Дастури мукаммал ба Trifluoriorior (nf₃) газ дар истеҳсоли семоцуратор
Смартфон дар ҷайби худ, компютер дар мизи шумо, системаҳои пешрафта дар мошини шумо, ҳеҷ яке аз хомӯш, кори ноаёнии газҳои махсус нахоҳанд буд. Ҳамчун соҳиби фабрикаи гази саноатии ман, яъне Альмен, яъне тирандозӣ карданд, ки ин маводҳои муҳим ҳамон даме ки технологияи муосирро ташкил медиҳанд, ки ин маводи вазнинро ташкил медиҳад. Барои пешвоёни тиҷорат ба монанди Марк Shen Shen, ки занҷирҳои муайяни марказиро идора мекунанд, фаҳмидани ин газҳо барои кушодани имкониятҳои нав калид аст. Ин мақола барои яке аз бозигарони муҳимтарин дар ин соҳа дастури мукаммали шумост: Trifluoride (nf₃). Мо ин пурқувватро ҷудо мекунем газ, нақши муҳими худро дар Раванди истеҳсоли нимнизаторва фаҳмонед, ки чаро сифат ва таъминоти он барои ҳама муҳим аст Истеҳсоли электроника саноат.
Нитроген Trifluoride (NF₃) чӣ гуна аст?
Дар назари аввал, Trifluoride nitrogen, аксар вақт аз формулаи кимиёвии худ номид Nf₃, шояд танҳо дигар саноат ба назар мерасад газ. Он рангин, бебозгашт аст, ва каме бӯй мураккаб. Аммо, дар ҷаҳони пешрафтаи истеҳсолӣ, ин газ як воситаи баланд аст. Он синтетикӣ истеҳсол карда мешавад мураккаб аз як нитроген сохта шудааст ва се фото атомҳо. Калиди қудрати он дар ин сохтор ҷой дорад. Дар ҳарорати хонагӣ Nf₃ нисбатан мӯътадил аст ва верторӣва худро барои нақлиёт ва дастак дар муқоиса бо газҳои ночиз муҳофизат кунед.
Ҷодугарӣ ҳангоми истифодаи энергия рух медиҳад. Дар шароити энергияи энергия дар дохили нимноқил Воситаи истеҳсолӣ, ба монанди а плазма палата, Nf₃ molecules партоед. Онҳо танҳо ҷудо мешаванд ва баланд мешаванд реактивӣ фото радикалӣ. Онро ба монанди таркиши назоратшаванда дар миқёси микроскопӣ фикр кунед. Ин озод фото атомҳо дар навбатии ва тоза кардани маводи номатлуб, алахусус бениҳоят эътибор доранд кремнион ва пайвастагиҳои он. Ин қобилияти устувор будан вақте ки шумо ба он ва баланд ниёз доред реактивӣ вақте ки шумо мехоҳед Гази нитроген дороии бебаҳо дар дунёи дақиқи Истеҳсоли Чип.
Ин табиати беназири дугона аст Nf₃ як корхонаи муосир шуд Диски нимназарк. Устувории он бехатарӣ ва эътимоднокиро дар занҷирҳои таъминот таъмин менамояд, дар ҳоле ки реаксияи он суст кардани қобилият ва ба даст овардани қобилиятҳои истеҳсолкунанда, ки истеҳсолкунандагон эҳтиёҷ доранд, таъмин мекунад. Тавре ки мо чуқур мешавем, шумо хоҳед дид, ки ин чӣ гуна ин садо медиҳад газ ба эҷоди дастгоҳҳои мураккабтарини замин имкон медиҳад.
Чаро газҳои махсус барои саноати нимноқилҳо муҳиманд?
