Аммиак (NH₃), ҳамчунин як чизи муҳими кимиёвӣ дар соҳаҳои гуногуни саноатӣ замимаҳои васеъ дорад ва нақши махсусан дар истеҳсоли семиҷатор муҳим аст. Иётис дар якчанд марҳилаҳои истеҳсоли нимноқилҳо, аз ҷумла нитратҳо, нитратҳо, тамоюлгия, тоза кардан, тоза кардан, тоза кардан ва ба равандҳои доғҳо нақши муҳим дорад. Ин мақола ба аризаи аммиак дар саноати нимноқилӣ, таҳлил карда, нақши муҳими худро дар баланд бардоштани сатҳи дастгоҳ, коҳиш додани хароҷот ва навоварии саноати рушд таҳлил мекунад.

1. Хусусиятҳои асосӣ ва рафтори химиявии аммиак

Аммония мураккабест, ки аз нитроген ва гидроген иборат аст, ки бо алкос мустаҳками худ машҳур аст ва одатан дар истеҳсоли нуриҳои саноатии нитроген пайдо мешавад. Аммиак ҳамчун газ дар ҳарорати хонагӣ вуҷуд дорад, аммо метавонад дар ҳарорати паст моеъ бошад ва онро сарчашмаи гази баландсифат созад. Дар саноати нимноқилӣ, хосиятҳои химиявии аммиак он як ҷузъи химиявии якчанд равандҳои интиқодӣ, хусусан дар вугсияҳои химиявӣ, махсусан амалиётҳои тоза / навиштан / ба даст овардани амалиётҳо.

Молекулаҳои аммиа метавонад бо металлҳои гуногун, кременкон, ва дигар маводҳо барои ташкили нитратҳо ё ба онҳо халал расонанд. Ин аксуламалҳо на танҳо дар ташаккули маводи лоғари дилхоҳ, балки инчунин хусусиятҳои электрикӣ, гармидиҳӣ ва механикиро такмил медиҳанд.

2. Аризаҳои аммиак дар нимназарк

Аминия дар нимҷазираи истеҳсоли нимноқилҳо нақши муҳим дорад: алахусус дар самтҳои зерин:

2.1 амонати филмҳои литрид

Дар мамъмаърои муосир, нитрид филмҳои лоғар, ба монанди нитритҳои кремний (SI₃NN₄), нитрийи алюминий (ALN), ҳамчун қабатҳои муҳофизаткунанда ё маводи гузаронидашуда васеъ истифода мешаванд. Дар ҷараёни тамозир ба ин филмҳои нитрикиён, аммиак, ҳамчун манбаи муҳими нитроген хизмат мекунад.

Депозаи химиявӣ (CVD) яке аз усулҳои маъмултарин барои тамоил Нитрид мебошад. Аммиак бо газҳо бо газҳо, ба монанди silane (sih₄) дар ҳарорати баланд ҷудо кардан ва ташаккули филмҳои нитрасии силикӣ. Аксуламал чунин аст:

3sih4 + 4nh3 → si3n4 + 12h2

Ин раванд ба ташаккули қабати якпорнии нитрасии нитрас дар сатҳи Силолони силикӣ оварда мерасонад. Аммония манбаи мӯътадили нитрогенро таъмин менамояд ва назорати дақиқи аксуламалро дар шароити муайян таъмин менамояд, бо ин, бо ин, бо ин васила, ғафсӣ ва якрангии филм.

Филмҳои нитрид дорои суботи оддии гармӣ, гармии барқ ​​ва муқовимати оксидия ва муқовимати оксидиро дар истгоҳи нимноқилҳо хеле муҳим меҳисобанд. Онҳо дар митсҳои ҳамгирошуда (ICCS) ҳамчун қабатҳои изолятсия, қабатҳои изолятсияи интихобот ва тирезаҳои оптикӣ дар дастгоҳҳои муқаррарӣ.

2.2 AIO implantation ва допинг

Аммиак Инчунин дар раванди допинги маводи нимноқил нақши муҳим дорад. Допинг як техникаи муҳимест, ки барои назорат кардани маҳбусони электрикии мавод дар ихтиёри дастгоҳҳои ислемӣ истифода мешуд. Аммиак, ҳамчун манбаи самараноки нитроген, аксар вақт дар якҷоягӣ бо дигар газҳо, масалан, фосифи PHAPS PH₃ ва Diboranan B₂ ва itrogen b₂₂) ба маводҳо ба масолеҳи Arsenone (GAAS) тавассути ionplantation IIS истифода мешавад.

Масалан, нитроген допинг метавонад хусусиятҳои электрикии кремиконро танзим кунад, то эҷод кардани n-намуди n-tembondrons ё p-ро эҷод кунад. Дар давоми равандҳои самараноки нитрогенӣ аммония манбаи нитрогении баландпӯширо таъмин мекунад, ки назорати дақиқро аз рӯи консентратсияи допатсионӣ таъмин мекунад. Ин барои вазорат ва истеҳсоли дастгоҳҳои баландмаҳсул дар истеҳсолоти хеле васеъ (VLSI) муҳим аст.

2.3 Тозакунӣ ва etching

Тоза ва ба равандҳои тозакунӣ калиди таъмини сифати сатҳи дастгоҳ дар истеҳсоли нимноқилҳо мебошанд. Аммиак дар ин равандҳо васеъ истифода бурда мешавад, хусусан дар Плазма оргена ва тозакунии химиявӣ.

