şahadatnamalary aňladýar. Birleşmek şahadatnamasynyň galplygy ynam we barlap boljak maglumatlara esaslanýan uzak möhletli gatnaşyklary gurmakdyr.
3. Atistik tejribe: Almak Poslaýjy gaz ýa-da Hytaýdan ABŞ-dan ABŞ-a krigogeniki suwuklyk ýönekeý däl. Döretleşdirilen konstaralary talap edýär, halkara iberiş düzgünlerini bilmek we gaýa-kemden gaça durmak üçin tanyşdyrmagy meýilleşdirýär. Ygtybarly üpjün ediji bu diňe bir guty ibermeýändigine düşünýär; Globallygyň möhüm bölegini dolandyrýar ýarym ýarym Üpjünçilik zynjyry.

Tokkiniň gazy we ýörite gazyň arasynda näme tapawut bar?

Arasyndaky tapawutlara düşünmek köp gaz we Hünärmeni gözlemäge gatnaşýanlaryň biri üçin açardyr ýarym funt. Ikisi hem aşa köp bolsa-da Arassalylyk, olaryň göwrümi, el bilen we iliming üýtgeşik.

Köp sanly gazlarşuňa meňzeş Ýokary derejede arassa arassalaýjy gazlar, serediň nitrogen ýaly gazlar, kislorod, Argon we wodorod. Olar Fabyň daşky gurşawynyň düýbidir. "Breok" adalgasy ulanylýan ullakan mukdarda degişlidir. Bu gazlar köplenç wideoda ýa-da golaýynda, göni FAB-iň içerki paýlanyş ulgamyna çenli bellenen ýerlerde arkaly iberilýär. Bu ýerdäki esasy kynçylyklar saklanýar Arassalylyk Dastörzitli pagta boýunça pagta boýunça we üznüksiz, ýokary ses berilmegini üpjün etmek.

Hünärmeni (ýa-da Elektron gaz) belli bir amal üçin ulanylýan işjeňlik ädimleri üçin ulanylýan köplenç ekzotik, reaktiw, reaktiw, reaktiw, ýa-da howp astyndaky gazlaryň giň kategoriýasyny aňladýar) we depozition. Mysal üçin, Sileg, Amoniýa, BON Tricrukstrvid we "Nitrogen" Triiforid bar. Bular aýratyn ýokary basyş silindrlerde berilýär. Kynçylyklary Hünärmeni Editde işlemekde aşaglykdaky howpsuzlyk, gaz mirikylalaryny almak üçin ajaýyp üçlügi bejermek we eglişik edip biljek silindriň içinde islendik himiki reaksiýalaryň öňüni almak gazyň hili.

Ordhokary üç awtoulag ýarymkager gazyna nähili baha nähili?

Muňa ýarym funt hiç haçan durma. Muryň kanunlygy, bu fizika tarapynyň transistor baradaky sany goşulan gözegçilikleriň, fizika çondullaryny itergi bermegini dowam etdirýändigini syn açmagydyr. Tranzistorlar kiçelýän mahaly, has täsirli bolýar hapalanmak. A bölejik ululygy Bäş ýyl ozal kabul ederlikli boldy, "öldüriji kemçilik"Bu gün.

Has kiçi we güýçli çipler üçin bu yzygiderli disk, has ýokary derejelere bolan islegi aňladýar gaz arassylygy ösýär. Bölüm-ýylda bölek-bir milliard, britan-trillionlaryň iň az giriş talap edýän ýeri bolan dünýäsiniň altyn standarty bar Ösen ýarym ýarym oruksiýa düwünleri. Mundan başga-da, 3D ýyrtyjy we derweze binýady - hemmesi (GAA) Tranzistor ýaly täze materiallar we çip, tranzistorlar, tutuş täze bukjany talap edýär Indiki nesil gazy garyndylar we islegler. Ýaly Gaz öndürijiler, Biz yzygiderli saklamaga täze arassalanmagyň tehnologiýalaryny we seljeriş usullaryny ösdürýän sejde innowasiýa taýýarlaýar we Global ýarymgunçuçylyk pudagy.

