நவீன தொழில்நுட்ப உலகில், தி குறைக்கடத்தி ராஜாவாக இருக்கிறார். இந்த சிறிய, சிக்கலான சில்லுகள் எங்கள் ஸ்மார்ட்போன்கள் முதல் எங்கள் கார்கள் மற்றும் இணையத்தில் இயங்கும் தரவு மையங்கள் வரை அனைத்தையும் இயக்குகின்றன. ஆனால் இந்த சில்லுகளை உருவாக்குவதற்கு என்ன சக்தி அளிக்கிறது? பதில், ஆச்சரியமாக இருக்கிறது வாயு. எதுவுமே இல்லை வாயு, ஆனால் உயர் தூய்மை வாயுக்கள் கற்பனை செய்ய முடியாத தூய்மை. தொழில்துறை வாயுக்களில் நிபுணத்துவம் பெற்ற ஏழு உற்பத்திக் கோடுகளைக் கொண்ட தொழிற்சாலையின் உரிமையாளரான ஆலன், தூய்மைக்கான தேவை எவ்வாறு உயர்ந்துள்ளது என்பதை நான் நேரடியாகப் பார்த்திருக்கிறேன். இந்தக் கட்டுரையில் முன்னணியில் இருக்கும் மார்க் ஷென் போன்ற வணிகத் தலைவர்களுக்கானது வாயு விநியோக சங்கிலி. நீங்கள் தரம் மற்றும் விலையைப் புரிந்துகொள்கிறீர்கள், ஆனால் இந்த சந்தையில் உண்மையிலேயே முன்னணியில் இருக்க, நீங்கள் புரிந்து கொள்ள வேண்டும் ஏன். சிக்கலான உலகத்தை நாம் நிராகரிப்போம் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி, ஒரு ஒற்றை வழி தவறி ஏன் எளிய சொற்களில் விளக்குகிறது துகள் ஒரு வாயு ஸ்ட்ரீம் ஒரு தொழிற்சாலை மில்லியன்கள் செலவாகும். மொழி பேசுவதற்கான உங்கள் வழிகாட்டி இது குறைக்கடத்தி தொழில் மற்றும் ஒரு தவிர்க்க முடியாத பங்குதாரர் ஆக.

செமிகண்டக்டர் சிப் தயாரிப்பதில் வாயு என்ன பங்கு வகிக்கிறது?

அதன் மையத்தில், குறைக்கடத்தி உற்பத்தி ஒரு மெல்லிய வட்டில் நுண்ணிய, பல அடுக்கு மின்சுற்றுகளை உருவாக்கும் செயல்முறை ஆகும் சிலிக்கான், என அறியப்படுகிறது செதில். பில்லியன் கணக்கான அறைகள் மற்றும் நடைபாதைகள் கொண்ட தபால்தலையின் அளவு உயரமான கட்டிடத்தை உருவாக்க முயற்சிப்பதை கற்பனை செய்து பாருங்கள். அந்த அளவுகோலைத்தான் நாம் பேசுகிறோம். இதை அடைய, நீங்கள் உடல் கருவிகளைப் பயன்படுத்த முடியாது. மாறாக, முழு உற்பத்தி செயல்முறை துல்லியமான இரசாயன எதிர்வினைகளின் வரிசையை நம்பியுள்ளது, மேலும் இந்த எதிர்வினைகளுக்கான முதன்மை வாகனம் வாயு.

இந்த சுற்றுகளை உருவாக்கும் கண்ணுக்கு தெரியாத கைகளாக வாயுக்கள் செயல்படுகின்றன. அவர்கள் பல முக்கியமான வேலைகளைச் செய்கிறார்கள். சில, போன்றவை நைட்ரஜன், முற்றிலும் சுத்தமான மற்றும் நிலையான சூழலை உருவாக்கி, தேவையற்ற எதிர்விளைவுகளைத் தடுக்கிறது. செயல்முறை வாயுக்கள் என அழைக்கப்படும் மற்றவை உண்மையான கட்டுமானத் தொகுதிகள் அல்லது செதுக்குதல் கருவிகள். உதாரணமாக, ஒரு குறிப்பிட்ட வாயு வகை கடத்தும் பொருளின் நுண்ணிய அடுக்கை வைப்பதற்குப் பயன்படுத்தப்படலாம், மற்றொன்று வாயு துல்லியமாக பயன்படுத்தப்படுகிறது முதலியன ஒரு சுற்று பாதையை உருவாக்க பொருள். சுத்தம் செய்வதிலிருந்து ஒவ்வொரு அடியும் செதில் இறுதி டிரான்சிஸ்டர்களை உருவாக்க, ஒரு குறிப்பிட்ட உள்ளடக்கம் உள்ளது வாயு அல்லது வாயுக்களின் கலவை. என்ற துல்லியம் வாயு ஓட்டம் மற்றும் அதன் இரசாயன கலவை நேரடியாக வெற்றியை ஆணையிடுகிறது சிப் உற்பத்தி செயல்முறை.

செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியில் தூய்மை ஏன் மிகவும் முக்கியமானது?

நம் அன்றாட வாழ்வில், ஒரு சிறிய தூசி அல்லது காற்று மாசுபாடு என்பது பெரிய விஷயமில்லை. ஆனால் உள்ளே ஏ குறைக்கடத்தி ஃபேப்ரிகேஷன் ஆலை, அல்லது "ஃபேப்," இது ஒரு பேரழிவு. ஒரு மீது கட்டமைக்கப்படும் கூறுகள் சிலிக்கான் செதில் பெரும்பாலும் நானோமீட்டர்களில் அளவிடப்படுகிறது-அது ஒரு மீட்டரில் பில்லியனில் ஒரு பங்கு. முன்னோக்கி வைக்க, ஒரு மனித முடி சுமார் 75,000 நானோமீட்டர் அகலம். ஒரு சிறிய தூசி துகள் உலகில் ஒரு பெரிய பாறாங்கல் என்பதை உங்களால் பார்க்க முடியாது குறைக்கடத்தி புனைதல்.

இதனாலேயே தூய்மை வாயுக்களின் மிக முக்கியமான தனித்தன்மை குறைக்கடத்தியில் பயன்படுத்தப்படுகிறது உற்பத்தி. தேவையற்ற எந்த மூலக்கூறானாலும் - அது தவறான நீர் மூலக்கூறாக இருந்தாலும், ஒரு சிறிய உலோகமாக இருந்தாலும் துகள், அல்லது வேறு வாயு மூலக்கூறு - கருதப்படுகிறது தூய்மையற்றது. இது மாசுபாடு முற்றிலும் மென்மையானது சீர்குலைக்க முடியும் இரசாயன எதிர்வினை அன்று நடைபெறுகிறது செதில்இன் மேற்பரப்பு. ஒரு ஒற்றை தூய்மையற்றது ஒரு சுற்று உருவாவதைத் தடுக்கலாம், ஒரு குறுகிய சுற்று ஏற்படுத்தலாம் அல்லது மாற்றலாம் குறைக்கடத்தியின் மின் பண்புகள் பொருள். ஏனெனில் ஒற்றை செதில் நூற்றுக்கணக்கான அல்லது ஆயிரக்கணக்கான தனிப்பட்ட சில்லுகளைக் கொண்டிருக்கலாம், ஒரு சிறிய தவறு பாரிய நிதி இழப்புக்கு வழிவகுக்கும். முழு செயல்முறையும் கோருகிறது தூய்மையின் மிக உயர்ந்த நிலைகள் அனைத்து வேலை செய்ய.

வாயுக்களில் உள்ள அசுத்தங்கள் செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியை எவ்வாறு சிதைக்கிறது?

போது ஒரு தூய்மையற்றது ஒரு செயல்பாட்டில் உள்ளது வாயு, அது ஒரு "கொலையாளியை ஏற்படுத்தலாம் குறைபாடு." இது ஒரு சிறிய குறைபாடு அல்ல; அது ஒரு குறைபாடு இது முழு மைக்ரோசிப்பையும் அந்த பிரிவில் வழங்குகிறது செதில் பயனற்றது. இது எப்படி நடக்கிறது என்று பார்ப்போம். போது படிவு கட்டம், அங்கு மெல்லிய படலங்கள் அடுக்காக கட்டப்பட்டு வருகின்றன, தேவையற்றது துகள் மேற்பரப்பில் தரையிறங்க முடியும். அடுத்த அடுக்கு மேல் வைக்கப்படும் போது, ​​அது ஒரு நுண்ணிய பம்ப் அல்லது வெற்றிடத்தை உருவாக்குகிறது. இந்த குறைபாடு மின் இணைப்பை உடைக்கலாம் அல்லது திட்டமிடப்படாத ஒன்றை உருவாக்கலாம், கட்டப்பட்ட டிரான்சிஸ்டரை திறம்பட அழிக்கலாம்.

