Дар дунёи технологияи муосир, нимноқил подшоҳ аст. Ин микросхемаҳои мураккаб, мураккаб аз смартфонҳои мо ба мошинҳои мо ва марказҳои маълумот, ки Интернетро идора мекунанд. Аммо кадом қудрате, ки ин микросхемаҳо доранд? Ҷавоб, тааҷубовар, аст газ. На танҳо ягон газаммо газҳои тозагӣ тозагии бефоида. Тавре ки Аллен, соҳиби корхона бо ҳафт хати истеҳсолӣ дар газҳои саноатӣ, ман дидам, ки чӣ гуна талабот ба тозагӣ зарбаи сахт дорад. Ин мақола барои пешвоёни бизнес ба монанди Марк Шен, ки дар сафи пеш ҳастанд газ занҷираи таъмин. Шумо сифат ва нархро мефаҳмед, аммо дар ин бозор пешкаш кардани ин бозор, шумо бояд фаҳмед чаро. Мо ҷаҳони комплексро аз Истеҳсоли нимнарз, шарҳ додан бо мулоими оддӣ чаро як маймун зарраҳо дар газ Сатр метавонад ба корхонаи корхона таваққуф кунад. Ин дастурест, ки ба гуфтугӯи забон Саноати нимасабзор ва шарики ҳатмӣ шудан.

Боз доштани газ дар сохтани чипи нимназарк чӣ нақш мебозад?

Дар аслӣ Истеҳсоли нимнарз як раванди сохтани микроскопӣ, бисёрҷанбаи барқ ​​дар диски тунуки кремнион, ҳамчун а чӣ. Тасаввур кунед, ки кӯшиши сохтани SkySCRAAL-ҳуруфро, ки бо миллиардҳо ҳуҷраҳо ва Hallways сохта шудааст. Ин миқёсест, ки мо дар бораи он гап мезанем. Барои ноил шудан ба ин, шумо асбобҳои физикӣ истифода бурда наметавонед. Ба ҷои он, тамоми раванди истеҳсолӣ ба як қатор реаксияҳои химиявии дақиқ такя мекунад ва воситаи ибтидоӣ барои ин аксуламалҳо аст газ.

Газҳо ҳамчун дастҳои ноаёне, ки ин барномаҳоро месозанд, газҳо амал мекунанд. Онҳо якчанд ҷойҳои кории муҳимро мекунанд. Баъзе, ба монанди нитроген, муҳити комилан тоза ва устувор эҷод кунед, пешгирии аксуламалҳои номатлуб. Дигарон, ки бо назардошти газҳои коркард маъруфанд, блокҳои воқеии биноҳо ё воситаҳои ғамхор мебошанд. Масалан, як мушаххас Намуди газ метавонад барои амонати қабати микроскопӣ истифода шавад, дар ҳоле ки дигараш газ ба дақиқ истифода мешавад etch мавод барои ташкили роҳи гардиш. Ҳар як қадами ягона, аз тоза кардани чӣ Барои сохтани трансистрези ниҳоӣ, мушаххасро дар бар мегирад газ ё омехтаи газҳо. Дақиқии ҷараёни газ ва таркиби кимиёвии мустақим муваффақияти Истеҳсоли Чип раванд.

Чаро тозагӣ аст, то дар истгоҳи нимноқилсозӣ муҳим бошад?

Дар ҳаёти ҳаррӯзаи мо каме хок ё ифлосшавии ҳаво як созишномаи калон нест. Аммо дарун а нимноқил Заводи васваса ё "Фат", ин фалокат аст. Компонентҳо бар а кремнион чӣ аксар вақт дар Nanometers чен карда мешаванд - ин метр. Барои гузоштани он дар дурнамо, як мӯи ягонаи инсон тақрибан 75,000 нанометтерҳо мебошад. Хоки ночиз зарраҳо Шумо ҳатто наметавонед бубинед, ки як духтари азим дар ҷаҳон аст нимноқил фидо.

Ин аст чаро покӣ як хислати муҳимтарини газҳо мебошад дар нимҷазирӣ истифода мешавад истеҳсолот. Ҳар гуна молекулаи номатлуб - оё он молекулаи сурх аст, ки филизи хурд аст зарраҳоё дигар газ malcule-In нопокӣ. Ин ифлосшавӣ метавонад пурра халалдор кунад реаксияи химиявӣ сурат мегирад чӣсатҳи. Як ягона нопокӣ метавонад як ритизатсияро аз ташаккул ба бор орад, ба рейтинги кӯтоҳ ё тағир додани он Хусусиятҳои электрикии нимноқилдор мавод. Зеро як ягона чӣ Метавонад садҳо ё ҳазорҳо микросхемаҳои инфиродӣ дошта бошад, як хатои ночиз метавонад ба талафоти бузурги молиявӣ оварда расонад. Тамоми раванд талаб мекунад сатҳи баландтарини покӣ тамоман кор кардан.

