Гази гази Хуазонгисисахо худро ба азхуд кардани санъат ва илми саноатӣ бахшидааст ва гази махсус истеҳсолот. Дар ҷаҳони олии имрӯза, алахусус дар дохили нимноқил саноат, талабот ба Ultra-ultra- газҳо танҳо афзалият нест; Ин як чизи ҳатмист. Ин мақола ба дунёи интиқодӣ ишора мекунад Таҳлили нопок барои Газҳои махсуси электронӣ. Мо барои чӣ барои чаро ҳатто дараҷаи аҷоиб меомӯзем нопокӣ метавонад оқибатҳои умумӣ дошта бошад, чӣ гуна мо онҳоро муайян мекунем Пинҳон кардани эътирозҳова он чӣ маъно дорад, чӣ маъно дорад. Фаҳм наҷосати газ ва усулҳои онҳо покӣ ва ошкор, ба монанди Lop-ms, калиди таъмини эътимоднокӣ ва иҷрои муосир аст электроника. Ин порча вақти шуморо мекӯшад, зеро он нуқтаи назари як корхона-инсонро дар бораи нигоҳ доштани қатъӣ пешниҳод мекунад тозагии газҳои махсуси электронӣ, дастархон аз нимноқил ва электроника соҳаҳо.

Газҳои махсуси электронии электронӣ ва чаро тозагии онҳо аст, чунон ки дар Seasondustry истеҳсол карда мешаванд?

Газҳои махсуси электронӣ, аксар вақт ба мисли зикршуда Газҳои электронӣ ё Газҳои нимноқил, категорияи беназири газҳои тозагӣ ва Омезиши газ Барои равандҳои мураккаб барои коркарди электронии истифодабарандагон, ки ба равандҳои мураккабе машғуланд. Дар бораи меъмориҳои ноаёнии асри рақамӣ фикр кунед. Онҳо Газҳо дар нимҷазирӣ истифода мешаванд Фит кардан доираи гуногунро дар бар мегирад, масалан аз сардор (Sih₄) барои пасандоз ба қабатҳои кредиторҳо, нитроген барои тоза кардани палата иборат аст CARNON (AR) ҳамчун сипарҳои амудӣ ва гуногун газҳои доп монанди фосфайн (PH₃) ё Arsine (Ash₃) тағир додани хусусиятҳои барқии нимноқил мавод. Истилоҳот "Захираи электронӣ"Худт аризаи дӯхташудаи онҳоро равшан мекунад ва дақиқии шадидро дар таркиби худ талаб мекунад. Ин ҳамарӯза нестанд газҳои саноатӣ; мушаххасоти онҳо хеле каманд.

Аҳамияти ёддошт покӣ наметавонад аз ҳад зиёд бошад, алахусус дар Истеҳсоли нимнарз. Иштироки муосири интегратсионӣ (ICS) Хусусиятҳои транскчанд ва роҳҳои пешгирие, ки бениҳоят хурданд, аксар вақт дар Nanometers (миллиард доллар ҳисоб) чен карда мешаванд. Дар ин миқёси микроскопӣ, ҳатто як атоми номатлуб нопокӣ-Кан ба мисли гилде, ки дар ҷараёни ночизе дар як ҷарроҳии ночизе амал кунед, ҷараёни нияти барқиро вайрон кунад ё камбудиҳои сохторӣ гардад. Ин метавонад ба чипи нодуруст оварда расонад, ва дар саноат, ки дар он миллионҳо микросхемаҳо дар як вакил, зарари молиявӣ ва арзфиродӣ аз васеъ паҳншуда истеҳсол мешаванд ифлосшавӣ метавонад калон бошад. Аз ин рӯ, тозагии газҳои махсуси электронӣ як рукни тавлидӣ, ки дар он тамоми он аст электроника ва нимноқилд Санад. Ҳар як нопокӣ метавонад ба нишондиҳандаҳои дастгоҳ, ҳосилдиҳанда ва эътимоднокӣ, тақвият бахшад тозагии газ муҳимии назорат.

Дар гази Huazhong, мо фаҳмидем, ки муштариёни мо дар Соҳаҳои нимнарзӣ Ба мо такя намоем, ки газҳоро таъмин кунанд ё аз "панҷ нафас" ё аз "шаш нафас" ё ҳатто "шаш нафас" (99.9999%) сатҳи покӣ (99.9999%). Ин маънои онро дорад, ки нопокӣ бояд дар консентратсияҳо аз қисмҳои камтар аз як миллион (PPM) ё ҳатто узвҳо дар як миллиард (PPB) ҳузур дошта бошанд. Ноил шудан ва санҷидани чунин тозагии баланд сатҳҳо мураккабро талаб мекунанд покӣ техникаҳо ва, рушдёфта, пешрафта Таҳлили нопок усулҳо. Мавҷудияти ногаҳонӣ нопокӣ инчунин метавонад масъалаҳоеро бо силиндраи газ ё занҷираи таъминот, санҷиши дурусти сифат. Мо таъмин мекунем Нитроген силиндраи Масалан, пешниҳодҳо, масалан, ҷавобгӯи ин стандартҳои дақиқ, ҳамчун нитроген гази дӯстона дар бисёр қадамҳои маъруфи нимноқилӣ мебошад.

