Huazhong Gas தொழில்துறை மற்றும் கலை மற்றும் அறிவியலில் தேர்ச்சி பெறுவதற்கு நம்மை அர்ப்பணித்துள்ளது சிறப்பு வாயு உற்பத்தி. இன்றைய உயர் தொழில்நுட்ப உலகில், குறிப்பாக உள்ளே குறைக்கடத்தி தொழில், தேவை அதி உயர் தூய்மை வாயுக்கள் ஒரு விருப்பம் மட்டுமல்ல; அது ஒரு முழுமையான தேவை. என்ற விமர்சன உலகில் இந்தக் கட்டுரை ஆராய்கிறது தூய்மையற்ற பகுப்பாய்வு க்கான மின்னணு சிறப்பு வாயுக்கள். மிகச்சிறியது கூட ஏன் என்று ஆராய்வோம் தூய்மையற்றது மகத்தான விளைவுகளை ஏற்படுத்தலாம், இந்த மழுப்பலை நாம் எவ்வாறு கண்டறிவது தடய அசுத்தங்கள், மற்றும் வணிகங்களுக்கு என்ன அர்த்தம். புரிதல் வாயு அசுத்தங்கள் மற்றும் அவர்களுக்கான வழிமுறைகள் சுத்திகரிப்பு மற்றும் கண்டறிதல், போன்றவை ICP-MS, நவீனத்தின் நம்பகத்தன்மை மற்றும் செயல்திறனை உறுதிசெய்வதில் முக்கியமானது மின்னணுவியல். இந்தத் துண்டு உங்கள் நேரத்திற்கு மதிப்புள்ளது, ஏனெனில் இது கடுமையானவற்றைப் பராமரிப்பதில் ஒரு தொழிற்சாலை-உள் பார்வையை வழங்குகிறது மின்னணு சிறப்பு வாயுக்களின் தூய்மை, ஒரு மூலைக்கல் குறைக்கடத்தி மற்றும் மின்னணுவியல் துறைகள்.

எலெக்ட்ரானிக் சிறப்பு வாயுக்கள் என்றால் என்ன மற்றும் செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியில் அவற்றின் தூய்மை ஏன் மிகவும் முக்கியமானது?

மின்னணு சிறப்பு வாயுக்கள், அடிக்கடி குறிப்பிடப்படுகிறது மின்னணு வாயுக்கள் அல்லது குறைக்கடத்தி வாயுக்கள், ஒரு தனித்துவமான வகையாகும் உயர் தூய்மை வாயுக்கள் மற்றும் எரிவாயு கலவைகள் மின்னணு கூறுகளை தயாரிப்பதில் ஈடுபட்டுள்ள சிக்கலான செயல்முறைகளுக்காக குறிப்பாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. டிஜிட்டல் யுகத்தின் கண்ணுக்குத் தெரியாத கட்டிடக் கலைஞர்களாக அவர்களை நினைத்துப் பாருங்கள். இவை குறைக்கடத்தியில் பயன்படுத்தப்படும் வாயுக்கள் சிலிக்கான் அடுக்குகளை வைப்பதற்கு சிலேன் (SiH₄), அறையை சுத்தம் செய்வதற்கு நைட்ரஜன் ட்ரைஃப்ளூரைடு (NF₃) போன்ற பல்வேறு வரம்புகளை புனையமைப்பு உள்ளடக்கியது. ஆர்கான் (Ar) ஒரு செயலற்ற கவசமாக, மற்றும் பல்வேறு ஊக்கமருந்து வாயுக்கள் பாஸ்பைன் (PH₃) அல்லது ஆர்சின் (AsH₃) மின் பண்புகளை மாற்றும் குறைக்கடத்தி பொருட்கள். கால "மின்னணு சிறப்பு"அவற்றின் பொருத்தப்பட்ட பயன்பாடு மற்றும் அவற்றின் கலவையில் தேவைப்படும் அதீத துல்லியம் ஆகியவற்றை அதுவே எடுத்துக்காட்டுகிறது. இவை உங்கள் அன்றாடம் அல்ல. தொழில்துறை வாயுக்கள்; அவற்றின் விவரக்குறிப்புகள் மிகவும் கடுமையானவை.

அவற்றின் முக்கிய முக்கியத்துவம் தூய்மை மிகைப்படுத்த முடியாது, குறிப்பாக இல் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி. நவீன ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகள் (IC கள்) டிரான்சிஸ்டர்கள் மற்றும் கடத்தும் பாதைகளைக் கொண்டுள்ளது, அவை நம்பமுடியாத அளவிற்கு சிறியவை, பெரும்பாலும் நானோமீட்டர்களில் (ஒரு மீட்டரில் பில்லியன்கள்) அளவிடப்படுகின்றன. இந்த நுண்ணிய அளவில், ஒரு தேவையற்ற அணுவும் கூட தூய்மையற்றது- ஒரு சிறிய நீரோட்டத்தில் ஒரு பாறாங்கல் போல் செயல்பட முடியும், நோக்கம் கொண்ட மின் ஓட்டத்தை சீர்குலைக்கும் அல்லது கட்டமைப்பு குறைபாடுகளை ஏற்படுத்தும். இது ஒரு தவறான சில்லுக்கு வழிவகுக்கும், மேலும் மில்லியன் கணக்கான சில்லுகள் ஒரு செதில்களில் உற்பத்தி செய்யப்படும் ஒரு தொழிலில், பரவலான நிதி மற்றும் நற்பெயர் சேதம் மாசுபாடு மகத்தானதாக இருக்க முடியும். எனவே, தி மின்னணு சிறப்பு வாயுக்களின் தூய்மை ஒரு அடித்தள தூணாகும், அதன் மீது முழுவதுமாக உள்ளது மின்னணு மற்றும் குறைக்கடத்தி தொழில் நிற்கிறது. ஏதேனும் தூய்மையற்றது சாதனத்தின் செயல்திறன், மகசூல் மற்றும் நம்பகத்தன்மையை சமரசம் செய்து, கடுமையானதாக ஆக்குகிறது வாயு தூய்மை கட்டுப்பாடு அவசியம்.

Huazhong Gas இல், எங்கள் வாடிக்கையாளர்கள் என்பதை நாங்கள் புரிந்துகொள்கிறோம் குறைக்கடத்தி தொழில்கள் "ஐந்து நைன்கள்" (99.999%) அல்லது "ஆறு நைன்கள்" (99.9999%) தூய்மை நிலைகளை சந்திக்கும் அல்லது அதைவிட அதிகமான வாயுக்களை வழங்க எங்களை நம்பியிருக்க வேண்டும். இதன் பொருள் ஏதேனும் தூய்மையற்றது ஒரு மில்லியனுக்கு பாகங்கள் (பிபிஎம்) அல்லது பில்லியனுக்கு பாகங்கள் (பிபிபி) விட குறைவான செறிவுகளில் இருக்க வேண்டும். அத்தகையவற்றை அடைதல் மற்றும் சரிபார்த்தல் உயர் தூய்மை நிலைகளுக்கு அதிநவீன தேவை சுத்திகரிப்பு நுட்பங்கள் மற்றும், முக்கியமாக, மேம்பட்ட தூய்மையற்ற பகுப்பாய்வு முறைகள். எதிர்பாராத ஒரு இருப்பு தூய்மையற்றது உடன் உள்ள சிக்கல்களையும் குறிக்கலாம் எரிவாயு சிலிண்டர்கள் அல்லது விநியோகச் சங்கிலி, சீரான தரச் சோதனைகள் இன்றியமையாததாக அமைகிறது. நாங்கள் உறுதி செய்கிறோம் நைட்ரஜன் சிலிண்டர் எடுத்துக்காட்டாக, பல குறைக்கடத்தி புனையமைப்பு படிகளில் நைட்ரஜன் ஒரு வேலையாற்று வாயுவாக இருப்பதால், வழங்கல்கள் இந்த துல்லியமான தரநிலைகளை பூர்த்தி செய்கின்றன.

