Senagat gazlaryny öndürmekde ýöritgä hünärmeni Hytaýda ýerleşýäris. Bu maglumat nokundan, tehnologiýanyň inrust edilmeýän eňekli ewolýusiýa şaýat bolanlaryň köpüsi bilen baglanyşykly bir zat bilen şaýat boldum: Ultra ýokary arassalamak gazlary. Telefonyňyz, kompýuteriňizde we awtoulagda kiçijik mikromlar bar, ýöne bu ýöritgiki gazlaryň takyk we kemsizligi bilen enjamlaşdyrman mümkin däl.

Hiliniň we ygtybarly üpjünçilik zynjyrynyň ähmiýetine düşünýärsiň, ýöne haýran galmagyňyz mümkin näme üçin SEMICGOW gazlarynyň ülňüleri üçin standartlar gaty Istonomiki taýdan ýokarydyr. Näme üçin argonyň iberilmegi 99,9999% -de arassa bolmaly? Bu gollanma ýarym şka sürüjisi dünýäsinde perdde perdäni yzyna çeker. Ulanylan belli gazlary öwreneris, näme, näme üçin arassalygy iň möhüm faktor bolandygyny öwreneris. Ahyrynda, çeşme üçin has arzan düşünjäni has arassalaň we müşderileriňize öz bahasyny açyp bilersiňiz.

N WHDIPTONUCK gatlaklary üçin gaty möhümdir?

Gumlaryň bir böleginiň çäge dänesiniň çäge çökmegine sebäp bolup biljek gök binalary bina binasyny göz öňüne getiriň. Bu, zerur takyklyk derejesi ýarym tegelek önümçilik Senagat. Bu pudagyň "gurýan" bloklary "kerpirler" kerpeler ", ýöne" gurallar "däl-de, köplenç ýokary hünärli gazlardyr. Bütinleý fabrik an Toplumly zynjyr materiallar gatlaklary, köplenç diňe birnäçe atomlar galyňlykda saklanýar ýa-da uzakda saklanýar ýa-da gurlan Silikon wafer.

Bular ýarym funthorer prosessess ajaýyp duýgurdyr. Islendik islenmeýän bölejik ýa-da himiki çökgünlik mikroçipiň näzik binagärligini mikroçipiň näzik binasyny bozup biler. Bu nirede gazlar ulanylýar. Ultra arassa ştatlary döredýärler, olar çig mallary täze gatlaklara üpjün edýär we elektrik ýollarynyň elektrik ýollarynyň gazanç bolan himiki "taçi" "Akptler" hökmünde çykyş edýän hereket edýär. Muňa ýarym tegelek önümçilik prosesi çylşyrymly tansdyr Himiki reaksiýalar, Gaýlar gurşun tansçylarydyr. Üznüksiz, ygtybarly we kadrually görnüşli arassa üpjün edilmezden, häzirki elektron salgysy ýokdy.

Muňa ýarym etrap öndürýän gazlar adaty senagat önümleriňiz däl. Gaýtadan ätiýaçlandyrýan arassalaýyşlary jemlemek, köplenç az mukdarda ýa-da hatda trilliondan soň böleklere ölçäpdirler. Munuň netijesidir ýarym funt atom gurluşynyň kämilligine gönüden-göni baglanýar. Inert ýa-da suw bugynyň reaktiw molekulasy ýa-da suw bugynyň reaktiw molekulasy gaz okislenmä sebäp bolup biler, üýtgetmäge sebäp bolup biler elektrik aýratynlyklary zynjyryň we kemçiliklere alyp barýar. Şonuň üçinem Gezärleýin gazlar pudagy tehnologiýa dünýäsi üçin şeýle möhümdir.

SEMCCONUCT önümçiliginde ulanylýan gazlaryň esasy kategoriýalary näme?

Hakda gürleşenimizde ýarym önüm öndürýän gazlar, umuman öz wezipesine esasynda az sanly esasy kategoriýalara girýärler. Bu toparlara düşünmek, hersiniň roluny aýdyňlaşdyrmaga kömek edýär gaz toplumda oýnaýar Önümçilik prosesi. Bu diňe bir ýa-da iki sany gaz däl; döwrebap ýarym funt 30-dan gowrak zady talap edýär amallara gazlar we garyndylar.