Барои фаҳмидани аҳамияти Nf₃, мо аввал бояд нақши васеътарро қадр кунем Газҳо муҳиманд барои дар Саноати нимасабзор. Истеҳсол Нишондиҳандаи маҷмӯӣ монанди сохтани skyscrap дар ранги андозаи андозаи шумост. Ин раванди илова ва тоза кардани даҳҳо қабатҳои қабати ултра-лоғар аз маводи гуногун ба а кремнион чӣ. Ҳар як қадами ягона, аз эҷоди луч чӣ ба чипи ниҳоӣ, ба фазои бодиққат назоратшаванда такя мекунад Газҳои электронӣ.
Ин газҳо якчанд вазифаҳои муҳимро иҷро мекунанд. Баъзе, ба монанди CARNON ва гармӣ, ҳамчун газҳои интиқолдиҳанда барои эҷоди муҳити устувор, ғайримуқаррарӣ ва барои ҳам задан додани газҳои реактивӣ истифода мешаванд. Дигарон истифода мешаванд пасандоз, ки дар он ҷо а газ истифода мешавад амонат як филми тунуки маводи ба чӣ. Масалан, дар кимиёвӣ Буц Пасандоз (Cvd), газҳо ба ташаккули филми сахт, ки қисми мудоипи чипта мегарданд. Пас газҳои etching ҳастанд, ба монанди Nf₃, ки барои дақиқ кардани намунаҳо дар ин қабатҳо истифода мешаванд, роҳҳои мураккабро барои нерӯи барқ эҷод мекунанд.
Бе доимӣ, ултрасӣлибоси баланд Таъмини ин газҳои мухталиф, тамоми газҳо раванди истеҳсолӣ ба як тан зад. Ҳатто як минусулул нопокӣ дар газ метавонист тамоми партияҳоро хароб кунад, ки хароҷоти ширкати миллионҳо долларро хароб мекунад. Ин аст чаро Истеҳсолкунандагони нимнарз бениҳоят ба сифат ва эътимоднокии молрасонҳо ҳассос мебошанд. Покии газ бевосита ба сифат тарҷума мекунад ва Ҳосили истеҳсолӣ маҳсулоти ниҳоӣ.
НF₃ дар равандҳои истеҳсоли нимноқилҳо чӣ гуна истифода мешавад?
Trifluoride nitrogen дорои ду аризаи ибтидоӣ ва муҳим дар равандҳои истеҳсолоти нимноқил: Плазма ва палата тоза. Ҳарду барои эҷоди оммаҳои баланд, аз коркардкунандагон муҳиманд Nand Flash.
Аввалан, биёед дар бораи وري сӯҳбат кунем. Пас аз як қабати мавод ба монанди кремнион дуоксид ба додгоҳ гузошта мешавад чӣ, як намуна ба он бо истифодаи нур дароз карда мешавад. Пашна etch Пас аз он раванд маводро аз минтақаҳои ҳифзнашуда хориҷ мекунад. Nf₃ ба камера ворид карда мешавад ва барои эҷоди а плазма-Aa clind и зарраҳо ва реактивӣ фото радикалӣ. Ин радикалҳои дақиқ ба таври абадӣ бомбаҳо чӣ сатҳи, вокуниш бо кремнион ва табдил додани он ба а газад мураккаб (кремнион Tretrafluororide), ки онро ба осонӣ аз палата насос карда метавонад. Пинҳон кардани ин раванд ақл аст, ки ба муҳандисӣ имкон медиҳад, ки хусусиятҳои карамандро, ки ҳазорҳо маротиба борик мебошанд, нисбат ба мӯи инсон ҳазорон маротиба лоғар.
