Ýarym fotonory fifluure (nf₃) ýarym

2025-11-12

Tekstiňizde Smart, jübiňizdäki smartfondaky kompýuteriňizde kompýuterdäki kompýuterdäki ysly smartfondaky smartfondaky smartfondaky smartfondaky smartfondaky smartfondaky smartfondaky smartfondaky smartfondaky smartfondaky smartfondaky smartfondaky smart bolsa, kargyňyzdaky ösen ulgamlar. Sport gaz zawodynyň eýesi hökmünde, men Allenin materiallaryň häzirki zaman tehnologiýalarynyň düşegiň düşegiň düşegiň bardygyny görkezýändigini özüni görendigini görüp, häzirki zaman tehnologiýalarynyň bardygyny görkezýändygyny görüp, özüniň pikiriçe. Wodern Global üpjünçilik zynjyryna dolandyrýan işewür ýolbaşçylary üçin bu gazylaryň düşünişip, täze mümkinçilikleri açmagyň açarydyr. Bu makala bu ugurdaky iň möhüm oýunçylaryň biri-birine giňişleýin gollanmaňyz: Nitrogen trifluuid (NF₃). Bu güýçliligi görkezeris gaz, Möhüm roluny öwrenýär ýarym tegelek önümçilik prosesiwe munuň üçin hiliniň we üpjünçiliginiň bütinleý üçin möhümdir Elektronika önümçiligi Senagat.

NICROROGRONT Trifluid (NFGE) gaz näme?

Ilki bilen seredişde, Nitrogen trifluid, köplenç himiki formula tarapyndan ugrukdyrylýar Nf₃, diňe başga bir senagat ýaly bolup biler gaz. Reňksiz, ýangyjy däl, eňek däl we birneme ysly ys birleşme. Şeýle-de bolsa, dünýädäki ösen önümçilik, bu gaz ýokary öndürijilikli guraldyr. Bu sintetiki taýdan öndürilýär birleşme bir nitrogen atomdan we üçüsinden ýasaldy fizingo atomlar. Güýjüniň açary bu gurluşda ýerleşýär. Otag temperaturasynda, Nf₃ has durnukly we inert, has üýtgäp duran gazlar bilen deňeşdirilende ulag we tutanýerli hereket etmek üçin howpsuz etmek.

Energiýa ulanylanda jadyly bolýar. Içindäki ýokary energiýa şertlerinde ýarym ýarym ýaly öndüriji gural plazma kamera, mälimlik Nf₃ molekulalar defolýasiýa etmek. Aýryp, ýokary galýarlar we ýokary galýarlar reaktiw fizingo radikallar. Mikroskopiki şkalada gözegçilikli partlama ýaly pikirleniň. Bular mugt fizingo aýratyn bolmadyk materiallary, esasanam islenmeýän materiallary ýa-da aýyrmak üçin atomlar ajaýyp täsirli Silikon we birleşmeleri. Bu ukyby zerur bolanda durnukly bolmak we ýokary reaktiw Isleseňiz Nitrogen ownuk-ýyl Takyk dünýädäki bahasyna ýetip bolmajak baýlyk Çip önümçiligi.

Bu üýtgeşik goşalyk häsiýeti näme üçin Nf₃ döwrebapyň burçuna öwrüldi ýarym funth. Durnagy, onuň reaktiwligi zerur bolan üpjünçiliginde howpsuzlygyny üpjün edýär we ýokarlandyryjy ýokary öndürijilik arassalaýyşyny we orektarlyk mümkinçiliklerini hödürleýär. Güýçli çuňlugymyz ýaly, bu ýönekeý sesiň nähili bolýandygyny görersiňiz gaz Eartherdäki iň çylşyrymly enjamlaryň döredilmegine mümkinçilik berýär.

Näme üçin ýörite ýarymgargançlyk pudagy üçin zerurdyr?

Ähmiýetine düşünmek Nf₃, ilkinji gezek has giň roluna baha bermeli gazlar möhümdir üçin ýarym funt. Önümçilik Toplumly zynjyr Kalwasda, kiçijik suratyňyzyň ululygyndaky gök öwüsýän çişini gurmak ýalydyr. Akymlaryň on sany ultaktor-inçe gatlak gatladalaryny a Silikon wafli. Her ädim, ýalaňaç döretmekden wafli Iň soňky çip üçin, hünärli gözegçilik astynda seresaplylyk bilen dolandyrylýan atmosfera bil baglaýar Elektron gazlar.

