உலகளாவிய குறைக்கடத்தி தொழில்துறையின் விரைவான வளர்ச்சியுடன், சிப் உற்பத்தி செயல்முறைகள் முழுமையாக நானோமீட்டர் சகாப்தத்தில் நுழைந்துள்ளன. இந்த மிகத் துல்லியமான உற்பத்தி செயல்பாட்டில், எந்த நிமிடமும் சுற்றுச்சூழலில் ஏற்படும் ஏற்ற இறக்கம் அல்லது பொருள் தூய்மையின்மை செதில்களின் முழுத் தொகுதியையும் அகற்றுவதற்கு வழிவகுக்கும். எனவே, மின்னணு சிறப்பு வாயுக்கள் மற்றும் உயர் தூய்மை தொழில்துறை வாயுக்கள் ஈடுசெய்ய முடியாத பாத்திரத்தை வகிக்கின்றன. அவற்றில், உயர் தூய்மை திரவ ஆர்கான் அதன் இறுதி இரசாயன செயலற்ற தன்மை மற்றும் சிறந்த இயற்பியல் பண்புகள் காரணமாக செமிகண்டக்டர் ஃபேப்களின் தினசரி செயல்பாடுகளில் தவிர்க்க முடியாத முக்கிய நுகர்வு ஆகும்.

இந்த கட்டுரை சிப் உற்பத்தி செயல்முறைகளில் திரவ ஆர்கானின் முக்கிய பயன்பாடுகளை ஆழமாக பகுப்பாய்வு செய்யும் மற்றும் நிறுவன விநியோக சங்கிலி குழுக்களுக்கான தொழில்முறை கொள்முதல் வழிகாட்டியை வழங்கும்.

முக்கிய பயன்பாடுகள்: செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியில் இருந்து திரவ ஆர்கான் ஏன் பிரிக்க முடியாதது?

ஃப்ரண்ட்-எண்ட்-ஆஃப்-லைன் (FEOL) குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்பாட்டில், குறைக்கடத்திகளுக்கான திரவ ஆர்கான் முதன்மையாக தயாரிப்பு விளைச்சலை நிர்ணயிக்கும் பின்வரும் முக்கிய நிலைகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது:

• உடல் நீராவி படிவு (PVD) / ஸ்பட்டரிங்: அல்ட்ரா-தூய ஆர்கான் வாயு, திரவ ஆர்கானின் வாயுவாக்கத்தால் உருவானது, PVD ஸ்பட்டரிங் செயல்முறைகளில் மிகவும் முக்கிய வேலை செய்யும் வாயு ஆகும். வெற்றிட அறையில், ஆர்கான் அயனிகள் ஒரு மின்சார புலம் மூலம் இலக்கு பொருள் மீது குண்டுகளை வீசுவதற்கு முடுக்கிவிடப்படுகின்றன, இதனால் இலக்கு அணுக்கள் சிதைந்து, உலோகப் படலத்தை உருவாக்குவதற்கு செதில் மேற்பரப்பில் சமமாக வைக்கப்படுகின்றன. படத்தின் அடர்த்தி மற்றும் மின் நிலைத்தன்மையை உறுதிப்படுத்த உயர் தூய்மை ஒரு முன்நிபந்தனை.
• 
  

• முற்றிலும் பாதுகாப்பான மந்த பாதுகாப்பு வளிமண்டலம்: மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கானின் இழுக்கும் செயல்முறை (சோக்ரால்ஸ்கி செயல்முறை போன்றவை) மற்றும் உயர் வெப்பநிலை அனீலிங் செயல்முறைகளின் போது, சிலிக்கான் அதிக வெப்பநிலையில் ஆக்ஸிஜனுடன் எளிதில் வினைபுரிகிறது. ஆகையால், காற்றை மாற்றுவதற்கு ஆர்கான் வாயு தொடர்ந்து அறிமுகப்படுத்தப்பட வேண்டும், ஆக்ஸிஜன் மற்றும் ஈரப்பதத்திலிருந்து தனிமைப்படுத்தப்பட்ட முற்றிலும் செயலற்ற சூழலை வழங்குகிறது, இதன் மூலம் சிலிக்கான் படிக லேட்டிஸின் சரியான வளர்ச்சியை உறுதி செய்கிறது.
• 
  
