தொழில்துறை அம்மோனியா (NH₃) செமிகண்டக்டர்கள், புதிய ஆற்றல் மற்றும் இரசாயனங்கள் போன்ற உயர்தர உற்பத்தித் துறைகளில் எரிவாயு தூய்மைக்கான கடுமையான தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்யும், 99.999% (5N கிரேடு) க்கும் அதிகமான தூய்மையுடன், மேம்பட்ட சுத்திகரிப்பு தொழில்நுட்பம் மற்றும் கடுமையான தரக் கட்டுப்பாட்டு அமைப்பு ஆகியவற்றைப் பயன்படுத்தி உற்பத்தி செய்யப்படுகிறது. தயாரிப்பு தேசிய தரநிலை GB/T 14601-2021 "தொழில்துறை அம்மோனியா" மற்றும் சர்வதேச SEMI, ISO மற்றும் பிற விவரக்குறிப்புகளுடன் இணங்குகிறது, மேலும் உயர் நிலைத்தன்மை மற்றும் பாதுகாப்பு இரண்டையும் கொண்டுள்ளது.

தொழில்துறை அம்மோனியாவின் பயன்பாடு என்ன?

பான்-செமிகண்டக்டர் மற்றும் எலக்ட்ரானிக் உற்பத்தி

சிப்/பேனல் தயாரிப்பு: சிலிக்கான் நைட்ரைடு/கேலியம் நைட்ரைடு மெல்லிய படப் படிவு மற்றும் செதுக்கல் செயல்முறைகளுக்கு உயர்-துல்லியமான செயலாக்கத்தை உறுதி செய்யப் பயன்படுகிறது.

LED உற்பத்தி: ஒளி-உமிழும் சாதனங்களின் செயல்திறனை மேம்படுத்த GaN எபிடாக்சியல் அடுக்குகளை உருவாக்க நைட்ரஜன் மூலமாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

புதிய ஆற்றல் மற்றும் ஒளிமின்னழுத்தம்

சூரிய மின்கலங்கள்: ஒளிமின்னழுத்த மாற்றத் திறனை மேம்படுத்த PECVD செயல்பாட்டில் சிலிக்கான் நைட்ரைடு எதிர்ப்புப் பிரதிபலிப்பு அடுக்குகளை உருவாக்குகிறது.

மேற்பரப்பு சிகிச்சை மற்றும் உலோக செயலாக்கம்

உலோக நைட்ரைடிங்: உடைகள் எதிர்ப்பு மற்றும் சோர்வு எதிர்ப்பை அதிகரிக்க இயந்திர பாகங்களை கடினப்படுத்துதல்.

வெல்டிங் பாதுகாப்பு: உலோகங்களின் உயர் வெப்பநிலை ஆக்சிஜனேற்றத்தைத் தடுக்கும் வாயுவைக் குறைக்கிறது.

இரசாயன மற்றும் சுற்றுச்சூழல் பாதுகாப்பு

டினிட்ரிஃபிகேஷன் மற்றும் உமிழ்வு குறைப்பு: நைட்ரஜன் ஆக்சைடு (NOx) உமிழ்வைக் குறைக்க அனல் மின் உற்பத்தி/ரசாயன ஆலைகளில் SCR டீனிட்ரிஃபிகேஷனுக்குப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

இரசாயன தொகுப்பு: யூரியா மற்றும் நைட்ரிக் அமிலம் போன்ற அடிப்படை இரசாயன மூலப்பொருட்களின் உற்பத்திக்கான முக்கிய மூலப்பொருட்கள்.

அறிவியல் ஆராய்ச்சி மற்றும் மருத்துவ பராமரிப்பு

ஆய்வக பகுப்பாய்வு: பொருள் ஆராய்ச்சி மற்றும் தொகுப்புக்கான கேரியர் வாயு அல்லது எதிர்வினை வாயுவாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

குறைந்த வெப்பநிலை கருத்தடை: மலட்டு பாதுகாப்பை உறுதி செய்வதற்கான மருத்துவ உபகரணங்களின் கருத்தடை செயல்முறையில் ஒரு முக்கிய ஊடகம்.

தயாரிப்பு நன்மைகள்: 99.999%+ வரை தூய்மை, அசுத்தங்கள் ≤0.1ppm, உயர்தர உற்பத்தித் தேவைகளுக்கு ஏற்றது; நெகிழ்வான சப்ளை (சிலிண்டர்/சேமிப்பு தொட்டி/டேங்க் டிரக்), முழு செயல்முறை பாதுகாப்பு சான்றிதழ்.

மூன்று வகையான தொழில்துறை அம்மோனியா என்ன?

தொழில்துறை தர அம்மோனியா

பயன்கள்: உலோக நைட்ரைடிங் கடினப்படுத்துதல், இரசாயன தொகுப்பு (யூரியா/நைட்ரிக் அமிலம்), வெல்டிங் பாதுகாப்பு, சுற்றுச்சூழலுக்கு உகந்த டினிட்ரிஃபிகேஷன் (SCR).

அம்சங்கள்: தூய்மை ≥ 99.9%, பொது தொழில்துறை தேவைகளை பூர்த்தி செய்தல், செலவு குறைந்த.

எலக்ட்ரானிக் தர உயர் தூய்மை அம்மோனியா

பயன்கள்: குறைக்கடத்தி சில்லுகள் (சிலிக்கான் நைட்ரைடு படிவு), LED எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி, ஒளிமின்னழுத்த செல்கள் (PECVD எதிர்ப்பு பிரதிபலிப்பு அடுக்கு).

அம்சங்கள்: தூய்மை ≥ 99.999% (5N தரம்), முக்கிய அசுத்தங்கள் (H₂O/O₂) ≤ 0.1ppm, துல்லியமான செயல்முறை மாசுபாட்டைத் தவிர்க்கிறது.

