நவீன உலகம் சிப்ஸில் இயங்குகிறது. உங்கள் பாக்கெட்டில் இருக்கும் ஸ்மார்ட்ஃபோனில் இருந்து விண்வெளிப் பொறியியலில் வழிகாட்டும் அமைப்புகள் வரை சிறியது. குறைக்கடத்தி சாதனம் டிஜிட்டல் யுகத்தின் பாடாத ஹீரோ. ஆனால் ஹீரோவுக்கு பின்னால் இருக்கும் ஹீரோ என்ன? இது சிறப்பு வாயுக்களின் கண்ணுக்கு தெரியாத, அடிக்கடி ஆவியாகும் உலகம். குறிப்பாக, புளோரின் வேதியியல் இல் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது குறைக்கடத்தி உற்பத்தி வெறுமனே மாற்ற முடியாத செயல்முறை.

நீங்கள் ஒரு விநியோகச் சங்கிலியை நிர்வகிக்கிறீர்கள் அல்லது தயாரிப்பு தரத்தை மேற்பார்வையிடுகிறீர்கள் என்றால் குறைக்கடத்தி ஃபவுண்டரி, பிழைக்கான விளிம்பு பூஜ்ஜியம் என்பதை நீங்கள் அறிவீர்கள். ஈரப்பதம் அல்லது ஒரு நுண்ணிய துகள் ஒரு ஸ்பைக் பல மில்லியன் டாலர் உற்பத்தி ஓட்டத்தை அழிக்க முடியும். இந்த கட்டுரையின் பாத்திரத்தில் ஆழமாக மூழ்கியுள்ளது ஃவுளூரின் கொண்டது வாயுக்கள் - நாம் ஏன் அவற்றைப் பயன்படுத்துகிறோம், அவற்றைத் திறம்படச் செய்யும் குறிப்பிட்ட வேதியியல் மற்றும் விநியோகச் சங்கிலி நிலைத்தன்மை மற்றும் தூய்மையின் முக்கியமான முக்கியத்துவம். இவை எப்படி என்று ஆராய்வோம் உயர் தூய்மை வாயுக்கள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன முதலியன மற்றும் படிவு படிகள் மற்றும் நம்பகமான கூட்டாளரிடமிருந்து அவற்றை ஏன் பெறுவது என்பது இந்த ஆண்டு நீங்கள் எடுக்கக்கூடிய மிக முக்கியமான முடிவு.

குறைக்கடத்தி தொழில் ஏன் ஃவுளூரின் கொண்ட வாயுக்களை சார்ந்துள்ளது?

புரிந்து கொள்ள குறைக்கடத்தி தொழில், நீங்கள் கால அட்டவணையைப் பார்க்க வேண்டும். சிலிக்கான் கேன்வாஸ், ஆனால் புளோரின் தூரிகை ஆகும். தி குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறையானது பொருட்களின் அடுக்குகளை உருவாக்கி, பின்னர் அவற்றைத் தேர்ந்தெடுத்து அகற்றி சுற்றுகளை உருவாக்குகிறது. இந்த நீக்குதல் செயல்முறை எச்சிங் என்று அழைக்கப்படுகிறது.

புளோரின் மிகவும் எலக்ட்ரோநெக்டிவ் உறுப்பு ஆகும். எளிமையான சொற்களில், இது எலக்ட்ரான்களுக்கு நம்பமுடியாத அளவிற்கு பசியாக இருக்கிறது. நாம் அறிமுகப்படுத்தும் போது புளோரின் வாயு அல்லது ஃவுளூரின் கலந்த கலவைகள் பிளாஸ்மா அறைக்குள், ஃவுளூரின் அணுக்கள் சிலிக்கானுடன் தீவிரமாக வினைபுரிகின்றன மற்றும் சிலிக்கான் டை ஆக்சைடு. இந்த இரசாயன எதிர்வினை திடமான சிலிக்கானை ஆவியாகும் வாயுக்களாக மாற்றுகிறது (சிலிக்கான் டெட்ராபுளோரைடு போன்றவை) அவை எளிதில் உந்தப்படும். இந்த இரசாயன வினைத்திறன் இல்லாமல், நவீனத்திற்கு தேவையான நுண்ணிய அகழிகள் மற்றும் தொடர்பு துளைகளை எங்களால் உருவாக்க முடியாது. மின்னணு சாதனங்கள்.

