Global ýarymgeçiriji pudagynyň çalt ösmegi bilen çip öndürmek prosesi nanometr döwrüne doly girdi. Örän takyk önümçilik prosesinde, islendik minutda daşky gurşawyň üýtgemegi ýa-da maddy hapalyk, bir topar wafli ýok edilmegine sebäp bolup biler. Şonuň üçin elektroniki ýöriteleşdirilen gazlar we ýokary arassa senagat gazlary çalşyp bolmajak rol oýnaýar. Olaryň arasynda, ýokary arassa suwuk argon ahyrky himiki inertligi we ajaýyp fiziki aýratynlyklary sebäpli ýarymgeçiriji fablaryň gündelik işlerinde sarp edilip bilinýän açara öwrüldi.

Bu makala, çip öndürmek prosesinde suwuk argonyň esasy goşundylaryny çuňňur seljerer we kärhana üpjünçilik zynjyry toparlary üçin hünär satyn alyş gollanmasyny üpjün eder.

Esasy programmalar: Suwuk argon näme üçin ýarymgeçiriji önümçiliginden aýrylmaýar?

“Front-End-of-Line” (FEOL) ýarymgeçiriji önümçilik prosesinde ýarymgeçirijiler üçin suwuk argon, ilkinji nobatda önümiň öndürijiligini kesgitleýän aşakdaky esasy tapgyrlarda ulanylýar:

• Fiziki bug çöketligi (PVD) / tüýkürmek: Suwuk argonyň gazlaşdyrylmagy netijesinde emele gelen ultra arassa argon gazy, PVD tüýkürmek prosesinde iň esasy işleýän gazdyr. Wakuum kamerasynda argon ionlary nyşana alynýan materialy bombalamak üçin elektrik meýdançasy bilen tizlenýär we maksat atomlarynyň bölünip çykmagyna we demir plýonkanyň emele gelmegine sebäp bolýar. Purokary arassalyk filmiň dykyzlygyny we elektrik yzygiderliligini üpjün etmek üçin zerur şertdir.
• 
  

• Düýp howpsyz inert gorag atmosferasy: Monokristally kremniniň çekilmegi (Czochralski prosesi ýaly) we ýokary temperaturaly gyzdyryjy proseslerde kremniý ýokary temperaturada kislorod bilen aňsatlyk bilen reaksiýa berýär. Şonuň üçin howany çalyşmak üçin argon gazy yzygiderli girizilmelidir, kisloroddan we çyglylykdan izolirlenen düýbünden inert gurşawy üpjün edip, kremniniň kristal panjarasynyň ajaýyp ösmegini üpjün etmeli.
• 
  
• Kriogenika we wafli arassalamak tehnologiýasy: Extreme Ultramelewşe (EUV) daşbasma ýaly ösen proseslerde, suwuk argonyň (gaýnadýan nokady -186 ° C) aşa pes temperatura aýratynlyklary takyk enjamlaryň sowadyş ulgamlaryna ulanylýar. Şol bir wagtyň özünde, argon aerozol tehnologiýasy wafli ýüzlerde nanometr ölçegli fiziki mikro arassalamak üçin hem ulanylýar, bu minut bölejik maddalaryny weýran edip bilmeýär.
• 
  

Hil hasylyny kesgitleýär: -okary arassa suwuk argonyň berk standartlary

Ondarymgeçiriji pudagynyň çig mal üçin talaplary gaty ýiti. Industrialönekeý senagat derejeli suwuk argon, adatça diňe 99,9% ýa-da 99,99% arassalygyna ýetmeli, ýöne bu çip öndürmegiň zerurlyklaryny kanagatlandyrmakdan uzak. Üçin ýokary arassa suwuk argon, esasy arassalygy adatça 99.999% (5N) ýetmek üçin talap edilýär we ösen düwünlerde hatda 99,9999% (6N) ýa-da has ýokary derejä ýetmeli.

Has möhümi haramlyga gözegçilik etmekdir. Kislorodyň, azotyň, çyglylygyň, umumy uglewodorodlaryň (THC) we yz metal ionlarynyň mukdary ppb (milliard üçin bölekler) ýa-da ppt (trillion üçin bölekler) derejesinde berk gözegçilikde saklanmalydyr. Bir minutlyk hapalar gaz turbageçirijisine garyşsa-da, wafli üstünde mikro kemçilikleri emele getirer, çip gysga zynjyrlara ýa-da tok syzmagyna sebäp bolup, hasyl derejesini gönüden-göni peselder we uly ykdysady ýitgiler getirer.

Satyn alyş gollanmasy: Professional suwuk argon üpjün edijisine nädip baha bermeli we saýlamaly?

Önümçilik liniýalarynyň işleýşinde ýokary arassa gazlaryň aýgytly roluny göz öňünde tutup, doly hünärli we başarnykly suwuk argon üpjün edijisini tapmak we üpjün etmek satyn alyş we üpjünçilik zynjyry toparlary üçin esasy wezipe. Potensial üpjün edijilere baha berlende, aşakdaky üç ölçege ünsi jemlemek maslahat berilýär:

Güýçli hil gözegçiligi we synag mümkinçilikleri: Ajaýyp üpjün edijiler, gaz hromatograflary (GC) we köpçülikleýin spektrometrler (MS) ýaly ýokary derejeli yz derňew enjamlary bilen enjamlaşdyrylan bolmaly. Getirilişleriň arasyndaky arassalygyň mutlak yzygiderliligini üpjün etmek üçin her topar üçin jikme-jik COA (Analiz şahadatnamasy) bilen üpjün etmeli.

Güýçli üpjünçilik zynjyrynyň berkligi we eltmegiň durnuklylygy: Fabs adatça 24/7/365 işleýär we iş wagty az bolýar. Şonuň üçin üpjün edijiler köpçülikleýin lokallaşdyrylan suwuk saklaýyş mümkinçiliklerine, özleriniň kriogen tanker ýük awtoulaglaryna we adatdan daşary ýagdaý üpjünçiligini kepillendirmek üçin gyssagly meýilnamalara eýe bolmalydyrlar.

Ösen gaplar we “Ikinji hapalanma” tehnologiýasy: Gazyň arassalygy näçe ýokary bolsa-da, transport wagtynda hapalanan bolsa peýdasyz. Üns berijiniň kriogen saklaýyş tanklaryna we tankeriň içki diwar arassalaýyş tehnologiýalaryna (Elektropolizasiýa / EP bejergisini geçendigi ýaly), doldurmak we geçirmek döwründe klapan we turbageçirijileri arassalamak üçin standart iş proseduralary (SOP) bolmaly, ýokary arassalygyň zawoddan göni müşderiniň terminalyna ýetirilmegini üpjün etmeli.

Netije

Muruň kanunynyň yzygiderli ösmegi bilen ýokary arassa suwuk argon diňe bir sarp edilýän zat däl, eýsem ösen ýarymgeçiriji amallar üçin “görünmeýän esger”. Ylmy we berk baha bermek we saýlamak suwuk argon üpjün ediji icarymgeçirijiler üçin suwuk argonyň ýokary hilli we durnukly üpjünçiligini üpjün etmek üçin hemmetaraplaýyn güýç bilen, her ýarymgeçiriji önümçilik kärhanasy üçin prosesiň hasyllylygyny ýokarlandyrmak we dünýä bazar bäsleşiginde ýeňiş gazanmak üçin esasy özen bolup durýar.