மைக்ரோஸ்கோபிக் டிரேஸ் அசுத்தங்கள் கூட செமிகண்டக்டர் உற்பத்திக் கோடுகளைத் தடம்புரளச் செய்வது எப்படி?

இது எப்படி சிறிய ஒன்று எப்படி கற்பனை செய்வது கடினம் அசுத்தத்தைக் கண்டறியவும் ஒரு பில்லியனுக்கு பாகங்கள் (பிபிபி) அல்லது ஒரு டிரில்லியன் (பிபிடி) என அளவிடப்பட்டால், இது போன்ற குறிப்பிடத்தக்க சிக்கல்களை ஏற்படுத்தலாம். ஆனால் உலகில் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி, இந்த நுண்ணிய அசுத்தங்கள் முக்கிய வில்லன்கள். ஒரு பொதுவான குறைக்கடத்தி புனையமைப்பு செயல்முறையை கருத்தில் கொள்வோம்: இது டஜன் கணக்கான, சில நேரங்களில் நூற்றுக்கணக்கான, படிவு (மெல்லிய படலங்களை இடுதல்), பொறித்தல் (பொருள்களை அகற்றுதல்) மற்றும் அயன் பொருத்துதல் (குறிப்பிட்ட அணுக்களை செருகுதல்) போன்ற நுட்பமான படிகளை உள்ளடக்கியது. ஒவ்வொரு அடியும் துல்லியமாக கட்டுப்படுத்தப்பட்ட இரசாயன சூழலை நம்பியுள்ளது, பெரும்பாலும் உருவாக்கப்படும் அல்லது பராமரிக்கப்படுகிறது மின்னணு சிறப்பு வாயுக்கள். ஒரு என்றால் பயன்படுத்தப்படும் வாயு இந்த படிகளில் ஒன்றில் தேவையற்றது உள்ளது தூய்மையற்றது, என்று தூய்மையற்றது இன் நுட்பமான அடுக்குகளில் இணைக்கப்படலாம் குறைக்கடத்தி சாதனம்.

உதாரணமாக, உலோக அசுத்தங்கள் சோடியம், இரும்பு அல்லது தாமிரம் போன்றவை, மிகக் குறைந்த செறிவுகளில் கூட, சிலிக்கானின் மின் பண்புகளை கடுமையாக மாற்றும். அவை தேவையற்ற கடத்தும் பாதைகளை உருவாக்கி, குறுகிய சுற்றுகளுக்கு வழிவகுக்கும், அல்லது எலக்ட்ரான்களின் ஓட்டத்தைத் தடுக்கும் "பொறிகளாக" செயல்படலாம், சாதனத்தை மெதுவாக்கலாம் அல்லது முழுவதுமாக செயலிழக்கச் செய்யலாம். அன் தூய்மையற்றது ஒரு செயல்முறை கட்டத்தில் நோக்கப்படும் இரசாயன எதிர்வினைகளிலும் தலையிடலாம். உதாரணமாக, ஏ மாசுபடுத்தும் ஒரு பொறிப்பு வாயுவில் கீழ்-பொறித்தல் அல்லது அதிக பொறிப்பு ஏற்படலாம், இது செதில்களின் துல்லியமான வடிவங்களை அழித்துவிடும். பாதிப்பு தனிப்பட்ட சில்லுகளில் மட்டும் இல்லை; ஒரு கண்டறியப்படாத தூய்மையற்றது இந்தச் சிக்கல் செதில்களின் முழுத் தொகுதிகளையும் அகற்றுவதற்கு வழிவகுக்கும், இதன் விளைவாக மில்லியன் கணக்கான டாலர்கள் இழப்புகள், உற்பத்தி தாமதங்கள் மற்றும் தரமான பொருட்களின் நிலையான விநியோகத்தை உறுதி செய்ய வேண்டிய மார்க் ஷென் போன்ற கொள்முதல் அதிகாரிகளுக்கு தலைவலி ஏற்படலாம். இது வலுவான தேவையை எடுத்துக்காட்டுகிறது சுவடு அசுத்தங்கள் அளவீடு.

சவால் என்னவென்றால், எந்தவொரு "ஏற்றுக்கொள்ளக்கூடிய" நிலை தூய்மையற்றது என சுருங்கிக்கொண்டே இருக்கிறது குறைக்கடத்தி சாதனத்தின் அம்சங்கள் சிறியதாக மாறும். ஏற்றுக்கொள்ளக்கூடியதாகக் கருதப்பட்டது தூய்மையற்றது ஒரு தசாப்தத்திற்கு முந்தைய நிலை ஒரு பேரழிவாக இருக்கலாம் மாசுபாடு இன்று. சிறியமயமாக்கலுக்கான இந்த இடைவிடாத உந்துதல் எரிவாயு உற்பத்தியாளர்கள் மற்றும் பகுப்பாய்வு ஆய்வகங்களை மேம்படுத்த பெரும் அழுத்தத்தை அளிக்கிறது. கண்டறிதல் வரம்பு திறன்கள். கூட துகள்கள் அசுத்தங்கள், நிர்வாணக் கண்ணுக்குத் தெரியாத சிறிய தூசிப் புள்ளிகள், ஃபோட்டோலித்தோகிராஃபி படிகளில் ஒளியைத் தடுக்கலாம் அல்லது செதில் மேற்பரப்பில் உடல் குறைபாடுகளை உருவாக்கலாம். எனவே, ஒவ்வொரு திறனையும் கட்டுப்படுத்துதல் தூய்மையற்றது - வாயு, உலோகம் அல்லது துகள்கள் - முக்கியமானது. தி அசுத்தங்களின் வரம்பு சிக்கல்களை ஏற்படுத்தக்கூடியது விரிவானது, விரிவான தேவையை வலியுறுத்துகிறது வாயு பகுப்பாய்வு.

மிகவும் பொதுவான பிரச்சனைகள் என்ன? எலக்ட்ரானிக்ஸ் வாயுக்களில் உள்ள அசுத்தங்களைக் கண்டறிதல்.

பற்றி பேசும்போது வாயுக்களில் உள்ள அசுத்தங்கள் நோக்கம் மின்னணு மற்றும் குறைக்கடத்தி செக்டார், பலவிதமான கதாபாத்திரங்களை நாங்கள் பார்த்து வருகிறோம், ஒவ்வொன்றும் குறிப்பிடத்தக்க பாதிப்பை ஏற்படுத்தும் திறன் கொண்டவை. இவை அசுத்தங்கள் கண்டறியப்பட வேண்டும் வாயு, உலோகம் மற்றும் நுண்துகள் வடிவங்களாக பரவலாக வகைப்படுத்தலாம். இந்த பொதுவான பிரச்சனையாளர்களைப் புரிந்துகொள்வது பயனுள்ள முதல் படியாகும் தூய்மையற்ற பகுப்பாய்வு மற்றும் கட்டுப்பாடு. குறிப்பிட்ட அசுத்தங்கள் உள்ளன வாயு, அதன் உற்பத்தி முறை, சேமிப்பு மற்றும் கையாளுதல் ஆகியவற்றைப் பொறுத்து மாறுபடும்.