Ilki köp sanly gazlar. Bular desgalaryň dowamynda ulanylan işçiler, ulanylýar. Olar olary perdäniň esasly atmosferasy hökmünde pikir ediň. Iň köp ýaýran:

• Nitrogen (n ₂): Hapamçylary aýyrmak we inert gurşawyny aýyrmak üçin ulanylýan otaglar we enjamlar üçin ulanylýar.
• Kislorod (o₂): Izolýasiýa ýaly ýokary hilli silikon diosidrini (si₂₂) gatlaklary ösdürip ýetişdirýärdi.
• Wodorod (h₂): Arassalamak üçin ulanylýar we aýratynlykda ulanylýar depozition amallar.
• Argon (ar): An inert gazy tüýkürmek ýaly amallar üçin durnukly gurşaw döretmek üçin ulanylýar.

Indiki Hünärmen gazlarŞeýle hem bellidir elektron ýörite ýörite gazlary. Bular gaty belli, köplenç reaktiw ýa-da et we depozitmek möhüm meselelerini ýerine ýetirýän gazlar. Kiçi mukdarda ulanylýar, ýöne has ýokary baha bar we gaty ünsli işlemek talap edilýär. Bular şuňa meňzeş toparlara bölünip bilner:

• DEEP DÜZGÜNLER: SAREONE (shi (shh₄) bu gazlar çip gatlaglarynda ekerançylyk çeşmesidir. Dargaýarlar we goýýarlar inçe film material Silikon wafer.
• We gazylan gazlar: Bular reaktiw gazlar materiallary saýlaýarlar. Mysallaryň uglerod tetrafluid ýaly frean ferotipin birleşmeleri (CF₄₄) we wodorod hlorid (HCL). Ulanylýar ethingeriş prosesi zynjyryň nagyşlaryny oýmak üçin.
• Dimpgan gazlary: Bu gazlar "dop" -a "dop" -a ulanylýar Silikon, belli bir zady bilgeşleýin baglanyşdyrmagy aňladýar çökgünlik (a dopanüýtgetmek) elektrik aýratynlyklary. Bu tranzistorlary döretmek üçin esasydyr. Umumy dopan gazlary Arsine (Aş₃) we foffin (ph₃) öz içine alýar.

Nikrogen gazy ýarymkulýator perdelerinde işçi hökmünde nähili hereket edýär?

A-dan ýöremeli bolsaňyz ýarym funth desga, iň hemme ýerde gaz duşuşarsyňyz Azrogen. Elmydama esasy gatnaşmaýar Himiki reaksiýalar Katam gurluşygynyň, bu reakimlere ýol bermek üçin şertleri döretmek üçin roly düýbünden döredildi. Nitrogen ulanylýar esasan intertory üçin; beýleki elementler bilen aňsatlyk bilen reaksiýa bildirmeýär, kämil "doldurgyç" gaz.

Üçin esasy peýdalanmak Azrogen arassalamak we inert atmosferasyny döretmekde. Islendik duýgurlykdan öň ýarym funtsiýa Başlangyç başlamak, bankogen, suw bugry we tozan ýaly haramlaşýanlara doly azat bolmaly. Ýokary arassalanma Azrogen bu islenmeýän elementleri çykarmak üçin palatanyň üsti bilen gyzdyrylýar. Bu tötänleýin oksidasiýa ýa-da zeper ýetiren beýleki reaksiýalaryň öňüni alýar wafli. Şol ýörelgäniň şol bir ýörelgelerine göterilýän gurallara we ulaglara (dýuýmlar diýlip atlandyrylýar) Silikon Wafers dürli basgançaklaryň arasynda Önümçilik prosesi.

Mundan başga-da, Azrogen möhüm rol oýnaýar fotolitHografiýa, zynjyry dizaýnyny wafli bilen çap etmek prosesi. Häzirki zaman çuňňur ultramaviale (duv) litografiýa, linza bilen ýeriň arasyndaky boşluk wafli ultra-arassa bilen doldurylýar Azrogen (ýa-da Argon) Gysga tolkun uzynlygyň howadan siňmänkä geçmezden geçmäge rugsat bermek. Bu intitirim bolmasa, proses beýle mümkin bolmazdy. Fabs we karz alyp barýan tejribämde üznüksiz, ýokary ses we ýokary arassalyk Azrogen üpjünçilik gepleşikleri däl.