Дуюм, ва бештар маъмул, Истифодаи Trifluoride Nitrogen аст ҳамчун Тоза кардани газ. Дар давоми Депози химиявӣ (Cvd) раванд, ки дар он ҷо филмҳои лоғар дар чӣ, маводи номатлуб инчунин дар деворҳои дар дохили Палатаи раванд сохта шудааст. Ин пасмонд, аксар вақт аз кремнион ё нитги силикон, бояд дар байни коркарди ҳар яки коркард пурра бартараф карда шавад чӣ ё партови wachers. Дар акси ҳол, ин сохтор метавонад ба навбат афтад ва замин бошад чӣва боиси нуқсони. Ин ҷо, Nf₃ ба палатаи холӣ ва а плазма оташ гирифтааст. Тавонотар фото Радикалҳо Кангҳои камераро тоза мекунанд ва сахтро табдил медиҳанд пасмонд ба а газад ҳарифӣ ки ба осонӣ нест карда мешавад. Ин давраи тозакунӣ барои нигоҳдорӣ муҳим аст тозагии муҳити истеҳсолӣ ва таъмини баланд Ҳосили истеҳсолӣ.
Барои алтернативаҳо nf₃ як гази олии тозакунанда месозад?
Муддати тӯлонӣ, Саноати нимасабзор ба AdluorOocars (PFCs) ба монанди tetrafluorid карбон (CF₄) ва hexafluuuoroetantane (C₂f₆) барои тоза кардан ва рафтан. Ҳангоми таъсирбахш, ин пайвастагиҳо бо камвазниши калон омаданд: Масалан, C₂F₆ дорад a потенсиали баланди глобалии глобалӣ (GWP) ва метавонад дар фазо барои 10,000 сол бимонад. Ҳамчун қоидаҳои экологӣ мустаҳкам карда шуд, соҳа ҳалли беҳтар лозим буд.
Ин аст Nf₃ ҳамчун ғолиби тоза пайдо шуданд. Дар ҳоле Trifluoride nitrogen низ а гази гармхона, он дорои як нигоҳубини атмосфери кӯтоҳтар (тақрибан 500 сол) дорад. Муҳимтар аз ҳама, дар раванди тоза хеле самараноктар аст. Даруни плазма Палата, фоизи зиёд аз Nf₃ molecules барои озод кардани реактивии онҳо фото дар муқоиса бо PFCs. Ин маънои камтар дорад ғайримуқаррарӣ газ аз палата хаста мешавад. Муосир Фабакаҳои нимнарз Инчунин системаҳои латифаро насб кунед (curboods), ки қариб ҳама чизро нест мекунанд ғайримуқаррарӣ Nf₃ ва зараровар ҳарифӣ сӯзишворӣ пеш аз озод шудан.
Омезиши самаранокии баландтар ва камшумор маънои онро дорад, ки воқеан Партовҳои гази гармхонаӣ аз истифода Nf₃ нисбат ба онҳое, ки аз газҳои PFC калонсолтар мешаванд, хеле камтаранд. Иҷрои болоӣ сабаби асосии қабули паҳншудаи он мебошад.
| Сифат | Trifluoride (nf₃) | Perfluorocars (масалан, C₂F₆) |
|---|---|---|
| Тозакунии самаранокӣ | Хеле баланд | Мӯътадил |
| Пласмияи плазма | > 95% | 10-40% |
| Истифодаи газ | Ҳаҷми камтар лозим аст | Ҳаҷми баландтар лозим аст |
| Вақти коркард | Давр тезтар | Сиклҳои тозакунии сусттар |
| Таъсири экологӣ | Партовҳои каммасраф бо коҳиш | Ҳаёти атмосферии баланд, дароз |
| Самаранокии хароҷот | Баландтар Ҳосили истеҳсолӣ, камтар | Камтар самаранок, партовҳои бештар |
Trifluroueride баландии тозагӣ баланд аст?
Ҳамчун истеҳсолкунанда, ман ба шумо гуфта метавонам, ки истеҳсол Nf₃ як мураккаб ва назорат карда мешавад Раванди истеҳсолӣ. Ҳадаф аст эҷод кардани маҳсулоти ниҳоӣ, ки бениҳоят пок аст нопокӣ метавонад фалаҷ кунад Истеҳсоли нимназарк. Ин раванд таҷрибаеро талаб мекунад, ки химиявии хеле реактивӣ, махсусан коркард мекунад фото.
