Häzirki zaman tehnologiki ösüşiniň esasy sebäbi häzirki zaman tehnologiki ösüş depgini ýaly ýarymikulyk senagat, önümçilik döwründe köp mukdarda we ýokary girdejini öz içine alýar. Peemontrentorlar üçin ýörite gazlar, nemburgly maddaly önüm öndürilen, çond önümçiliginde, ýumşak önümçilik, inçerli film-milllik depe we beýleki prosektler we beýleki amallar gazlara degişlidir. Bu gazlar arassalyk, durnuklylygyna arassalamak we reaksiýalara gönükdirilen arassalyk, durnukly we takyk gözegçilik etmek üçin berk talaplara laýyk gelmelidir. Bu makala ýarymghanalarda ulanylýan birnäçe umumy hünäri bilen tanyşdyrar we ýarym funthor önümçilik prosesinde öz rollaryny ara alyp maslahatlaşar.

1. Wodorod (h₂)

Wodorod SEMICTONTECORÇÇMAK - esasanam himiki bu himiýa bugynyň (CVD) we gaýtadan dikeltmek reaksiýalaryny azaltmak bilen giňden ulanylýar. CVD-de çodorog filmleri ýaly inçe filmleri ösdürip ýetişdirmek üçin köplenç beýleki gazlara ulalýar. Wrodorod metal çekişiň we OXDID aýyrmagynyň işlerinde azalýan wekilleri bilen hereket edýär. Mundan başga-da, wodorod ar alyş wafinlerini netijeli aýyrmak we çipleriň hilini ýokarlandyrmak üçin seickonburg wafersini arassalamak we çipleriň hilini ýokarlandyrmak üçin ulanylýar.

2. Nitrogen (n₂)

AzrogenGoldhyl gaz, esasan ýarymkulgen öndürýän "Opickulor" öndürýän "OXYOP" -y mugt gurşawy bermek üçin ulanylýar. Köplenç Enjamlaryň arassalamak, sowatmaklarda we reakmosferalarda reaksiýa atmosferalarynda ulanylýar. Bugyň derferinde we ýaryş prosedesi, azrogalar bolsa reaksiýa şertlerini durnuklaşdyrmak we reaksiýa derejesine gözegçilik etmek üçin beýleki gazlar bilen garylýar. Azrogen oksidleýiş materiallaryndan duýgur materiallary gorajyny basmak, daşlaşdyrmak üçin oksidroýter basmak üçin ulanylýar.

3. Kislorod (o₂)

Kislorod Esasanam okdukurerler döwründe ýarymgeçiriji pudagynda möhüm rol oýnaýar. "Silikon" Wafers-lero "kilikon" -yň üstünde "Silikon" diokside gatlagynyň "kislorod" -yň üstünde, kislorodyň üstünde. "Elektron" atly kislorod, elektrokal çykyş we enjam durnuklylygy üçin möhüm "akymy" daýynly gaty bilen forxdi gatlaklar. Kislorod arassalamak we oring prosektlerini arassalamak we tapyş işlerini arassalamak we esaslary kesgitlemek ýa-da belli bir metlary emele getirmek ýa-da belli bir metal filmlerini kesgitlemek üçin beýleki himiki gazlar bilen jogap berýär.

4. Uglerod tetrafluid (CF₄₄)

Uglerod Tetraflueorie, ething proseslerinde giňden ulanylýar. SeMiconDowskewropada ýolda Merkezi CFG fforn dykyrlyk bilen bilelikde göreşýän bu fizingalaryň, güýçli rehe-de bolan we maksatly materiallary netijeli ýapyp biljek ferumid görnüşlerini emele getirýär. Bu gaz bractdeced Shunethit önümçiliginde ýokary-segishizmi nomşy bolmak üçin möhümdir.

5. Wodorod hlorid (hcl)

Wirowor Çergordem, ilkinji nobatda, zawodda metaly materiallaryň urmagy hökmünde ulanylýar. Şondan emele gelýän demir gatlaklara rugsat berýän demir filmler bilen reaksiýa bildirýär. Bu prosesi, çip gurluşygyň takyklygyny üpjün etmek üçin inçejik film filmlerini üpjün etmek bilen giňden ulanylýar.

6. Nitrogen trifluuid (NF₃)

Nitrogen triflueie, esasan, plazma ething enjamlarynda sistema galyndylary bilen örtülen galyndylary arassalamak üçin ulanylýar. Plazma orçluk proseslerinde nf₃ aňsatlyk bilen aýrylýan florerorlary döretmek üçin goýlan goýumlary (silisiýa finory) goýlan materiallary emele getirýär. Bu gaz, ýoldaş enjamlary we önümçiligiň arassalanlygyny saklamaga we önümçilik prosesleriniň takyklygyny we netijeliligini ýokarlandyrmak üçin ýokary derejede täsirlidyr.

7. Sylanan (sh₄)

Gili himiki bu silikjary inçejik filmi goýlan üçin umumy derejede gazly gazdyr. Sylan, sepinji derejeli önümçilikde möhüm ähmiýete eýe bolan ýokary ulagyň ýapyşmagyna, ýokary ulagy bolan ýokary ulagyň ýapyşmagyna, ýokary temperatura çörek bişirilýän ýokarky howlukmaç emele gelýär. Sile we reaksiýanyň akymyny sazlamak, düzümiň derejesi we film-düzgüni mahsus ep-esli gözegçilik edip biler.

8. Bon Trifurorid (BF₃)

Dolon Trifulurid, adatça ýarymgiruktor önümçiliginde adaty göreş prosesinde ulanylýan möhüm kaning gazdyr. Kristallaryň göwnüjisini döretmek üçin kremnon pliter bilen reaksiýa bilen reaksiýa bilen reaksiýa çalşygyny täzeden düzmek arkaly kristallaryň elektrik aýratynlyklaryny sazlamak üçin ulanylýar. "Bon-let" doping prosesi P-görnüşli ýarym metrdenlik materiallary döretmek üçin möhüm, bu işde BF₃ howa möhüm rol oýnaýar.

9. Kükürt mexaflueorid (SF₆)

Kükürt mexafluey esasan ýarym takyk ýa-da ýokary takyk ediş döwründe ýarymgargançaklarda ulanylýar. Highokary elektrik häsiýetleri bilen ýokary elektrik häsiýetleri sebäpli SF₆ beýleki gazlar bilen takyk aýyrmak we takyk nagyşlary üpjün etmek üçin birleşdirilen beýleki gazlar bilen birleşdirilip bilner. Şeýle hem, manysyz metal filmleri netijeli maliýeleşdirip, ION dörediji, bu isrükli metal filmlerini netijeli aýyrmak üçin hem giňden ulanylýar.

Netije

Penjireler üçin ýörite gaz hallary, ýygnanyşan zynjyrlardan önümçilikde gallan ýerli rol oýnaýarlar. Ösüşiň ösmegi bilen, bu gazlaryň has ýaglylygyny we öndürijiligine bolan is artdyryp, gazlaryň hilini we görnüşlerini hemişe we görnüşlerini yzygiderli optimizirlemek üçin üpjünçilik ýokarlanýar. Geljekde tomemercessnuctory, indiki nesil çüm we tehnologiki täz-pyştlaýyş işleriniň önümçiligini goldamak üçin bu hünärli gazlara bil baglaýarlar. Şonuň üçin düşünmek we iýmitlenmegi dolandyrmak we ýarym baýduryş ýörite gaznyny yzygiderli ösüşiň yzygiderli ösdürmegiň yzygiderli ösdürip ýetişdirmekde möhüm bolar.