సెమీకండక్టర్ తయారీలో ఫ్లోరిన్ కెమిస్ట్రీ పవర్ అన్‌లాకింగ్: ఎ క్రిటికల్ గ్యాస్ అనాలిసిస్

2026-01-31

ఆధునిక ప్రపంచం చిప్స్‌తో నడుస్తుంది. మీ జేబులో ఉన్న స్మార్ట్‌ఫోన్ నుండి ఏరోస్పేస్ ఇంజనీరింగ్‌లోని మార్గదర్శక వ్యవస్థల వరకు, చిన్నది సెమీకండక్టర్ పరికరం డిజిటల్ యుగంలో తిరుగులేని హీరో. అయితే హీరో వెనుక ఉన్న హీరో ఏమిటి? ఇది ప్రత్యేక వాయువుల అదృశ్య, తరచుగా అస్థిర ప్రపంచం. ప్రత్యేకంగా, ఫ్లోరిన్ కెమిస్ట్రీ లో కీలక పాత్ర పోషిస్తుంది సెమీకండక్టర్ తయారీ కేవలం భర్తీ చేయలేని ప్రక్రియ.

మీరు సరఫరా గొలుసును నిర్వహిస్తున్నట్లయితే లేదా ఉత్పత్తి నాణ్యతను పర్యవేక్షిస్తున్నట్లయితే సెమీకండక్టర్ ఫౌండ్రీ, లోపం కోసం మార్జిన్ సున్నా అని మీకు తెలుసు. తేమలో ఒక స్పైక్ లేదా మైక్రోస్కోపిక్ పార్టికల్ బహుళ-మిలియన్ డాలర్ల ఉత్పత్తిని నాశనం చేస్తుంది. ఈ వ్యాసం పాత్రలో లోతుగా డైవ్ చేస్తుంది ఫ్లోరిన్-కలిగిన వాయువులు-మనం వాటిని ఎందుకు ఉపయోగిస్తాము, వాటిని ప్రభావవంతంగా చేసే నిర్దిష్ట రసాయన శాస్త్రం మరియు సరఫరా గొలుసు స్థిరత్వం మరియు స్వచ్ఛత యొక్క క్లిష్టమైన ప్రాముఖ్యత. వీటిని ఎలా అన్వేషిస్తాం అధిక స్వచ్ఛత వాయువులు లో ఉపయోగించబడతాయి చెక్కు మరియు నిక్షేపణ దశలు, మరియు నమ్మకమైన భాగస్వామి నుండి వాటిని ఎందుకు సోర్సింగ్ చేయడం అనేది ఈ సంవత్సరం మీరు తీసుకోగల అత్యంత ముఖ్యమైన నిర్ణయం.

ఎచింగ్ ప్రక్రియల కోసం ఫ్లోరిన్ వాయువును ఉపయోగించే హై-టెక్ సెమీకండక్టర్ లేబొరేటరీ

కంటెంట్‌లు

సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమ ఫ్లోరిన్-కలిగిన వాయువులపై ఎందుకు ఆధారపడి ఉంది?

అర్థం చేసుకోవడానికి సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమ, మీరు ఆవర్తన పట్టికను చూడాలి. సిలికాన్ కాన్వాస్, కానీ ఫ్లోరిన్ అనేది బ్రష్. ది సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియలో పదార్థాల పొరలను నిర్మించడం మరియు సర్క్యూట్‌లను రూపొందించడానికి వాటిని ఎంపిక చేసి తొలగించడం ఉంటుంది. ఈ తొలగింపు ప్రక్రియను ఎచింగ్ అంటారు.