Пашна Nf₃ истеҳсол маъмулан нишон медиҳад аммиак (а мураккаб дорои нитроген) ё аммоний фторид мураккаб бо тасвирӣ фото газ дар як реактор дар Ҳарорати баланд. Ин аксуламал омехтаи газҳо, аз ҷумла Nf₃, маводи қатъӣ ва маҳсулоти гуногун. Мушкилоти воқеӣ ва дар он ҷое ки таҷрибаи таҳвилгарон нишон медиҳад, дар покӣ марҳилаи пайдоиши.
Хом газад омехта якчанд маротиба меравад покӣ қадамҳо барои бартараф кардани ҳама гуна пайвастагиҳои номатлуб. Ин аксар вақт як қатор скрандингро дар бар мегирад, адолатва равандҳои криогенӣ ва discillation. Пашна Раванди distillation, алахусус ҳарорати хеле пастро истифода мебарад, то газҳои гуногунро дар асоси нуқтаҳои ҷӯшон, ҷудо кардани онҳо ҷудо кунад Nf₃ аз ҳама гуна ифлосҳои боқимонда. Ҳар як қадам бо таҷҳизоти пешрафтаи таҳлилӣ назорат карда мешавад, то маҳсулоти ниҳоӣ ба мушаххасоти қатъии нимноқил саноат. Ин ӯҳдадорӣ оид ба назорати сифат ин аст, ки чӣ гуна таъминкунандаи боэътимодро аз дигарон ҷудо мекунад.

Мулоҳизаҳои бехатарӣ ва ҳифз кардан барои NF₃ газ чист?
Бехатарӣ афзалияти боло дар саноат аст газ тиҷорат. Дар ҳоле Nf₃ аст, на дар ҳарорати хонагӣ нисбатан мӯътадил аст, ки агенти қавии оксидшавӣ мебошад, хусусан дар ҳарорати баландтар. Ин маънои онро дорад, ки он метавонад бо маводи оташгиранда сахт муносибат кунад ва коркарди бодиққатро талаб кунад. Хатари асосӣ мушкилии он аст; нафас кашидан газ метавонад зараровар бошад, бинобар ин вентилятсияи дуруст ва таҷҳизоти муҳофизати шахсӣ дар ҳама гуна муҳим аст Сомонаи истеҳсолӣ.
Тамоми занҷири таъминот аз корхонаи мо ба фармоишгар нимноқил Фаби, дар тамоми бехатарӣ сохта мешавад. Nf₃ дар силиндраи махсуси тарҳрезишуда дар зери фишори баланд интиқол дода мешавад. Ин силиндраҳо озмоиши сахт ва сертификатсияро барои таъмини бехатарии онҳо аз санҷиш мегузоранд газ. Ҳамчун таҳвилгар, мо варақаҳои муфассали оид ба бехатарии маълумотро (SDS) ва омӯзишро ба мизоҷони худ дар бораи нигоҳдорӣ, пайвастшавӣ ва амалиётҳо пешниҳод менамоем. Ин дастурҳоро дар бар мегирад Сатҳи суръат системаҳои назоратӣ ва ихроҷ.
Барои соҳибони соҳибкорӣ ба монанди Марк, ки нигарониҳои асосии онҳо занҷирҳои ҳамвор ва боэътимод мебошад, ки бо таъминкунанда бо таъминкунандае мебошад, ки сабти тасдиқкунандаи бехатарии бехатар аст, аҳамияти ҳалкунанда дорад. Иртиботи ғайриифоя ё набудани протоколҳои возеҳи бехатарӣ аз таҳвилгар як парчами асосии сурх аст. Мо дар бораи маҳсулот мулоҳиза ронем, аммо хидмати пурраи он, ки дастгирии моддию техникии моддистӣ ва экспертизаи бехатариро дар бар мегирад, кафолати газ ба ҳар қадами ин роҳ фурӯшанд ва бехатар карда мешавад.