Bu gazlar birnäçe möhüm funksiýalary ýerine ýetirýär. Käbirleri ýaly argon we gelion, durnukly, reaktiw gurşaw döretmek we has reaktiw gazlaryň aýgytly gazlar döretmek üçin inert ýük daşaýjylar hökmünde ulanylýar. Beýlekiler ulanylýar depozition, nirede a gaz ulanylýar goýum Matanyň inçe film wafli. Mysal üçin, himiki Bug Depozition (CVD), gazlar, gazanyň aýagynyň bir bölegi bolup biljek gaty film emele getirmek üçin reaksiýa bildirýär. Şonda, ýaly gyrgyç gazlary bar Nf₃, bu gatlakdaky nagyşlary takyk nagyşlary takyk nagyşlary takyk nagyşlary takyk düzýär, akym üçin elektrik togunyň ýollaryny döretmek üçin ulanylýar.

Hemişelik, ultramas-ýokary arassalanma Bu dürli gazlary üpjün etmek, tutuşlygyna Önümçilik prosesi togtadyljak. Hatda minusly çökgünlik icinde gaz Bir kompaniýa millionlarça dollar sarp edýän bir topar wafli weýran edip biler. Şonuň üçinem ýarym funt öndürijiler gaz üpjün edijileriniň hiline we ygtybarlylygyna ajaýyp duýgur bolýar. Arassalygy gaz hiline gönüden-göni terjime edýär we Önümçiligiň hasyllylygy soňky önümiň.

Nf₃ gazy ýarym finorator önümçilik proseslerinde nähili ulanylýar?

Nitrogen trifluid iki esasy, möhüm programmalar bar ýarym funth öndüriji öndüriji proses: plazma ething we kamera arassalamak. Ikisem ýokary öndürijilikli mikrowpalary döretmek üçin, prosessorlardan Nand fleş ýady.

Ilki bilen geliň, ething hakda gürleşeliň. Ýaly materialdan soň Silikon dioksidi goýuldy wafli, nagyş çyrany ulanyp, nagyşa gönükdirilendir. Muňa ýürek Soňra proses, materiallary goramaga baglanyşykdan aýyrýar. Nf₃ döretmek we döretmek üçin bir otagda we güýjüň içine girizilýär plazma- zarýadly bulut Ion bölejikler we reaktiw fizingo radikallar. Bu radikalylar takyk bomba partlady wafli üsti bilen reaksiýa beriň Silikon we a öwürmek gazly birleşme (Silikon tetrafloerde) otdan aňsatlyk bilen süpürip bolýar. Bu etiň takyklygy, aňy açmak, in engineerleriň adam saçyndan müň az sanly ýodkri bilen oýlanyşyk bahalandyrmaga mümkinçilik berýär.

Ikinji we has ýygy, nitrogen trifluidini ulanmak ýaly gaz arassalamak. Wagtynda Himiýa bugynyň depozitasiýasy (CVD) Inçe filmi ösdürilip ýetişdirilen ýerinde wafli, islenmedik materiallar, proses perheriniň içki diwarlaryna esaslanýar. Bu galyndy, köplenç amala aşyrylýar Silikon ýa-da arakon nitrid, hersi gaýtadan işlemek arasynda doly aýrylmaly wafli ýa-da wafli wafli. Notok bolsa, bu gurluşyk ýakylyp, indiki ýere gonup biler wafli, kemçilik döredýär. Ine, Nf₃ boş otaga we a plazma ot ýakylýar. Güýçli fizingo radikallar kameraly diwarlaryny arassalaýar, berk galyndy a gazly önümçilik aňsat aýrylýar. Bu arassalaýyş sikli saklamak üçin möhümdir önümçilik gurşawynyň arassalygy we ýokary derejä çykmak Önümçiligiň hasyllylygy.

NF-ni alternatiwalar bilen deňeşdirilende iň ýokary arassalaýjy gaz näme?

Köp ýyllap, ýarym funt uglerod tetrafue ýaly perfluoroarbonlar (pfcs) (CF₄₄) we wexfluootoothe (C₂f₆) arassalamak we etmek üçin. Netijede, bu birleşmeler uly baha bilen geldiler: we gaty uzyn atmosfera ömrleri bilen aşa plyhemous galasy. Mysal üçin, C₂f₆ bar Highokary global ýylylyg potensialy (GWP) we 10 000 ýyl atmosfera dowam edip biler. Daşky gurşaw baradaky anyklamalary berkitdi, bu pudak has gowy çözgüt gerekdi.