இல் அதிக அளவு உற்பத்தி, வேகம் மற்றும் துல்லியம் எல்லாமே. புளோரின் கொண்ட வாயுக்கள் த்ரோபுட்டைத் தக்கவைக்கத் தேவையான உயர் எட்ச் விகிதங்களை வழங்கவும், அதே சமயம் ஒரு பொருளின் அடியில் உள்ள அடுக்கை சேதப்படுத்தாமல் வெட்டுவதற்குத் தேர்ந்தெடுக்கும் திறனையும் வழங்குகிறது. இது ஒரு நுட்பமான சமநிலைப்படுத்தும் செயல் வேதியியல் மற்றும் இயற்பியல்.

ஃவுளூரின் வேதியியல் உயர்-துல்லியமான பொறிப்பிற்கு மிகவும் தனித்துவமானது எது?

நீங்கள் கேட்கலாம், ஏன் குளோரின் அல்லது புரோமின் பயன்படுத்தக்கூடாது? சில அடுக்குகளுக்கு நாங்கள் செய்கிறோம். எனினும், புளோரின் வேதியியல் சிலிக்கான் அடிப்படையிலான பொருட்களை பொறிக்கும்போது ஒரு தனித்துவமான நன்மையை வழங்குகிறது. சிலிக்கான் மற்றும் ஃவுளூரின் இடையேயான பிணைப்பு நம்பமுடியாத அளவிற்கு வலுவானது. எப்போது ஃவுளூரின் கொண்டது பிளாஸ்மா செதில்களைத் தாக்குகிறது, எதிர்வினை வெளிவெப்ப மற்றும் தன்னிச்சையானது.

மந்திரம் நடக்கிறது பிளாஸ்மா. ஒரு குறைக்கடத்தி செயல்முறை அறை, கார்பன் டெட்ராபுளோரைடு (CF4) அல்லது சல்பர் ஹெக்ஸாபுளோரைடு (SF6) போன்ற நிலையான வாயுவுக்கு அதிக ஆற்றலைப் பயன்படுத்துகிறோம். இது வாயுவை உடைத்து, எதிர்வினையை வெளியிடுகிறது புளோரின் தீவிரவாதிகள். இந்த தீவிரவாதிகள் அதன் மேற்பரப்பை தாக்குகின்றன செதில்.

"இன் துல்லியம் முதலியன சிப்பின் செயல்திறனை வரையறுக்கிறது. உங்கள் வாயு தூய்மை ஏற்ற இறக்கமாக இருந்தால், உங்கள் எட்ச் விகிதம் ஏற்ற இறக்கமாக இருக்கும், மேலும் உங்கள் மகசூல் செயலிழக்கும்."

என்ற கருத்துக்கு இது வழிவகுக்கிறது அனிசோட்ரோபிக் பொறித்தல் - பக்கவாட்டில் சாப்பிடாமல் நேராக வெட்டுதல். கலப்பதன் மூலம் புளோரின் மற்றவற்றுடன் செயல்முறை வாயுக்கள், பொறியாளர்கள் அகழியின் சுயவிவரத்தை சரியாகக் கட்டுப்படுத்த முடியும். நாம் சிறிய முனைகளுக்கு (7nm, 5nm மற்றும் அதற்குக் கீழே) செல்லும்போது இந்த திறன் அவசியம், அங்கு ஒரு நானோமீட்டர் விலகல் கூட தோல்வியடைகிறது.

குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் உள்ள வாயுக்கள் மேம்பட்ட எட்ச் செயல்முறைகளை எவ்வாறு இயக்குகின்றன?