வாயு அசுத்தங்கள் முக்கியமாக இருக்கும் மற்ற வாயுக்கள் சிறப்பு வாயு. உதாரணமாக, இல் உயர் தூய்மை நைட்ரஜன், பொதுவான வாயு அசுத்தங்கள் ஆக்ஸிஜன் (O₂), ஈரப்பதம் (H₂O), கார்பன் டை ஆக்சைடு (CO₂), கார்பன் மோனாக்சைடு (CO) மற்றும் ஹைட்ரோகார்பன்கள் (CHₓ) ஆகியவை அடங்கும். ஆக்ஸிஜன் மற்றும் ஈரப்பதம் மிகவும் சிக்கலானவை, ஏனெனில் அவை அதிக வினைத்திறன் கொண்டவை மற்றும் தேவையற்ற ஆக்சிஜனேற்றத்திற்கு வழிவகுக்கும். குறைக்கடத்தி பொருட்கள் அல்லது செயல்முறை உபகரணங்கள். ஒரு இல் கூட மந்த வாயு போன்ற ஆர்கான், இவை சுவடு மட்டங்களில் இருக்கலாம். ஒரு நிறுவனமாக, ஒரு பகுப்பாய்வுக்கான கோரிக்கைகளை நாங்கள் அடிக்கடி பார்க்கிறோம் பரந்த அளவிலான அசுத்தங்கள், இந்த எதிர்வினை இனங்கள் உட்பட. எடுத்துக்காட்டாக, எங்கள் திறன்களில் சிக்கலான உற்பத்தி அடங்கும் வாயு கலவை சாத்தியமான வாயு உட்பட ஒவ்வொரு கூறுகளையும் கட்டுப்படுத்தும் தயாரிப்புகள் அசுத்தங்கள், முதன்மையானது.

உலோக அசுத்தங்கள் மற்றொரு முக்கிய கவலை. இவை சோடியம் (Na), பொட்டாசியம் (K), கால்சியம் (Ca), இரும்பு (Fe), தாமிரம் (Cu), நிக்கல் (Ni), குரோமியம் (Cr) மற்றும் அலுமினியம் (Al) போன்ற உலோகங்களின் அணுக்கள். அவை மூலப்பொருட்கள், உற்பத்தி சாதனங்கள் (குழாய்கள் மற்றும் உலைகள் போன்றவை) அல்லது கூட இருந்து உருவாகலாம் எரிவாயு சிலிண்டர்கள் சரியாக நடத்தப்படாவிட்டால் தங்களை. குறிப்பிட்டுள்ளபடி, இவை உலோக அசுத்தங்கள் மின் செயல்திறனை கடுமையாக பாதிக்கலாம் குறைக்கடத்தி சாதனங்கள். ppb அல்லது ppt அளவில் இவற்றைக் கண்டறிவதற்கு, தூண்டக்கூடிய முறையில் இணைக்கப்பட்ட பிளாஸ்மா மாஸ் ஸ்பெக்ட்ரோமெட்ரி (ICP-MS) என்பதையும் நாம் கருத்தில் கொள்ள வேண்டும் துகள்கள் விஷயம். இவை சிறிய திடமான அல்லது திரவத் துகள்கள் வாயு ஓட்டம். அவை செதில்களில் உடல் குறைபாடுகளை ஏற்படுத்தலாம், கருவிகளில் முனைகளைத் தடுக்கலாம் அல்லது மற்றவற்றை அறிமுகப்படுத்தலாம் அசுத்தங்கள். துகள்களை அகற்றுவதற்கு வடிகட்டுதல் முக்கியமானது, ஆனால் அவற்றின் அளவைக் கண்காணிப்பதும் ஒரு விரிவான பகுதியாகும். எரிவாயு தரம் திட்டம். சில மின்னணு சிறப்பு வாயுக்கள் மேலும் உள்ளன அரிக்கும் வாயுக்கள் அல்லது நச்சு வாயுக்கள், இது அவர்களின் கையாளுதல் மற்றும் பகுப்பாய்விற்கு சிக்கலான மற்றொரு அடுக்கைச் சேர்க்கிறது தூய்மையற்றது சுயவிவரம் இந்த அபாயங்களை அதிகரிக்காது.

ICP-MS: செமிகண்டக்டர் வாயுக்களில் உள்ள உலோக அசுத்தங்களைக் கண்டறிவதற்கான தங்கத் தரநிலை?

அது வரும்போது உலோக அசுத்தங்களின் பகுப்பாய்வு உள்ளே அதி உயர் தூய்மை வாயுக்கள், தூண்டுதலால் இணைக்கப்பட்ட பிளாஸ்மா மாஸ் ஸ்பெக்ட்ரோமெட்ரி, அல்லது ICP-MS, ஒரு முன்னணி தொழில்நுட்பமாக பரவலாகக் கருதப்படுகிறது. இது ஒரு சக்திவாய்ந்த பகுப்பாய்வு நுட்பமாகும், இது பரந்த அளவிலான அளவைக் கண்டறிந்து அளவிட முடியும் அடிப்படை அசுத்தங்கள், அடிக்கடி வியக்கத்தக்க வகையில் குறைந்த அளவுகள் - சில உறுப்புகளுக்கு ஒரு டிரில்லியன் (ppt) அல்லது பாகங்கள்-க்கு-குவாட்ரில்லியன் (ppq) என்று நினைக்கிறேன். இந்த உணர்திறன் துல்லியமாக ஏன் ICP-MS க்கு மிகவும் முக்கியமானதாகிவிட்டது குறைக்கடத்தி தொழில், எங்கே, நாம் விவாதித்தபடி, சிறிய தடயங்கள் கூட உலோக அசுத்தங்கள் தீங்கு விளைவிக்கும் தயாரிப்பு தரம்.

எப்படி செய்கிறது ICP-MS மந்திரம் வேலை செய்யுமா? எளிமையான சொற்களில், தி மாதிரி வாயு (அல்லது வாயுவிலிருந்து பெறப்பட்ட ஒரு தீர்வு) மிகவும் சூடான பிளாஸ்மாவில் அறிமுகப்படுத்தப்படுகிறது, இது பொதுவாக தயாரிக்கப்படுகிறது ஆர்கான். இந்த பிளாஸ்மா, 6,000 முதல் 10,000 டிகிரி செல்சியஸ் வெப்பநிலையை எட்டும், வாயு மூலக்கூறுகளை உடைத்து, தற்போதுள்ள அணுக்களை அயனியாக்கும் ஆற்றல் கொண்டது. உலோக அசுத்தங்கள். இந்த அயனிகள் பின்னர் பிளாஸ்மாவிலிருந்து பிரித்தெடுக்கப்பட்டு ஒரு மாஸ் ஸ்பெக்ட்ரோமீட்டருக்கு வழிநடத்தப்படுகின்றன. மாஸ் ஸ்பெக்ட்ரோமீட்டர் மிகவும் துல்லியமான வடிகட்டி போல் செயல்படுகிறது, அயனிகளை அவற்றின் நிறை-க்கு-சார்ஜ் விகிதத்தின் அடிப்படையில் பிரிக்கிறது. ஏ கண்டுபிடிப்பான் ஒவ்வொரு குறிப்பிட்ட வெகுஜனத்திற்கும் அயனிகளைக் கணக்கிடுகிறது, எந்த உறுப்புகள் உள்ளன மற்றும் எந்த அளவில் உள்ளன என்பதைக் கண்டறிய அனுமதிக்கிறது. திறன் ICP-MS ஒரு பரந்த நிறமாலையை ஸ்கேன் செய்ய சிறப்பு வாயுக்களில் உலோக அசுத்தங்கள் ஒரே நேரத்தில் அதை மிகவும் திறமையானதாக ஆக்குகிறது.