Bu nirede Nf₃ düşnükli ýeňiji hökmünde ýüze çykdy. Wagtynda Nitrogen trifluid a a güýçli tüýs ýürekden gaz, "Has gysga ilat ýaşaýyş wagty has gysga wagtda" -y has gysgaster durmuşy bar (500 ýyl töweregi). Has möhümi, arassalaýyş işine has netij oňat bolýar. Içinde plazma kamera, has ýokary göterim Nf₃ molekulalary reaktiwlerini boşatmak üçin döwüldi fizingo pfcs bilen deňeşdirilende. Bu az diýmekdir režissiýa bolmazdan gaz otagdan tükenikdir. Döwrebap ýarym fabs hemmäňizi diýen ýaly ýok edýän imatasiýa ulgamlaryny (gyrymsy agaçlary) guruň režissiýa bolmazdan Nf₃ we zyýanly önümçilik çykmazdan ozal gazlar.

Ýokary netijelilik we has täsirli hukuklaryň utgaşmasy hakykydygyny aňladýar Greathouse gaz zyňyndylary ulanmakdan Nf₃ uly PFC gazlaryndan has pesdir. Üstünlik giňden kabul edilişiniň esasy sebäbidir.

Aýratynlygy Nitrogen trifluuid (NF₃) Perflorororbons (meselem, c₂f₆)
Arassalaýyş netijeliligi Örän beýik Ortaça
Plazma bölünişi > 95% 10-40%
Gaz ulanylyşy Aşaky göwrümleri talap edilýär Has ýokary göwrümler talap edilýär
Gaýtadan işlemek wagty Has çalt arassalamak siklleri Has haýal arassalamak siklleri
Daşky gurşawyň täsiri Azaltmak bilen pes täsirli zyňyndylar Örän ýokary, uzyn atmosfera durmuşy
Çykdajylary Ýokary Önümçiligiň hasyllylygy, az iş wagty Has täsirli, has köp galyndylar

Ýokary derejede arassa nitrogen fifflogy nähili öndürilýär?

Öndüriji hökmünde, size öndürýändigini aýdyp bilerin Nf₃ çylşyrymly we ýokary derejede dolandyrylýar Önümçilik prosesi. Maksat, ajaýyp arassa, köplenç 99.999%% 99.999% Alitiriň ýa-da has ýokary, sebäbi iň az çökgünlik katastrofiki bolup biler ýarym funthoper önümleri. Bu proses, esasanam ýokary reaktiw himiki maddalary çözmekde tejribäni talap edýär fizingo.

Muňa Nf₃ önümçiligi adatça reaksiýa bildirýär ammiak (a birleşme nitrogeni öz içine alýar) ýa-da ammoniýa ftorid element bilen birleşme fizingo reaktordaky gaz ýokary temperatura. Bu reaksiýa gazlaryň garyndysyny döredýär, şol sanda Nf₃, Göýilegsiz materiallar we dürli dürli önümler. Hakyky kynçylyk, we üpjün edijiniň tejribesini hakykatdanam görkezýär arassalamak yzarlaýan tapgyra.

Çig gazly Garyndy birnäçeden geçýär arassalamak Islendik islenmeýän birleşmeleri aýyrmak üçin ädimler. Bu köplenç swuBbbbing saklaýar, ADOSSwe krogeniki taýdan kemsidiş prosesleri. Muňa Dolandyryş prosesi, esasanam, beýleki gazlary gaýnatýan nokatlara esaslanyp, aşagyndaky dürli gazlary aýyrmak üçin aşa pes temperatura ulanýar Nf₃ galan hapalardan. Her ädim, soňky önümiň berk aýratynlyklaryna laýyk gelýän ösen analitiki enjamlar bilen gözegçilik edilýär ýarym ýarym Senagat. Hil gözegçiligi baradaky bu ygrarlylyk, galanlardan ygtybarly üpjün edijini aýyrýan zat.


Ýokary derejeli nf3 gaz silindri

Nf₃ gazy üçin howpsuzlyk we işlemek pikirleri haýsylar?