Дар Плазма ба ошкоро якҷоя бо дигар газҳо якҷоя карда шавад (масалан, chlorine) барои гирифтани ифлоскунандагони органикӣ, қабатҳои барзагов, қабатҳои оксидӣ ва ифлосшавии металлӣ аз сатҳи кафи. Масалан, аммиак ба оксиген барои тавлиди намудҳои реактиксияи оксиген (ба монанди o kilegent (масалан oc ва o₂), ки ободиро самаранок тоза мекунад ва суботро дар равандҳои минбаъда таъмин менамояд.

Ғайр аз он, аммиак метавонад ҳамчун ҳалли равандҳои тоза кардани равандҳо амал кунад, дар хориҷ кардани бозёфтҳои пайгирии аз сабаби аксуламалҳои химиявӣ ё талхосе, ки тозагии баланди кафолатро нигоҳ медорад.

3. Афзалиятҳои аммиак дар саноати семиҷозат

Аммиак дар нимҷазираи истеҳсоли нимноқилҳо, алахусус дар самтҳои зерин якчанд афзалиятҳоро пешниҳод мекунад:

3.1 Манбаи самараноки нитроген

Аммӯям манбаи муассир ва покест, ки таъминоти устувор ва дақиқи литрогениро барои тамғаи филмҳои нитрид ва равандҳои допинг таъмин менамояд. Ин барои кашидани дастгоҳҳои хурд ва нано дар истеҳсоли нимноқил муҳим аст. Дар бисёр ҳолатҳо, аммиак, нисбат ба дигар газҳои манбаи нитроген (ба монанди гази нитроген ё оксидҳои нитроген), реактивӣ ва назорат мекунад.

3.2 Назорати аъло

Реаксияи аммиак ба он имкон медиҳад, ки ба дақиқи вокуниш ба вокуниш нишон диҳад ва ғафсии филм дар равандҳои гуногун. Бо тасҳеҳи суръати обии аммиак, ҳарорат ва намуди аксуламал, мумкин аст ғафсӣ, ягона ва хусусиятҳои сохтории филмҳоро назорат кардан мумкин аст.

3.3 Самаранокии хароҷот ва дӯстии экологӣ

Дар муқоиса бо дигар газҳои манбаи нитроген ба аммония нисбатан паст аст ва самаранокии истифодаи обии баланд дорад ва онро дар истеҳсоли васеъмкункҳои нимсабодӣ муфид мекунад. Гузашта аз ин, боз як такрории аммиак ва технологияҳои такрорӣ пешрафта шуда истодаанд, ки ба дӯстии экологии худ мусоидат мекунанд.

4. Бехатарӣ ва мушкилоти экологӣ

Бо вуҷуди нақши назарраси он дар истеҳсоли нимноқилд, аммиакҳо хатарҳои эҳтимолиро пешниҳод мекунад. Дар ҳарорати хонагӣ, аммиак газ аст, ва дар шакли моеъи он, он ҳангоми истифода чораҳои бехатариро талаб мекунад, ки чораҳои қатъии бехатарро талаб мекунад.

1. Нигоҳдорӣ ва интиқол: Аммиак бояд дар ҳарорати паст ва фишорҳои баланд бо истифода аз контейнерҳои махсус ва қубурҳо барои пешгирии ихроҷҳо нигоҳ дошта шавад.
2. Бехатарии амалиётӣ: Операторон дар хатҳои истеҳсоли нимноқилҳо, ба монанди айнакҳо, дастпӯшакҳо, дастпӯшакҳо ва ниқобҳои газ, пӯшида бояд пӯшида шаванд.
3. Табобати гази партовҳо: Истифодаи аммиак метавонад газҳои зарароварро ба бор оварад, пас аз самаранокии гази мўҳлати партовҳо бояд барои кафолати экологии экологиро барои таъмин намудани он бояд ҷой дошта бошанд.

Тавре равандҳои истеҳсоли нимноқилонӣ пешрафти дарозмуддат идома доранд ва талабот ба нақшаи баландтари дастгоҳ меафзояд, нақши аммимин дар саноат афзоиш меёбад. Ин хусусан бо дақиқии Нано миқёси ҳамгиришуда, микробҳои ҳисобкунишҳои кадрӣ ва технологияҳои пешпардохти бастабандишуда дуруст аст. Ғайр аз он, ҳамчун қоидаҳои экологӣ, ки рушди технологияҳои гармтарӣ ва истифодаи коркард барои аммиак омили муҳим дар ояндаи соҳа мегардад.

Барномаҳои аммиак дар саноати нимноқилҳо барои рушди электроникаи муосир асоси мустаҳкам фароҳам меоранд. Нақши он дар баланд бардоштани самаранокии истеҳсолӣ, коҳиш додани хароҷоти истеҳсолӣ ва навовариҳои технологии автомобилӣ. Ҳамчун пешрафти технология, барномаи аммониа аммит тавсеа медиҳад, ки дар саноати нимноқилҳо ба самти самаранокии баландтар ва устувории экологӣ таҳаввул меёбад.

Аммиак, зеро Regent химиявии муҳими кимиёвӣ дар истеҳсоли нимноқил нақши муҳим дорад. Барои тамоил филмҳои нитрид, доп ва равандҳои тозакунӣ ва тоза кардан аҳамияти ҳалкунанда аст. Бо пешрафти идомаи техникаи нимноқилҳо, барномаҳои аммич ба воя расонида мешаванд ва барои пешрафтҳои технологии ба таври назаррас саҳмҳо ҷудо мекунанд ва дар самти нимназарказ кӯмак мекунанд, ки саноати нимназарӣ дар самти самараноктар ва экологӣ парвариш кунанд.