ఫ్లోరిన్ అత్యంత ఎలక్ట్రోనెగటివ్ మూలకం. సరళంగా చెప్పాలంటే, ఇది ఎలక్ట్రాన్ల కోసం చాలా ఆకలితో ఉంది. మేము పరిచయం చేసినప్పుడు ఫ్లోరిన్ వాయువు లేదా ఫ్లోరినేటెడ్ సమ్మేళనాలు ప్లాస్మా చాంబర్‌లోకి, ఫ్లోరిన్ అణువులు సిలికాన్‌తో తీవ్రంగా ప్రతిస్పందిస్తాయి మరియు సిలికాన్ డయాక్సైడ్. ఈ రసాయన చర్య ఘన సిలికాన్‌ను అస్థిర వాయువులుగా మారుస్తుంది (సిలికాన్ టెట్రాఫ్లోరైడ్ వంటివి) వాటిని సులభంగా పంప్ చేయవచ్చు. ఈ కెమికల్ రియాక్టివిటీ లేకుండా, ఆధునికతకు అవసరమైన మైక్రోస్కోపిక్ ట్రెంచ్‌లు మరియు కాంటాక్ట్ హోల్స్‌ను మేము సృష్టించలేము ఎలక్ట్రానిక్ పరికరాలు.

లో అధిక-వాల్యూమ్ తయారీ, వేగం మరియు ఖచ్చితత్వం అన్నీ ఉన్నాయి. ఫ్లోరిన్ కలిగిన వాయువులు నిర్గమాంశను కొనసాగించడానికి అవసరమైన అధిక ఎట్చ్ రేట్లను అందిస్తాయి, అదే సమయంలో ఒక మెటీరియల్‌ను దాని కింద ఉన్న పొరను పాడుచేయకుండా కత్తిరించడానికి ఎంపికను కూడా అందిస్తుంది. ఇది ఒక సున్నితమైన బ్యాలెన్సింగ్ చర్య రసాయన శాస్త్రం మరియు భౌతిక శాస్త్రం.

హై-ప్రెసిషన్ ఎచింగ్ కోసం ఫ్లోరిన్ కెమిస్ట్రీని చాలా ప్రత్యేకమైనదిగా చేస్తుంది?

మీరు అడగవచ్చు, క్లోరిన్ లేదా బ్రోమిన్ ఎందుకు ఉపయోగించకూడదు? మేము కొన్ని పొరల కోసం చేస్తాము. అయితే, ఫ్లోరిన్ కెమిస్ట్రీ సిలికాన్ ఆధారిత పదార్థాలను చెక్కేటప్పుడు ఒక ప్రత్యేక ప్రయోజనాన్ని అందిస్తుంది. సిలికాన్ మరియు ఫ్లోరిన్ మధ్య బంధం చాలా బలంగా ఉంది. ఎప్పుడు ఫ్లోరిన్-కలిగిన ప్లాస్మా పొరను తాకుతుంది, ప్రతిచర్య ఎక్సోథర్మిక్ మరియు ఆకస్మికంగా ఉంటుంది.

లో మ్యాజిక్ జరుగుతుంది ప్లాస్మా. a లో సెమీకండక్టర్ ప్రక్రియ గది, మేము కార్బన్ టెట్రాఫ్లోరైడ్ (CF4) లేదా సల్ఫర్ హెక్సాఫ్లోరైడ్ (SF6) వంటి స్థిరమైన వాయువుకు అధిక శక్తిని వర్తింపజేస్తాము. ఇది వాయువును విచ్ఛిన్నం చేస్తుంది, రియాక్టివ్‌ను విడుదల చేస్తుంది ఫ్లోరిన్ రాడికల్స్. ఈ రాడికల్స్ ఉపరితలంపై దాడి చేస్తాయి పొర.

"యొక్క ఖచ్చితత్వం చెక్కు చిప్ యొక్క పనితీరును నిర్వచిస్తుంది. మీ గ్యాస్ స్వచ్ఛత హెచ్చుతగ్గులకు గురైతే, మీ ఎట్చ్ రేటు హెచ్చుతగ్గులకు గురవుతుంది మరియు మీ దిగుబడి క్రాష్ అవుతుంది."