போது ICP-MS நம்பமுடியாத அளவிற்கு சக்தி வாய்ந்தது, அதன் சவால்கள் இல்லாமல் இல்லை, குறிப்பாக கையாளும் போது குறைக்கடத்தியில் பயன்படுத்தப்படும் வாயுக்கள் புனைதல். ஒரு பொதுவான அணுகுமுறை பொறி ஆகும் அசுத்தங்கள் ஒரு பெரிய அளவிலான வாயுவிலிருந்து ஒரு சேகரிப்பு ஊடகத்தில் அல்லது ஒரு திரவமாக, பின்னர் பகுப்பாய்வு செய்யப்படுகிறது ICP-MS. இருப்பினும், நேரடியாக எரிவாயு நேரடி ஊசி உள்ளே ICP-MS சிறப்பு இடைமுகங்கள் தேவைப்பட்டாலும், சில பயன்பாடுகளுக்கு கணினி மிகவும் பொதுவானதாகி வருகிறது. முறையின் தேர்வு குறிப்பிட்டதைப் பொறுத்தது வாயு அசுத்தங்கள் ஆர்வம், மேட்ரிக்ஸ் வாயு மற்றும் தேவையானது கண்டறிதல் வரம்பு. Huazhong Gas இல், நாங்கள் அதிநவீன பகுப்பாய்வு உபகரணங்களில் பெருமளவில் முதலீடு செய்கிறோம். ICP-MS திறன்கள், ஏனென்றால் நம்பகமானவை வழங்குவதை நாங்கள் அறிவோம் தூய்மையற்ற பகுப்பாய்வு எங்கள் வாடிக்கையாளர்கள் எங்கள் மீது வைத்திருக்கும் நம்பிக்கைக்கு தரவு அடிப்படையானது உயர் தூய்மை மின்னணு வாயுக்கள். என்ற துல்லியம் ICP-MS என்பதை உறுதிப்படுத்த உதவுகிறது வாயுக்களின் தூய்மை என்ற கடுமையான கோரிக்கைகளை பூர்த்தி செய்கிறது மின்னணு தரம் பொருட்கள்.

எலெக்ட்ரானிக்ஸ் மற்றும் செமிகண்டக்டர் தொழில்களுக்கு ஏன் அசைக்க முடியாத வாயு தூய்மை என்பது பேரம் பேச முடியாதது?

அசையாத தேவை வாயு தூய்மை இல் மின்னணு மற்றும் குறைக்கடத்தி தொழில்கள் ஒரு விருப்பம் மட்டுமல்ல; இது நவீன சாதன உற்பத்தியின் இயற்பியல் மற்றும் பொருளாதாரத்தால் இயக்கப்படும் ஒரு அடிப்படைத் தேவையாகும். என குறைக்கடத்தி சாதன அம்சங்கள் நானோமீட்டர் அளவுகோலுக்கு சுருங்குகின்றன, அவற்றின் உணர்திறன் எந்த வடிவத்திற்கும் மாசுபாடு வானளாவுகிறது. அன் தூய்மையற்றது பழைய, பெரிய சாதனங்களில் மிகக் குறைவாக இருந்திருக்கலாம், இப்போது அதிநவீன சில்லுகளில் பேரழிவுகரமான தோல்விகளை ஏற்படுத்தலாம். இது விளைச்சலை நேரடியாக பாதிக்கிறது - ஒரு செதில் ஒன்றுக்கு நல்ல சில்லுகளின் சதவீதம் - மேலும் விளைச்சலில் ஒரு சிறிய வீழ்ச்சி கூட மில்லியன் கணக்கான டாலர்களை இழந்த வருவாயாக மொழிபெயர்க்கலாம். குறைக்கடத்தி உற்பத்தியாளர்.

நவீன நுண்செயலி அல்லது நினைவக சிப்பின் சிக்கலான கட்டமைப்பைப் பற்றி சிந்தியுங்கள். இது பில்லியன் கணக்கான டிரான்சிஸ்டர்களைக் கொண்டுள்ளது, ஒவ்வொன்றும் மினியேச்சர் பொறியியலின் அற்புதம். இந்த டிரான்சிஸ்டர்களின் செயல்திறன் துல்லியமான மின் பண்புகளைப் பொறுத்தது குறைக்கடத்தி பயன்படுத்தப்படும் பொருட்கள், இதையொட்டி, மிகவும் எளிதில் பாதிக்கப்படுகின்றன அசுத்தங்கள். உதாரணமாக, நிச்சயமாக உலோக அசுத்தங்கள் சிலிக்கான் பேண்ட் இடைவெளிக்குள் தேவையற்ற ஆற்றல் நிலைகளை அறிமுகப்படுத்தலாம், இது கசிவு மின்னோட்டத்தை அதிகரிப்பதற்கு அல்லது கேரியர் இயக்கம் குறைவதற்கு வழிவகுக்கும். இதன் பொருள் மெதுவான, குறைவான செயல்திறன் அல்லது முற்றிலும் செயல்படாத சாதனங்கள். வாயு அசுத்தங்கள் ஆக்ஸிஜன் அல்லது ஈரப்பதம் போன்றவை திட்டமிடப்படாத ஆக்சைடு அடுக்குகளை உருவாக்குவதற்கு வழிவகுக்கும், சாதனத்தின் செயல்பாட்டிற்கு முக்கியமான பட தடிமன் அல்லது இடைமுக பண்புகளை மாற்றும். ஒட்டுமொத்த எரிவாயு தரம் நேரடியாக மொழிபெயர்க்கிறது தயாரிப்பு தரம் மற்றும் நம்பகத்தன்மை.

மேலும், தி மின்னணு மற்றும் குறைக்கடத்தி தொழில்கள் மிகவும் சிக்கலான மற்றும் விலையுயர்ந்த உற்பத்தி செயல்முறைகளால் வகைப்படுத்தப்படுகின்றன. ஒரு ஒற்றை குறைக்கடத்தி ஃபேப்ரிகேஷன் ஆலை ("ஃபேப்") உருவாக்க மற்றும் சித்தப்படுத்துவதற்கு பில்லியன் டாலர்கள் செலவாகும். தி பயன்படுத்தப்படும் வாயுக்கள் இந்த விலையுயர்ந்த செயல்முறைப் படிகள் பலவற்றில் ஒருங்கிணைந்தவை. ஒரு என்றால் சிறப்பு வாயு ஒரு மூலம் மாசுபட்டுள்ளது தூய்மையற்றது, இது தற்போது செயலாக்கப்படும் செதில்களை மட்டும் பாதிக்காது; இது விலையுயர்ந்த செயலாக்க உபகரணங்களையே மாசுபடுத்தும். இது துப்புரவு மற்றும் மறுசீரமைப்பிற்கான வேலையில்லா நேரத்தை நீட்டிக்க வழிவகுக்கும், மேலும் செலவுகளைச் சேர்ப்பது மற்றும் உற்பத்தி அட்டவணையை சீர்குலைக்கும் - மார்க் ஷென் போன்ற ஒருவருக்கு இது ஒரு பெரிய வேதனையாகும். எனவே, உறுதி மின்னணு சிறப்பு வாயுக்களின் தூய்மை கடுமையான மூலம் தூய்மையற்ற பகுப்பாய்வு முழு விநியோகச் சங்கிலிக்கும் ஒரு முக்கியமான இடர் குறைப்பு உத்தி ஆகும். கவனம் உயர் தூய்மை வாயுக்கள் பங்குகள் நம்பமுடியாத அளவிற்கு அதிகமாக இருப்பதால் இடைவிடாமல் உள்ளது.

சிறப்பு வாயுக்களில் உள்ள உலோக அசுத்தங்களின் பகுப்பாய்வில் நாம் என்ன முக்கிய சவால்களை எதிர்கொள்கிறோம்?