எட்ச் செயல்முறைகள் என்ற சிற்பக் கருவிகளாகும் ஃபேப்ஸ். இரண்டு முக்கிய வகைகள் உள்ளன: ஈரமான எட்ச் (திரவ இரசாயனங்களைப் பயன்படுத்துதல் போன்றவை ஹைட்ரஜன் புளோரைடு) மற்றும் உலர் எட்ச் (பிளாஸ்மாவைப் பயன்படுத்தி). நவீனமானது மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி முனைகள் உலர் பிளாஸ்மா செதுக்குதலை மட்டுமே நம்பியுள்ளன, ஏனெனில் இது மிகவும் துல்லியமானது.

ஒரு பொதுவான பிளாஸ்மா பொறித்தல் வரிசை, ஏ புளோரின் வாயு அறிமுகப்படுத்தப்படுகிறது. பயன்படுத்தப்படும் பல்வேறு வகைகளைப் பார்ப்போம்:

• கார்பன் டெட்ராபுளோரைடு (CF4): ஆக்சைடு பொறிப்பதற்கான வேலைக் குதிரை.
• ஆக்டாஃப்ளூரோசைக்ளோபியூட்டேன் (C4F8): அகழியின் பக்கச்சுவர்களில் ஒரு பாலிமர் அடுக்கை வைப்பதற்குப் பயன்படுத்தப்படுகிறது, கீழே ஆழமாக பொறிக்கப்பட்டிருக்கும் போது அவற்றைப் பாதுகாக்கிறது.
• சல்பர் ஹெக்ஸாபுளோரைடு (SF6): மிக வேகமான சிலிக்கான் பொறித்தல் விகிதங்களுக்கு பெயர் பெற்றது.

இடையேயான தொடர்பு பிளாஸ்மா மற்றும் தி அடி மூலக்கூறு சிக்கலானது. இது அயனிகளால் உடல் குண்டுவீச்சு மற்றும் தீவிரவாதிகளால் இரசாயன எதிர்வினை ஆகியவற்றை உள்ளடக்கியது. தி குறைக்கடத்தி உற்பத்தி உபகரணங்கள் இந்த வாயுக்களின் ஓட்டம், அழுத்தம் மற்றும் கலவையை கண்டிப்பாக கட்டுப்படுத்த வேண்டும். என்றால் சிறப்பு வாயு ஈரப்பதம் போன்ற அசுத்தங்களைக் கொண்டுள்ளது, இது டெலிவரி கோடுகள் அல்லது அறைக்குள் ஹைட்ரோஃப்ளூரிக் அமிலத்தை உருவாக்கலாம், இதனால் அரிப்பு மற்றும் துகள் குறைபாடுகள் ஏற்படுகின்றன.

நைட்ரஜன் ட்ரைஃப்ளூரைடு ஏன் அறை சுத்தம் செய்யும் பயன்பாடுகளின் ராஜாவாக உள்ளது?

போது பொறித்தல் மற்றும் சுத்தம் செய்தல் கைகோர்த்துச் செல்லுங்கள், உற்பத்தி உபகரணங்களை சுத்தம் செய்வது செதில்களை செயலாக்குவது போலவே முக்கியமானது. போது இரசாயன நீராவி படிவு (CVD), சிலிக்கான் அல்லது டங்ஸ்டன் போன்ற பொருட்கள் செதில் மீது டெபாசிட் செய்யப்படுகின்றன. இருப்பினும், இந்த பொருட்கள் அறையின் சுவர்களையும் பூசுகின்றன. இந்த எச்சம் சேர்ந்தால், அது செதில்களாக உதிர்ந்து செதில்களின் மீது விழுந்து குறைபாடுகளை ஏற்படுத்துகிறது.

உள்ளிடவும் நைட்ரஜன் ட்ரைபுளோரைடு (NF3).

ஆண்டுகளுக்கு முன்பு, தொழில் பயன்படுத்தப்பட்டது புளோரின் கிரீன்ஹவுஸ் அறையை சுத்தம் செய்ய C2F6 போன்ற வாயுக்கள். இருப்பினும், NF3 தரநிலையாக மாறியுள்ளது அறை சுத்தம் செயல்முறைகள் அதன் உயர் செயல்திறன் காரணமாக. தொலைதூர பிளாஸ்மா மூலத்தில் உடைக்கப்படும்போது, NF3 ஒரு பெரிய அளவை உருவாக்குகிறது புளோரின் அணுக்கள். இந்த அணுக்கள் அறையின் சுவர்களை சுத்தம் செய்து, திடமான எச்சங்களை வெளியேற்றும் வாயுவாக மாற்றுகின்றன.