అనే భావనకు ఇది దారి తీస్తుంది అనిసోట్రోపిక్ చెక్కడం - పక్కకు తినకుండా నేరుగా కత్తిరించడం. కలపడం ద్వారా ఫ్లోరిన్ ఇతర తో ప్రాసెస్ వాయువులు, ఇంజనీర్లు కందకం యొక్క ప్రొఫైల్‌ను సంపూర్ణంగా నియంత్రించగలరు. మేము చిన్న నోడ్‌లకు (7nm, 5nm మరియు దిగువన) వెళ్లినప్పుడు ఈ సామర్థ్యం చాలా అవసరం, ఇక్కడ విచలనం యొక్క నానోమీటర్ కూడా విఫలమవుతుంది.

సెమీకండక్టర్ తయారీలో వాయువులు అధునాతన ఎట్చ్ ప్రక్రియలను ఎలా నడిపిస్తాయి?

ఎట్చ్ ప్రక్రియలు యొక్క శిల్పకళా సాధనాలు ఫ్యాబ్స్. రెండు ప్రధాన రకాలు ఉన్నాయి: వెట్ ఎచ్ (ద్రవ రసాయనాలను ఉపయోగించడం హైడ్రోజన్ ఫ్లోరైడ్) మరియు పొడి చెక్కడం (ప్లాస్మా ఉపయోగించి). ఆధునిక అధునాతన సెమీకండక్టర్ నోడ్‌లు దాదాపుగా డ్రై ప్లాస్మా ఎచింగ్‌పై ఆధారపడతాయి ఎందుకంటే ఇది చాలా ఖచ్చితమైనది.

ఒక సాధారణ లో ప్లాస్మా చెక్కడం క్రమం, a ఫ్లోరినేటెడ్ వాయువు పరిచయం చేయబడింది. ఉపయోగించిన రకాన్ని చూద్దాం:

  • కార్బన్ టెట్రాఫ్లోరైడ్ (CF4): ఆక్సైడ్ ఎచింగ్ కోసం పని చేసే గుర్రం.
  • ఆక్టాఫ్లోరోసైక్లోబుటేన్ (C4F8): కందకం యొక్క సైడ్‌వాల్‌లపై పాలిమర్ పొరను జమ చేయడానికి ఉపయోగిస్తారు, దిగువ లోతుగా చెక్కబడినప్పుడు వాటిని రక్షిస్తుంది.
  • సల్ఫర్ హెక్సాఫ్లోరైడ్ (SF6): అత్యంత వేగవంతమైన సిలికాన్ ఎచింగ్ రేట్లకు ప్రసిద్ధి చెందింది.

మధ్య పరస్పర చర్య ప్లాస్మా మరియు ది ఉపరితల సంక్లిష్టమైనది. ఇది అయాన్ల ద్వారా భౌతిక బాంబు దాడి మరియు రాడికల్స్ ద్వారా రసాయన ప్రతిచర్యను కలిగి ఉంటుంది. ది సెమీకండక్టర్ తయారీ పరికరాలు ఈ వాయువుల ప్రవాహం, పీడనం మరియు మిశ్రమాన్ని ఖచ్చితంగా నియంత్రించాలి. ఉంటే ప్రత్యేక వాయువు తేమ వంటి మలినాలను కలిగి ఉంటుంది, ఇది డెలివరీ లైన్లు లేదా చాంబర్ లోపల హైడ్రోఫ్లోరిక్ యాసిడ్‌ను ఏర్పరుస్తుంది, ఇది తుప్పు మరియు కణాల లోపాలను కలిగిస్తుంది.

ఫ్లోరిన్ కలిగిన వాయువులను ఉపయోగించి ప్లాస్మా ఎచింగ్ చాంబర్‌ను మూసివేయండి

నైట్రోజన్ ట్రైఫ్లోరైడ్ ఛాంబర్ క్లీనింగ్ అప్లికేషన్‌లలో ఎందుకు రారాజు?

