Истеҳсоли нимнизатор ба гуногуни газҳои гуногун такя мекунад, ки онҳоро ба се намуди асосӣ гурӯҳбандӣ кардан мумкин аст: газҳои зиёдатӣ, газҳои махсусва газҳои худ. Ин газҳо бояд тозагии бениҳоят баланд бошанд, то ки ифлосшавии ифлос ва мураккаби наслро вайрон кунад.

Газҳои зиёдатӣ

Нитроген (n₂):

Нақш: N₂ бо мақсадҳои сершумор хизмат мекунад, аз ҷумла болишти тоза кардани раванд ва фароҳам овардани атмосфераи INET дар марҳилаҳои гуногуни истеҳсоли нимноқил.
Эзоҳҳои иловагӣ: Нитроген одатан дар нақлиёт ва нигоҳдории мавҷҳои силикон барои кам кардани оксидшавӣ кор мекунад. Табиати амалкунандаи он кафолат медиҳад, ки он бо дигар маводҳо вокуниш нишон намедиҳад, ки онро барои нигоҳ доштани муҳити тозакунии тозакунӣ таҳрик медиҳад.

Арӯс (AR):
Нақш: Илова ба иштироки он дар равандҳои плазма, Argon дар равандҳое, ки таркиби гази назоратшаванда аҳамияти ҳалкунанда доранд, муҳим аст.
Эзоҳҳои иловагӣ: Аз ҳама бештари маводҳо вокуниш нишон намедиҳад, ки дар он ҷо ба оптималии филм ё филмҳои депозитӣ кӯмак мекунад, ки сатҳи онҳо бе ифлосшавӣ бояд нигоҳ дошта шаванд.

Чархдор (ӯ):
Нақши гармидиҳии Ҳелия ин барои хунуккунӣ ва нигоҳдории пайдарпайи ҳарорат ҳангоми равандҳои реактивӣ бебаҳо мекунанд.
Эзоҳҳои иловагӣ: Аксар вақт он дар системаҳои лазериву энергия барои литография бо сабаби табиати ғайриқонунӣ ва қобилияти нигоҳ доштани роҳи оптикӣ аз ифлосшавӣ истифода мешавад.

Гидроген (H₂):
Нақши мазкур: Бехатарии он дар замонҳои муҳим, гидроген инчунин инчунин дар тоза кардани сатҳи партовҳо кӯмак мекунад ва метавонад дар вақти электронии почтаи электронӣ ҷалб карда шавад.
Эзоҳҳои иловагӣ: Истифодаи гидроген дар амонатҳои борикҳо имкон медиҳад, ки назорати бештар аз тамаркузи интиқолдиҳандаи интиқолдиҳандаи интиқолдиҳандаи дорои хусусиятҳои электронии худ имкон медиҳад.

Газҳои махсус ва доп

Силан (SIH₄):
Нақш: Ғайр аз он, ки депозиционураи кредитӣ будан, силоҳи сило додан мумкин аст, ба филми қисматӣ поликерӣ, ки хусусиятҳои электрониро беҳтар мекунад.
Эзоҳҳои иловагӣ: Ифтиботи иловагӣ бо назардошти нигарониҳои бехатарӣ, алахусус ҳангоми омехта бо ҳаво ё оксиген истифода мешавад.

Аммиак (NH₃):
Нақш: Илова ба истеҳсоли филмҳои нитрид, аммиак, аммиак дар истеҳсоли қабатҳои ғайрифаъол муҳим аст, ки эътимоднокии дастгоҳҳои нимназаркорро тақвият медиҳад.
Эзоҳҳои иловагӣ: Онро метавон дар равандҳое ҷалб кардан мумкин аст, ки ба Sillicon, беҳтар кардани хосиятҳои электронӣ тааллуқ дорад.