Чӣ гуна ҳатто метавонад Ҳатто микроскопӣ хатҳои истеҳсоли нимселекиро пайдо кунанд?

Баъзан тасаввур кардан душвор аст, тасаввур кунед, ки чӣ қадар хурд аст пайгирӣ Дар қисмҳо дар як миллиард (PPB) ё ҳатто қисмҳо барои триллион (PPT) метавонанд ба чунин мушкилоти муҳим расонанд. Аммо дар ҷаҳони нимноқил Истеҳсолот, ин микроскоп ифлоскунандагон Вилленҳои калон мебошанд. Биёед ин раванди матни маъмулии нимноқилро дида бароем: он даҳҳо, баъзан садҳо, қадамҳои барҳамдиҳии қадамҳои нозукро дар бар мегирад (маводҳои борик), actionmantations ion), antlantation Ion (гузоштани атомҳои мушаххас). Ҳар як қадам ба муҳити матлуби химиявии назорати кимиёвӣ такя мекунад, аксар вақт аз ҷониби сохта ё нигоҳ медорад Газҳои махсуси электронӣ. Агар а газ истифода мешавад Дар яке аз ин қадамҳо номатлуб нопокӣ, ин нопокӣ метавонад ба қабатҳои нозук дохил карда шавад нимноқил дастгоҳ.

Масалан, Наҷотдиҳии металлӣ Монанди натрий оҳан, оҳан ё мис, ҳатто дар консентратсияи ултра-кам, метавонад хусусиятҳои барқии кремнонро ба таври назаррас тағйир диҳад. Онҳо метавонанд роҳҳои боқимондаи қодиранд ва ба микросхудҳои кӯтоҳ оварда расонанд ё ҳамчун "домҳо" амал кунанд, ки ба ҷараёни электронҳо халал мерасонанд, дастгоҳро суст мекунад ё тамоман онро суст мекунад. Як нопокӣ Инчунин метавонад ба аксуламалҳои химиявӣ дар қадами раванд пешбинӣ шудааст. Масалан, а олуда Дар гази actching метавонад боиси решакан ё аз ҳад зиёд бошад, вайрон кардани намунаҳои дақиқро дар кафер вайрон кунад. Таъсир танҳо дар микросхемаҳои инфиродӣ; номаълум нопокӣ Масъала метавонад ба тамоми партовҳои харошидан оварда расонад, ба таъхир афтодани миллионҳо доллар, таъхирҳои истеҳсолӣ, ба монанди Марк Shen Shen, ки лозим аст таъмини босуботи маводи босифат. Ин талаботи муҳимро барои мустаҳкам қайд мекунад Андозагирии ноқилҳо.

Мушкилот дар сатҳи "қобили қабул" барои ҳама нопокӣ аз байн мебарад нимноқил Хусусиятҳои дастгоҳ хурдтар мешаванд. Қобили қабул дониста шуд нопокӣ Сатҳи як даҳ сол пеш метавонад фалокати фалокатбор бошад ифлосшавӣ имрӯз. Ин гардонандаи бесамар барои миниатуризатсия фишори калон медиҳад, ки ба истеҳсолкунандагони газ ва лабораторияҳои таҳлилӣ фишор медиҳад Ҳадди муайян қобилиятҳо. Ҳатто майда Надосаҳо, мушкҳои майда ва хасбанг ба чашми бараҳна, метавонанд нурро дар марҳалаҳои фотоглография банданд ё нуқсонҳои ҷисмонӣ дар сатҳи кафкил эҷод кунанд. Аз ин рӯ, назорат кардани ҳар як иқтидор нопокӣ - оё gaseous, металлӣ ё майда - аҳамияти ҳалкунанда дорад. Пашна доираи ифлосҳо ки метавонад масъалаҳо боиси зиёд бошад ва ба талаботи ҳамаҷониба ниёз доранд Таҳлили газ.

Техноҳои маъмултарин кадомҳоянд? Муайян кардани ифлосҳо дар газҳо барои электроника.

Вақте ки мо дар бораи он сӯҳбат мекунем Натиҷаҳои газҳо пешбинӣ шудааст электроника ва нимноқилд Бахшола, мо ба як колти гуногуни аломатҳо нигариста, ҳар яки онҳо барои зарари назаррас боиси зарари назаррас доранд. Онҳо Натиҷаҳои ошкоршуда метавонад ба таври васеъ ба таври васеъ ба шаклҳои ғусса, металлӣ ва ҳам майрезӣ гурӯҳбандӣ карда шавад. Фаҳмиши ин ноболиғон қадами аввалин қадами аввалин аст Таҳлили нопок ва назорат. Мушаххас Наҷотдиҳандагон ҳузур доранд метавонад вобаста ба худи газ метавонад фарқ кунад, усули истеҳсоли он, нигоҳдорӣ ва корношоям.