இதன் விளைவுகள் ஒரு ஃபேபின் அடிமட்டத்திற்கு பேரழிவை ஏற்படுத்துகின்றன. A இல் வெற்றிக்கான முதன்மை அளவீடு குறைக்கடத்தி fab என்பது "விளைச்சல்"-ஒற்றையிலிருந்து உற்பத்தி செய்யப்படும் வேலை செய்யும் சில்லுகளின் சதவீதம் செதில். ஒரு சிறிய துளி கூட விளைச்சல், 95% முதல் 90% வரை, இழந்த வருவாயில் மில்லியன் கணக்கான டாலர்களைக் குறிக்கலாம். வாயு அசுத்தங்கள் குறைவதற்கு நேரடி காரணமாகும் விளைச்சல். இதனாலேயே குறைக்கடத்தி உற்பத்தியாளர்கள் மீது பற்று கொண்டுள்ளனர் வாயு தூய்மை. என்பதில் அவர்கள் உறுதியாக இருக்க வேண்டும் வாயு அவர்களின் பல பில்லியன் டாலர் கருவிகளை உள்ளிடுவது முற்றிலும் இலவசம் மாசுபடுத்தும் அது தடம் புரளக்கூடும் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறை. இது ஒரு நுண்ணிய துல்லியமான விளையாட்டு, அங்கு பிழைக்கான இடம் இல்லை.

செமிகண்டக்டர் ஃபேப்ரிகேஷனில் பயன்படுத்தப்படும் முக்கிய வாயுக்கள் யாவை?

பயன்படுத்தப்படும் வாயுக்களின் வரம்பு குறைக்கடத்தி தொழில் பெரியது, ஆனால் அவை பொதுவாக இரண்டு வகைகளாகப் பிரிக்கப்படுகின்றன: மொத்த வாயுக்கள் மற்றும் சிறப்பு வாயுக்கள்.

• மொத்த வாயுக்கள்: இவை மிகப்பெரிய அளவில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன மற்றும் உற்பத்தி சூழலின் அடித்தளத்தை உருவாக்குகின்றன.

  • நைட்ரஜன் (N₂): இதுதான் வேலைக்காரன். அதி உயர் தூய்மை நைட்ரஜன் புனையமைப்பு கருவிகளுக்குள் ஒரு செயலற்ற "வளிமண்டலத்தை" உருவாக்க பயன்படுகிறது. இது ஆக்ஸிஜன், ஈரப்பதம் மற்றும் பிற துகள்களை சுத்தப்படுத்துகிறது, தேவையற்ற ஆக்சிஜனேற்றத்தை தடுக்கிறது அல்லது மாசுபாடு இன் செதில்.
  • ஹைட்ரஜன் (H₂): பெரும்பாலும் மற்ற வாயுக்களுடன் இணைந்து பயன்படுத்தப்படுகிறது. ஹைட்ரஜன் நிச்சயமாக முக்கியமானது படிவு செயல்முறைகள் மற்றும் டிரான்சிஸ்டர் கட்டமைப்புகளை உருவாக்க தேவையான மிகவும் குறிப்பிட்ட இரசாயன சூழல்களை உருவாக்குதல்.
  • ஆர்கான் (ஆர்): ஒரு ஜடமாக வாயு, ஆர்கான் ஸ்பட்டரிங் எனப்படும் ஒரு செயல்பாட்டில் பயன்படுத்தப்படுகிறது, அங்கு அது இலக்கு பொருள் மீது குண்டுவீசுவதற்குப் பயன்படுத்தப்படுகிறது, அணுக்களை தளர்வாகத் தட்டுகிறது, பின்னர் அவை அதன் மீது படிகின்றன. செதில். உருவாக்குவதற்கும் இது பயன்படுகிறது பிளாஸ்மா பலவற்றில் முதலியன செயல்முறைகள்.

• சிறப்பு வாயுக்கள்: இவை சிக்கலான, பெரும்பாலும் அபாயகரமான மற்றும் குறிப்பிட்ட செயல்முறை படிகளுக்குப் பயன்படுத்தப்படும் மிகவும் பொறிக்கப்பட்ட வாயுக்கள். அவை "செயலில் உள்ள" பொருட்கள்.