நைட்ரஜன் ட்ரைபுளோரைடு பழையதை விட அதிக பயன்பாட்டு விகிதம் (அதிக வாயு உண்மையில் பயன்படுத்தப்படுகிறது) மற்றும் குறைவான உமிழ்வைக் கொண்டிருப்பதால் விரும்பப்படுகிறது துப்புரவு முகவர்கள். ஒரு வசதி மேலாளருக்கு, இது பராமரிப்பிற்கான குறைவான வேலையில்லா நேரம் மற்றும் வேகமான செயல்திறன்.

அதிக அளவு உற்பத்திக்கு எந்த ஃபுளோரினேட்டட் கலவைகள் அவசியம்?

தி குறைக்கடத்தி விநியோக சங்கிலி குறிப்பிட்ட ஒரு கூடையை நம்பியுள்ளது புளோரின் கொண்ட வாயுக்கள். ஒவ்வொன்றுக்கும் ஒரு குறிப்பிட்ட "செய்முறை" அல்லது பயன்பாடு உள்ளது. மணிக்கு ஜியாங்சு ஹுவாஜோங் எரிவாயு, பின்வருவனவற்றிற்கான பாரிய தேவையை நாங்கள் காண்கிறோம்:

இவை ஃவுளூரின் கலந்த கலவைகள் உயிர்நாடியாக உள்ளன அதிக அளவு உற்பத்தி. இவற்றின் நிலையான நீரோட்டம் இல்லாமல் குறைக்கடத்தியில் வாயுக்கள் உற்பத்தி, கோடுகள் நிறுத்தப்படுகின்றன. அது அவ்வளவு எளிமையானது. இதனால்தான் எரிக் மில்லர் போன்ற கொள்முதல் மேலாளர்கள் தொடர்ந்து கண்காணித்து வருகின்றனர் விநியோக சங்கிலி இடையூறுகளுக்கு.

உயர் தூய்மை வாயுக்கள் ஏன் குறைக்கடத்தி விளைச்சலின் முதுகெலும்பாக இருக்கின்றன?

நான் இதை போதுமான அளவு வலியுறுத்த முடியாது: தூய்மையே எல்லாமே.

பற்றி பேசும்போது உயர் தூய்மை வாயுக்கள்வெல்டிங்கிற்குப் பயன்படுத்தப்படும் "தொழில்துறை தரம்" பற்றி நாங்கள் பேசவில்லை. நாங்கள் 5N (99.999%) அல்லது 6N (99.9999%) தூய்மை பற்றி பேசுகிறோம்.

ஏன்? ஏனெனில் ஏ குறைக்கடத்தி சாதனம் நானோமீட்டர்களில் அளவிடப்படும் அம்சங்களைக் கொண்டுள்ளது. ஒரு உலோக அசுத்தத்தின் ஒற்றை மூலக்கூறு அல்லது ஈரப்பதத்தின் சுவடு அளவு (H2O) ஒரு குறுகிய சுற்றுக்கு காரணமாக இருக்கலாம் அல்லது ஒரு அடுக்கு ஒட்டாமல் தடுக்கலாம்.

• ஈரப்பதம்: உடன் வினைபுரிகிறது புளோரின் எரிவாயு விநியோக அமைப்பை சிதைக்கும் HF ஐ உருவாக்க.
• ஆக்ஸிஜன்: சிலிக்கானை கட்டுப்பாடில்லாமல் ஆக்ஸிஜனேற்றுகிறது.
• கன உலோகங்கள்: டிரான்சிஸ்டரின் மின் பண்புகளை அழிக்கவும்.