Фосфе (PHI₃), Арсин (ASH₃) ва ҷасорат (B₂H₆):
Нақш: Ин газҳо на танҳо барои допинг муҳиманд, балки барои ноил шудан ба хусусиятҳои дилхоҳи электронии дилхоҳ дар дастгоҳҳои пешпардохти барқ ​​аҳамияти ҳалкунанда доранд.
Эзоҳҳои иловагӣ: Азизии онҳо протоколҳои қатъии муҳофизатӣ ва системаҳои назоратиро дар муҳити матоъ барои коҳиш додани хатарҳо талаб мекунанд.

Getching ва газҳои тоза

Флоророкардон (CF₄, SF₆):
Нақша: Ин газҳо дар равандҳои хушкшудаи хушк кор мекунанд, ки дар муқоиса бо усулҳои etching тар будан дақиқи дақиқ медиҳанд.
Эзоҳҳои иловагӣ: CFE ва SFA аз сабаби самараноки маводи Silicon назаррасанд, имкон медиҳад, ки барои интихоби намунаҳои хуб дар микроэкропронизҳои муосир имкон диҳад.

Хлор (CLAT) ва гидроастин (HF):
Нақш: Члорин қобилиятҳои хашмгин, алахусус барои металлҳо, дар ҳоле ки HF барои тоза кардани силиксанҷи кремникӣ муҳим аст.
Эзоҳҳои иловагӣ: омезиши ин газҳо имкон медиҳад, ки дар марҳилаҳои гуногуни мулоим, таъмини сатҳи тозакунӣ барои қадамҳои минбаъдаи коркарди минбаъда имкон медиҳад.

Trifluoride (NF₃):
Нақш: NF₃ барои тоза кардани муҳити зист калид аст, ки дар системаҳои CVD вобастагӣ дорад, ки бо ифлосгарон ҷавобгӯи иҷрои оптимизатсияро иҷро мекунад.
Эзоҳҳои иловагӣ: Нигоҳубин дар бораи потенсиали гази гармхонаи худ, самаранокии NF₃ дар ҳолати хуби корхонаҳо ба баррасии бодиққат экспедитсионӣ ниёз дорад.

Оксиген (O₂):
Нақш: Равандҳои оксидатсия аз ҷониби оксиген ба оксиген мусоидат карда метавонад қабатҳои асосии изолятсияро дар сохторҳои нимназарказ эҷод кунанд.
Қайдҳои иловагӣ: Нақши оксиген дар баланд бардоштани оксидияи кремизон барои ташаккулёфтаи Silicon барои ташаккул Sillic барои ҷудо ва ҳифзи ҷузъҳои гардиш муҳим аст.

Газҳои пайдошуда дар истеҳсоли нимнизатор

Илова ба газҳои анъанавии дар боло номбаршуда, дигар газҳо дар раванди истеҳсоли нимноқилҳо таваҷҷӯҳ ба даст меоранд, аз ҷумла:

Гарави карбон (co₂): Дар баъзе тозакунӣ ва ба даст овардани барномаҳо, хусусан ба онҳое, ки маводи пешрафта доранд, истифода мешаванд.

Dioxone Silicon (Sio₂): Гарчанде ки газ дар шароити муқаррарӣ, шаклҳои буғии дастгоҳи кремикӣ дар баъзе равандҳои деппедурус истифода мешаванд.

Мулоҳизаҳои экологӣ

Саноати нимноқилҳо ба паст кардани таъсири муҳити зист бо истифодаи газҳои мухталиф нигаронида шудааст, алалхусус онҳое, ки газҳои гулхонаӣ мебошанд. Ин ба рушди системаҳои пешрафтаи газ ва истихроҷи газҳои алтернативии истифодабарӣ оварда расонид, ки метавонанд бо нақшаи пасти экологӣ имтиёзҳои шабеҳ диҳанд.

Хулоса

Газҳое, ки дар истеҳсоли нимноқил истифода мешаванд, нақши муҳим дар таъмини дақиқ ва самарабахшии равандҳои тараққӣ доранд. Бо пешрафти технология, саноати нимноқилонӣ барои такмилдиҳии газу идоракуниро пайваста талош мекунад, дар ҳоле ки ба самти бехатарии бехатарӣ ва экологии марбут ба истифодаи онҳо мувофиқат мекунад.