కాగా చెక్కడం మరియు శుభ్రపరచడం చేతితో కలిసి వెళ్లండి, తయారీ సామగ్రిని శుభ్రపరచడం అనేది పొరను ప్రాసెస్ చేయడం వలె చాలా ముఖ్యమైనది. సమయంలో రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (CVD), సిలికాన్ లేదా టంగ్‌స్టన్ వంటి పదార్థాలు పొరపై జమ చేయబడతాయి. అయినప్పటికీ, ఈ పదార్థాలు గది గోడలను కూడా పూస్తాయి. ఈ అవశేషాలు పెరిగితే, అది పొరలుగా మారి పొరల మీద పడి లోపాలను కలిగిస్తుంది.

నమోదు చేయండి నైట్రోజన్ ట్రైఫ్లోరైడ్ (NF3).

సంవత్సరాల క్రితం, పరిశ్రమ ఉపయోగించింది ఫ్లోరినేటెడ్ గ్రీన్హౌస్ ఛాంబర్ క్లీనింగ్ కోసం C2F6 వంటి వాయువులు. అయినప్పటికీ, NF3 ప్రమాణంగా మారింది గది శుభ్రపరిచే ప్రక్రియలు దాని అధిక సామర్థ్యం కారణంగా. రిమోట్ ప్లాస్మా మూలంలో విచ్ఛిన్నమైనప్పుడు, NF3 భారీ మొత్తాన్ని ఉత్పత్తి చేస్తుంది ఫ్లోరిన్ అణువులు. ఈ పరమాణువులు చాంబర్ గోడలను శుభ్రంగా స్క్రబ్ చేస్తాయి, ఘన అవశేషాలను బయటకు పంపే వాయువుగా మారుస్తాయి.

నైట్రోజన్ ట్రైఫ్లోరైడ్ ఎక్కువ వినియోగ రేటు (వాస్తవానికి గ్యాస్ ఎక్కువగా ఉపయోగించబడుతుంది) మరియు పాత వాటితో పోలిస్తే తక్కువ ఉద్గారాలను కలిగి ఉన్నందున ప్రాధాన్యత ఇవ్వబడుతుంది శుభ్రపరిచే ఏజెంట్లు. ఫెసిలిటీ మేనేజర్ కోసం, దీని అర్థం నిర్వహణ కోసం తక్కువ సమయ వ్యవధి మరియు వేగవంతమైన నిర్గమాంశ.

అధిక-వాల్యూమ్ తయారీకి ఏ ఫ్లోరినేటెడ్ సమ్మేళనాలు అవసరం?

ది సెమీకండక్టర్ సరఫరా గొలుసు నిర్దిష్ట బుట్టపై ఆధారపడుతుంది ఫ్లోరిన్-కలిగిన వాయువులు. ప్రతిదానికి నిర్దిష్ట "వంటకం" లేదా అప్లికేషన్ ఉంటుంది. వద్ద జియాంగ్సు హువాజోంగ్ గ్యాస్, మేము ఈ క్రింది వాటికి భారీ డిమాండ్‌ని చూస్తాము:

గ్యాస్ పేరు ఫార్ములా ప్రాథమిక అప్లికేషన్ కీ ఫీచర్
కార్బన్ టెట్రాఫ్లోరైడ్ CF4 ఆక్సైడ్ ఎట్చ్ బహుముఖ, పరిశ్రమ ప్రమాణం.
సల్ఫర్ హెక్సాఫ్లోరైడ్ SF6 సిలికాన్ ఎట్చ్ అధిక ఎట్చ్ రేటు, అధిక సాంద్రత.
నైట్రోజన్ ట్రైఫ్లోరైడ్ NF3 చాంబర్ క్లీనింగ్ అధిక సామర్థ్యం, తక్కువ ఉద్గారాలు.
ఆక్టాఫ్లోరోసైక్లోబుటేన్ C4F8 విద్యుద్వాహక ఎట్చ్ సైడ్‌వాల్ రక్షణ కోసం గ్యాస్ పాలిమరైజింగ్.
హెక్సాఫ్లోరోఎథేన్ C2F6 ఆక్సైడ్ ఎట్చ్ / క్లీన్ లెగసీ గ్యాస్, ఇప్పటికీ విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతుంది.