ஒரு சப்ளையர் என்ற முறையில், அதை உறுதி செய்வதே எங்கள் வேலை உயர் தூய்மை செனான் அல்லது எலக்ட்ரானிக் தர நைட்ரஸ் ஆக்சைடு நீங்கள் கண்டிப்பாக சந்திக்கிறீர்கள் தொழில் தரநிலைகள். கண்டறிய மேம்பட்ட வாயு நிறமூர்த்தத்தைப் பயன்படுத்துகிறோம் தடய அசுத்தங்கள் ஒரு பில்லியனுக்கு பாகங்கள் (பிபிபி) வாங்குபவருக்கு, பகுப்பாய்வின் சான்றிதழை (COA) பார்ப்பது வெறும் காகித வேலை அல்ல; அது அவர்களின் உத்தரவாதம் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி பேரழிவு தரும் மகசூல் வீழ்ச்சியை எதிர்கொள்ளாது.

கிரீன்ஹவுஸ் வாயு உமிழ்வு மற்றும் GWP ஐ தொழில்துறை எவ்வாறு நிர்வகிக்கிறது?

அறையில் ஒரு யானை உள்ளது: சூழல். பல புளோரின் வாயுக்கள் ஒரு உயர் வேண்டும் புவி வெப்பமடைதல் சாத்தியம் (GWP). உதாரணமாக, சல்பர் ஹெக்ஸாபுளோரைடு (SF6) மிகவும் ஒன்றாகும் சக்திவாய்ந்த பசுமை இல்ல வாயுக்கள் CO2 ஐ விட ஆயிரக்கணக்கான மடங்கு அதிகமான GWP உடன் மனிதனுக்குத் தெரியும்.

தி குறைக்கடத்தி உற்பத்தி தொழில் அதன் கார்பன் தடயத்தைக் குறைக்க பெரும் அழுத்தத்தில் உள்ளது. இது இரண்டு பெரிய மாற்றங்களுக்கு வழிவகுத்தது:

1. குறைப்பு: ஃபேப்ஸ் பாரிய "பர்ன் பாக்ஸ்கள்" அல்லது ஸ்க்ரப்பர்களை அவற்றின் வெளியேற்றக் கோடுகளில் நிறுவுகின்றன. இந்த அமைப்புகள் செயல்படாதவற்றை உடைக்கின்றன பசுமை இல்ல வாயு அது வளிமண்டலத்தில் வெளியிடப்படுவதற்கு முன்.
2. மாற்று: ஆராய்ச்சியாளர்கள் மாற்று வழியைத் தேடுகிறார்கள் முதலியன குறைந்த GWP கொண்ட வாயுக்கள். இருப்பினும், சுற்றுச்சூழல் பாதிப்பு இல்லாமல் C4F8 அல்லது SF6 செயல்படும் ஒரு மூலக்கூறைக் கண்டுபிடிப்பது வேதியியல் ரீதியாக கடினம்.

நைட்ரஜன் ட்ரைபுளோரைடு சுத்தம் செய்வதற்கான சரியான திசையில் ஒரு படியாக இருந்தது, ஏனெனில் இது பழைய PFCகளை விட எளிதாக உடைந்து, ஒட்டுமொத்தமாக குறைவாக விளைகிறது உமிழ்வு குறைப்பு அமைப்புகள் சரியாக வேலை செய்தால். குறைக்கிறது பசுமை இல்ல வாயு வெளியேற்றம் இனி ஒரு PR நடவடிக்கை அல்ல; இது EU மற்றும் US இல் ஒரு ஒழுங்குமுறை தேவை.

செமிகண்டக்டர் விநியோகச் சங்கிலி சிறப்பு எரிவாயு பற்றாக்குறையால் பாதிக்கப்படுகிறதா?

கடந்த சில வருடங்கள் நமக்கு எதையாவது கற்பித்திருந்தால், அதுதான் விநியோக சங்கிலி உடையக்கூடியது. குறைக்கடத்தி உற்பத்தியாளர்கள் நியான் முதல் அனைத்திற்கும் பற்றாக்குறையை எதிர்கொண்டுள்ளனர் ஃப்ளோரோபாலிமர்கள்.