Чӣ тавр монеаҳо дар газҳои нимноқилон садо медиҳанд?

Вақте ки нопокӣ дар як раванд ҳузур дорад газ, он метавонад «қотил» камбудӣ. "Ин танҳо камбуди хурд нест; он а камбудӣ ки тамоми микроурпро дар ин фасли чӣ бефоида. Биёед бубинем, ки ин чӣ гуна мешавад. Дар давоми пасандоз Марҳила, ки дар он ҷо филмҳои лоғар қабати онро қабати қабати номбаршуда сохтаанд зарраҳо метавонад ба рӯи замин замин. Вақте ки қабати навбатӣ ба боло нигоҳ дошта мешавад, он як халтаи микроскопӣ эҷод мекунад. Ин камбудиҳо метавонад пайвастагии барқро вайрон кунад ё як шахси номатлубро эҷод кунад, ки транзитсия сохта шавад.

Оқибатҳои ин ба хати поёни pab хдват мекунанд. Метрҳои ибтидоӣ барои муваффақият дар а нимноқил FA FAC "Ҳост" аст чӣ. Ҳатто як афтиши хурд дар ҲамоишАз 95% то 90% метавонад миллионҳо долларро дар даромади гумшуда намояндагӣ кунад. Наҷосати газ сабабҳои мустақими кам карда мешаванд Ҳамоиш. Ин аст чаро Истеҳсолкунандагони нимнарз аз ҳад зиёданд тозагии газ. Онҳо бояд муайян кунанд, ки газ Ворид шудан ба асбобҳои сершумори онҳо комилан аз ҳама гуна озод аст олуда ки метавонад ба дунё кунад Ҷараёни матни нимнарзӣ. Ин як бозии дақиқии микроскоп мебошад, ки дар он ҷо ҳуҷраи сифр барои хатогӣ вуҷуд дорад.

Назарҳои асосӣ дар ҷои нимноқилдории миёна кадомҳоянд?

Доираи газҳо дар Саноати нимасабзор васеъ аст, аммо онҳо одатан ба ду категория дохил мешаванд: газҳои нав ва газҳои махсус.

• Газҳои зиёд: Инҳо ба миқдори зиёд истифода мешаванд ва асоси муҳити истеҳсолиро ташкил медиҳанд.

  • Нитроген (n₂): Ин корхо аст. Ултра-баланд покӣ Нитроген барои эҷоди атроф дар дохили он истифода мешавад. Ин тоза кардани оксиген, намӣ, ва зарраҳои дигар, пешгирии оксиди номатлуб ё ифлосшавӣ аз чӣ.
  • Гидроген (H₂): Аксар вақт дар якҷоягӣ бо дигар газҳо истифода мешавад, гидроген барои муайян хеле муҳим аст пасандоз равандҳо ва барои фароҳам овардани муҳити махсуси химиявии баланд барои сохтани сохторҳои транистӣ.
  • Арӯс (AR): Ҳамчун интере газ, Argon дар раванде истифода мешавад чӣ. Он инчунин барои эҷоди плазма дар бисёр etch равандҳо.

• Газҳои махсус: Инҳоянд ин хатарнок, аксаран хатарнок ва муҳандисӣ, ки барои қадамҳои мушаххаси раванд истифода мешаванд. Онҳо компонентҳои "фаъол" мебошанд.

  • Etchants: Газҳо ба монанди хлорин (CLAT) ва гидроген Бромиди (HBR) барои пӯшида ё etch намунаҳо ба қабатҳои чӣ.
  • Dopers: Газҳо ба монанди Арсин (Ash₃) ва фосфон (PH₃) барои қасдан ҷорӣ кардани мушаххас истифода мешаванд нопокӣ ба кремнион Барои тағир додани хусусиятҳои электрикии худ, ки транзисторҳо назорат мекунанд.
  • Газҳои амонатӣ: Силан (SIH₄) як мисоли классикӣ мебошад, ки ҳамчун манбаи кремнион имкони лоғар.

Барои корманди харид, ба монанди Марқӯс, бидонед, ки ҳамаи ин газҳо гуногунанд, онҳо як талаботи муштаракро мубодила мекунанд: шадид покӣ.

Оё шумо метавонед шарҳ диҳед ва ба таври содда қабул кунед?