Газад ифлосҳо дигар газҳо дар асосӣ мавҷуданд гази махсус. Масалан, дар тозагии баланд нитроген, ғусса ифлосҳо метавонад оксиген (O₂), намӣ (H₂O), дуоксиди карбон (COUS), Monoxide карбон (CO) ва карбогидрид (CO) дохил мешаванд. Оксиген ва намӣ махсусан мушкилтаранд, зеро онҳо хеле реактивӣ мебошанд ва метавонанд оксиди номатлуб шаванд нимноқил мавод ё таҷҳизоти раванд. Ҳатто дар газ мисли CARNON, инҳоро метавон ҳангоми ҳузур доштан мумкин аст. Ҳамчун ширкат, мо бисёр вақт дархостҳоро барои таҳлили а доираи васеи ифлосҳо, аз ҷумла ин намудҳои реактивӣ. Масалан, имконоти мо комплексҳои истеҳсолиро дар бар мегирад Гипсенсип маҳсулот, ки дар он ҷое, ки ҳар як ҷузъи ҳар як ҷазоҳо назорат мекунад, аз ҷумла ҳусниҳои эҳтимолӣ ифлосҳо, як назарсавмат.

Наҷотдиҳии металлӣ боз як ташвишҳои муҳим мебошанд. Ин атомҳои металлҳо, калтсий (НА), калий (К), калтсий (К), оҳан (CE), мисӣ (NI), хроман (CR) ва алюминий (AL). Онҳо метавонанд аз ашёи хом, таҷҳизоти истеҳсолӣ (ба монанди қубурҳо ва реакторҳо) саргарм кунанд (ба монанди қубурҳо ва реакторҳо), ё ҳатто силиндраи газ худашон, агар дуруст муносибат кунанд. Тавре ки зикршуда, ин ифлосшавии металлӣ метавонад ба фаъолияти барқ ​​таъсир расонад нимноқил дастгоҳҳо. Муайян кардани инҳо дар сатҳҳои PPB ё PPT техникаҳои баландиалистии ҳассосро талаб мекунандLop-ms). Мо инчунин бояд ба назар гирем майда масъала. Инҳо зарраҳои хурди сахт ё моеъ дар онанд ҷараёни газ. Онҳо метавонанд ба камбудиҳои ҷисмонӣ халал расонанд, сӯроварҳоро дар таҷҳизот бозмедоранд ё дигарро муаррифӣ кунед ифлоскунандагон. Филтратсия калиди нест кардани харсухтор аст, аммо мониторинги сатҳи онҳо низ як қисми ҳамаҷониба мебошад сифати газ барнома. Баъзе Газҳои махсуси электронӣ низ ҳастанд газҳои зангзанӣ ё газҳои заҳролуд, ки дигар қабати мураккабиро ба кор ва таҳлили онҳо илова мекунад, ки нопокӣ Профил ин хатарҳоро шадид намекунад.

ICP-MS: Стандартҳои тиллоӣ барои ошкор кардани носиси металлӣ дар газҳои нимназаркор?

Вақте ки сухан дар бораи Таҳлили ифлосҳои металлӣ дар ultra-ultra-ultra-, Ба таври ғайримуқаррарӣ спектаклли массаи плазма ва Lop-ms, ҳамчун технологияи пешрафта ба назар гирифта шудааст. Ин як усули пурқуввати таҳлилӣест, ки метавонад доираи васеи муайян ва миқдорро муайян кунад ифлосшавии ибтидоӣ, аксар вақт барои ба сатҳи ҳайратангез паст шудани сатҳи паст - фикр кардан-триллион-триллион (PPT) ё ҳатто қисмҳо (PPQ) ё ҳатто қисмҳо (PPQ) барои баъзе унсурҳо. Ин ҳассосият дақиқ аст, ки чаро Lop-ms барои он хеле муҳим шудааст нимноқил саноат, тавре ки мо муҳокима кардем, ҳатто нишонаҳои дақиқ Наҷотдиҳии металлӣ метавонад зараровар бошад Сифати маҳсулот.

Чӣ хел Lop-ms сеҳри худро кор кунед? Бо мулоимӣ, Гази намуна (ё роҳи ҳалли газ аз газ сохта шудааст) ба плазма хеле гарм ворид карда мешавад, маъмулан аз CARNON. Ин плазма, ки ба ҳарорати 6000 то 10000 ° C мерасад, барои шикастани молекулаҳои газ кифоя аст ва атомҳои ҳозира, аз ҷумла ҳама гуна Наҷотдиҳии металлӣ. Пас аз он, онҳо аз плазма истихроҷ карда шуда, ба спектрии оммавӣ ҳидоят карда мешаванд. Санадҳои оммавии оммавӣ ба монанди як филтри дақиқ, ҷудо кардани икс асосёфта дар асоси таносуби спектакль. А детектор Сипас ions-ро барои ҳар як оммаи мушаххас ҳисоб мекунад ва ба мо имкон медиҳад, ки унсурҳо ҳузур дошта бошанд ва миқдоре мебошанд. Қобилияти Lop-ms Барои скан кардани спектри васеъ Нишондиҳандаҳои металлӣ дар газҳои махсус Ҳамзамон онро хеле самаранок месозад.