பகுப்பாய்வு செய்கிறது உலோக அசுத்தங்கள் உள்ளே சிறப்பு வாயுக்கள், குறிப்பாக பயன்படுத்தப்பட்டவை குறைக்கடத்தி தொழில், ஒரு தனித்துவமான சவால்களை முன்வைக்கிறது. முதன்மை சிரமம் இவை மிகக் குறைந்த செறிவுகளில் இருந்து உருவாகிறது அசுத்தங்கள் சிக்கலாக இருக்கலாம் - பெரும்பாலும் பில்லியனுக்கு பாகங்கள் (பிபிபி) அல்லது பார்ட்ஸ் பெர் டிரில்லியன் (பிபிடி) வரம்பில். அத்தகைய நிமிடத் தொகைகளைக் கண்டறிதல் மற்றும் துல்லியமாக கணக்கிடுதல் போன்ற அதிக உணர்திறன் கொண்ட பகுப்பாய்வு கருவிகள் தேவை ICP-MS ஆனால் விதிவிலக்காக ஒரு_பகுத்தாய்வு சூழல்கள் மற்றும் வெளிப்புறத்தை அறிமுகப்படுத்துவதைத் தவிர்க்க துல்லியமான மாதிரி கையாளுதல் நெறிமுறைகள் மாசுபாடு.

ஒரு குறிப்பிடத்தக்க சவால் மாதிரி அறிமுகம். பல சிறப்பு வாயுக்கள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன உள்ளே மின்னணுவியல் அதிக வினைத்திறன், அரிக்கும், அல்லது பைரோபோரிக் (காற்றில் தன்னிச்சையாக பற்றவைக்கும்) இவற்றைப் பாதுகாப்பாகவும் திறம்படவும் மாற்றுதல் வாயுக்கள் போன்ற ஒரு பகுப்பாய்வு கருவியாக ICP-MS மாற்றாமல் மாதிரி வாயு அல்லது கருவியை மாசுபடுத்துவதற்கு சிறப்பு இடைமுகங்கள் மற்றும் கையாளும் நடைமுறைகள் தேவை. உதாரணமாக, நேரடியாக உட்செலுத்துதல் a அரிக்கும் வாயு ஹைட்ரஜன் குளோரைடு (HCl) போன்ற ஒரு தரநிலையில் ICP-MS அமைப்பு அதை கடுமையாக சேதப்படுத்தும். எனவே, இம்பிங்கர் ட்ராப்பிங் போன்ற மறைமுக முறைகள் (ஒரு திரவத்தின் மூலம் வாயுவைக் கைப்பற்றுதல் அசுத்தங்கள்) அல்லது கிரையோஜெனிக் ட்ராப்பிங், பெரும்பாலும் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. இருப்பினும், இந்த முறைகள் அவற்றின் சொந்த சாத்தியமான ஆதாரங்களை அறிமுகப்படுத்தலாம் மாசுபாடு அல்லது சரியாகச் செய்யாவிட்டால் இழப்பை பகுப்பாய்வு செய்யுங்கள். தேர்வு கேரியர் வாயு நீர்த்துப்போக, தேவைப்பட்டால், குறைபாடற்றதாக இருக்க வேண்டும் தூய்மை.

மற்றொரு சவால் "மேட்ரிக்ஸ் விளைவு." மொத்தமாக வாயு தானே (எ.கா., ஆர்கான், நைட்ரஜன், ஹைட்ரஜன்) கண்டறிவதில் தலையிடலாம் தடய அசுத்தங்கள். உதாரணமாக, இல் ICP-MS, மொத்தத்தில் இருந்து பிளாஸ்மா உருவானது வாயு சில இலக்குகளின் அதே நிறை-க்கு-சார்ஜ் விகிதத்தைக் கொண்ட பாலிடோமிக் அயனிகளை உருவாக்க முடியும் உலோக அசுத்தங்கள், தவறான நேர்மறைகள் அல்லது துல்லியமற்ற அளவீடுகளுக்கு வழிவகுக்கும். பகுப்பாய்வாளர்கள் மோதல்/எதிர்வினை செல்கள் போன்ற நுட்பங்களைப் பயன்படுத்த வேண்டும் ICP-MS அல்லது இந்த நிறமாலை குறுக்கீடுகளை சமாளிக்க உயர் தெளிவுத்திறன் கொண்ட மாஸ் ஸ்பெக்ட்ரோமெட்ரி. மேலும், அளவீடு செய்ய பயன்படுத்தப்படும் அளவுத்திருத்த தரநிலைகள் உலோக அசுத்தங்கள் மிகவும் துல்லியமாகவும், கண்டறியக்கூடியதாகவும் இருக்க வேண்டும், மேலும் முழு பகுப்பாய்வு செயல்முறையும் நம்பகத்தன்மையை உறுதிப்படுத்த சரிபார்க்கப்பட வேண்டும் தூய்மையற்ற பகுப்பாய்வு முடிவுகள். ஒரு சப்ளையர் என்ற முறையில் நாங்கள் ஒருமைப்பாடு குறித்தும் கவலைப்படுகிறோம் எரிவாயு சிலிண்டர்கள் மற்றும் அவர்களின் பங்களிப்பு திறன் உலோக அசுத்தங்கள் காலப்போக்கில், இது தொடர்ந்து தரக் கட்டுப்பாடு தேவைப்படுகிறது.

கேஸ் எக்ஸ்சேஞ்ச் சாதனத்தைப் பயன்படுத்துவது, சுவடு அசுத்தங்கள் அளவீட்டின் துல்லியத்தை மேம்படுத்த முடியுமா?

ஆம், எரிவாயு பரிமாற்ற சாதனத்தைப் பயன்படுத்துதல் துல்லியத்தை மேம்படுத்துவதில் உண்மையில் குறிப்பிடத்தக்க பங்கை வகிக்க முடியும் சுவடு அசுத்தங்கள் அளவீடு, குறிப்பாக சவாலை கையாளும் போது வாயு மெட்ரிக்குகள் அல்லது அல்ட்ரா-லோவை இலக்காகக் கொள்ளும்போது கண்டறிதல் வரம்புகள். ஏ எரிவாயு பரிமாற்ற சாதனம், சில நேரங்களில் மேட்ரிக்ஸ் நீக்குதல் அமைப்பு என குறிப்பிடப்படுகிறது, அடிப்படையில் மொத்தத்தை தேர்ந்தெடுத்து அகற்றுவதன் மூலம் செயல்படுகிறது வாயு (இன் முக்கிய கூறு மாதிரி வாயு) கவனம் செலுத்தும் போது தடய அசுத்தங்கள் ஆர்வம். இந்த முன்-செறிவு படி, அடுத்தடுத்த பகுப்பாய்வு நுட்பங்களின் உணர்திறனை வியத்தகு முறையில் மேம்படுத்தலாம் ICP-MS அல்லது வாயு குரோமடோகிராஃப் அமைப்புகள்.

பலவற்றின் பின்னணியில் உள்ள கொள்கை எரிவாயு பரிமாற்ற சாதனங்கள் ஒரு அரை-ஊடுருவக்கூடிய சவ்வு அல்லது தேர்ந்தெடுக்கப்பட்ட உறிஞ்சுதல்/டெஸார்ப்ஷன் பொறிமுறையை உள்ளடக்கியது. எடுத்துக்காட்டாக, ஒரு பல்லேடியம் சவ்வு a இலிருந்து ஹைட்ரஜனைத் தேர்ந்தெடுத்து நீக்கப் பயன்படுகிறது வாயு கலவை, மற்றவற்றை அனுமதிக்கிறது வாயுக்களில் உள்ள அசுத்தங்கள் செறிவூட்டப்பட்டு a க்கு அனுப்பப்பட வேண்டும் கண்டுபிடிப்பான். இதேபோல், குறிப்பிட்ட உறிஞ்சும் பொருட்கள் சிலவற்றைப் பிடிக்கலாம் அசுத்தங்கள் ஒரு பாயும் இருந்து வாயு ஸ்ட்ரீம், இது பின்னர் ஒரு சுத்தமான ஒரு சிறிய அளவு வெப்பம் desorbed முடியும் கேரியர் வாயு பகுப்பாய்வுக்காக. மொத்த அளவைக் குறைப்பதன் மூலம் வாயு அடையும் கண்டுபிடிப்பான், இந்த சாதனங்கள் மேட்ரிக்ஸ் குறுக்கீடுகளைக் குறைக்கின்றன, பின்னணி இரைச்சலைக் குறைக்கின்றன மற்றும் இலக்குக்கான சமிக்ஞை-இரைச்சல் விகிதத்தை திறம்பட அதிகரிக்கின்றன தடய அசுத்தங்கள். இது குறைவதற்கு வழிவகுக்கும் கண்டறிதல் வரம்பு.