  • எட்சாண்ட்ஸ்: குளோரின் (Cl₂) மற்றும் ஹைட்ரஜன் புரோமைடு (HBr) போன்ற வாயுக்கள் துல்லியமாக செதுக்க அல்லது முதலியன அடுக்குகளில் வடிவங்கள் செதில்.
  • ஊக்க மருந்து: ஆர்சின் (AsH₃) மற்றும் பாஸ்பைன் (PH₃) போன்ற வாயுக்கள் ஒரு குறிப்பிட்ட பொருளை வேண்டுமென்றே அறிமுகப்படுத்தப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. தூய்மையற்றது உள்ளே சிலிக்கான் அதன் மின் பண்புகளை மாற்றுவதற்கு, டிரான்சிஸ்டர்கள் எவ்வாறு கட்டுப்படுத்தப்படுகின்றன.
  • படிவு வாயுக்கள்: சிலேன் (SiH₄) ஒரு சிறந்த உதாரணம், ஆதாரமாக பயன்படுத்தப்படுகிறது சிலிக்கான் மெல்லிய படங்களை டெபாசிட் செய்ய.

மார்க் போன்ற ஒரு கொள்முதல் அதிகாரிக்கு, இந்த வாயுக்கள் அனைத்தும் வேறுபட்டாலும், அவை ஒரு பொதுவான தேவையைப் பகிர்ந்து கொள்கின்றன என்பதை அறிவது முக்கியம்: தீவிரம் தூய்மை.

டெபாசிட் மற்றும் பொறித்தல் ஆகியவற்றை எளிய சொற்களில் விளக்க முடியுமா?

குறைக்கடத்தி உற்பத்தி நூற்றுக்கணக்கான படிகளை உள்ளடக்கியது, ஆனால் அவற்றில் பெரும்பாலானவை இரண்டு அடிப்படை செயல்முறைகளின் மாறுபாடுகள்: படிவு மற்றும் முதலியன. எளிமையான சொற்களில் இவற்றைப் புரிந்துகொள்வது, இன் பங்கைப் புரிந்துகொள்வதற்கு முக்கியமாகும் வாயு.

1. வைப்பு: அடுக்குகளை உருவாக்குதல்
யோசியுங்கள் படிவு மூலக்கூறுகளுடன் தெளிப்பு-ஓவியம் போல. ஒரு பொருளின் மிக மெல்லிய, முழுமையான சீரான அடுக்கைச் சேர்ப்பதே குறிக்கோள் சிலிக்கான் செதில்.

• செயல்முறை: ஒரு செயல்முறை வாயு (சிலேன் போன்றது) a உடன் கலக்கப்படுகிறது கேரியர் வாயு (போன்ற நைட்ரஜன் அல்லது ஹைட்ரஜன்) இது வாயு கலவையை கொண்ட ஒரு அறையில் அறிமுகப்படுத்தப்பட்டது செதில். ஏ இரசாயன எதிர்வினை தூண்டப்படுகிறது, அடிக்கடி வெப்பம் அல்லது a பிளாஸ்மா, மூலக்கூறுகள் வெளியே "வீழ்படிவு" ஏற்படுத்துகிறது வாயு மற்றும் ஒரு திடத்தை உருவாக்குகிறது மெல்லிய படம் அன்று செதில்இன் மேற்பரப்பு.
• தூய்மை ஏன் முக்கியம்: அசுத்தம் இருந்தால் துகள் இல் வாயு ஸ்ட்ரீம், இது உங்கள் ஸ்ப்ரே பெயிண்டில் சேரும் தூசி போன்றது. இது புதிய அடுக்கில் உட்பொதிக்கப்பட்டு, கட்டமைப்பை உருவாக்கும் குறைபாடு. தேவையற்ற ஒன்று இருந்தால் வாயு மூலக்கூறு, இது தவறாக வினைபுரிந்து, வேதியியல் ஒப்பனை மற்றும் அடுக்கின் மின் பண்புகளை மாற்றும்.

2. பொறித்தல்: சுற்றுகளை செதுக்குதல்
ஒரு அடுக்கை உருவாக்கிய பிறகு, நீங்கள் அதில் சுற்று வடிவத்தை செதுக்க வேண்டும். எட்ச் தேர்ந்தெடுக்கப்பட்ட பொருளை அகற்றும் செயல்முறை ஆகும்.