Дар ҳоле Lop-ms бениҳоят пурқувват аст, аммо бе душвориҳои он, хусусан ҳангоми муошират Газҳо дар нимҷазирӣ истифода мешаванд фидо. Як равиши маъмул ба дом афтодан ифлосҳо аз миқдори зиёди газ ба масрафи коллексия ё моеъ, ки пас аз он таҳлил карда мешавад Lop-ms. Аммо, мустақим сӯзандорҳои мустақими газ ба Lop-ms Барои баъзе барномаҳо система низ маъмул мегардад, гарчанде ки он интерфейсҳои махсусро талаб мекунад. Интихоби усул аз мушаххас вобаста аст наҷосати газ фоизҳо, гази матритса ва зарурат Ҳадди муайян. Дар гази Хуазонг, мо дар таҷҳизоти мукаммали таҳлилӣ, аз ҷумла Lop-ms қобилиятҳо, зеро мо медонем, ки таъминоти боэътимод Таҳлили нопок Маълумот барои ба муштариёни мо эътимод дорад тозагии тозаи электронӣ газҳо. Дақиқ Lop-ms ба он кӯмак мекунад, ки тозагии газҳо ба талаботи қатъӣ барои синфи электронӣ мавод.

Чаро тозагии гази ғайриқонунӣ барои электроника ва саноати нимчашмгирое нест?

Зарурати номатлуб тозагии газ дар Нархҳо ва соҳаҳои нимнарзӣ танҳо афзалият нест; Ин як талаботи асосӣест, ки аз ҷониби физика ва иқтисодиёти истеҳсоли муосири дастгоҳи дастгоҳ бартарӣ дорад. Ҳамчун нимноқил Хусусиятҳои дастгоҳ ба миқёси Наънонӣ, ҳассосияти онҳо ба ҳама гуна шакл ифлосшавӣ skyrokets. Як нопокӣ Ин шояд дар дастгоҳҳои калонтар, ки калонтар шуда метавонанд, акнун метавонанд ба камбудиҳои садама дар микросхемаҳои каноравӣ оварда расонанд. Ин ба ҳосили мустақиман таъсир мерасонад - фоизи микросхемаҳои хуб барои як вафот - нимноқил истеҳсолкунанда.

Дар бораи меъмории мураккаби маъмулии як микропресс ё чипи хотиравӣ фикр кунед. Он миллиардҳо трансисторон мавҷуданд, ки ҳар як тааҷҷубовар аз минератентюр. Иҷрои ин трансистҳо аз хусусиятҳои дақиқаи барқии дақиқи барқ ​​вобаста аст нимноқил маводи истифодашуда, ки дар навбати худ, ба таври баланд ҳассос мебошанд ифлосҳо. Масалан, муайян Наҷотдиҳии металлӣ метавонад сатҳи баланди энергетикиро дар дохили холикии Сликон, ки боиси афзоиши ҷорӣ ё камвазниши интиқолдиҳанда пешниҳод кунад. Ин маънои сустшавӣ, камтар самаранок ё комилан ғайриқонунӣ мебошад. Газад ифлосҳо Мисли оксиген ё намӣ метавонад ба ташаккули қабатҳои номатлуби номатлуб, тағир додани ғафсҳои филм ё амволи интерфейси барои амалиёти дастгоҳ оварда расонад. Умуман сифати газ бевосита тарҷума Сифати маҳсулот ва эътимоднокӣ.

Ғайр аз ин, Нархҳо ва соҳаҳои нимнарзӣ бо равандҳои баланди комплекс ва гаронбаҳо тавсиф карда мешаванд. Як ягона нимноқил Заводи васваса ("Фоиз") метавонад ба миллиардҳо доллар барои созмон ва таҷҳизон арзон шавад. Пашна Газҳо истифода мешаванд ба бисёре аз ин иқдомҳои гаронбаҳо ҷузъӣ мебошанд. Агар а гази махсус бо як заҳролуд шудааст нопокӣ, он на танҳо таъсир мерасонад, ки дар айни замон коркард мешаванд; Он инчунин метавонад хусусияти коркарди гаронро ифлос кунад. Ин метавонад барои тоза кардани вақти тоза кардани хароҷот ва вайронкунии минбаъдаи хароҷот ва ба нақша гирифтани минбаъдаи ҷадвалҳо оварда расонад - нуқтаи асосии дард барои касе, ки ба таҳвили саривақтии ҷавобгӯи талабот ба мизоҷон такя мекунад. Аз ин рӯ, таъмини тозагии газҳои махсуси электронӣ тавассути сахт Таҳлили нопок мебошад, ки стратегияи муҳими хатар барои занҷираи таъминот аст. Тамаркуз ба газҳои тозагӣ беэътиноӣ мекунад, зеро сутунҳо бениҳоят баланд мебошанд.

Мо дар таҳлили сарпҳои металлӣ бо газҳои махсус чӣ гуна душвориҳои муҳим дучор мешавем?