நன்மைகள் எரிவாயு பரிமாற்ற சாதனத்தைப் பயன்படுத்துதல் பகுப்பாய்வு செய்யும் போது குறிப்பாகத் தெரியும் மின்னணுவில் உள்ள அசுத்தங்கள் நேரடியாக கையாள கடினமாக இருக்கும் அல்லது பகுப்பாய்வு கருவிகளில் குறிப்பிடத்தக்க குறுக்கீட்டை ஏற்படுத்தும் வாயுக்கள். எடுத்துக்காட்டாக, அதிக வினைத்திறனில் சுவடு ஆக்ஸிஜன் அல்லது ஈரப்பதத்தை அளவிட முயற்சிக்கும்போது சிறப்பு வாயு, ஏ எரிவாயு பரிமாற்ற சாதனம் இவற்றைப் பிரிக்க முடியும் அசுத்தங்கள் மிகவும் தீங்கற்றதாக கேரியர் வாயு போன்ற ஆர்கான் அல்லது அவை அடையும் முன் ஹீலியம் கண்டுபிடிப்பான். இது துல்லியத்தை மேம்படுத்துவது மட்டுமல்லாமல், உணர்திறன் பகுப்பாய்வு கூறுகளையும் பாதுகாக்க முடியும். உற்பத்தியாளராக 99.999% தூய்மை 50L சிலிண்டர் செனான் எரிவாயு, விதிவிலக்கானவற்றைச் சரிபார்ப்பதில் இத்தகைய மேம்பட்ட நுட்பங்களின் மதிப்பை நாங்கள் புரிந்துகொள்கிறோம் தூய்மை அரிதான மற்றும் சிறப்பு வாயுக்கள். இந்த தொழில்நுட்பம் முக்கியமானவற்றில் உதவுகிறது வாயு சுத்திகரிப்பு மற்றும் சரிபார்ப்பு நிலைகள்.

முக்கியமான இணைப்பு: செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியில் நேரடியாகப் பயன்படுத்தப்படும் வாயுக்களில் தூய்மையற்ற பகுப்பாய்வு.

தி குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் நேரடியாகப் பயன்படுத்தப்படும் வாயுக்கள் புனையமைப்பு செயல்முறையின் உயிர்நாடியாகும். இவை மட்டும் அல்ல மொத்த வாயுக்கள் நைட்ரஜன் மற்றும் ஆர்கான், ஆனால் ஒரு பரந்த வரிசை மின்னணு சிறப்பு வாயுக்கள் போன்றவை எபிடாக்சியல் வாயுக்கள் (எ.கா., படிக அடுக்குகளை வளர்ப்பதற்கான சிலேன், ஜெர்மன்) பொறித்தல் வாயுக்கள் (எ.கா., வடிவமைப்புக்காக NF₃, SF₆, Cl₂), அயன் உள்வைப்பு வாயுக்கள் (எ.கா., ஆர்சின், பாஸ்பைன், ஊக்கமருந்துக்கான போரான் டிரைபுளோரைடு), மற்றும் படிவு வாயுக்கள். இவை ஒவ்வொன்றிற்கும் தேவையான வாயுக்கள், ஏற்றுக்கொள்ளக்கூடிய நிலை மற்றும் வகை தூய்மையற்றது எந்த விலகலும் நேரடியாக குறைபாடுகளாக மொழிபெயர்க்கலாம் என்பதால் கடுமையாக வரையறுக்கப்படுகின்றன குறைக்கடத்தி செதில். இது செய்கிறது தூய்மையற்ற பகுப்பாய்வு இவற்றுக்கு செயல்முறை வாயுக்கள் முற்றிலும் முக்கியமான தரக் கட்டுப்பாட்டுப் படி.

டிரான்சிஸ்டர்களில் ஒரு பொதுவான இன்சுலேட்டரான மெல்லிய சிலிக்கான் டை ஆக்சைடு அடுக்கு படிவதைக் கவனியுங்கள். ஆக்ஸிஜன் என்றால் எரிவாயு பயன்படுத்தப்படுகிறது இந்த செயல்முறையில் ஹைட்ரோகார்பன் உள்ளது அசுத்தங்கள், கார்பனை ஆக்சைடு அடுக்கில் இணைத்து, அதன் இன்சுலேடிங் பண்புகளை சிதைத்து, சாதனம் தோல்விக்கு வழிவகுக்கும். இதேபோல், ஒரு செதுக்கல் என்றால் வாயு எதிர்பாராத ஒன்றைக் கொண்டுள்ளது தூய்மையற்றது, இது எட்ச் ரேட் அல்லது செலக்டிவிட்டியை மாற்றலாம், இது மிகவும் பெரிய, மிகச் சிறிய அல்லது தவறாக வடிவமைக்கப்பட்ட அம்சங்களுக்கு வழிவகுக்கும். ஒரு கூட தூய்மையற்றது ஒரு மந்த வாயு போன்ற ஆர்கான் எரிவாயு சிலிண்டர் ஸ்பட்டரிங் செய்ய பயன்படுத்தப்படும் செதில் மேற்பரப்பில் மாற்றப்படும், இது படத்தின் தரத்தை பாதிக்கிறது. ஒரு தாக்கம் தூய்மையற்றது பெரும்பாலும் செயல்முறை சார்ந்தது, அதாவது an தூய்மையற்றது ஒரு கட்டத்தில் பொறுத்துக் கொள்வது முக்கியமானதாக இருக்கலாம் மாசுபடுத்தும் மற்றொன்றில்.

இந்த முக்கியமான இணைப்புக்கு ஒரு விரிவான அணுகுமுறை தேவைப்படுகிறது தூய்மையற்ற பகுப்பாய்வு. இது இறுதி தயாரிப்பைச் சரிபார்ப்பது மட்டுமல்ல; இது மூலப்பொருட்கள், செயலாக்கத்தில் உள்ள ஸ்ட்ரீம்கள் மற்றும் இறுதி ஆகியவற்றைக் கண்காணிப்பதை உள்ளடக்கியது வாயு சுத்திகரிப்பு நிலைகள். க்கு குறைக்கடத்தி சிறப்பு வாயுக்கள், அதற்கான விவரக்குறிப்புகள் குறைக்கடத்தியில் உள்ள அசுத்தங்கள் பயன்பாடுகள் பெரும்பாலும் மிகவும் இறுக்கமானவை, பகுப்பாய்வு கண்டறிதலின் எல்லைகளைத் தள்ளும். நாங்கள் எங்கள் வாடிக்கையாளர்களுடன் நெருக்கமாக வேலை செய்கிறோம் குறைக்கடத்தி மற்றும் மின்னணுவியல் அவர்களின் குறிப்பிட்ட புரிந்து கொள்ள புலம் தூய்மையற்றது வெவ்வேறு உணர்திறன் வாயுக்கள் மற்றும் வாயு கலவைகள். இந்த கூட்டு அணுகுமுறை உறுதிப்படுத்த உதவுகிறது தூய்மை சிறப்பு வாயுக்கள் அவர்களின் மேம்பட்ட உற்பத்தி செயல்முறைகளின் கோரும் தேவைகளை நாங்கள் தொடர்ந்து பூர்த்தி செய்கிறோம். ஒரு கண்டறிவதில் சவால் உள்ளது பரந்த அளவிலான அசுத்தங்கள் எப்போதும் குறையும் நிலைகளில்.