Оё нитроген гази гулхонаӣ аст? Фаҳмиши таъсири экологӣ.
Шаффофият дар бораи ҷанбаҳои экологии Nf₃. Бале, Trifluoride nitrogen як қавӣ аст гази гулхонаӣ. Гурӯҳи байниҳукуматӣ оид ба тағирёбии иқлим (IPCC) ҳисоб карда шудааст, ки он дорои потенсиали глобалии гармии глобалӣ (GWP) ҳазорҳо маротиба аз карбон иборат аст дуоксид дар тӯли 100-солагӣ. Ин далелест, ки саноат хеле ҷиддӣ мегирад.
Бо вуҷуди ин, ҳикоя дар он ҷо хотима намеёбад. Пашна таъсир ба муҳити зист вобаста аст, на танҳо дар потенсиали газ, аммо чӣ қадар он чӣ андоза аслан ба атмосфера озод карда мешавад. Тавре ки дар боло зикр шуд, Nf₃ хеле самаранок аст. Дар муосир нимноқил Иншоот, аксарияти васеъи газ истифода мешавад ҳангоми раванди истеҳсолӣ истеъмол ё нобуд карда мешавад. Пашна плазма онро вайрон мекунад ва ҳама ғайримуқаррарӣ газ ки хасташуда ба системаи бекоркунӣ фиристода мешавад. Ин системаҳо хеле самараноканд, аксар вақт зиёда аз 99% боқимондаро нест мекунанд Nf₃.
Гузариши саноат аз PFCS ба Nf₃, дар якҷоягӣ бо истифодаи васеъи технологияи коҳишёбанда, воқеан ба коҳиши холисона оварда расонид Партовҳои гази гармхонаӣ як воҳиди истеҳсолот. Ьавобгар Истеҳсолкунандагони нимнарз ва таъминкунандагони газ якҷоя кор мекунанд, то партовҳоро кам кунанд. Ин ояткуниро дар бар мегирад, ки раванди тозакуниро барои истифодаи ҳадди аққал истифода мекунад газ зарурӣ ва нигоҳдории системаҳои камшумор барои иҷрои қуллаи. Ҳамин тавр, дар ҳоле ки Nf₃ як қавӣ аст гази гулхонаӣ дар танзимоти лаборатория, пои аслии экологии экологӣ дар Истеҳсоли нимнарз бодиққат идора карда мешавад ва нисбат ба алтернативаҳои он иваз карда мешавад.
Нақши истеҳсоли газ дар макон барои матоъҳои бузурги нимноқил чӣ гуна аст?
Миқёси муосир Истеҳсоли нимнарз нафас кашидан аст. Иншооти калонтарин, ки бо Mega маъхара мекунанд, миқдори зиёди газҳоро истеъмол мекунанд. Барои баъзе газҳо, ба монанди нитроген, он самараноктар ба даст овардани онҳо мустақиман дар иншоот на ба мошинҳои боркаш дар ҳазорҳо силиндраҳо самараноктар аст. Ин ҳамчун маълум аст дар ҷояш насл. Барои махсус ва реактивӣ газ мисли Nf₃, модели каме гуногун ба назар мерасад: дар ҷояш тозакунӣ ва таҳлил.
Дар ҳоле ки пур Nf₃ истеҳсол Дар як роҳи душворӣ аз сабаби мураккабии он, корбарони миқёси калон аксар вақт мураккаб доранд дар ҷояш Системаҳои идоракунии газ. Таъминоти оммавӣ Nf₃ ба бад интиқол дода мешавад ва пас ин система марҳилаи ниҳоӣ иҷро мекунад покӣ ва таҳлили босуръати сифат пеш аз газ ба асбобҳои гаронбаҳои истеҳсолӣ ворид мешавад. Ин як қабати ниҳоии назорати сифатро таъмин менамояд ва кафолат додани он, ки ҳама гуна ифлосшавии эҳтимолии хатҳои таъминот гирифта мешавад. Ин равиш манфиатҳои иқтисодии харидро бо таъмини кафолати сифат дарбар мегирад дар ҷояш идоракунӣ.