Argon ajaýyp gurşaw döretmekde haýsy rol oýnaýar?

Nitrogen ýaly, Argon asyllydyr gaz, himiki taýdan himiki taýdan inert. Şeýle-de bolsa, Argon ulanylýar Has agyr atom agalygynyň artykmaçlyklaryny üpjün edýän belli bir programmalar artykmaçlyk berýär. Bu programmalaryň iň möhümlerinden biri, çüýşeleriň çüýrüsi ýa-da çüýşesi. Bu fiziki bug Dokma prosesi simleri emele getirýän inçe metal filmleri peseltmek üçin ulanylýar Toplumly zynjyr.

Tüýkürmekde, ýokary naprýa naprýa naprýa naprýa. Argon gazy. Bu oňyn zarýadly plazma döredýär Argon Ions. Bu ionlar çaltlaşdyryldy we "maksatly" ýa-da "makala" (mis ýa-da alýumin ýaly) "maksatly" (mis ýa-da "nyşana) bolýar. Çaknyşygyň güýji metal atomlary, soňra kameranyň üstünden uçup, perdäniň üstünden uçýar Silikon wafer inçe, birmeňzeş gatlakda. Argon Munuň üçin ajaýyp atomlary, ýöne demir çaýdany netije çykarmazlygy üçin ýeterlik derejede hereket etmezligi üçin ýeterlik derejede güýçli indikany, ýöne demir film bilen reaksiýa bildirmek üçin ýeterlik derejede azalmazlygy üçin ýeterlikdir. Ajaýyp üpjün edýär metallaryň çişirilen depoziti üçin gurşaw.

Başga bir açar ulanylýar Argon plazma ethingde. Bude ethingeriş prosesi, Argon köplenç a bilen garylýar reaktiw we weCokt gaz. Muňa Argon Himiki organa kömek edip, materialda has takyk döredmäge we fiziki taýdan has takyk döredmäge we fiziki taýdan bombalanmaga kömek edýär. Ygtybarly üpjünçilik Argon gaz silindrleri jadüklemek ýa-da ösen başlamak üçin zerur islendik desganyň bolmagy möhümdir.

Çukura we arassalamak üçin wagon nähili ulanylandygyny düşündirip bilersiňizmi?

Nitrogen we argon gaharsyz bolany üçin baha berilýär, Wodorod ýokary bolmak üçin baha berilýär reaktiw, ýöne gaty arassa we gözegçilikde saklanýan görnüşde. Wodorod ulanyldy giňden ýarym tegelek önümçilik Arassalamak üçin we belli bir görnüşde depozition epitaksial ösüşi diýilýär. Kiçijik atomiki ululygy, beýleki gazlaryň edip bilmeýän beýleki kärhanalara girmäge mümkinçilik berýär.

Täze gatlagyň ösmezden ozal wafli, üstü Atom derejesine gaty arassa bolmaly. Wodorod gazy emele gelen ähli ýerli öküzi aýyrmak üçin "wodorod bişirilen" "wodorod bişirilen" diýlip atlandyrylýar Silikon üstüdir. Muňa wodorod Kislotany terbiýeleýän suw bugyny emele getirýän kislorod bilen reaksiýa bildirýär Silikon indiki ädim üçin taýýar.

Wodorod Şeýle hem esasy komponentdir epitaksiýa ösüşi (ýa-da "epi"), bir hrustaly gatlagy ösdürýän proses Silikon üstünde Silikon wafer. Bu täze gatlakda ajaýyp kristal gurluşy we takyk dolandyrylýan dopan derejesi derejededir. Wodorod daşaýjy hökmünde hereket edýär gaz üçin Silikon çeşme gaz (sile ýa-da tüpeň ýa-da tüpeň ýaly). Şeýle hem, ozalkaryş oxyegoryga at dakmak arkaly arassa ösüş diwaryňy göz öňünde tutýar. Bu Epitakal gatlagynyň hili, arassalygy ýerine ýetirýän ýokary derejeli prosessorlaryň ýerine ýetirilişiniň esasydyr Wodorod silindr Elbetde, üpjün ediň.