Таҳлил Наҷотдиҳии металлӣ дар газҳои махсус, алалхусус ба онҳое, ки дар нимноқил саноат як қатор мушкилотро пешниҳод мекунад. Душвориҳои ибтидоӣ аз консентратсияи хеле кам, ки дар онҳо инҳоянд ифлосҳо метавонад мушкил бошад - аксар вақт дар қисмҳои қисман-phr-parl (PPB) ё диапазони қафо (PPT). Ошкор ва дақиқ муайян кардани ин дақиқа на танҳо воситаи василаи ҳассосро талаб мекунад Lop-ms балки муҳити ғайримуқаррарии A_aliytical An_alytical ва намунаҳои ихтиёрӣ барои интихоби муҳити зист барои пешгирӣ кардани ҷорӣ ифлосшавӣ.

Як мушкилоти назаррас муаррифӣ аст. Бисёр газҳои махсус истифода мешаванд дар электроника баланд, зангзанӣ, зангзанӣ, ё ҳатто пирофавор мебошанд (оташ ба худ дар ҳаво). Ба таври бехатар ва самаранок гузаронидани ин газҳо ба асбоби таҳлилӣ ба мисли Lop-ms Бидуни тағир додани Гази намуна Ё ифлос кардани асбобҳо интерфейсҳо ва тартиботи кориро талаб мекунад. Масалан, бевосита ворид кунед a Гази зангзанӣ Мисли гидроген хлориди (HCL) ба стандарт Lop-ms система метавонад ба он зарар расонад. Аз ин рӯ, усулҳои ғайримустақим, ба монанди носипосӣ, домани (bubbing газ тавассути моеъ барои ба даст овардан ифлосҳо) ё домани кристаллӣ аксар вақт кор карда мешаванд. Аммо, ин усулҳо метавонанд манбаъҳои потенсиалии худро муаррифӣ кунанд ифлосшавӣ ё талафоти таҳлил, агар комилан иҷро нашуда бошад. Интихоби гази боркаш барои ҳаматарафа, агар лозим бошад, бояд ҳатман нест покӣ.

Масъалаи дигар "Таъсири матрис" аст. Халта газ худ (масалан, CARNON, нитроген, гидрогенӣ) метавонад ба ошкор шудани он халал расонад Пинҳон кардани эътирозҳо. Масалан, дар Lop-ms, Плазма аз қисми калон ташаккул ёфтааст газ Метавонад эчастагии поликомомиро созад, ки ин таносуби ҳамлу наққро ҳамчун ҳадаф доранд Наҷотдиҳии металлӣ, ба мусбатҳои бардурӯғ ё миқдори носипосӣ. Таҳлилгарон бояд техникаро ба монанди бархӯрдҳо / ҳуҷайраҳои аксуламал дар Lop-ms ё сими мунтазами васеъ барои бартараф кардани ин мафҳуми спектрӣ. Ғайр аз он, стандартҳои калибрченкунӣ, ки барои миқдор истифода мешаванд ифлосшавии металлӣ бояд ниҳоят дақиқ ва қобили дастрас бошад ва тамоми раванди таҳлилӣ бояд барои эътимоднокии он тасдиқ карда шавад Таҳлили нопок натиҷаҳо. Мо, ҳамчун молрасон низ хавотир мешавем силиндраи газ ва имкониятҳои онҳо барои саҳмгузорӣ Наҷотдиҳии металлӣ Бо гузашти вақт, ки бояд назорати босифатро талаб кунад.

Оё метавонад таҷҳизоти мубодилаи газро, ки дурустии андозагирии номатлубро тақвият бахшад, истифода баред?

Бале, Бо истифода аз дастгоҳи мубодилаи газ дар ҳақиқат метавонад дар баланд бардоштани саҳеҳӣ нақши назаррас дошта бошад Андозагирии ноқилҳо, хусусан ҳангоми мубориза бо душворӣ газ матриҳо ё дар муқоиса бо Ultra-паст Маҳдудиятҳои ошкор. А дастгоҳи мубодилаи газ, баъзан ба ҳайси системаи бартарафсозии матритса номида мешавад газ (Ҷузъи асосии он Гази намуна) ҳангоми тамаркуз Пинҳон кардани эътирозҳо фоизҳо. Ин қадами пеш аз консентратсия метавонад ҳассосияти техникаи минбаъдаро ба таври назаррас такмил диҳад Lop-ms ё хроматографии газ Системаҳо система.

Принсипи зиёде Дастгоҳҳои мубодилаи газ як мембранаи нимтайёр ё механизми интихобӣ / механизмро дар бар мегирад. Масалан, як мембранаи палладиум метавонад барои интихоби эмлазин аз а Омехтаи газ, иҷозат додан Натиҷаҳои газҳо тамаркуз карда мешавад ва ба а детектор. Ҳамин тавр, маводҳои махсуси AdSorbent метавонанд муайян кунанд ифлосҳо аз ҷараён газ ҷараёне, ки метавонад пас аз миқдори ками тозакунӣ тахминан нафас гирад гази боркаш барои таҳлил. Бо кам кардани миқдори партовҳо газ расидан ба детектор, ин дастгоҳҳо мотсионерро кам мекунанд, садои заминаро кам мекунанд ва самараноки таносуби сигнализатсияро барои ҳадаф афзоиш медиҳанд Пинҳон кардани эътирозҳо. Ин метавонад ба поёнтар биравад ҳудуд.