Alyjy hökmünde haýsy hil şahadatnamalaryny gözlemeli?

Üpjünçilig dünýäsine ýolbaşçylyk etmek, esasanam tehniki önümler bilen iş salyşanyňyzda gaty kyn bolup bilersiňiz. Bu şahadatnamalar üpjün ediji başarnyklary we hiline ygrarlylyk üçin möhüm, bir möhüm, üçünji taraplyk talap etdirmek möhüm, üçünji tarap sinking. Getirilende ýokary arassalyk gazlar üçin ýarym funt, ine, gözlemeli birnäçe zat:

• ISO 9001: Bu, hil dolandyryş ulgamlary üçin esasy şahadatnama. Üpjün edijiniň önümçilige, gözleg üçin gowy kesgitlenýän we gaýtalap amallaryň bardygyny görkezýär.
• ISO / IEC 17025: Bu möhüm bir zat. Synag we kalibrleme laboratoriýalarynyň başarnyklygy üçin standart. Bu şahadatnamaly üpjün ediji bilen üpjün ediji, öýindäki şahadatnamasyny hödürleýändigini subut etdi, iş şahadatnamasynyň derňew şahadatnamasyny döredýändigini subut etdi, takyk we ygtybarlydyr.
• Gözel geçirip bolmajak derňewi: Elmydama her silindr ýa-da partiýa üçin derňew şahadatnamasyny (COA) talap ediň. Bu şahadatnamanyň möhüm derejesini kesgitlemeli gazdaky hapalarýaly ýörite analitiki usullar bilen ölçelýär gaz hromatografiýasy ýa-da köpçülik spektrometriýa.

Markal ýaly aýgytly lider hökmünde, iň gowy gural, synag soraglary soramakdyr. Diňe "Bu" soramaň gaz Arassa? "Soraň", nädip arassadygyny subut edýärsiňiz? Laboratoriýanyň şahadatnamasyny görkeziň. Lato Lat-Köphy köp yzygiderliligi üpjün etmek üçin işiňizi düşündiriň. "Aslynda hakykatdanam bilermen we ygtybarly hyzmatdaş bu soraglara garşy alar we özüne ynamly jogap berer.

Esasy eşik

• Gaz guraldyr: Içindegi ýarym tegelek önümçilik, gazlar diňe bir material däl; mikroskopiki zynjyrlary gurmak we oýnamak üçin ulanylýan takyklyk gurallary Silikon wafer.
• Arassalygy hemme zat: Şkalasy Çip önümçiligi ýeke-täk islenmeýän gaty az bölejik ýa-da çökgünlik molekula çipi ýok edip biler Ultra-biperwaýlygy ylalaşyksyz talap.
• Hasyl bermek maksatdyr: Esasy täsiri gaz hapalanmak önümçiligiň azalmagydyr hasyl, lokal girdejide millionlarça dollara çenli millionlarça dollara terjime edýär ýarym fabs.
• Iki esasy proses: Çiplemäge mejbur etmekde ädimleriň köpüsi depozition (gatnawerler) ýa-da ýürek (oýmak we nagyşlary oýmak), ikisi hem doly arassa gazlaryň takyk himiki reakalaryna baglydyr.
• Ygtybarlylyk açardyr: INSTITBURY ýarym funthor Bazardyryş, kepillendirilen LAB-ler arkaly we bilerç-çykaryş işleriniň üsti bilen önümiň yzygiderliligini görkezmeli, esasanam bilermeniň barha ýagdaýy görkezilýär.
• Geljek arassalaýjy: Ýarym otaglar has ösen bolşy ýaly, has ýokary derejede isleg gaz arassylygy (Bölümlere-trillion-trilliona çenli) diňe ösmegini dowam etdirer.