Etchatika gazlary näme we mikroskopiki zynjyrlary nädip oýupdyrlar?

Üýtgemelişler bina gatlaklary gurmak, ething zynjyryň nagyşlaryny döretmek üçin olary saýlamak üçin olary saýlamak. Mikroskopiki heýkeltarasiýa hökmünde pikir ediň. Bir nagyş ulanyp, ulanyp kesgitlenenden soň fotolitHografiýa, ETCHECTNONT Gaýlar üpjün etmek üçin ulanylýar himiki serişdeleriň goralmadyk ýerlerinden materiallary aýyrmak üçin wafli. Bu, iň çylşyrymly we möhüm ädimleriň biridir Çip önümçiligi.

Muňa ethingde ulanylýan gazlar Amal, adatça, ftornoin, hlor ýa-da ýaýrama esaslanýan birleşmelerdir. Saýlamak gaz e-poçtaňyza baglydyr.

• Düýüm esasly gazlar (meselem, cf₄, sf₆, nf₃ Silikon we silikon dioksiddi.
• Hlor esasly gazlar (meselem, CL₂, BCL₃, HCL₃) alýumin ýaly eting metallary üçin köplenç ulanylýar.

Bular reaktiw gazlar plazma kamerasyna girizilýär. Plazma arakesmesi gaz molekulalar ýokary derejede ýokarydyr reaktiw Ions we radikallar. Bu radikalylar soň bolsa ýüzüňi reaksiýa bildirýärler wafliŞeýlelik bilen bu "emucing" üçin täze üýtgeýän täze üýtgediliş birleşmesini emele getirip, "Ecching"-yň "" Et "" ETBIT "-iň" gysgysyny emele getirip, "bu" emeking "döredip, uzaklaşdyrylyp, uzaklaşdyrylyp bilner. Takyk zerur, ummawçdyr; Maksat ýürek Nagyşly gatlagy ýok etmän göni (anizotropiki). Döwrebap ýarym fabs Çylşyrymly ulanyň Gaz mildeleri we şoňa ýetmek üçin seresaplylyk bilen dolandyrylýan plazma şertleri.

Gasýan himiki bugyň (CVD) we gazlar gatnaşýan zat näme?

Himiki bugyň çümmegi (CVD) bir burç Dokma prosesi içindegi ýarym tegelek önümçilik. Dürli izolýasiýa we geçiriji inçe filmleri döretmek üçin ulanylýan esasy usul döredýär ýarym funth. Esasy pikir a akymy a gaz (ýa-da gazlaryň garyndysy) gyzdyrylan wafli. Ýylylyk sebäp bolýar gaz Wafl-nyň ýüzüne çykyp, islenýän materialyň berk filminiň aňyrsynda galmak ýa-da dargatmak üçin.

Bu reaksiýalaryň her biri ajaýyp durnukly şertleri we aşa talap edilýär ýokary arassalyk gazlar. Mysal üçin, silon, islendik kislorod ulanyp polisilon gatlagyny goýanyňyzda çökgünlik içinde gaz akym kripikon difokidine, dermanyň özüni alyp barşyny wagyz etmäge çalyşmagyna sebäp bolar. Şonuň üçin üpjün ediji hökmünde, gaty agyr üns bermeýäris arassalamak Bulary derňäň Gaýlary gazlar. Tutuş kitaphanasy Ýokary derejede arassa arassalaýjy gazlar Bu stiw talaplara laýyk gelmäge taýýarlyk görýäris.

Semikondarlyk gazlary üçin iň möhüm faktor näme üçin iň möhüm faktor näme üçin bolar?

Men muny artykmaç ulanyp bilemok: ýarym funt, Arassalylyk hemme zat. Termini ýokary arassalanma 99% ýa-da hatda 99,9% azalmaýar. Üçin ýarym funtyklar, biz gürleýäris Ultra-biperwaýlygy (UHP), adatça 99,999% (köplenç "bäş ninaly" diýilýär) ýa-da has ýokarydyr. Käbir möhüm amal gazlary, Tanyş, 99.9999% ("alty ninka") ýa-da has ýokary bolup biler. Sebäp ýönekeý: hapalaýjy, öndürijiligini öldürmek.