• கிரையோஜெனிக்ஸ் மற்றும் வேஃபர் கிளீனிங் தொழில்நுட்பம்: எக்ஸ்ட்ரீம் அல்ட்ரா வயலட் (EUV) லித்தோகிராஃபி போன்ற மேம்பட்ட செயல்முறைகளில், திரவ ஆர்கானின் (கொதிநிலை -186 டிகிரி செல்சியஸ்) அதி-குறைந்த வெப்பநிலை பண்புகள் சில நேரங்களில் துல்லியமான உபகரணங்களின் குளிரூட்டும் அமைப்புகளுக்குப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. அதே நேரத்தில், ஆர்கான் ஏரோசல் தொழில்நுட்பம் நானோமீட்டர் அளவிலான இயற்பியல் நுண்ணிய சுத்தம் செதில் பரப்புகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது, இது நிமிட நுண் துகள்களை அழிக்காமல் அகற்றும்.
• 
  

தரம் விளைச்சலைத் தீர்மானிக்கிறது: உயர்-தூய்மை திரவ ஆர்கானின் கடுமையான தரநிலைகள்

குறைக்கடத்தி தொழில்துறையின் மூலப்பொருட்களுக்கான தேவைகள் விதிவிலக்காக கடுமையானவை. சாதாரண தொழில்துறை தர திரவ ஆர்கான் பொதுவாக 99.9% அல்லது 99.99% தூய்மையை அடைய வேண்டும், ஆனால் இது சிப் உற்பத்தியின் தேவைகளை பூர்த்தி செய்வதிலிருந்து வெகு தொலைவில் உள்ளது. க்கு தகுதிவாய்ந்த உயர் தூய்மை திரவ ஆர்கான், அடிப்படைத் தூய்மையானது பொதுவாக 99.999% (5N) ஐ அடைய வேண்டும், மேலும் மேம்பட்ட முனைகளில், அது 99.9999% (6N) அல்லது அதற்கும் அதிகமாகவும் அடைய வேண்டும்.

தூய்மையற்ற கட்டுப்பாடு மிகவும் முக்கியமானது. ஆக்ஸிஜன், நைட்ரஜன், ஈரப்பதம், மொத்த ஹைட்ரோகார்பன்கள் (THC) மற்றும் சுவடு உலோக அயனிகளின் உள்ளடக்கம் ppb (ஒரு பில்லியனுக்கு பாகங்கள்) அல்லது ppt (டிரில்லியன்களுக்கு பாகங்கள்) அளவில் கண்டிப்பாக கட்டுப்படுத்தப்பட வேண்டும். எரிவாயு குழாயில் ஒரு நிமிட அளவு அசுத்தங்கள் கலந்தாலும், அது செதில் மேற்பரப்பில் மைக்ரோ-குறைபாடுகளை உருவாக்கி, சிப் ஷார்ட் சர்க்யூட் அல்லது மின்னோட்டக் கசிவை ஏற்படுத்தி, மகசூல் விகிதத்தை நேரடியாக இழுத்து, பெரும் பொருளாதார இழப்பைக் கொண்டுவரும்.

கொள்முதல் வழிகாட்டி: ஒரு தொழில்முறை திரவ ஆர்கான் சப்ளையரை எவ்வாறு மதிப்பீடு செய்து தேர்ந்தெடுப்பது?