Howpsuzlygyň iň esasy ähmiýetidir gaz Işewürlik. Wagtynda Nf₃ Ot ýakylýan we otag temperaturasynda gülküp boljak we birneme durnukly däl, esasanam ýokary temperaturada güýçli oksidleýji wekildir. Diýmek, ýangyjy materiallar bilen zor bilen reaksiýa berip, seresaplylyk bilen dolandyrmagy talap edip biler. Esasy töwekgelçilik, zäherliligi; dem almak gaz zyýanly, gaty süzgüç we şahsy gorag enjamlary islendik ýerde bolup biler Sport ibermek ýeri.

Zawoddan müşderi üçin ähli üpjünçilik zynjyry ýarym ýarym Fab, howpsuzlyk bilen gurulýar. Nf₃ ýokary basyş astynda ýörite dizaýn edilen polat silindrlerde daşalýar. Bu silindrler, ygtybarly öz içine alýandyklaryny üpjün etmek üçin berk synag we şahadatnama gaz. Wrider-da üpjün ediji hökmünde üpjün ediji hökmünde, şahsy ammar, birikme we işlemek meseleleri boýunça müşderilerimize jikme-jik iş sahypalary we okuwlaryny üpjün edýäris. Munuň öz içine alýar Akyş tizligi gözegçilik we syzmak ulgamlary.

Esasy aladalanan telekeçiler bolan telekeçiler, esasy aladasy, talap edilýän howpsuzlyk ýazgysy bar, üpjün ediji bilen hyzmatdaşlygyň möhümdigini, talap edilýän goşmaça üpjünçilik zynjyry bolan we ygtybarly üpjünçilik zynjyry Üpjün edijiniň arassa aragatnaşyk ýa-da arassa howpsuzlyk protokollarynyň ýetmezçiligi esasy gyzyl baýdakdyr. Diňe bir önüm berilmezlik, ýöne maddy-tehniki goldawy we howpsuzlyk hünärmenini öz içine alýan doly hyzmat, ýöne üpjünçiligiň tejribesini öz içine alýan doly hyzmat gaz gelýär we her ädimiň her ädimini howpsuz işledi.

Nitrogen üçburçlygy teplisa gazy? Daşky gurşawyň täsirine düşünmek.

Daşky gurşaw taraplary barada aç-açan bolmak möhümdir Nf₃. Hawa, Nitrogen trifluid güýçli parnik gazi. Howanyň üýtgemeginde (IPCC) hökümetara harby panelinde global ýylylyk potensialy (GWP), karbondan müňlerçe esse ulydygyny hasaplady dioksidi 100 ýyllyk döwürde. Bu pudagyň gaty çynlakaýdygyny görkezýär.

Şeýle-de bolsa, hekaýa ol ýerde gutarmaýar. Muňa daşky gurşawa täsir edýär gazyň potensialyna däl, eýsem asmosfera näçeräk boşadylandygy barada baglydyr. Öň aýdylyşy ýaly, Nf₃ ýokary täsirli. Döwrebaplykda ýarym ýarym desga, uly aglaba köplügi Ulanylan gaz önümçilik prosesinde sarp edilýär ýa-da ýok edilýär ýa-da ýok edilýär. Muňa plazma döwýär, we islendik režissiýa bolmazdan gaz tükeniksizlik bitewi ulgama iberilýär. Bu ulgamlar gaty täsirli, köplenç galan bölegiň 99% -ini ýok edýär Nf₃.

Pudagyň PFC-den geçiş Nf₃Beşik däl tehnologiýalaryň giňden ýaýran ýerleri bilen birleşdirilen, hakykatdanam arassa azaltmaga sebäp boldy Greathouse gaz zyňyndylary önümçilik birligi boýunça. Jogapkärdir ýarym funt öndürijiler Gaz üpjün edijiler, zyňylalaryň azalmagynyň üçin bilelikde işleýärler. Bu, iň az mukdaryny ulanmak üçin arassalaýyş prosesini optimizirlemegi öz içine alýar gaz Iň ýokary öndürijilik üçin nejis iş ulgamlaryny zerurdyr we goldamak. Şonuň üçin Nf₃ güýçli parnik gazi laboratoriýa sazlamasynda, hakyky dünýädäki daşky gurşaw aýak yzy ýarym tegelek önümçilik ünsli we çalşylan alternatiwalardan has ýokary derejede dolandyrylýar we ep-esli pesdir.

Uly ýarym ýarym awtoulag üçin sahypada gaz nesliniň roly nähili?