வழங்கல் புளோரின் வாயு மற்றும் அதன் வழித்தோன்றல்கள் ஃப்ளோர்ஸ்பார் (கால்சியம் புளோரைடு) சுரங்கத்தைப் பொறுத்தது. இந்த மூலப்பொருளின் உலகளாவிய ஆதாரமாக சீனா உள்ளது. புவிசார் அரசியல் பதட்டங்கள் அதிகரிக்கும் போது அல்லது தளவாட வழிகள் தடைபடும்போது, இந்த முக்கியமானவற்றின் கிடைக்கும் தன்மை செயல்முறை வாயுக்கள் வீழ்ச்சி, மற்றும் விலைகள் விண்ணை முட்டும்.

எரிக் போன்ற வாங்குபவருக்கு, "Force Majeure" என்ற பயம் உண்மையானது. இதைத் தணிக்க, ஆர்வமுள்ள நிறுவனங்கள் தங்கள் சப்ளையர்களை பல்வகைப்படுத்துகின்றன. அவர்கள் தங்கள் சொந்த பங்குதாரர்களைத் தேடுகிறார்கள் ஐசோ-டாங்கிகள் மற்றும் தளவாட நெட்வொர்க்குகளை நிறுவியுள்ளனர். இல் நம்பகத்தன்மை தளவாடங்கள் வாயுவின் தூய்மையைப் போலவே முக்கியமானது. நீங்கள் தூய்மையானதைப் பெறலாம் C4F8 வாயு உலகில், ஆனால் அது துறைமுகத்தில் சிக்கியிருந்தால், அது பயனற்றது கற்பனை.

ஹைட்ரஜன் புளோரைடு மற்றும் பிற நச்சுப் பொருட்களைக் கையாள்வதற்கான பாதுகாப்பு நெறிமுறைகள் என்ன?

பாதுகாப்பு என்பது எங்கள் தொழில்துறையின் அடித்தளம். பல ஃவுளூரின் கொண்டது வாயுக்கள் நச்சு, மூச்சுத்திணறல் அல்லது அதிக வினைத்திறன் கொண்டவை. ஹைட்ரஜன் புளோரைடு (HF), பெரும்பாலும் ஈரமான எச்சில் பயன்படுத்தப்படுகிறது அல்லது ஒரு துணை தயாரிப்பாக உருவாக்கப்படுகிறது, குறிப்பாக ஆபத்தானது. இது தோலில் ஊடுருவி எலும்பு அமைப்பை தாக்குகிறது.

இந்த பொருட்களை கையாளுவதற்கு கடுமையான பயிற்சி மற்றும் சிறப்பு உபகரணங்கள் தேவை.

• சிலிண்டர்கள்: DOT/ISO சான்றிதழைப் பெற்றிருக்க வேண்டும் மற்றும் உட்புற அரிப்பைத் தொடர்ந்து பரிசோதிக்க வேண்டும்.
• வால்வுகள்: கசிவைத் தடுக்க டயாபிராம் வால்வுகள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.
• சென்சார்கள்: செமிகண்டக்டர் ஃபேப்ஸ் சிறிதளவு கசிவு ஏற்பட்டாலும் அலாரங்களைத் தூண்டும் வாயு கண்டறிதல் உணரிகளால் மூடப்பட்டிருக்கும்.

நாம் ஒரு சிலிண்டரை நிரப்பும்போது எலக்ட்ரானிக் தர நைட்ரஸ் ஆக்சைடு அல்லது ஒரு நச்சு எச்சண்ட், நாங்கள் அதை ஏற்றப்பட்ட ஆயுதம் போல கருதுகிறோம். துகள்களைத் தடுக்க சிலிண்டர் உள்புறமாக மெருகூட்டப்பட்டிருப்பதையும், வால்வு மூடியிருப்பதையும் உறுதிசெய்கிறோம். எங்கள் வாடிக்கையாளர்களுக்கு, என்பதை அறிந்து கேரியர் வாயு அல்லது etchant பாதுகாப்பான, இணக்கமான பேக்கேஜிங் ஒரு பெரிய நிவாரணம் வருகிறது.