ఇవి ఫ్లోరినేటెడ్ సమ్మేళనాలు యొక్క జీవనాధారం అధిక-వాల్యూమ్ తయారీ. వీటిలో స్థిరమైన ప్రవాహం లేకుండా సెమీకండక్టర్‌లోని వాయువులు ఉత్పత్తి, లైన్లు ఆగిపోతాయి. ఇది చాలా సులభం. అందుకే ఎరిక్ మిల్లర్ వంటి కొనుగోలు నిర్వాహకులు నిరంతరం పర్యవేక్షిస్తున్నారు సరఫరా గొలుసు ఆటంకాలు కోసం.

అధిక స్వచ్ఛత వాయువులు సెమీకండక్టర్ దిగుబడికి ఎందుకు వెన్నెముకగా ఉన్నాయి?

నేను దీన్ని తగినంతగా నొక్కి చెప్పలేను: స్వచ్ఛత ప్రతిదీ.

మేము గురించి మాట్లాడేటప్పుడు అధిక స్వచ్ఛత వాయువులు, మేము వెల్డింగ్ కోసం ఉపయోగించే "పారిశ్రామిక గ్రేడ్" గురించి మాట్లాడటం లేదు. మేము 5N (99.999%) లేదా 6N (99.9999%) స్వచ్ఛత గురించి మాట్లాడుతున్నాము.

ఎందుకు? ఎందుకంటే ఎ సెమీకండక్టర్ పరికరం నానోమీటర్లలో కొలవబడిన లక్షణాలను కలిగి ఉంది. లోహపు మలినం లేదా తేమ యొక్క ట్రేస్ మొత్తం (H2O) యొక్క ఒకే అణువు షార్ట్ సర్క్యూట్‌కు కారణమవుతుంది లేదా పొరను అంటుకోకుండా నిరోధించవచ్చు.

  • తేమ: తో ప్రతిస్పందిస్తుంది ఫ్లోరిన్ గ్యాస్ డెలివరీ సిస్టమ్‌ను క్షీణింపజేసే HFని సృష్టించడానికి.
  • ఆక్సిజన్: సిలికాన్‌ను అనియంత్రితంగా ఆక్సీకరణం చేస్తుంది.
  • భారీ లోహాలు: ట్రాన్సిస్టర్ యొక్క విద్యుత్ లక్షణాలను నాశనం చేయండి.

ఒక సరఫరాదారుగా, మా పని దానిని నిర్ధారించడం అధిక స్వచ్ఛత జినాన్ లేదా ఎలక్ట్రానిక్ గ్రేడ్ నైట్రస్ ఆక్సైడ్ మీరు కఠినంగా కలుస్తారు పరిశ్రమ ప్రమాణాలు. మేము గుర్తించడానికి అధునాతన గ్యాస్ క్రోమాటోగ్రఫీని ఉపయోగిస్తాము ట్రేస్ మలినాలను బిలియన్‌కి భాగాలు (ppb) వరకు తగ్గాయి. కొనుగోలుదారు కోసం, సర్టిఫికేట్ ఆఫ్ అనాలిసిస్ (COA)ని చూడటం కేవలం వ్రాతపని కాదు; అది వారి హామీ సెమీకండక్టర్ తయారీ విపత్తు దిగుబడి క్రాష్‌ను ఎదుర్కోదు.

ప్రయోగశాలలో అధిక స్వచ్ఛత సెమీకండక్టర్ వాయువులను విశ్లేషిస్తున్న శాస్త్రవేత్త

పరిశ్రమ గ్రీన్‌హౌస్ వాయు ఉద్గారాలను మరియు GWPని ఎలా నిర్వహిస్తోంది?