ஆய்வகத்திற்கு அப்பால்: மாசுபடுவதைத் தடுக்க உயர்-தூய்மை குறைக்கடத்தி வாயுக்களைக் கையாளுவதற்கான சிறந்த நடைமுறைகள்.

உறுதி செய்தல் மின்னணு சிறப்பு வாயுக்களின் தூய்மை எப்போது முடிவதில்லை வாயு எங்கள் உற்பத்தி வசதியை விட்டு வெளியேறுகிறது. அதை பராமரித்தல் தூய்மை ஒரு பயன்பாட்டில் அனைத்து வழி குறைக்கடத்தி fab கையாளுதல், சேமிப்பு மற்றும் விநியோகம் ஆகியவற்றில் உன்னிப்பாக கவனம் தேவை. மிக உயர்ந்ததும் கூட தூய்மை வாயு சரியாக நிர்வகிக்கப்படாவிட்டால் மாசுபடலாம். Huazhong எரிவாயுவில், நாங்கள் உற்பத்தி செய்வதில் மட்டும் கவனம் செலுத்தவில்லை உயர் தூய்மை வாயுக்கள் ஆனால் கீழ்நிலையைத் தடுப்பதற்கான சிறந்த நடைமுறைகள் குறித்து எங்கள் வாடிக்கையாளர்களுக்கு ஆலோசனை வழங்கவும் மாசுபாடு.

முக்கிய சிறந்த நடைமுறைகள் அடங்கும்:

• கூறு தேர்வு: எரிவாயு விநியோக அமைப்பில் உள்ள அனைத்து கூறுகளும் - உட்பட எரிவாயு சிலிண்டர்கள், ரெகுலேட்டர்கள், வால்வுகள், குழாய்கள் மற்றும் பொருத்துதல்கள் - பொருத்தமான பொருட்களிலிருந்து (எ.கா. எலக்ட்ரோபாலிஷ் செய்யப்பட்ட துருப்பிடிக்காத எஃகு) தயாரிக்கப்பட வேண்டும் மற்றும் குறிப்பாக சுத்தம் செய்யப்பட்டு சான்றளிக்கப்பட வேண்டும். அதி உயர் தூய்மை (UHP) சேவை. தவறான பொருட்களைப் பயன்படுத்துவது வாயுவை வெளியேற்றுவதற்கு வழிவகுக்கும் அசுத்தங்கள் அல்லது ஏ உலோக அசுத்தம் கசிவு வாயு ஓட்டம்.
• கணினி ஒருமைப்பாடு: எரிவாயு விநியோக அமைப்பு கசிவு-இறுக்கமாக இருக்க வேண்டும். சிறிய கசிவுகள் கூட வளிமண்டலத்தை அனுமதிக்கும் அசுத்தங்கள் ஆக்ஸிஜன், ஈரப்பதம் மற்றும் துகள்கள் கணினியில் நுழைவதற்கான விஷயம், சமரசம் வாயு தூய்மை. வழக்கமான கசிவு சரிபார்ப்பு அவசியம்.
• சுத்திகரிப்பு நடைமுறைகள்: ஒவ்வொரு முறை இணைப்பு செய்யப்படும் போதும் அல்லது சிலிண்டர் மாற்றப்படும் போதும் முறையான சுத்திகரிப்பு நடைமுறைகள் முக்கியமானவை. வரிகளை a உடன் சுத்தப்படுத்துவது இதில் அடங்கும் உயர் தூய்மை மந்த வாயு (போன்ற ஆர்கான் அல்லது நைட்ரஜன்) சிக்கியுள்ள காற்றை அகற்ற அல்லது அசுத்தங்கள். போதிய சுத்திகரிப்பு இல்லாதது ஒரு பொதுவான ஆதாரமாகும் மாசுபாடு. நிலைத்தன்மையை உறுதிப்படுத்த, தானியங்கு சுத்திகரிப்பு பேனல்களை நாங்கள் அடிக்கடி பரிந்துரைக்கிறோம்.
• பிரத்யேக உபகரணங்கள்: பிரத்யேக கட்டுப்பாட்டாளர்கள் மற்றும் குறிப்பிட்ட வரிகளை பயன்படுத்துதல் வாயுக்கள் அல்லது குடும்பங்கள் வாயுக்கள் குறுக்கு மாசுபடுவதை தடுக்க முடியும். ஒரு இடையே மாறும்போது இது மிகவும் முக்கியமானது மந்த வாயு மற்றும் ஒரு எதிர்வினை அல்லது அரிக்கும் வாயு.
• சிலிண்டர் கையாளுதல்: எரிவாயு சிலிண்டர்கள் சேதத்தைத் தவிர்க்க கவனமாகக் கையாள வேண்டும். அவை நியமிக்கப்பட்ட, நன்கு காற்றோட்டமான பகுதிகளில் சேமிக்கப்பட வேண்டும், மேலும் "முதல்-இன், முதல்-வெளியே" சரக்கு மேலாண்மை பயிற்சி செய்யப்பட வேண்டும். பயன்படுத்தி அர்ப்பணிக்கப்பட்ட ஈரப்பதம் மற்றும் ஆக்ஸிஜன் முக்கியமான புள்ளிகளில் உள்ள பகுப்பாய்விகள் இந்த பொதுவான எந்த உட்செலுத்தலையும் கண்காணிக்க உதவும் அசுத்தங்கள்.

மறுவிற்பனைக்காக அல்லது உற்பத்தியில் பயன்படுத்துவதற்காக வாயுக்களை வாங்கும் மார்க் ஷென் போன்ற வாடிக்கையாளர்களுக்கு, இந்த கையாளுதல் நடைமுறைகளைப் புரிந்துகொள்வது இன்றியமையாதது. தயாரிப்பு தரம் அவர்கள் தங்கள் வாடிக்கையாளர்களுக்கு உறுதியளிக்கிறார்கள். இது பகிரப்பட்ட பொறுப்பு. நாங்கள் உறுதி செய்கிறோம் ஹைட்ரஜன் சிலிண்டர் தயாரிப்புகள், எடுத்துக்காட்டாக, தடுக்க நிரப்பப்பட்டு பராமரிக்கப்படுகின்றன தூய்மையற்றது நுழைவு, ஆனால் இறுதி பயனர் அமைப்பு சமமான முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது. எதிரான போராட்டம் தூய்மையற்றது உற்பத்தி முதல் பயன்பாடு வரை தொடர்ச்சியான முயற்சி.

கிரிஸ்டல் பந்தைப் பார்த்தல்: எலக்ட்ரானிக் கிரேடு வாயுக்களுக்கான அசுத்தத்தைக் கண்டறிவதில் என்ன எதிர்கால கண்டுபிடிப்புகளை எதிர்பார்க்கலாம்?

எப்பொழுதும் உயராத தேடல் தூய்மை உள்ளே மின்னணு தர வாயுக்கள் மற்றும் அதிக உணர்திறன் தூய்மையற்ற கண்டறிதல் முறைகள் ஒரு தொடர்ச்சியான பயணமாகும், இது புதுமையின் இடைவிடாத வேகத்தால் இயக்கப்படுகிறது குறைக்கடத்தி தொழில். சாதனத்தின் அம்சங்கள் துணை-10 நானோமீட்டர் மண்டலத்தில் மேலும் சுருங்கி, புதிய பொருட்கள் மற்றும் கட்டமைப்புகள் (3D NAND மற்றும் கேட்-ஆல்-அரவுண்ட் டிரான்சிஸ்டர்கள் போன்றவை) வெளிப்படும் போது, ​​இன்னும் மங்கலான தாக்கம் தடய அசுத்தங்கள் மேலும் உச்சரிக்கப்படும். இது இரண்டிலும் மேலும் முன்னேற்றங்களைத் தேவைப்படும் வாயு சுத்திகரிப்பு தொழில்நுட்பங்கள் மற்றும் தூய்மையற்ற பகுப்பாய்வு திறன்கள்.