• செயல்முறை: தி செதில் ஃபோட்டோரெசிஸ்ட் எனப்படும் ஒளி-உணர்திறன் பொருள் பூசப்பட்டது. ஒரு முறை அதன் மீது திட்டமிடப்பட்டுள்ளது (ஒரு ஸ்டென்சில் போன்றது). வெளிப்படும் பகுதிகள் பின்னர் கடினமாக்கப்படுகின்றன. தி செதில் பின்னர் ஒரு எச்சன்ட் நிரப்பப்பட்ட அறையில் வைக்கப்படுகிறது வாயு (ஃவுளூரின் அடிப்படையிலான கலவை போன்றது). இது வாயு ஒரு சக்தியாக உள்ளது பிளாஸ்மா மாநிலம், அதை மிகவும் எதிர்வினையாக்குகிறது. தி பிளாஸ்மா குண்டுகளை வீசுகிறது செதில், வேதியியல் முறையில் பொருளை உண்பது மட்டுமே ஸ்டென்சிலால் பாதுகாக்கப்படாத பகுதிகளில்.
• தூய்மை ஏன் முக்கியம்: வாயுக்களில் உள்ள அசுத்தங்கள் பொறிக்கப் பயன்படுவது எதிர்வினை வீதத்தை மாற்றும். இது சுற்றுகள் மிகவும் அகலமாக, மிகக் குறுகலாக அல்லது இல்லாமல் செதுக்கப்படலாம். ஒரு உலோகம் துகள் தூய்மையற்றது கூட தடுக்க முடியும் முதலியன ஒரு சிறிய இடத்தில் செயலாக்க, தேவையற்ற பொருட்களின் "இடுக்கை" விட்டு, சுற்றுக்கு வெளியே குறுகியது.

அல்ட்ரா-ஹை கேஸ் தூய்மை எவ்வாறு அளவிடப்படுகிறது மற்றும் பராமரிக்கப்படுகிறது?

இல் உலகளாவிய குறைக்கடத்தி தொழில், "சதவீதம்" போன்ற நிலையான தூய்மை அளவீடுகள் பயனற்றவை. சமாளித்து வருகிறோம் மாசுபாடு புரிந்து கொள்ள கடினமாக இருக்கும் அளவில். தூய்மை அளவிடப்படுகிறது ஒரு டிரில்லியனுக்கு பாகங்கள் (ppt). இதன் பொருள் ஒவ்வொருவருக்கும் டிரில்லியன் வாயு மூலக்கூறுகள், ஒன்று அல்லது இரண்டு தூய்மையற்ற மூலக்கூறுகள் மட்டுமே இருக்க முடியும்.

இந்த நிலையை அடைய மற்றும் சரிபார்க்க வாயு தூய்மை, ஒரு அதிநவீன அமைப்பு வாயு சுத்திகரிப்பு மற்றும் பகுப்பாய்வு தேவை.

எங்கள் தொழிற்சாலையில், நாங்கள் உற்பத்தி செய்வதில்லை வாயு; நாங்கள் வாழ்கிறோம் மற்றும் சுவாசிக்கிறோம் தரக் கட்டுப்பாடு. தி எரிவாயு வழங்கல் ஒரு சங்கிலி குறைக்கடத்தி fab என்பது பயன்பாட்டின் இடத்தில் நிறுவப்பட்ட சிறப்பு சுத்திகரிப்பாளர்களை உள்ளடக்கியது. மேலும், மேம்பட்டது வாயு பகுப்பாய்வு கருவிகள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன நிகழ் நேர கண்காணிப்பு. போன்ற நுட்பங்கள் வளிமண்டல அழுத்தம் அயனியாக்கம் நிறை ஸ்பெக்ட்ரோமெட்ரி (APIMS) செய்ய முடியும் தூய்மையற்ற கண்டறிதல் ஒரு டிரில்லியன் பகுதிகளுக்கு கீழே, உறுதி uhp வாயு (அதிக உயர் தூய்மை) செயல்முறை கருவியில் நுழைவது சரியானது.

உயர்-தூய்மை எரிவாயு சப்ளையரை நம்பத்தகுந்ததாக ஆக்குவது எது?

ஏற்றுமதி தாமதங்கள் மற்றும் மோசடி சான்றிதழ்களின் வலியை அனுபவித்த மார்க் போன்ற கொள்முதல் தலைவருக்கு, நம்பகத்தன்மை தான் எல்லாமே. உலகில் உயர் தூய்மை குறைக்கடத்தி வாயுக்கள், நம்பகத்தன்மை மூன்று தூண்களில் தங்கியுள்ளது: உற்பத்தி நிலைத்தன்மை, தர உத்தரவாதம் மற்றும் தளவாட நிபுணத்துவம்.

