Саноати нимназаркор, ҳамчун аслии таҳияи технологии муосир, газҳои баландсифат ва баландкифро дар раванди истеҳсолии худ дар бар мегирад. Газҳои махсус барои нимноқилҳо ба газҳое, ки дар истеҳсоли маводи нимшавк бозӣ мекунанд, тарки филм, пасмасозии лоғар, филмҳои лоғар, қабул ва дигар равандҳо нақши калидӣ доранд. Ин газҳо бояд ба талаботи қатъӣ барои покӣ, субот ва назорати дақиқ аз равандҳои аксуламал мувофиқат кунанд. Ин мақола якчанд газҳои махсуси умумӣеро, ки дар нимноқилдорон истифода мешаванд ва нақшҳои худро дар ҷараёни истеҳсолоти нимноқил муҳокима мекунанд.

1. Гидроген (H)

Гидроген дар истеҳсоли нимнизатор васеъ истифода мешавад, хусусан дар буғҳои химиявӣ (CVD) ва камбудиҳо коҳиш. Дар CVD, Hydrogen аксар вақт бо дигар газҳо омехта кардани филмҳои борик, ба монанди филмҳои силикон. Гидроген инчунин ҳамчун як агент дар тамғагузории металлҳо ва равандҳои бартарафкунии оксиди тоза мекунад. Ғайр аз он, гидроген дар тозакунӣ ва табобати фосилаҳои нимноқатманд истифода бурда мешавад ва сифати микросхемаҳоро беҳтар мекунад.

2. Нитроген (n₂)

Нитроген, гази ғайричашмдошт асосан барои пешниҳоди муҳити озоди оксиген дар истеҳсоли нимноқил истифода мешавад. Он одатан дар таҷҳизот тоза, ҷараёни хунуккунӣ ва ҳамчун парвариш дар атмаркаҳои реаксия истифода мешавад. Дар буғ ва амонатҳои буғӣ, нитроген аксар вақт бо дигар газҳо барои мӯътадил ба мӯътадил ва назорати сатҳи аксуламал назорат мекунад. Нитроген инчунин барои хомӯш кардани оксидатсия, ҳифзи маводи ҳассос аз зарари оксидатсия истифода мешавад.

3. Оксиген (O₂)

Ки оксиген Дар саноати нимноқилӣ нақши муҳим мебозад, хусусан дар равандҳои оксидатсия. Дар ташаккули қабати дуоксиди силикиён дар сатҳи мавҷҳои креммӣ, оксиген муҳим аст. Бо муаррифии оксиген, як оксиди қабати яктаъм дар сатҳи силикон, ки барои муваффақияти барқ ​​ва устувории дастгоҳ ҳаётан муҳим аст. Оксперген инчунин дар тоза ва ба тозакунӣ истифода мешавад, бо дигар газҳои дигари химиявӣ ба ташаккули оксид ё филмҳои мухтасари металлҳо истифода мешавад.

4. Tretrafluororide (CF₄)

Tetrafurooride карбон дар равандҳои ба таври васеъ истифода бурда мешавад. Дар нимносилираи STREMHURTRER, CF₄ бо дигар газҳо омехта карда мешавад, то филмҳои борикҳои Силикаро, ниттиш, металл, металл ё дигар маводҳо омехта кунад. Ҳангоме ки CF₄ бо финитор мубориза мебарад, он фторҳоро ташкил медиҳад, ки реактивии қавӣ доранд ва метавонад маводи мавриди ҳадафро самаранок арзёбӣ кунад. Ин газ барои ба даст овардани принсипи баландсифат дар истеҳсоли маҷмӯаи фарорасии хурду миёна аҳамияти ҳалкунанда дорад.

5. Хлориди гидроген (HCL)

Хикқастани хлориди гидроген газ асосан ҳамчун гази etching, алахусус дар қабули маводи металлӣ истифода мешавад. Он бо филмҳои металлӣ вокуниш нишон медиҳад, ки шакли хлорҳо таъсис диҳад, ки қабатҳои металлӣ хориҷ карда шаванд. Ин раванд дар поиннангаи филмҳои борик ба таври васеъ истифода бурда мешавад ва дақиқии дақиқии сохторҳои чипҳоро таъмин мекунад.

6. Trifluoride (nf₃)

Трифларастени нитроген асосан барои тоза кардани пасмондани пасандозҳо дар таҷҳизоти плазма истифода мешавад. Дар равандҳои плазма, NF₃ бо маводи мағоза (ба монанди фторҳои креминидашуда) вокуниш нишон медиҳад, ки фторҳои ҷудошавандаро ба вуҷуд оранд. Ин газ дар раванди тоза самаранок аст, дар нигоҳ доштани тозагии тозакунии etching ва такмили дақиқӣ ва самаранокии равандҳои истеҳсолӣ кӯмак мекунад.

7. Силан (SIH₄)

Силон гази маъмулан истифода мешавад, ки депозитсияи химиявӣ (CVD), бахусус барои пасандозҳои сабти навакҳо. Шоми садафаи силоҳро дар ҳарорати баланд барои ташкили филмҳои кремника дар сатҳи зеризаминӣ, ки дар истеҳсоли нимноқилҳо аҳамияти ҳалкунанда дорад. Бо танзими ҷараёни кредитӣ ва шароити реаксияҳо, сатҳи тамғагузорӣ ва сифати филм метавонад дақиқ назорат карда шавад.

8. Борон Трифруорорид (BF₃)

Борт Трифлуоридд гази муҳими допинг мебошад, ки маъмулан дар раванди боркунандаи нимназарк дар истеҳсоли нимноқат истифода мешавад. Он барои танзими хусусиятҳои электрикии кристалл бо оксени кремикӣ барои ташкили қабати дилхоҳи допинг истифода мешавад. Раванди боркунии борҳо барои ташкили маводи нимноқилии P-WEMESTER муҳим аст ва дар ин раванд BFES нақши муҳим дорад.

9. Sulfur Hexafluguoride (SF₆)

Sulfur Hexafludororide асосан дар намоишҳои нуқтаҳои нимназаркҳо, алахусус бо рондани баланд истифода мешавад. Бо сабаби хосиятҳои баландсифат ва суботи кимиёвӣ, SFC метавонад бо дигар газҳо ба таври дақиқ хориҷ кардани филмҳои моддӣ ва кафолати дақиқро таъмин кунад. Он ҳамчунин дар Ion истифода мешавад, самаранок аз байн рафтани филмҳои металлии номатлуб.

Хулоса

Газҳои махсус барои нимноқилон дар истеҳсоли микросхемаҳои интегралӣ нақши пешбаранда доранд. Азбаски технология пеш аз мӯҳлат идома дорад, талабот ба покӣ ва иҷрои ин газҳо афзоиш меёбад, ки сифат ва намудҳои газҳоро беҳтар таъмин кунанд. Дар оянда саноати нимноқилдор идома хоҳад дод, то истеҳсоли микросхемаҳои насли оянда ва навовариҳои технологӣ идома ёбад. Аз ин рӯ, фаҳмиш ва истифодаи газҳои нимноқилдории нуқсонҳои нимноқилонӣ дар рондани рушди доимии саноати нимноқил муҳим хоҳанд буд.