பல போக்குகளை நாம் எதிர்பார்க்கலாம்:

• குறைந்த கண்டறிதல் வரம்புகள்: போன்ற பகுப்பாய்வு நுட்பங்கள் ICP-MS, கேஸ் குரோமடோகிராபி-மாஸ் ஸ்பெக்ட்ரோமெட்ரி (ஜிசி-எம்எஸ்) மற்றும் கேவிட்டி ரிங்-டவுன் ஸ்பெக்ட்ரோஸ்கோபி (சிஆர்டிஎஸ்) தொடர்ந்து உருவாகி, தள்ளும் கண்டறிதல் வரம்புகள் ஒரு பரந்த அசுத்தங்களின் வரம்பு ஒற்றை இலக்க ppt நிலைகள் அல்லது ppq டொமைனிலும் கூட. இதற்கு அயனி மூலங்கள், வெகுஜன பகுப்பாய்விகள் மற்றும் புதுமைகள் தேவைப்படும் கண்டுபிடிப்பான் தொழில்நுட்பம்.
• இன்-சிட்டு மற்றும் நிகழ்நேர கண்காணிப்பு: கண்காணிக்கக்கூடிய பகுப்பாய்வு அமைப்புகளுக்கான தேவை அதிகரித்து வருகிறது வாயு தூய்மை நிகழ்நேரத்தில், நேரடியாக உள்ளே பயன்படுத்தும் இடத்தில் குறைக்கடத்தி கற்பனை இது எதையும் உடனடியாக கண்டறிய அனுமதிக்கிறது மாசுபாடு நிகழ்வுகள் அல்லது சறுக்கல்கள் தூய்மையற்றது நிலைகள், விரைவான சரிசெய்தல் நடவடிக்கையை செயல்படுத்துதல் மற்றும் தயாரிப்பு இழப்பைக் குறைத்தல். சிறிய உணரிகள் மற்றும் மேம்பட்ட வேதியியல் அல்காரிதம்கள் இங்கு முக்கிய பங்கு வகிக்கும்.
• சிக்கலான வாயு கலவைகளின் பகுப்பாய்வு: எதிர்காலம் குறைக்கடத்தி செயல்முறைகள் மிகவும் சிக்கலானதாக இருக்கலாம் எரிவாயு கலவைகள் பல எதிர்வினை கூறுகளுடன். பகுப்பாய்வு செய்கிறது அசுத்தங்கள் இத்தகைய சவாலான மெட்ரிக்குகளில் புதிய பகுப்பாய்வு உத்திகள் மற்றும் அதிநவீன தரவு விளக்கக் கருவிகள் தேவைப்படும். ஒரு அளவிடும் திறன் தூய்மையற்றது மற்றவர்களின் குறுக்கீடு இல்லாமல் ஒரு பாகத்தில் முக்கியமானதாக இருக்கும்.
• "கில்லர்" அசுத்தங்கள் மீது கவனம் செலுத்துங்கள்: குறிப்பிட்ட அடையாளம் காண ஆராய்ச்சி தொடரும் குறைக்கடத்தியில் உள்ள அசுத்தங்கள் சாதனத்தின் செயல்திறன் அல்லது விளைச்சலில், மிகக் குறைந்த மட்டங்களில் கூட, விகிதாச்சாரத்தில் பெரிய தாக்கத்தை ஏற்படுத்தும் செயலாக்கம். பகுப்பாய்வு முறைகள் இந்த "கொலையாளிகளை" இலக்கு வைக்கும் அசுத்தங்கள்.
• தரவு பகுப்பாய்வு மற்றும் AI: மேம்பட்டவற்றால் உருவாக்கப்பட்ட பரந்த அளவிலான தரவு தூய்மையற்ற பகுப்பாய்வு போக்குகளை அடையாளம் காணவும், திறனைக் கணிக்கவும் AI மற்றும் இயந்திர கற்றலைப் பயன்படுத்தி அமைப்புகள் மேம்படுத்தப்படும் மாசுபாடு சிக்கல்கள், மற்றும் மேம்படுத்துதல் வாயு சுத்திகரிப்பு செயல்முறைகள். இது வினைத்திறன் சிக்கலைத் தீர்ப்பதற்குப் பதிலாக, செயல்திறன்மிக்க தரக் கட்டுப்பாட்டிற்கு உதவும்.

Huazhong Gas இல், இந்த முன்னேற்றங்களில் முன்னணியில் இருக்க நாங்கள் கடமைப்பட்டுள்ளோம். நாங்கள் தொடர்ந்து ஆராய்ச்சி மற்றும் மேம்பாட்டில் முதலீடு செய்கிறோம், அறிவியலை முன்னேற்ற தொழில் கூட்டாளிகள் மற்றும் கல்வி நிறுவனங்களுடன் ஒத்துழைக்கிறோம் உயர் தூய்மை வாயு உற்பத்தி மற்றும் தூய்மையற்ற பகுப்பாய்வு. எங்கள் வாடிக்கையாளர்களுக்கு, மார்க் ஷென் போன்ற தரம் சார்ந்தவர்கள் உட்பட, இது நம்பகமான விநியோகத்தைக் குறிக்கிறது மின்னணு சிறப்பு வாயுக்கள் இது வளர்ந்து வரும் தேவைகளை பூர்த்தி செய்கிறது மின்னணு மற்றும் குறைக்கடத்தி தொழில்கள். எங்கள் வரம்பு ஹீலியம், அதன் செயலற்ற தன்மை மற்றும் சிறப்புப் பயன்பாடுகளில் பயன்பாட்டிற்கு பெயர் பெற்றது, குறைந்தபட்சம் உறுதிசெய்ய இந்த மேம்பட்ட பகுப்பாய்வு ஆய்வுகளிலிருந்தும் பயனடைகிறது. தூய்மையற்றது நிலைகள்.

நினைவில் கொள்ள வேண்டிய முக்கிய குறிப்புகள்:

• மின்னணு சிறப்பு வாயுக்கள் அடிப்படையானவை குறைக்கடத்தி உற்பத்தி, மற்றும் அவர்களின் தூய்மை பேரம் பேச முடியாதது.
• கூட தடய அசுத்தங்கள், ppb அல்லது ppt இல் அளவிடப்படுகிறது, குறிப்பிடத்தக்க குறைபாடுகள் மற்றும் மகசூல் இழப்பை ஏற்படுத்தும் குறைக்கடத்தி சாதனங்கள்.
• பொதுவானது வாயுக்களில் உள்ள அசுத்தங்கள் மற்ற வாயுக்கள் (O₂, H₂O போன்றவை) அடங்கும் உலோக அசுத்தங்கள், மற்றும் துகள்கள் விஷயம்.
• ICP-MS a கண்டறிவதற்கான அடிப்படை தொழில்நுட்பமாகும் பரந்த அளவிலான அசுத்தங்கள், குறிப்பாக உலோக அசுத்தங்கள், மிகக் குறைந்த அளவில்.
• பராமரித்தல் வாயு தூய்மை இருந்து உன்னிப்பாக கையாளுதல் மற்றும் கணினி ஒருமைப்பாடு தேவைப்படுகிறது எரிவாயு உருளை தடுக்க பயன்படும் அளவிற்கு மாசுபாடு.
• எதிர்காலம் இன்னும் கீழிறங்கும் கண்டறிதல் வரம்புகள், நிகழ் நேர கண்காணிப்பு, மற்றும் AI- உந்துதல் தூய்மையற்ற பகுப்பாய்வு க்கான மின்னணு தரம் வாயுக்கள்.
• ஒவ்வொரு திறனையும் கட்டுப்படுத்துதல் தூய்மையற்றது உறுதி செய்வதற்கு இன்றியமையாதது தயாரிப்பு தரம் மற்றும் நவீன நம்பகத்தன்மை மின்னணுவியல்.