గదిలో ఏనుగు ఉంది: పర్యావరణం. అనేక ఫ్లోరినేటెడ్ వాయువులు అధిక స్థాయిని కలిగి ఉంటాయి గ్లోబల్ వార్మింగ్ పొటెన్షియల్ (GWP). ఉదాహరణకు, సల్ఫర్ హెక్సాఫ్లోరైడ్ (SF6) చాలా వాటిలో ఒకటి శక్తివంతమైన గ్రీన్హౌస్ వాయువులు CO2 కంటే వేల రెట్లు ఎక్కువ GWPతో మనిషికి తెలుసు.

ది సెమీకండక్టర్ తయారీ పరిశ్రమ దాని కార్బన్ పాదముద్రను తగ్గించడానికి విపరీతమైన ఒత్తిడిని ఎదుర్కొంటోంది. ఇది రెండు ప్రధాన మార్పులకు దారితీసింది:

  1. తగ్గింపు: ఫ్యాబ్స్ వాటి ఎగ్జాస్ట్ లైన్లలో భారీ "బర్న్ బాక్స్‌లు" లేదా స్క్రబ్బర్‌లను ఇన్‌స్టాల్ చేస్తున్నారు. ఈ వ్యవస్థలు స్పందించని వాటిని విచ్ఛిన్నం చేస్తాయి గ్రీన్హౌస్ వాయువు అది వాతావరణంలోకి విడుదలయ్యే ముందు.
  2. ప్రత్యామ్నాయం: పరిశోధకులు ప్రత్యామ్నాయం కోసం చూస్తున్నారు చెక్కు తక్కువ GWP ఉన్న వాయువులు. అయినప్పటికీ, పర్యావరణ ప్రభావం లేకుండా C4F8 లేదా SF6 వలె పనిచేసే అణువును కనుగొనడం రసాయనికంగా కష్టం.

నైట్రోజన్ ట్రైఫ్లోరైడ్ శుభ్రపరచడానికి సరైన దిశలో ఒక అడుగు, ఎందుకంటే ఇది పాత PFCల కంటే చాలా సులభంగా విచ్ఛిన్నమవుతుంది, ఫలితంగా మొత్తం తక్కువగా ఉంటుంది ఉద్గారము తగ్గింపు వ్యవస్థలు సరిగ్గా పనిచేస్తుంటే. తగ్గించడం గ్రీన్హౌస్ వాయు ఉద్గారాలు ఇకపై కేవలం PR తరలింపు కాదు; EU మరియు USలో ఇది నియంత్రణ అవసరం.

సెమీకండక్టర్ సరఫరా గొలుసు ప్రత్యేక గ్యాస్ కొరతకు గురవుతుందా?

గత కొన్ని సంవత్సరాలు మనకు ఏదైనా నేర్పించినట్లయితే, అది సరఫరా గొలుసు పెళుసుగా ఉంది. సెమీకండక్టర్ తయారీదారులు నియాన్ నుండి ప్రతిదానికీ కొరతను ఎదుర్కొన్నారు ఫ్లోరోపాలిమర్లు.

యొక్క సరఫరా ఫ్లోరిన్ వాయువు మరియు దాని ఉత్పన్నాలు ఫ్లోర్స్పార్ (కాల్షియం ఫ్లోరైడ్) మైనింగ్ మీద ఆధారపడి ఉంటాయి. ఈ ముడిసరుకు యొక్క ప్రధాన ప్రపంచ వనరు చైనా. భౌగోళిక రాజకీయ ఉద్రిక్తతలు పెరిగినప్పుడు లేదా లాజిస్టిక్స్ మార్గాలు మూసుకుపోయినప్పుడు, వీటి లభ్యత కీలకం ప్రాసెస్ వాయువులు పడిపోతుంది మరియు ధరలు ఆకాశాన్నంటాయి.