1. உற்பத்தி நிலைத்தன்மை: நம்பகமான சப்ளையர் வலுவான மற்றும் தேவையற்ற உற்பத்தி திறன்களைக் கொண்டிருக்க வேண்டும். எங்கள் தொழிற்சாலையின் ஏழு உற்பத்திக் கோடுகள், எடுத்துக்காட்டாக, எங்களால் முடியும் என்பதை உறுதிசெய்க அதிக தேவையை பூர்த்தி செய்யுங்கள் மேலும் ஒரு வரியில் ஏற்படும் பிரச்சனை நமது முழு வெளியீட்டையும் நிறுத்தாது. இது பல பில்லியன் டாலர்களை மூடக்கூடிய விநியோக இடையூறுகளின் அபாயத்தைக் குறைக்கிறது குறைக்கடத்தி கற்பனை
2. சரிபார்க்கக்கூடிய தர உத்தரவாதம்: உங்களிடம் இருப்பதாகக் கூறுவது போதாது உயர் தூய்மை வாயு. நீங்கள் அதை நிரூபிக்க வேண்டும். இதன் பொருள் அதிநவீன பகுப்பாய்வு உபகரணங்களில் முதலீடு செய்வது தூய்மையற்ற கண்டறிதல். ஒவ்வொரு ஏற்றுமதிக்கும் வெளிப்படையான, கண்டறியக்கூடிய பகுப்பாய்வு சான்றிதழ்களை (CoA) வழங்குவதையும் இது குறிக்கிறது. சான்றிதழ் மோசடியை எதிர்த்துப் போராடுவது என்பது நம்பிக்கை மற்றும் சரிபார்க்கக்கூடிய தரவுகளின் அடிப்படையில் நீண்ட கால உறவை உருவாக்குவதாகும்.
3. தளவாட நிபுணத்துவம்: ஒரு பெறுதல் அரிக்கும் வாயு அல்லது சீனாவிலிருந்து அமெரிக்காவிற்கு கிரையோஜெனிக் திரவம் எளிதானது அல்ல. இதற்கு சிறப்பு கண்டெய்னர்கள், சர்வதேச கப்பல் விதிமுறைகள் பற்றிய அறிவு மற்றும் தாமதங்களைத் தவிர்க்க துல்லியமான திட்டமிடல் தேவை. நம்பகமான சப்ளையர் இது ஒரு பெட்டியை அனுப்புவது மட்டுமல்ல; இது உலகளாவிய ஒரு முக்கியமான பகுதியை நிர்வகிக்கிறது குறைக்கடத்தி விநியோக சங்கிலி.

மொத்த எரிவாயு மற்றும் சிறப்பு எரிவாயு இடையே உள்ள வேறுபாடு என்ன?

இடையே உள்ள வேறுபாட்டைப் புரிந்துகொள்வது மொத்த வாயு மற்றும் சிறப்பு வாயு ஆதாரம் பெறுவதில் ஈடுபட்டுள்ள எவருக்கும் முக்கியமானது குறைக்கடத்தி தொழில். இரண்டுக்கும் தீவிர தேவை இருக்கும் போது தூய்மை, அவற்றின் அளவு, கையாளுதல் மற்றும் பயன்பாடு ஆகியவை மிகவும் வேறுபட்டவை.

மொத்த வாயுக்கள், போன்ற மொத்த உயர் தூய்மை சிறப்பு வாயுக்கள், பார்க்கவும் நைட்ரஜன் போன்ற வாயுக்கள், ஆக்ஸிஜன், ஆர்கான் மற்றும் ஹைட்ரஜன். அவர்கள் ஃபேபின் சூழலின் அடித்தளம். "மொத்தம்" என்ற சொல் பயன்படுத்தப்படும் பாரிய அளவுகளைக் குறிக்கிறது. இந்த வாயுக்கள் பெரும்பாலும் ஆன்-சைட் அல்லது அருகில் உற்பத்தி செய்யப்பட்டு, பிரத்யேக குழாய்கள் வழியாக நேரடியாக ஃபேபின் உள் விநியோக அமைப்புக்கு வழங்கப்படுகின்றன. இங்குள்ள முக்கிய சவால்கள் பராமரிப்பது தூய்மை பரந்த விநியோக நெட்வொர்க்குகள் மற்றும் தடையற்ற, அதிக அளவு விநியோகத்தை உறுதி செய்தல்.