Döwrebap mikrip meýdandaky aýratynlyklar Nanometrde (metrden uly) ölçelýär. Bu masştabda ýekeje daşary ýurt bölejigi ýa-da islenmeýän molekula, aşa ýoluň ortasynda gaýa ýalydyr. An çökgünlik edip biler:

• Elektrik aýratynlyklaryny üýtgetmek: Öň sürgün nohraly natdium ion geçelgesiniň öňüni alyp biler "transistoryň bosagasynda üýtgedip biler, nädogry wagtda ýapmaga ýa-da öçürmäge sebäp bolup biler.
• Gurluş kemçiliklerini dörediň: Epitaksial ösüşde epizaxial molekulasy, elektron akymynda ýok edilen "ýerleşiş" wagtynda "Lationalctionation" -yň "göçürilmegi" atly ajaýyp kristal gämilerini bozup biler.
• Gysga zynjyrlaryň sebäbi: Jetli bölejigi iki sany ýanaşyk geçirýän setirleri iki bölege bölýän çyzyklary köpri edip biler.
• Hasyly azaltmak: Köp hapalananlar bar, hersinde kemçilikli çipleriň sany köp wafli, girdeji getirýän girdejä gönüden-göni täsir edýär.

Şonuň üçin bu, öndüriji, iň uly maýa goýumlarymyz arassalanma we seljeriş enjamlaryna girýär. Her topar Gaz bolmaly Müşderilerimiz tarapyndan ýa-da ştatlarynda böleklere bolan böleklere (PPB) ýa-da bronillionlar (PPB) Aýratynlyklar Muňa ýokary arassalaýyş gazlaryna isleg tutuşlygyna sürýär Hünärmen gaz bazary elektronika üçin.

Preokary arassalyk gazlaryň hilini we ygtybarly üpjünçiligini nädip üpjün edýäris?

Markal ýaly satyn alyşçy işgär üçin, bu iň möhüm sorag. Ajaýyp baha manysyz bolsa manysyz gaz Hil gabat gelmeýän ýa-da iberiş giçdir. Gortek hekaýasyny eşitdim: derňewligiň galp şahadatnamalaryny ýa-da iberişini eşitdim Hünärmen gazlar Hepdäniň dowamynda gümrükhana gurmak, önümçilige düşmäge sebäp bolýar. Bu agyrynyň nokatlaryna ýüzlenip, biziň işleýän pelsepämiziň korrubynda.

Hilini üpjün etmek arassalamak prosesi. Öňdebaryjy ulgamlar, dartgynly hapalary aýyrmak we aýratyn mahabat materiallary ýaly ösen ulgamlary ulanýarys. Emma proses ol ýerde gutarmaýar. Iň möhüm ädim barlanmagy bar. Gaz hromatografograf-köpçülikleýin spommatograf-köpçülikleýin spommatografiki spektrometri (GC-Ms) iberilmezden ozal her silindrini barlamak üçin iň häzirki zaman seljimsiz seljerişleri ulanýarys. Hususy kynçylyk, kepillendirýän her bir topar üçin jikme-jik we hakyky derňewli we hakyky derňewli (COA) bilen üpjün edýäris gaz arassylygy.

A ygtybarly üpjünçilik zynjyr deňlemegiň beýleki ýarysydyr. Munuň öz içine alýar:

• Ygtybarly silindr taýýarlyk: Silindrler Ultra-ýokary arassalaýyş gazlary gapagyň özüni hapalamazlygy üpjün etmek üçin ýörite arassalaýjy we paşeçlik prosesini geçiriň gaz.
• Integtor Logistika: Highokary basyşly we käwagt halkara derejesinde howply materiallary ibermegiň düzgünlerine düşünýän tejribelere bilýäris. Gümrük taýdan resmileşdirmek üçin ähli zerur resminamalary hödürleýäris.
• Arassalaýyş aragatnaşygy arassalaň: Satyş we goldaw toparlarymyz yzygiderli täzelenmeleri bermek üçin taýýarlanýar. Sargydyňyzyň ýagdaýyny gutarnykly gowşuryşyňyzdan elmydama gutarnykly eltersiňiz. Öňünden aýdyp boljakdygyna düşünýäris ýokary arassalaýjy gazlary üpjün etmek Müşderilerimiz üçin önümçilik meýilnamalaryny dolandyrmagy üçin zerurdyr. Hatda dürli-dürli hödürleýäris gaz garyndysy belli bir prosesi zerurlyklaryny kanagatlandyrmak üçin wariantlar.