ఎరిక్ వంటి కొనుగోలుదారులకు, "ఫోర్స్ మేజ్యూర్" భయం నిజమైనది. దీన్ని తగ్గించడానికి, అవగాహన ఉన్న కంపెనీలు తమ సరఫరాదారులను విభిన్నంగా మారుస్తున్నాయి. వారు తమ స్వంత భాగస్వాముల కోసం వెతుకుతున్నారు iso-ట్యాంకులు మరియు లాజిస్టిక్స్ నెట్‌వర్క్‌లను స్థాపించారు. లో విశ్వసనీయత లాజిస్టిక్స్ వాయువు యొక్క స్వచ్ఛత ఎంత ముఖ్యమో. మీరు స్వచ్ఛమైనదాన్ని పొందవచ్చు C4F8 గ్యాస్ ప్రపంచంలో, కానీ అది ఓడరేవు వద్ద ఇరుక్కుపోయి ఉంటే, అది పనికిరానిది ఫ్యాబ్.

హైడ్రోజన్ ఫ్లోరైడ్ మరియు ఇతర విష పదార్థాలను నిర్వహించడానికి భద్రతా ప్రోటోకాల్‌లు ఏమిటి?

భద్రత మన పరిశ్రమకు పునాది. అనేక ఫ్లోరిన్-కలిగిన వాయువులు విషపూరితమైనవి, ఉక్కిరిబిక్కిరైనవి లేదా అధిక రియాక్టివ్‌గా ఉంటాయి. హైడ్రోజన్ ఫ్లోరైడ్ (HF), తరచుగా వెట్ ఎచ్‌లో ఉపయోగించబడుతుంది లేదా ఉప ఉత్పత్తిగా ఉత్పత్తి చేయబడుతుంది, ఇది చాలా ప్రమాదకరమైనది. ఇది చర్మంలోకి చొచ్చుకొనిపోయి ఎముకల నిర్మాణంపై దాడి చేస్తుంది.

ఈ పదార్థాలను నిర్వహించడానికి కఠినమైన శిక్షణ మరియు ప్రత్యేక పరికరాలు అవసరం.

  • సిలిండర్లు: తప్పనిసరిగా DOT/ISO సర్టిఫై చేయబడి ఉండాలి మరియు అంతర్గత తుప్పు కోసం క్రమం తప్పకుండా తనిఖీ చేయాలి.
  • కవాటాలు: లీకేజీని నివారించడానికి డయాఫ్రాగమ్ వాల్వ్‌లను ఉపయోగిస్తారు.
  • సెన్సార్లు: సెమీకండక్టర్ ఫ్యాబ్స్ స్వల్పంగా లీక్ అయినప్పుడు అలారాలను ప్రేరేపించే గ్యాస్ డిటెక్షన్ సెన్సార్‌లతో కప్పబడి ఉంటాయి.

మేము సిలిండర్‌ను నింపినప్పుడు ఎలక్ట్రానిక్ గ్రేడ్ నైట్రస్ ఆక్సైడ్ లేదా టాక్సిక్ ఎట్చాంట్, మేము దానిని లోడ్ చేసిన ఆయుధంగా పరిగణిస్తాము. కణాలను నిరోధించడానికి సిలిండర్ అంతర్గతంగా పాలిష్ చేయబడిందని మరియు వాల్వ్ క్యాప్ చేయబడి సీలు చేయబడిందని మేము నిర్ధారిస్తాము. మా కస్టమర్ల కోసం, తెలుసుకోవడం వాహక వాయువు లేదా etchant సురక్షితంగా వస్తుంది, కంప్లైంట్ ప్యాకేజింగ్ ఒక ప్రధాన ఉపశమనం.

సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమ కోసం అతుకులు లేని ఉక్కు గ్యాస్ సిలిండర్ల భద్రతా తనిఖీ

సెమీకండక్టర్ ఫాబ్రికేషన్ ప్రక్రియలో ఉపయోగించే పదార్థాలకు ముందు ఏమి ఉంది?