Манфиатҳои Бо истифода аз дастгоҳи мубодилаи газ Ҳангоми таҳлил, муайян карда мешаванд ифлосҳо дар электронӣ Газҳое, ки мубориза бо мустақим ҳал кардан душвор аст ё дахолати назаррас ба асбобҳои таҳлилӣ оварда мерасонад. Масалан, ҳангоми кӯшиши чен кардани пайкоматикии пайғамбар ё намӣ дар як реактивии баланд гази махсус, а дастгоҳи мубодилаи газ метавонад инҳоро ҷудо кунад ифлосҳо ба чизи бештар гази боркаш мисли CARNON ё чархи пеш аз расидан ба детектор. Ин на танҳо дақиқиро беҳтар мекунад, аммо инчунин ҷузъҳои ҳассоси таҳлилиро муҳофизат мекунад. Ҳамчун истеҳсолкунанда 99.999% Пӯшидани сатҳи 50Л силиндраи xенин, мо арзиши чунин техникаи пешрафтаро дар тафтиши истисноӣ дарк мекунем покӣ нодир ва газҳои махсус. Ин воситаи технология дар танқид СУПУФТАРИ ГУЗАРОТ ва марҳилаҳои тасдиқкунанда.

Истиноди танқид: Таҳлили нопок дар газҳои мустақим мустақиман дар истеҳсолоти нимнадак истифода мешавад.

Пашна Газҳо мустақиман дар истеҳсоли нимнизатор истифода мешаванд халосии раванди матоъ. Инҳо на танҳо газҳои зиёдатӣ мисли нитроген ва CARNON, аммо як қатор васеъи Газҳои махсуси электронӣ ба мисли газҳои электронӣ (масалан, кремен, Олмон барои парвариши қабатҳои булӯр), газҳои (масалан, nf₃, sF₆, CLAT барои Паттервика), Газҳои ion implantation (масалан, олами Арсин, Фосфайн, Борон Тритлуорид барои доп) ва газҳои доғӣ. Барои ҳар яке аз инҳо газҳои зарурӣ, сатҳ ва навъи қобили қабул нопокӣ ба таври кӯтоҳ муайян карда шудаанд, зеро ҳама гуна тамоюл метавонад ба камбудиҳо дар бораи нуқсонҳо тарҷума кунад нимноқил кафолат. Ин месозад Таҳлили нопок барои онҳо газҳои раванд як қадами комилан сифати интиқодӣ.

Фикр кардани тамғаи диоксиди пӯсти лоғар, як омили умумӣ дар транзистаҳо. Агар оксиген газ истифода мешавад Барои ин раванд як карбогидрид дорад ифлосҳоКарбон метавонад ба қабати оксидро дар бар гирад, хосиятҳои гармидиҳии худро коҳиш диҳад ва эҳтимолан ба нокомии дастгоҳ оварда расонад. Ба ин монанд, агар etching газ дорои ногаҳонӣ нопокӣ, ин метавонад сатҳи ettch ё интихобро тағир диҳад, ки боиси хусусиятҳои калон, хеле хурд, хурд ё нодуруст шаклдоранд. Ҳатто як нопокӣ дар газ мисли Силиндраи газ Истифода бурда мешавад, барои ғазаб метавонад ба сатҳи кафи интиқол дода шавад, ба сифати филм таъсир расонад. Таъсири як нопокӣ аксар вақт коркард, маъно дорад нопокӣ дар як қадам таҳаммул карда метавонад олуда дар ҷои дигар.

Ин истиноди танқид як равобити ҳамаҷонибаро талаб мекунад Таҳлили нопок. Он на танҳо дар бораи санҷиши маҳсулоти ниҳоӣ; Он мониторинг кардани ашёи хом, ҷараёнҳои дар-коркард ва ниҳоӣро дар бар мегирад газ марҳилаҳои покакӣ. Барои ихтисори нимнарзӣ газҳо, мушаххасот барои Нишондиҳандаҳо дар нимназмонӣ Барномаҳо аксар вақт хеле сахтанд ва ҳудуди муайянкунии таҳлилро тела медиҳанд. Мо бо муштариёни худ дар нимноқил ва электронакт Майдон барои фаҳмидани мушаххаси онҳо нопокӣ ҳассосият барои гуногун газҳо ва газҳои газ. Ин усули ҳамкорӣ ба кафолат додани он кӯмак мекунад газҳои махсуси тозагӣ Мо мунтазам ба талаботи талабкунандаи равандҳои пешрафтаи истеҳсолшудаи онҳо пайваста ҷавоб медиҳем. Мушкилот дар ошкор кардани а доираи васеи ифлосҳо дар сатҳи паст кардани сатҳи.