உற்பத்திக் கோடுகளின் செயல்பாட்டில் உயர்-தூய்மை வாயுக்களின் தீர்க்கமான பங்கைக் கருத்தில் கொண்டு, ஒரு முழுமையான தகுதிவாய்ந்த மற்றும் திறமையான திரவ ஆர்கான் சப்ளையரைக் கண்டுபிடித்து பாதுகாப்பது கொள்முதல் மற்றும் விநியோக சங்கிலி குழுக்களுக்கு ஒரு முக்கிய பணியாகும். சாத்தியமான சப்ளையர்களை மதிப்பிடும் போது, பின்வரும் மூன்று பரிமாணங்களில் கவனம் செலுத்த பரிந்துரைக்கப்படுகிறது:

கடுமையான தரக் கட்டுப்பாடு மற்றும் சோதனை திறன்கள்: சிறந்த சப்ளையர்கள் எரிவாயு குரோமடோகிராஃப்கள் (ஜிசி) மற்றும் மாஸ் ஸ்பெக்ட்ரோமீட்டர்கள் (எம்எஸ்) போன்ற உயர்மட்ட சுவடு பகுப்பாய்வு உபகரணங்களுடன் பொருத்தப்பட்டிருக்க வேண்டும். டெலிவரிகளுக்கு இடையே தூய்மையில் முழுமையான நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்வதற்காக அவர்கள் ஒவ்வொரு தொகுதிக்கும் விரிவான COA (பகுப்பாய்வு சான்றிதழ்) வழங்க வேண்டும்.

வலுவான விநியோகச் சங்கிலி மீள்தன்மை மற்றும் விநியோக நிலைத்தன்மை: ஃபேப்ஸ் வழக்கமாக 24/7/365 இயங்கும், மேலும் செயலிழக்க நேரத்தின் விலை மிக அதிகமாக இருக்கும். எனவே, சப்ளையர்கள் மிகப்பெரிய உள்ளூர்மயமாக்கப்பட்ட திரவ சேமிப்பு திறன்கள், தங்களுடைய சொந்த கிரையோஜெனிக் டேங்கர் லாரிகள் மற்றும் அவசர விநியோக உத்தரவாதத்திற்கான விரிவான தற்செயல் திட்டங்கள் ஆகியவற்றைக் கொண்டிருக்க வேண்டும்.

மேம்பட்ட கொள்கலன்கள் மற்றும் "இரண்டாம் நிலை மாசுபாடு" எதிர்ப்பு தொழில்நுட்பம்: எரிவாயு தூய்மை எவ்வளவு அதிகமாக இருந்தாலும், போக்குவரத்தின் போது மாசுபட்டால் அது பயனற்றது. சப்ளையர்களின் கிரையோஜெனிக் சேமிப்பு தொட்டிகள் மற்றும் டேங்கர் உள்சுவர் சுத்திகரிப்பு தொழில்நுட்பங்கள் (எலக்ட்ரோ பாலிஷிங்/EP சிகிச்சைக்கு உட்படுத்தப்பட்டதா போன்றவை) மற்றும் நிரப்புதல் மற்றும் பரிமாற்ற நிலைகளின் போது வால்வு மற்றும் பைப்லைன் சுத்திகரிப்புக்கான நிலையான இயக்க முறைகள் (SOP) ஆகியவற்றில் கவனம் செலுத்தப்பட வேண்டும்.

முடிவுரை

மூரின் சட்டத்தின் தொடர்ச்சியான முன்னேற்றத்தின் கீழ், உயர் தூய்மை திரவ ஆர்கான் ஒரு அடிப்படை நுகர்வு மட்டுமல்ல, மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளுக்கான "கண்ணுக்கு தெரியாத துணை" ஆகும். அறிவியல் ரீதியாகவும் கடுமையாகவும் மதிப்பீடு செய்து தேர்வு செய்தல் திரவ ஆர்கான் சப்ளையர் செமிகண்டக்டர்களுக்கான திரவ ஆர்கானின் உயர்தர மற்றும் நிலையான விநியோகத்தை உறுதி செய்வதற்கான விரிவான வலிமையுடன், ஒவ்வொரு குறைக்கடத்தி உற்பத்தி நிறுவனத்திற்கும் செயல்முறை விளைச்சலை மேம்படுத்துவதற்கும் உலகளாவிய சந்தை போட்டியில் வெற்றி பெறுவதற்கும் முக்கிய அடித்தளமாக உள்ளது.