ది సెమీకండక్టర్ ఉత్పత్తి రోడ్‌మ్యాప్ దూకుడుగా ఉంది. చిప్‌లు గేట్-ఆల్-అరౌండ్ (GAA) ట్రాన్సిస్టర్‌ల వంటి 3D నిర్మాణాలకు మారినప్పుడు, సంక్లిష్టత చెక్కడం మరియు శుభ్రపరచడం పెరుగుతుంది. మేము మరింత అన్యదేశానికి డిమాండ్‌ను చూస్తున్నాము ఫ్లోరినేటెడ్ వాయువు అణు ఖచ్చితత్వంతో లోతైన, ఇరుకైన రంధ్రాలను చెక్కగల మిశ్రమాలు.

అటామిక్ లేయర్ ఎచింగ్ (ALE) పదార్థాన్ని ఒక సమయంలో ఒక పరమాణు పొరను తొలగించే అభివృద్ధి చెందుతున్న సాంకేతికత. దీనికి చాలా ఖచ్చితమైన మోతాదు అవసరం రియాక్టివ్ వాయువులు. ఇంకా, "ఆకుపచ్చ" తయారీ కోసం పుష్ కొత్త వాటిని స్వీకరించడానికి దారి తీస్తుంది ఫ్లోరిన్ కెమిస్ట్రీ తక్కువ పనితీరుతో అదే పనితీరును అందిస్తుంది GWP.

గ్యాస్ సంశ్లేషణ మరియు శుద్దీకరణ రెండింటిలోనూ ఆవిష్కరణ చేయగల వారిదే భవిష్యత్తు. వంటి సెమీకండక్టర్ పదార్థాలు పరిణామం చెందుతుంది, వాటిని ఆకృతి చేయడానికి ఉపయోగించే వాయువులు కూడా పరిణామం చెందాలి.

అధునాతన పదార్థాలతో ఫ్యూచరిస్టిక్ సెమీకండక్టర్ పొర తయారీ

కీ టేకావేలు

  • ఫ్లోరిన్ అవసరం: ఫ్లోరిన్ కెమిస్ట్రీ కోసం కీ ఎనేబుల్ చెక్కు మరియు శుభ్రంగా అడుగు పెట్టింది సెమీకండక్టర్ తయారీ.
  • స్వచ్ఛతే రాజు: అధిక స్వచ్ఛత (6N) లోపాలను నిరోధించడానికి మరియు నిర్ధారించడానికి చర్చించబడదు ప్రక్రియ స్థిరత్వం.
  • వివిధ రకాల వాయువులు: CF4, SF6 మరియు వంటి వివిధ వాయువులు నైట్రోజన్ ట్రైఫ్లోరైడ్ లో నిర్దిష్ట పాత్రలను అందిస్తాయి కల్పన.
  • పర్యావరణ ప్రభావం: మేనేజింగ్ గ్రీన్హౌస్ వాయు ఉద్గారాలు మరియు తగ్గింపు అనేది ఒక క్లిష్టమైన పరిశ్రమ సవాలు.
  • సరఫరా భద్రత: ఒక బలమైన సరఫరా గొలుసు మరియు ఉత్పత్తి నిలిపివేతలను నివారించడానికి విశ్వసనీయ భాగస్వాములు అవసరం.

జియాంగ్సు హువాజోంగ్ గ్యాస్ వద్ద, మేము ఈ సవాళ్లను అర్థం చేసుకున్నాము ఎందుకంటే మేము వాటిని ప్రతిరోజూ జీవిస్తాము. మీరు అవసరం లేదో అధిక స్వచ్ఛత జినాన్ మీ సరికొత్త ఎట్చ్ ప్రక్రియ లేదా ప్రామాణిక పారిశ్రామిక వాయువుల నమ్మకమైన డెలివరీ కోసం, భవిష్యత్తును నిర్మించే సాంకేతికతకు మద్దతు ఇవ్వడానికి మేము ఇక్కడ ఉన్నాము.