Берун аз лаборатория: Амалияҳои беҳтарини коркарди газҳои нимназаркории баландсифат барои пешгирии ифлосшавӣ.

Кафолати тозагии газҳои махсуси электронӣ вақте ки шумо газ иншооти истеҳсолии моро тарк мекунад. Нигоҳ доштан покӣ тамоми роҳи ба нуқтаи истифода дар а нимноқил FA FAT таваҷҷӯҳи зеҳниро ба кор бурдани кор, нигоҳдорӣ ва тақсимот талаб мекунад. Ҳатто баландтарин Покии газ метавонад ифлос шавад, агар дуруст идора карда нашавад. Дар Huazhong газ, мо на танҳо ба истеҳсоли газҳои тозагӣ балки ба мизоҷони мо оид ба таҷрибаҳои беҳтарини худ барои пешгирии ҷараёнро маслиҳат медиҳанд ифлосшавӣ.

Амалияҳои беҳтарини беҳтарин иборатанд аз:

• Чорчӯбаи интихоб: Ҳама ҷузъҳо дар системаи расонидани газ - аз ҷумла силиндраи газ, танзимгарон, қитъаҳо, найҳо ва арматура - бояд аз маводи мувофиқ анҷом дода шавад (масалан, пӯлоди зангногир (масалан, як пӯлоди беназорат) ва ба таври махсус тоза ва тасдиқ карда шавад Ultra-ultra- (UHP) Хизматрасонӣ. Истифодаи маводҳои нодуруст метавонад ба ишғоли ифлосҳо ё а Таъминоти металлӣ шустан ба ҷараёни газ.
• ДӮСТИНИИ СИСТЕМА: Системаи таҳвили газ бояд ихроҷ шавад. Ҳатто ихроҷи ночиз метавонад ба атмосфера имкон диҳад ифлоскунандагон Мисли оксиген, намӣ ва майда масъала барои ворид шудан ба система, объективӣ тозагии газ. Санҷиши мунтазами ихроҷ муҳим аст.
• Тартиби тоза: Ҳар дафъа пайвастшавӣ ё силиндр тартиби дурусти тозакунӣ муҳим аст. Ин дар чуқур шино мекунад гази оддии моеъ (ба монанди CARNON ё нитроген) барои нест кардани ҳар гуна ҳавои дом ё ифлосҳо. Тозакунии нокифоя манбаи умумии ифлосшавӣ. Мо аксар вақт панелҳои автоматӣ тоза мекунем, то мувофиқатро таъмин кунанд.
• Таҷҳизоти бахшидашуда: Истифодаи танзимкунандагони бахшидашуда ва хатҳо барои мушаххас газҳо ё оилаҳои газҳо метавонад ба ифлосшавии салиб монеъ шавад. Ин хусусан ҳангоми гузариш байни а газ ва як реактивӣ ё Гази зангзанӣ.
• Муносибати силиндраи: Силиндраи газ бояд бо эҳтиёт пешгирӣ карда шавад, то вайрон нашавад. Онҳоро бояд дар минтақаҳои таъиншуда, инчунин вентилятсия нигоҳ дошта шаванд ва "Пеш аз ҳама" аввалин "аввал" татбиқ карда шавад. Бо истифода аз намӣ бахшида ва оксиген Таҳлилгарон дар нуқтаҳои интиқодӣ инчунин метавонанд барои назорат барои ягон иқдоми ин маъмул кӯмак кунанд ифлосҳо.

Барои муштариён мисли Марк Шен, ки ба истеҳсолот газанд, газҳои харидорӣ, фаҳмидани ин таҷрибаҳои кориро барои нигоҳ доштани он хеле муҳим аст Сифати маҳсулот онҳо ба мизоҷони худ ваъда медиҳанд. Ин масъулияти муштарак аст. Мо таъмин мекунем Силиндраи гидроген Маҳсулот, масалан, пур кардан ва нигоҳ дошта мешаванд нопокӣ Инглис, аммо системаи анҷомдиҳандаи корбар нақши баробар муҳим дорад. Мубориза бар зидди нопокӣ як саъю кӯшиши доимӣ аз истеҳсолот барои дархост.

Ба тӯби кристаллӣ андозагирӣ кунед: Кадом навовариҳои ояндаро мо дар муайян кардани газҳои таълимии электронӣ интизор шуда метавонем?

Ҷустуҷӯи ҳамаҷониба покӣ дар Газҳои синфи электронӣ ва ҳассостар Муайян кардани ночиз Усулҳо як сафари муттасил аст, ки аз ҷониби суръати бензинии инноватсионӣ дар нимноқил саноат. Азбаски хусусиятҳои дастгоҳ акнун ба олами зергувватӣ ва маводи нав ва меъморӣ коҳиш меёбанд Пинҳон кардани эътирозҳо бештар талаффуз мешавад. Ин ба пешрафти минбаъда дар ҳарду ниёз дорад СУПУФТАРИ ГУЗАРОТ технологияҳо ва Таҳлили нопок қобилиятҳо.