Истеҳсоли нимназарк садҳо қадамро дар бар мегирад, аммо аксарияти онҳо фарқиятҳои ду раванди асосӣ мебошанд: пасандоз ва etch. Фаҳмидани инҳо бо истилоҳҳои оддӣ калиди фаҳмиши нақш аст газ.

1. ДУМИНИЯ: Сохтани қабатҳои
Фикр кунед пасандоз мисли ранг кардани ранг бо молекулаҳо. Ҳадаф ин илова кардани қабати ултра-лоғар, пур аз маводи мухаддир аз мавод ба Силикон.

• Раванд: Раванд газ (ба монанди Sillane) омехта бо а гази боркаш (ба монанди нитроген ё гидроген). Ин газ омехта он гоҳ ба палата дар бар мегирад чӣ. А реаксияи химиявӣ бо гармӣ ё а плазмава боиси молекулаҳо ба "боришот" аз газ ва як сахт ташкил кунед Филми борик дар чӣсатҳи.
• ЧАРО МЕХТАРИНҲО :: Агар олуда бошад зарраҳо дар газ Ҷараён, он ба мисли хок ба рангҳои дорупошӣ дохил мешавад. Он дар қабати нав ҷойгир мешавад, эҷод кардани сохторӣ камбудӣ. Агар номатлуб бошад газ Молекулатсия метавонад нодуруст, тағир додани ороишоти кимиёвӣ ва хусусиятҳои барқии қабати қабати.

2. Рафта: кандакорӣ
Пас аз сохтани як қабат, ба шумо лозим аст, ки шакли фарсударо ба он канда кунед. Etch раванди интихобкардаи маводи ҷудошуда мебошад.

• Раванд: Пашна чӣ бо маводи ҳассоси нуре, ки фоторцтор ном дорад, пӯшонида мешавад. Як одат ба он пешниҳод шудааст (ба монанди stencil). Пас аз он ҷойҳо сахт сангин шуданд. Пашна чӣ Он гоҳ дар палатаи пур аз etchant ҷойгир карда мешавад газ (ба монанди маҷмӯи фторбини.). Ин газ ба а плазма Давлат, ки онро реактивӣ мекунад. Пашна плазма Пойафзолҳо чӣ, химиявии химиявии мавод танҳо дар соҳаҳое, ки аз ҷониби stencil муҳофизат карда намешаванд.
• ЧАРО МЕХТАРИНҲО :: Натиҷаҳои газҳо Барои etching истифода мешавад, метавонад сатҳи аксуламалро тағир диҳад. Ин метавонад боиси он гардад, ки ба шабака хеле васеъ нигоҳ дошта шавад, хеле танг ё тамоман. Як металл зарраҳо нопокӣ ҳатто метавонад манъ кунад etch Раванд дар як ҷойи ночиз, «мансаби» -и маводи номатлубро, ки ноҳияро кӯтоҳ мекунад, тарк кунед.

Чӣ гуна тозагии гази баландӣ чен карда ва нигоҳ дошта мешавад?

Дар Саноати глобалии нимноқил, ченаки тозагии меъёрӣ ба монанди "фоиз" бефоидаанд. Мо бо мо сару кор дорем ифлосшавӣ дар миқёси он, ки фаҳмидан душвор аст. Тозагӣ чен карда мешавад қисмҳо як триллион (PPT). Ин маънои онро дорад триллион газ молекулаҳо, танҳо як ё ду молекуляторро метавон муовин кард.

Барои ноил шудан ва санҷиши ин сатҳ тозагии газ, системаи мураккаби СУПУФТАРИ ГУЗАРОТ ва таҳлил талаб карда мешавад.

Дар заводи мо, мо на танҳо ба газ; Мо зиндагӣ ва нафас мекашем Назорати сифат. Пашна Таъмини газ занҷир барои а нимноқил FA FAY дорои тозифаторҳои махсуси ростро дар нуқтаи истифода насб мекунад. Ғайр аз ин, пешрафта Таҳлили газ Воситаҳо барои истифода мешаванд Мониторинги вақти воқеӣ. Техникаҳо ба монанди Массаи фишори атмосфера Spectrometry (Spims) метавонад иҷро кунад Муайян кардани ночиз ба сатҳи қисмҳои қисман-триллион гази UHP (Потикии ултра) дохил шудан ба воситаи раванд комил аст.

Чӣ молрасонҳои гази баландпояи гази баландтар месозад?