குறைக்கடத்தி புனையமைப்பு செயல்பாட்டில் பயன்படுத்தப்படும் பொருட்களுக்கு முன்னால் என்ன இருக்கிறது?

தி குறைக்கடத்தி உற்பத்தி சாலை வரைபடம் ஆக்ரோஷமானது. கேட்-ஆல்-அரவுண்ட் (GAA) டிரான்சிஸ்டர்கள் போன்ற 3D கட்டமைப்புகளுக்கு சில்லுகள் நகரும்போது, சிக்கலானது பொறித்தல் மற்றும் சுத்தம் செய்தல் அதிகரிக்கிறது. மேலும் கவர்ச்சியான தேவையை நாங்கள் காண்கிறோம் புளோரின் வாயு அணு துல்லியத்துடன் ஆழமான, குறுகிய துளைகளை பொறிக்கக்கூடிய கலவைகள்.

அணு அடுக்கு பொறித்தல் (ALE) ஒரு நேரத்தில் ஒரு அணு அடுக்கை அகற்றும் ஒரு வளர்ந்து வரும் நுட்பமாகும். இதற்கு நம்பமுடியாத அளவிற்கு துல்லியமான அளவு தேவைப்படுகிறது எதிர்வினை வாயுக்கள். மேலும், "பச்சை" உற்பத்திக்கான உந்துதல் புதியதை ஏற்றுக்கொள்ளும் புளோரின் வேதியியல் குறைந்த அதே செயல்திறன் வழங்குகிறது GWP.

எரிவாயு தொகுப்பு மற்றும் சுத்திகரிப்பு ஆகிய இரண்டிலும் புதுமைகளை உருவாக்கக்கூடியவர்களுக்கு எதிர்காலம் சொந்தமானது. என குறைக்கடத்தி பொருட்கள் உருவாகிறது, அவற்றை வடிவமைக்கப் பயன்படுத்தப்படும் வாயுக்களும் உருவாக வேண்டும்.

முக்கிய எடுக்கப்பட்டவை

• ஃவுளூரின் அவசியம்: புளோரின் வேதியியல் முக்கிய செயல்படுத்துபவராகும் முதலியன மற்றும் சுத்தமான படிகள் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி.
• தூய்மையே அரசன்: உயர் தூய்மை (6N) குறைபாடுகளைத் தடுப்பதற்கும் உறுதி செய்வதற்கும் பேச்சுவார்த்தைக்குட்பட்டது அல்ல செயல்முறை நிலைத்தன்மை.
• பல்வேறு வாயுக்கள்: CF4, SF6 மற்றும் போன்ற பல்வேறு வாயுக்கள் நைட்ரஜன் ட்ரைபுளோரைடு குறிப்பிட்ட பாத்திரங்களை வகிக்கிறது புனைதல்.
• சுற்றுச்சூழல் பாதிப்பு: மேலாண்மை பசுமை இல்ல வாயு வெளியேற்றம் மற்றும் குறைப்பு ஒரு முக்கியமான தொழில்துறை சவாலாக உள்ளது.
• வழங்கல் பாதுகாப்பு: ஒரு வலுவான விநியோக சங்கிலி உற்பத்தி நிறுத்தங்களைத் தவிர்க்க நம்பகமான கூட்டாளிகள் அவசியம்.

ஜியாங்சு ஹுவாஜோங் கேஸில், இந்த சவால்களை நாங்கள் புரிந்துகொள்கிறோம், ஏனென்றால் நாங்கள் அவற்றை ஒவ்வொரு நாளும் வாழ்கிறோம். உங்களுக்கு தேவைப்பட்டாலும் சரி உயர் தூய்மை செனான் உங்கள் புதிய எட்ச் செயல்முறை அல்லது நிலையான தொழில்துறை வாயுக்களின் நம்பகமான விநியோகத்திற்காக, எதிர்காலத்தை உருவாக்கும் தொழில்நுட்பத்தை ஆதரிக்க நாங்கள் இங்கே இருக்கிறோம்.