Мо метавонем якчанд тамоюлҳо пешгӯӣ кунем:

• Маҳдудиятҳои пасттар: Техникаи таҳлилӣ ба монанди Lop-ms, Спектромометрияи хроматографияи газӣ (GC-MS) ва Spectroscopcoppy Ring (CRDS) таҳаввул меёбад, тела доданро идома медиҳад Маҳдудиятҳои ошкор барои васеътар доираи ифлосҳо ба сатҳи як-рақс ё ҳатто домени PPQ-и PPQ. Ин навовариҳо дар манбаъҳои элом, таҳлилгарони оммаро талаб мекунад ва детектор технология.
• Мониторинги дар-сайт ва воқеӣ: Талаботи афзоиш ба системаҳои таҳлилӣ, ки метавонанд назорат кунанд тозагии газ Дар вақти воқеӣ, бевосита дар нуқтаи истифода дар дохили нимноқил FAT. Ин имкон медиҳад, ки фавран муайян карда шавад ифлосшавӣ чорабиниҳо ё брифинг дар нопокӣ сатҳҳо, имкон медиҳад, ки амали тезтар иҷрошуда ва кам кардани талафоти маҳсулот. Санҷиши миниатуризатсия ва алгоритмҳои пешрафтаи химуметрӣ нақши асосиро дар ин ҷо мебозанд.
• Таҳлили омехтаҳои мураккаб газ: Оянда нимноқил равандҳо метавонанд мураккабтарро ҷалб кунанд Омезиши газ бо ҷузъҳои реактивӣ. Таҳлил ифлосҳо Дар чунин камтаринчаҳои душвор стратегияҳои нави таҳлилӣ ва абзорҳои мураккабро талаб мекунанд. Қобилияти чен кардани нопокӣ Дар як ҷузъ бидуни дахолати дигарон аҳамияти ҳалкунанда хоҳад дошт.
• Таваҷҷӯҳ ба "қотил" фокус: Тадқиқотро муайян мекунад Нишондиҳандаҳо дар нимназмонӣ Коркард, ки ба муваффақият ё ҳосилнокии худ ҳатто дар сатҳи хеле паст таъсир мерасонад. Усулҳои таҳлилӣ ба ин "қотил" нигаронида мешаванд ифлосҳо.
• Таҳлилҳои маълумот ва AI: Миқдори зиёди маълумоте, ки тавассути пешрафта тавлид шудааст Таҳлили нопок Барои муайян кардани тамоюлҳо, пешгӯӣ кардан ба система ҷалб карда мешавад ифлосшавӣ Масъалаҳо ва оптимизатсия СУПУФТАРИ ГУЗАРОТ равандҳо. Ин метавонад дар назорати босифати босифат, на ба ҳалли мушкилот.

Дар гази Хуазонг, мо ӯҳдадорем, ки дар сафи пеши ин пешрафтҳо истем. Мо пайваста ба таҳқиқот ва рушд мунтазам сармоягузорӣ мекунем, ҳамкорӣ бо шарикони соҳа ва муассисаҳои таълимӣ барои пешбурди илми илм гази тозагӣ Истеҳсол ва Таҳлили нопок. Барои мизоҷони мо, аз ҷумла сифатнок ҳамчун сифат ҳамчун аломат shen, ин маънои таъминоти эътимодбахшро дорад Газҳои махсуси электронӣ ки ба эҳтиёҷоти таҳаввулоти Нархҳо ва соҳаҳои нимнарзӣ. Доираи мо Гармӣ, ки бо муносибати он машҳур аст ва дар барномаҳои махсус истифода мебаранд, инчунин фоидаи аз ин таҳкурсии пешрафта барои таъмини ҳадди ақали таҳлилӣ нопокӣ сатҳҳо.

Калиди асосӣ барои дар хотир доред:

• Газҳои махсуси электронӣ асоси асосӣ мебошанд Истеҳсоли нимнарзва онҳо покӣ номувофиқ нест.
• Ҳатто Пинҳон кардани эътирозҳо, дар PPB ё PPT чен карда мешавад, метавонад норасоии назаррасро ба вуҷуд орад ва зиёни ҳосилнокӣ дар нимноқил дастгоҳҳо.
• Умумӣ Натиҷаҳои газҳо Дигар газҳои дигарро дар бар мегирад (ба монанди O₂, H₂O), Наҷотдиҳии металлӣва майда масъала.
• Lop-ms як технологияи обидорӣ барои ошкор кардани а доираи васеи ифлосҳо, махсусан Наҷотдиҳии металлӣ, дар сатҳҳои ултра-паст.
• Нигоҳдорӣ тозагии газ Такрор кардани ақл ва беайбии системаро талаб мекунад силиндраи газ ба нуқтаи истифода барои пешгирӣ ифлосшавӣ.
• Оянда ҳатто камтар хоҳад буд Маҳдудиятҳои ошкор, мониторинги воқеӣ ва рондан Таҳлили нопок барои синфи электронӣ газҳо.
• Назорати ҳар як иқтидор нопокӣ барои таъмини Сифати маҳсулот ва эътимоднокии муосир электроника.