Барои сари харид ба монанди Марк, ки дарди таъхири интиқол ва шаҳодатномаҳои қаллобӣ таҷриба кардааст, эътимод ҳама чиз аст. Дар ҷаҳони нимтайёр аз тозагӣ Газҳо, эътимоднокӣ дар се рукнҳо истироҳат мекунанд: мувофиқати истеҳсолӣ, кафолати сифат ва экспертизаи логистикӣ.

1. Мутобиқати истеҳсолӣ: Таъминкунандаи боэътимод бояд қобилияти истиқоматии истеҳсолиро дошта бошад. Масалан, ҳафт хати истиқоматии мо, масалан, мо метавонем ба талаботи баланд ҷавобгӯ бошед Ва ин мушкилот дар як сатр самараи моро қатъ намекунад. Ин хатари халалдор шудани халалдорҳоро кам мекунад, ки метавонад долларҳои бисёрсоҳаро хомӯш кунад нимноқил FAT.
2. Таъминоти босифати сифат: Он барои даъвои шумо кофӣ нест гази тозагӣ. Шумо бояд исбот кунед. Ин маънои онро дорад, ки сармоягузорӣ ба таҷҳизоти муосир барои таҳлилии таҳлилӣ барои Муайян кардани ночиз. Он инчунин маънои бахшидани шаҳодатномаҳои шаффоф ва пайгирии таҳлил (COA) бо ҳар як бор. Мубориза бо қаллобӣ сертификат дар бораи сохтани муносибатҳои дарозмуддат дар асоси эътимод ва маълумоти санҷишӣ мебошад.
3. Экспертизаи логистикӣ: Гирифтан а Гази зангзанӣ ё моеъи кристаллӣ аз Чин ба ИМА оддӣ нест. Он контейнерҳои махсусро талаб мекунад, ки донишҳои қоидаҳои байналмилалии такрори интиқол ва банақшагирии ақлиро барои пешгирӣ аз таъхир пешгирӣ мекунад. Таҳлили боэътимод мефаҳмад, ки ин танҳо як қуттӣ интиқол медиҳад; Он як қисми муҳими ҷаҳонро идора мекунад нимноқил занҷираи таъмин.

Фарқи байни газ ва гази махсус чӣ гуна аст?

Фаҳмиши фарқият байни гази калон ва гази махсус калид барои касе, ки ба манбаъи манбаъӣ ҷалб шудааст Саноати нимасабзор. Дар ҳоле, ки ҳарду шадидро талаб мекунанд покӣ, миқёси онҳо, кор ва барнома хеле гуногун аст.

Газҳои зиёдатӣмисли Газҳои баланди тозаи моеъ, муроҷиат кунед газҳои монанди нитроген, оксиген, Аргтон ва гидроген. Онҳо асоси муҳити бад мебошанд. Истилоҳи "Гул" ба миқдори оммавӣ дахл дорад. Ин газҳо аксар вақт дар макон ё наздик ба воситаи қубурҳои бахшидашуда бевосита ба системаи паҳнкунии дохилии FAB оварда шудаанд. Мушкилоти асосӣ дар ин ҷо нигоҳдорӣ мекунанд покӣ Зиёда аз шабакаҳои паҳншудаи васеъ ва таъмини таъминоти бефосила, яроқ.

Гази махсус (ё Гази электронӣ) ба категорияи васеи аксар вақт экзотикӣ, рекабарӣ, реактивӣ ё хатарнок, ки дар миқдори хурд барои қадамҳои мушаххаси равандҳои мушаххас истифода мешаванд, ишора мекунад пасандоз. Намунаҳо аз силон, аммиак, бор Борон Тишичлорид ва Trifluarueride nitrogen иборатанд. Инҳо дар силиндраи инфиродии баланд. Мушкилот бо гази махсус мебошанд Бехатарии шадид дар кор, таъмини мувофиқати омехтаи пурраи омехтаи газ ва пешгирии ҳама гуна усулҳои кимиёвӣ дар дохили силиндр, ки метавонад созиш кунад сифати газ.

Талабот ба газии нимназарии нимназаргузаронӣ чӣ гуна аст?

Пашна Саноати нимасабзор ҳеҷ гоҳ ҳанӯз нест. Қонуни Мур, ки шумораи трансистраҳо дар як чипҳо тақрибан ҳар ду сол ду сол дучанд мешавад, идома додани ҳудуди физика. Тавре ки трансистҳо коҳиш меёбанд, онҳо ба таври экспресс ҳассос мебошанд ифлосшавӣ. А Андозаи зарраҳо Ин панҷ сол пеш қобили қабул буд "қотил камбудӣ"Имрӯз.