சிறப்பு எரிவாயு (அல்லது மின்னணு வாயு) என்பது பொறித்தல் மற்றும் போன்ற குறிப்பிட்ட செயல்முறை படிகளுக்கு சிறிய அளவில் பயன்படுத்தப்படும் அடிக்கடி கவர்ச்சியான, எதிர்வினை அல்லது அபாயகரமான வாயுக்களின் பரந்த வகையைக் குறிக்கிறது. படிவு. எடுத்துக்காட்டுகளில் சிலேன், அம்மோனியா, போரான் டிரைகுளோரைடு மற்றும் நைட்ரஜன் ட்ரைபுளோரைடு ஆகியவை அடங்கும். இவை தனிப்பட்ட உயர் அழுத்த சிலிண்டர்களில் வழங்கப்படுகின்றன. உடன் சவால்கள் சிறப்பு வாயு கையாளுதலில் தீவிர பாதுகாப்பு, வாயு கலவைகளுக்கு சரியான கலவை நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்தல் மற்றும் சிலிண்டருக்குள் சமரசம் செய்யக்கூடிய இரசாயன எதிர்வினைகளைத் தடுப்பது எரிவாயு தரம்.

உயர் தூய்மை செமிகண்டக்டர் வாயுவின் தேவை எவ்வாறு உருவாகிறது?

தி குறைக்கடத்தி தொழில் ஒருபோதும் நிற்காது. மூரின் விதி, ஒரு சிப்பில் உள்ள டிரான்சிஸ்டர்களின் எண்ணிக்கை தோராயமாக ஒவ்வொரு இரண்டு வருடங்களுக்கும் இரட்டிப்பாகிறது, இயற்பியலின் எல்லைகளைத் தொடர்ந்து தள்ளுகிறது. டிரான்சிஸ்டர்கள் சுருங்கும்போது, அவை அதிவேகமாக அதிக உணர்திறன் அடைகின்றன மாசுபாடு. ஏ துகள் அளவு ஐந்து ஆண்டுகளுக்கு முன்பு ஏற்றுக்கொள்ளப்பட்ட ஒரு "கொலையாளி குறைபாடு"இன்று.

சிறிய மற்றும் அதிக சக்தி வாய்ந்த சில்லுகளுக்கான இந்த இடைவிடாத உந்துதல் என்பது இன்னும் அதிக அளவிலான தேவையை குறிக்கிறது வாயு தூய்மை வளர்ந்து வருகிறது. ஒரு பில்லியனுக்குப் பங்குகள் தங்கத் தரமாக இருந்த உலகத்திலிருந்து பார்ட்ஸ்-பர்-டிரில்லியன் குறைந்தபட்ச நுழைவுத் தேவையாக இருக்கும் உலகத்திற்கு நாம் நகர்கிறோம். மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி முனைகள். மேலும், 3D NAND மற்றும் Gate-All-Around (GAA) டிரான்சிஸ்டர்கள் போன்ற புதிய பொருட்கள் மற்றும் சிப் கட்டமைப்புகளுக்கு ஒரு புதிய போர்ட்ஃபோலியோ தேவைப்படுகிறது. அடுத்த தலைமுறை எரிவாயு கலவைகள் மற்றும் முன்னோடிகள். என எரிவாயு உற்பத்தியாளர்கள், புதிய சுத்திகரிப்பு தொழில்நுட்பங்கள் மற்றும் பகுப்பாய்விற்கான முறைகளை உருவாக்கி, புதுமைகளின் தொடர்ச்சியான பந்தயத்தில் இருக்கிறோம். உலகளாவிய குறைக்கடத்தி தொழில்.

ஒரு வாங்குபவராக, நான் என்ன தரச் சான்றிதழ்களைத் தேட வேண்டும்?

சப்ளையர்களின் உலகத்தை வழிநடத்துவது கடினமாக இருக்கும், குறிப்பாக தொழில்நுட்ப தயாரிப்புகளை கையாளும் போது. சான்றிதழ்கள், சப்ளையரின் திறன்கள் மற்றும் தரத்திற்கான அர்ப்பணிப்பு ஆகியவற்றின் முக்கியமான, மூன்றாம் தரப்பு சரிபார்ப்பை வழங்குகிறது. ஆதாரம் போது உயர் தூய்மை வாயுக்கள் க்கான குறைக்கடத்தி தொழில், கவனிக்க வேண்டிய சில விஷயங்கள் இங்கே உள்ளன:

• ISO 9001: இது தர மேலாண்மை அமைப்புகளுக்கான அடிப்படை சான்றிதழாகும். உற்பத்தி, ஆய்வு மற்றும் விநியோகம் ஆகியவற்றிற்கு சப்ளையர் நன்கு வரையறுக்கப்பட்ட மற்றும் மீண்டும் மீண்டும் செய்யக்கூடிய செயல்முறைகளைக் கொண்டிருப்பதை இது காட்டுகிறது.
• ISO/IEC 17025: இது ஒரு முக்கியமான ஒன்றாகும். இது சோதனை மற்றும் அளவுத்திருத்த ஆய்வகங்களின் திறனுக்கான தரநிலையாகும். இந்தச் சான்றிதழைக் கொண்ட ஒரு சப்ளையர் அவர்களின் உள் ஆய்வகம்—உங்கள் பகுப்பாய்வுச் சான்றிதழை உருவாக்கும்—துல்லியமானது மற்றும் நம்பகமானது என்பதை நிரூபித்துள்ளார்.
• கண்டறியக்கூடிய பகுப்பாய்வு: ஒவ்வொரு சிலிண்டர் அல்லது தொகுதிக்கும் எப்போதும் பகுப்பாய்வு சான்றிதழை (CoA) கோரவும். இந்தச் சான்றிதழின் துல்லியமான அளவை விவரிக்க வேண்டும் வாயுவில் உள்ள அசுத்தங்கள், போன்ற குறிப்பிட்ட பகுப்பாய்வு முறைகளால் அளவிடப்படுகிறது வாயு நிறமூர்த்தம் அல்லது மாஸ் ஸ்பெக்ட்ரோமெட்ரி.

மார்க் போன்ற ஒரு தீர்க்கமான தலைவராக, உங்களின் சிறந்த கருவி, கேள்விகளைக் கேட்பதுதான். "இதுதானா" என்று மட்டும் கேட்காதீர்கள் வாயு தூய்மையா?" "இது தூய்மையானது என்பதை நீங்கள் எப்படி நிரூபிப்பீர்கள்? உங்கள் ஆய்வகத்தின் சான்றிதழை எனக்குக் காட்டுங்கள். நிறைய நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்வதற்கான உங்கள் செயல்முறையை விளக்குங்கள்" என்று கேளுங்கள். உண்மையிலேயே நிபுணத்துவம் வாய்ந்த மற்றும் நம்பகமான பங்குதாரர் இந்தக் கேள்விகளை வரவேற்பார் மற்றும் நம்பிக்கையான, வெளிப்படையான பதில்களைக் கொண்டிருப்பார்.

முக்கிய எடுக்கப்பட்டவை

• வாயு ஒரு கருவி: இல் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி, வாயுக்கள் வெறும் பொருட்கள் அல்ல; அவை நுண்ணிய சுற்றுகளை உருவாக்கவும் செதுக்கவும் பயன்படும் துல்லியமான கருவிகள் சிலிக்கான் செதில்.
• தூய்மையே எல்லாம்: என்ற அளவுகோல் சிப் உற்பத்தி மிகவும் சிறியது, தேவையற்றது துகள் அல்லது தூய்மையற்றது மூலக்கூறு ஒரு சிப்பை அழித்து, உருவாக்கும் அதி உயர் தூய்மை பேரம் பேச முடியாத தேவை.
• மகசூல்தான் குறிக்கோள்: முதன்மையான தாக்கம் வாயு மாசுபாடு உற்பத்தி குறைப்பு ஆகும் விளைச்சல், இது நேரடியாக மில்லியன் கணக்கான டாலர்களை இழந்த வருவாயை மொழிபெயர்க்கிறது குறைக்கடத்தி ஃபேப்ஸ்.
• இரண்டு முக்கிய செயல்முறைகள்: சிப் தயாரிப்பதில் பெரும்பாலான படிகளில் ஒன்று அடங்கும் படிவு (கட்டிட அடுக்குகள்) அல்லது முதலியன (செதுக்கும் வடிவங்கள்), இவை இரண்டும் முற்றிலும் தூய வாயுக்களின் துல்லியமான இரசாயன எதிர்வினைகளைச் சார்ந்தது.
• நம்பகத்தன்மை முக்கியமானது: இல் ஒரு நம்பகமான சப்ளையர் குறைக்கடத்தி வாயு சந்தை உற்பத்தி நிலைத்தன்மையை நிரூபிக்க வேண்டும், சான்றளிக்கப்பட்ட ஆய்வகங்கள் மூலம் சரிபார்க்கக்கூடிய தர உத்தரவாதம் மற்றும் நிபுணர் தளவாட மேலாண்மை.
• எதிர்காலம் தூய்மையானது: குறைக்கடத்திகள் மிகவும் முன்னேறியதால், தேவை இன்னும் அதிக அளவில் உள்ளது வாயு தூய்மை (ஒரு டிரில்லியன் பகுதிகளுக்கு) மட்டுமே தொடர்ந்து வளரும்.