Geljekde ýarymkuldageçirijiniň pudagynda gaz üçin näme saklaýar?

Muňa ýarym funt hiç haçan durma. Murda hukuk düzdedi, çlakd bolyjylar kiçi, has çalt, has çalt we has güýçli enjam döretmek ugrunda hemişe köp dowam edýär. Bu yzygiderli täzelik hakyky täsirlere gönüden-göni täsir edýär Gazlar we garyndylar ekin meýdanlarynda ulanylýar. Göçüp barýarkak ýarymgeçirijiniň indiki nesli Tehnologiýa, aýratynlyk ulagy bilen öz aýratynlyklary bolan aýratynlyklar az mukdarda nangometr az mukdarda nanometriz az mukdarda nanometriz bar, gaz arassalygynyň ygtybarlary hasam has aşa bolýar.

Daşarda täze materiallara tarap tendensiýany görýäris Silikon, GALYUM NITRID (GAN) we täze we başgaça talap edýän "SAN) amal gazlary Ething we depozitmek üçin. Mundan başga-da has berk toplumly 3D 3 kremetcologlara we tegelek (Gaa) (GaA) (GAA) Transformatalara hereket edýär depozition we ýürek ädimler. Bu diýmekdir Hünärmeni "Senagat" täze molekulalary ösdürmegi we has ýokary derejeleri ösdürmek üçin pudak yzygiderli täzelik etmeli arassalamak.

Üpjün edijä perspektiwadan, geljegimiz hyzmatdaşlyk hakda. Indi silindr syny satmak üçin indi ýeterlik däl gaz. Müşderilerimiz bilen ýakyndan işleşmeli Elektronika önümçiligi Geljekki tehnologiýa ýollaryna düşünmek üçin pudak. Bu, täze zerurlygyň zerurlygyny garaşmaga mümkinçilik berýär ýokary arassalyk gazlar we olary üpjün etmek üçin önümçilig we seljeriş mümkinçiliklerine maýa goýuň. Görünmeýän gahrymanlar ýarym ýarym Dünýä-Gazalar tehnologiki ösüşiň başynda bolmagyny dowam etdirer.

Esasy eşik

SeMCICKURKOR BAGATY ÜÇIN SOVICASI senagat gazlarynda: Ine, ýatda saklamaly iň möhüm zatlar:

• Arassalygy paramçylykdyr: Iň möhüm faktoryň iň möhüm faktory Ultra-biperwaýlygy. Päseleri, pyýada ýörelgelerinde-de bezeg enjamlarynda-da, kärende enjamynyň näsazlygyny peseldip, azalandyryňy üpjün edip biler.
• Gazlaryň aýratyn iş ýerleri bar: Gazlar çalşylmaýar. Olar Aýyr bitkenhyöriş kärhanasyny (NIFRogen, Argonogan) döretmek ýaly tapawutly amallar (azotogen), gatlaklary gurmak ýaly tapawutly amallar üçin ulanylýan ýokary ýöriteleşdirilen gurallardyr (Gaýlary gazlar sile ýaly) we shonirlejek zynjyrlary (gazet gazlary CF₄ ýaly).
• Üpjünçilik zynjyry möhümdir: Ygtybarly üpjün ediji diňe bir önüm satmakdan has köp zat edýär. Güýçli synag arkaly hiliň hilini ýokarlandyrýarlar, "takyk şahadatnamalary" işleýşini dolandyryň we gymmat önümçilik gijikleriniň öňüni almak üçin arassa aragatnaşyk gurupdyrlar.
• Tehniki bilim goşýar: Düşünmek näme üçin belli bir gaz ulanylýar we näme üçin Onuň arassalygy gaty möhümdir, möhümdir, ýokary-walýuta ynamy özüni alyp barşyna has täsirli hyzmatdaş bolar.
• Senagat ösýär: Kiçi we has güýçli çipler üçin iteklemek täze, hatda gazançyň islegini aňladýar Hünärmen gazlar diňe ösmegini dowam etdirer. Öňe üpjün ediji bilen hyzmatdaşlyk etmek, öňde galmagyň açarydyr.