Ин ронандаи бебаҳо барои микросхемаҳои хурдтар ва пурқувват маънои талабот ба сатҳи баландтари сатҳи баландтар мебошад тозагии газ меафзояд. Мо аз дунёе мегузарем, ки қисмҳои тиллоӣ ба вуҷуд омадааст shazed sememondudfor гиреҳҳо. Ғайр аз он, маводҳои нав ва меъмории чип ва дарвозабонҳо дар дохили Трансистрезӣ (GAA) як портфели навро талаб мекунанд гази насли оянда Омехтаҳо ва прекурсорҳо. Ҳамчун Истеҳсолкунандагони газ, мо дар мусобиқаҳои навоварона, таҳияи технологияҳои нави тозакунӣ ва усулҳои таҳлилӣ барои нигоҳ доштани суръат бо Саноати глобалии нимноқил.

Ҳамчун харидор, кадом сертификатҳои сифат бояд ба назар гирам?

Навиштани ҷаҳони таъминкунандагон метавонад душвор бошад, хусусан ҳангоми муносибат бо маҳсулоти техникӣ. Сертификатсияҳо тасдиқи ҳалкунандаи шахсони дорои имкониятҳои таҳвилгар ва ӯҳдадориҳои молро ба сифат медиҳанд. Ҳангоми манбаъ газҳои тозагӣ барои Саноати нимасабзорДар ин ҷо якчанд чиз барои ҷустуҷӯ:

• ISO 9001: Ин сертификатсияи асосӣ барои системаҳои идоракунии сифат аст. Он нишон медиҳад, ки таҳвилгар ҷараёни муайян ва такрории маҳсулот, санҷиш ва таҳвилро муайян кардааст.
• ISO / IEC 17025: Ин як чизи муҳим аст. Ин стандарти салоҳияти лабораторияҳои санҷиш ва калибрадатсия аст. Таъминкунанда бо ин сертификатсия собит кардааст, ки лабораторияи дохилии онҳо - он, ки шаҳодатномаи таҳлилро ба вуҷуд меорад, дақиқ ва боэътимод аст.
• Таҳлили пайгирӣ: Ҳамеша сертификати таҳлилро талаб кунед (COA) барои ҳар як силиндр ё партия. Ин шаҳодатнома бояд сатҳи дақиқи танқидиро муфассалтар кунад наҷосатҳо дар газ, бо усулҳои мушаххаси таҳлилӣ чен карда мешавад хроматографияи газ ё спектри оммавӣ.

Ҳамчун пешвоёни ҳалкунанда ба монанди Марк, беҳтарин асбоби шумо аз пурсидани саволҳои таҳқиқ. Танҳо пурсед, ки "ин аст газ СОЛ? "Пурсед, ки" Чӣ тавр исбот мекунед? Ба ман сертификати лабораторияҳои худро нишон диҳед. Раванди худро барои таъмини мувофиқати лотерея шарҳ диҳед. "Шарики воқеан коршиносон ва боэътимод ин саволҳоро қабул мекунад ва эътимод дорад, ки ба шаффоф ҷавоб медиҳанд.

Калидҳои асосӣ

• Газ як асбоб аст: Дар Истеҳсоли нимнарзГазҳо танҳо мавод надоранд; Онҳо асбобҳои дақиқ мебошанд, ки барои сохтан ва кандакории микроскетҳои микроскопӣ дар Силикон.
• Покӣ ҳама чиз аст: Ҷадвали Истеҳсоли Чип Оё хеле хурд аст, ки ягонаи номатлуб зарраҳо ё нопокӣ Молека метавонад чипро хароб кунад, Ultra-ultra- талаботи номувофиқ.
• Ҳосил ҳадаф аст: Таъсири ибтидоии ифлосшавии газ кам шудани истеҳсолот аст Ҳамоиш, ки бевосита ба миллионҳо долларро дар бар гирифт Фабакаҳои нимнарз.
• Ду раванди асосӣ: Аксари чораҳо дар сохтани чип дар бар мегиранд пасандоз (қабатҳои бинои) ё etch (шакли кандакорӣ), ҳардуи онҳо аз аксуламали дақиқи кимиёвии газҳои пок вобастаанд.
• Худтаъминкунӣ калид аст: Таъминкунандаи боэътимод дар Гази нимсола Бозор бояд пайдарҳамии истеҳсолотро нишон диҳад, ки тавассути лабораторияҳои тасдиқшуда ва идоракунии коршиноси тасдиқкунандаи сифат шаҳодат диҳад.
• Оянда покталаб аст: Тавре ки майлкункҳо пешрафтатар мешаванд, талабот ба сатҳи баландтари сатҳи баландтар мегардад тозагии газ (ба қисмҳо-perили триллион) танҳо афзоиш меёбад.