Döwrebap masştab ýarym tegelek önümçilik haýran galdyryjy. Mega-Fabs "Assms" diýlip atlandyrylýan iň uly jaýlar, ägirt uly mukdarda gaz iýýär. "NIRRogen ýaly käbir gazlarda" käbir gazlar üçin, müňlerçe silindr edilen müňlerçe silindriň ýarmarkasyndan başga-da deslapky deslapky desgasyny öndürmek has netijeli bolsa-da döredýär. Bu diýilýär sahypada nesil. Ýokary hünärli we reaktiw üçin gaz ýaly Nf₃, biraz dürli model ýüze çykýar: sahypada Arassalamak we derňew.

Doly bolsa-da Nf₃ önümçiligi FAB-da çylşyrymly ulanyjylary sebäpli seýrekdir, uly göwrümli ulanyjylar köplenç çylşyrymly sahypada Gasyp dolandyryş ulgamlary. Köp mukdarda üpjün etmek Nf₃ tüýdük bilen iberilýär, soň bolsa bu ulgam soňky sahnalaşdyrýar arassalamak we öňünden ýokary hilli hil derňewi gaz gymmat önümçilik gurallaryna girýär. Bu üpjünçilik liniýalardan has ýokary hapa bolan iň ýokary derejeli hil howanyny üpjün edýär, üpjün edilen ýokary derejeli hiliň giň gatlakyny üpjün edýär. Bu çemeleşme, hiliň kepili bilen ýokary satyn alyş önümleriniň ykdysady artykmaçlyklaryny birleşdirýär sahypada Dolandyryş.

Bu bu ösýän bu ösýän üpjünçilik modellerine düşünmek möhümdir. Wrideri hökmünde üpjün ediji hökmünde silindrleri doldurýan hyzmatlarymyzy giňeltdik, men silindrleriden daşarda giňeldik. Biz indi işleýäris Global ýarym funt öndürijiler GEÇIRILEN GARAMAK we Dolandyryş çözgütlerini dizaýn etmek we durmuşa geçirmek we durmuşa geçirmek. Bu bagyşlanandygyny öz içine alyp biler önümçilik liniýasy esasy müşderi, ýöriteleşdirilen logistika ýa-da olar bilen integratasiýa üçin mümkinçilikleri sahypada ulgamlary. Talap edilýän zerurlyklara laýyk gelýän çeýe we ygtybarly üpjünçilik zynjyryny bermek hakda 21-nji asyr öndüriji. Bu, esasanam möhüm müşderilerimiziň esasy bölegi, ep-esli hyzmat edýän mahaly müşderilerimiziň esasy bölegidir önümçilik kuwwaty.


Ýarym funt öndürijilik üçin ýerinde gaz üpjünçiligi ulgamlary

NF ₃ Arassalygy, çip önümçilikde önümçilik hasylyna nähili täsir edýär?

Içinde ýarym ýarym Dünýä, "hasyl" hemme zat hemme zat. Singleeke-den öndürilen gowy, işleýän çipleriň göterimi Silikon wafli. Ýokary girdeji ýokary girdejili diýmekdir; Pes hasyl bermek maddy taýdan weýran etmek bolup biler. Proses gazlarynyň arassalygy, esasanam reaktiw gaz ýaly Nf₃, göni we dramatiki täsir edýär Önümçiligiň hasyllylygy.

A çökgünlik çyglylygyň kiçijik bölejigi (H₂o) ýa-da başga biri ýaly gazly birleşme bilen garyldy Nf₃. Duýgur etika döwründe, bu çökgünlik Çipiň aýlawynda mikroskopiki kemçilik döretmäge sebäp bolup, himiki reaksiýa bermäge päsgel berip biler. Petikläp biler ýürek, gaty köp materially ýa-da aşa köp material aýyrmak üçin maddy-wagtden gidip, materialdan gelýär. Ýa-da ýolda Toplumly zynjyr gutarnykly synagdan geçmez. Bir çipli, hatda bir çipli, hatda bir "ganhor" çökgünlik ähli çip peýdasyz manysyny berip biler.

Şonuň üçin hilli gözegçilikde gaty köp maýa goýýarys. Kepillendirilen, ultwra-ýokary arassalanma Nf₃, müşderilerimizi berýän ynamymyzy berýäris gaz kemçilikleriň çeşmesi bolmaz. Konsentrasiýasyna gözegçilik etmek her bir komponenti-beans-banky tarapyndan böleklere bölünýär Önümçilik prosesi durnukly we gaýtalanýar. Durnukly amal öňünden aýdylýan we ýokary derejä çykarylýar Önümçiligiň hasyllylygy, her kim üçin iň esasy maksat ýarym ýarym öndüriji. Üpjün ediji hökmünde rolumyz Ýokary arassa arassa gazlar Üýtgeýjileri ýok etmek we barlyşyksyz hiliň önümini ýok etmekdir.