Фаҳмидани ин моделҳои таъминотиву эволютсия муҳим аст. Ҳамчун молрасон, мо хидматҳои худро берун аз пур кардани силиндрҳо васеъ кардем. Мо ҳоло кор мекунем Истеҳсолкунандагони глобалии нимноқил тарҳрезӣ ва амалисозии ҳалли ҳамаҷонибаи интиқоли газ ва идоракунӣ. Ин метавонад дар бар гирад хатти истеҳсолӣ Иқтидори ба муштарии муштарак, логистикаи махсус ё ҳамгироӣ бо онҳо дар ҷояш Системаҳо система. Ин дар бораи таъмин намудани занҷирҳои тағйирпазир ва боэътимод, ки ба ниёзҳои талабот ҷавобгӯ аст 21 асри 21. Ин қисми калидии стратегияи мо, хусусан ҳангоми хидмат ба мизоҷон имконоти истеҳсолӣ.

Чӣ гуна тозагии NFL ба ҳосили истеҳсолӣ дар истеҳсоли чип таъсир мерасонад?
Дар нимноқил Ҷаҳон ҳама чиз аст. Ин фоизи хуб, чиптаҳои корӣ аз як нафар истеҳсол карда мешаванд кремнион чӣ. Ҳосили баланд маънои даромаднокии баланд дорад; Ҳосилнокии кам метавонад аз ҷиҳати молиявӣ харобшакл бошад. Тозагии газҳои раванд, хусусан реактивӣ газ мисли Nf₃, дорои таъсири мустақим ва драмавӣ Ҳосили истеҳсолӣ.
Тасаввур кунед нопокӣ мисли зарбаи ночизи намӣ (h₂o) ё дигар газад мураккаб омехта бо Nf₃. Ҳангоми раванди ҳассос нопокӣ метавонад ба реаксияи химиявӣ халал расонад ва боиси нуқсони микроскопӣ дар атрофи қубур гардад. Он метавонад etch, маводро тарк кардан, ки дар он набояд бошад ё боиси ба даст овардан, бартараф кардани маводи аз ҳад зиёд. Ҳар ду роҳ, дар натиҷа Нишондиҳандаи маҷмӯӣ озмоиши ниҳоии худро суст мекунад. Вақте ки шумо миллионҳо трансистрезонро дар як чип пешкаш мекунед, ҳатто як "нуқсонҳои куштор" ба вуҷуд омадааст нопокӣ метавонад тамоми чипро пардохт кунад.
Аз ин рӯ, мо ба назорати сифат хеле афзун мешавем. Бо пешниҳоди сертификатшуда, ултрасӣлибоси баланд Nf₃, мо ба мизоҷони худ эътимод дорем, ки газ манбаи камбудиҳо нахоҳад буд. Назари консентратсия ҳар як компонент ба сатҳи қисмҳои қисмҳо - таъмин мекунад раванди истеҳсолӣ устувор ва такрорӣ аст. Раванди устувор ба пешгӯишаванда ва баланд оварда мерасонад Ҳосили истеҳсолӣ, ки ҳадафи ниҳоӣ барои ҳар аст нимноқил истеҳсолкунанда. Нақши мо ҳамчун молрасон Газҳои махсуси моеъи комил аст, ки тағир додани тағирёбандаҳо ва фароҳам овардани маҳсулоти сифати бебаҳо.
Шумо бояд дар як таҳвили нитроген чӣ гуна ҷустуҷӯ кунед?