Nitrogen trifluidride üpjün edijä näme gözlemeli?

Markal-y ýaly satyn alyş işgäri üçin, dogry üpjün edijini dogry üpjün edijini saýlamak üçin dogry üpjün edijini saýlamak üçin Nf₃ bahalary jemlemekden has uzakda geçýär. Neşirli hyzmatdaşlyk-iberişleri gijikdirýänleriň töwekgelçiligi, hil meseleleri, aragatnaşygy gamsyzlaryň aşyrmagy diňe gaty ýokary. Tejribä bermäge esaslanyp, bu ýerdäki esasy faktorlar:

Ilki bilen, elýeterli hil we şahadatnamalar. Ynamdarlyk bilen üpjün ediji, arassalygy, arassalanmany görkezýän we tapylan hapalary görkezýän derňew şahadatnamasy beriler. ISO 9001 ýaly halkara ülňülerine laýyk gelmelidirlar. Analitik mümkinçilikleri barada soramaly. Talap edilýän derejelerdäki çäklendirmeleri ýüze çykarmak üçin enjamlar barmy? ýarym ýarym anketalar?

Ikinjiden, üpjünçilik zynjyr ygtybarlylygy we aç-açanlygy üpjün ediň. Üpjün ediji gijikdirmek üçin berk logistika toruny görkezip bilermi? Artykmaç bolýarlarmy? önümçilik kuwwaty durnukly üpjünçiligini üpjün etmek üçin? Aragatnaşyk bu ýerde aç-açandyr. Sypaýaty siziň üpjün edijiňiz işjeň bolmaly, iberişde täzelenmegi üpjün etmek we soraglara jogap bermek üçin elýeterli bolmak. Bu gönüden-göni, adaty aragatnaşyk nokadyna gönüden-göni salgylanyp gelýär.

Netijede, tehniki tejribäni gözläň. Gowy üpjün ediji diňe bir önüm satmaýar; çözgüt hödürleýärler. Goýumyňyza düşünmeli we tehniki goldawy hödürlemeli. Howpsuzlyk, dolandyrmak, dolandyrmak we hatda daşky gurşaw düzgünleri barada bilimli bolmaly Gaz programmalary. Bilimli hyzmatdaş hökmünde öz-özüne bolan hyzmatdaş hökmünde hereket edip biljek üpjün ediji, diňe satyjy ýaly gymmatlydyr. Bu tejribe uzak möhletli, peýdaly gatnaşyklaryň esasyny düzýär. Diňe muňa garamazdan, ähli müşderilerimiz üçin şol müşderilerimiziň bardygyna göz ýetirýäris gaz Emma onuň bilen gelýän pikiriň rahatlygy.


Esasy eşik

  • Esasy gural: Nitrogen trifluuid (NF₃) möhüm hünärdir gaz plazma ething we kamera arassalamak üçin ulanylýar ýarym tegelek önümçilik prosesi.
  • Ýokary öndürijilik: Nf₃ Has täsirli we has netijeli, uly PfC Gazetlerinden has pes täsirli guramaçylyk täsirleri, ýokary ulanylýan bahalaryň we häzirki zaman abatlaýyş ulgamlaryna sag ýeri eýeledi.
  • Arassalylyk girdejilidir: Ultra-byagly arassalamak Nf₃ gepleşiksiz däl. Hatda yzarlaýanlaram kemçiliklere sebäp bolup biler Silikon wafli, ep-esli azaldýar Önümçiligiň hasyllylygy we girdejili Çip önümçiligi.
  • Howpsuzlyk we işlemek açarydyr: Durnukly bolsa, Nf₃ zäherli we oksidiýa gaz Specializedöriteleşdirilen işlemek, kepillendirilen silindrleri talap etmegi we Howpsuzlyk protokollaryna-da çuňňur düşünmek talap edýär.
  • Üpjün edijiniň saýlamagy möhüm: Saýlanda Nf₃ üpjün ediji, kesgitlenýän hilini ileri tutuň, jogapkärçilik, aç-açan aragatnaşyk we ýeke-täk bahadan çuňňur tehniki tejribe dörediň.