Барои корманди харид, ба монанди Марк, ки таҳвили дурустро барои як маводҳои интиқодӣ интихоб мекунад Nf₃ на танҳо нархи барҳам додани нархҳо. Хавфҳои таъхири муштараки боркашонӣ, масъалаҳои сифат, муоширати камбизоат - танҳо хеле баланд аст. Дар асоси таҷрибаи ман омилҳои калидии ба назар мерасанд:
Аввалан, сифат ва сертификатсияҳо тасдиқшаванда. Таъминкунандаи боэътимоди таҳлили таҳлили таҳлил (COA) -ро бо ҳар як борворӣ, дар мавриди муфассал тафсилоти сатҳи покӣ ва рӯйхати кафолатҳои муайяншуда пешниҳод мекунад. Онҳо бояд ба стандартҳои байналмилалӣ мувофиқат кунанд, ба монанди ISO 9001. Дар бораи имконоти таҳлилии худ пурсед. Оё онҳо таҷҳизот барои муайян кардани ифлосҳо дар сатҳҳои зарурӣ доранд нимноқил Барномаҳо?
Дуюм, эътимоднокии занҷир ва шаффофият таъмин. Оё молрасон метавонад як шабакаи лоғарии логистикиро барои пешгирии таъхирҳо нишон диҳад? Оё онҳо барзиёд мебошанд имконоти истеҳсолӣ барои таъминоти устувор? Алоқа дар ин ҷо калид аст. Таъминкунандаи шумо бояд пизетиҳӣ бошад ва навсозиро дар бораи интиқол диҳад ва ба осонӣ барои ҷавоб додан ба саволҳо дастрас бошад. Ин мустақиман ба нуқтаи дарди муоширати ғайрисамарӣ дахл дорад.
Дар охир, экспертизаи техникиро ҷустуҷӯ кунед. Таъминкунандаи хуб танҳо маҳсулотро мефурӯшад; онҳо ҳалли худро таъмин мекунанд. Онҳо бояд аризаҳои шуморо бифаҳманд ва қодир бошанд дастгирии техникӣ. Онҳо бояд дар бораи бехатарӣ, коркарди бехатарӣ ва ҳатто қоидаҳои экологӣ дар атрофи он дониш гиранд Барномаҳои газ. Таъминкунандае, ки метавонад ҳамчун шарики донишманд амал кунад нисбат ба як шахс танҳо як фурӯшанда бошад. Ин таҷриба таҳкурсии равобити дарозмуддат ва муфид мебошад. Мо мекӯшем, ки ин шарики ҳамаи муштариён бошем, ки на танҳо газ Аммо сулҳи фикр, ки бо он меояд.
Калидҳои асосӣ
- Воситаи муҳим: Trifluoride (nf₃) як ихтисоси муҳим аст газ истифода бурда мешавад барои Plasma Getching ва палата Раванди истеҳсоли нимнизатор.
- Ихтиёрии олӣ: Nf₃ нисбат ба газҳои PFC калонсолтаро камтар таъсири назаррас дорад ва сатҳи баланди истифодаи объект ва системаҳои муосири бекоркунӣ дорад.
- Покӣ даромаднокӣ аст: Ултра-ултра- Nf₃ номувофиқ нест. Ҳатто пешгӯиҳо ҳатто камбудиҳо метавонанд дар кремнион чӣ, ба таври назаррас коҳиш ёфтани Ҳосили истеҳсолӣ ва даромаднокӣ Истеҳсоли Чип.
- Бехатарӣ ва Муносибати калидӣ аст: Ҳангоми устувор Nf₃ як заҳрнок ва оксид газ Ин корбари махсусгардонидашуда, силиндраҳои сертификатсия ва фаҳмиши амиқи протоколҳои бехатариро талаб мекунад.
- Таъминкунанда муҳим аст: Ҳангоми интихоби як Nf₃ Таъминкунанда, сифати санҷишӣ, эътимоднокии занҷир, боэътимод, муоширати шаффоф ва таҷрибаи амиқи техникиро танҳо аз нархи танҳо муайян мекунад.