திரவ அம்மோனியா

பயன்கள்: பெரிய அளவிலான இரசாயன உற்பத்தி (செயற்கை அம்மோனியா போன்றவை), தொழில்துறை குளிர்பதன அமைப்புகள், மொத்த டீனிட்ரிஃபிகேஷன் ஏஜென்ட் சப்ளை.

அம்சங்கள்: உயர் அழுத்த திரவமாக்கப்பட்ட சேமிப்பு, அதிக போக்குவரத்து திறன், பெரிய அளவிலான பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றது.

தொழில்துறை அம்மோனியா எவ்வாறு உற்பத்தி செய்யப்படுகிறது?

மூலப்பொருள் தொகுப்பு (முக்கியமாக ஹேபர் செயல்முறை)

மூலப்பொருட்கள்: ஹைட்ரஜன் (H₂, இயற்கை எரிவாயு சீர்திருத்தம்/நீர் மின்னாற்பகுப்பு) + நைட்ரஜன் (N₂, காற்று பிரிப்பதன் மூலம் தயாரிக்கப்படுகிறது).

எதிர்வினை: இரும்பு அடிப்படையிலான வினையூக்கிகள் அதிக வெப்பநிலை (400-500℃) மற்றும் உயர் அழுத்தத்தில் (15-25MPa) NH₃ தொகுப்பை ஊக்குவிக்கின்றன.

வாயு சுத்திகரிப்பு

டீசல்ஃபரைசேஷன்/டிகார்பனைசேஷன்: வினையூக்கி நச்சுத்தன்மையைத் தவிர்ப்பதற்காக அட்ஸார்பென்ட்கள் (செயல்படுத்தப்பட்ட கார்பன் மற்றும் மூலக்கூறு சல்லடை போன்றவை) மூல வாயுவிலிருந்து சல்பைடு மற்றும் CO போன்ற அசுத்தங்களை அகற்றவும்.

அம்மோனியா சுத்திகரிப்பு

பல-நிலை சுத்திகரிப்பு: தூய்மை ≥99.9% (தொழில்துறை தரம்) அல்லது ≥99.999% (மின்னணு தரம்) உறுதி செய்ய குறைந்த வெப்பநிலை வடிகட்டுதல் (-33℃ திரவமாக்கல் பிரித்தல்) + முனைய வடிகட்டுதல் (மைக்ரான் அளவிலான துகள்களை அகற்றவும்) பயன்படுத்தவும்.

சேமிப்பு மற்றும் பேக்கேஜிங்

வாயு நிலை: எஃகு சிலிண்டர்களில் அழுத்தப்பட்ட நிரப்புதல் (40L நிலையான விவரக்குறிப்பு).

திரவ நிலை: போக்குவரத்து செயல்திறனை மேம்படுத்த குறைந்த வெப்பநிலை திரவமாக்கலுக்குப் பிறகு சேமிப்பு தொட்டிகள் அல்லது தொட்டி டிரக்குகளில் சேமிக்கவும்.

அம்மோனியா எவ்வாறு வகைப்படுத்தப்படுகிறது?

தூய்மை நிலை மூலம் வகைப்பாடு

தொழில்துறை தர அம்மோனியா

தூய்மை: ≥99.9%

பயன்கள்: இரசாயன தொகுப்பு (யூரியா/நைட்ரிக் அமிலம்), உலோக நைட்ரைடிங், சுற்றுச்சூழல் பாதுகாப்பு டெனிட்ரிஃபிகேஷன் (SCR), வெல்டிங் பாதுகாப்பு.

அம்சங்கள்: குறைந்த விலை, பொதுவான தொழில்துறை காட்சிகளுக்கு ஏற்றது.

எலக்ட்ரானிக் தர உயர் தூய்மை அம்மோனியா

தூய்மை: ≥99.999% (5N தரம்)

பயன்கள்: குறைக்கடத்தி மெல்லிய படப் படிவு (சிலிக்கான் நைட்ரைடு/கேலியம் நைட்ரைடு), எல்இடி எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி, ஒளிமின்னழுத்த செல் எதிர்-பிரதிபலிப்பு அடுக்கு (PECVD).

அம்சங்கள்: அசுத்தங்கள் (H₂O/O₂) ≤0.1ppm, துல்லியமான செயல்முறை மாசுபாட்டைத் தவிர்ப்பது, அதிக விலை.

உடல் வடிவம் மூலம் வகைப்பாடு

வாயு அம்மோனியா

பேக்கேஜிங்: உயர் அழுத்த ஸ்டீல் சிலிண்டர்கள் (40L நிலையான பாட்டில்கள் போன்றவை), சிறிய அளவிலான நெகிழ்வான பயன்பாட்டிற்கு வசதியானது.

காட்சி: ஆய்வகம், சிறிய தொழிற்சாலை, உபகரணங்கள் பாதுகாப்பு எரிவாயு.

திரவ அம்மோனியா (திரவ அம்மோனியா)

சேமிப்பு: குறைந்த வெப்பநிலை மற்றும் உயர் அழுத்த திரவமாக்கல், சேமிப்பு தொட்டி அல்லது தொட்டி டிரக் போக்குவரத்து.

காட்சிகள்: பெரிய அளவிலான இரசாயன தொகுப்பு (உரங்கள் போன்றவை), அனல் மின்நிலைய டீனிட்ரிஃபிகேஷன் (SCR), தொழில்துறை குளிர்பதன அமைப்புகள்.

பயன்பாட்டு பகுதிகளால் பிரிக்கப்பட்டது

இரசாயன அம்மோனியா: செயற்கை யூரியா மற்றும் நைட்ரிக் அமிலம் போன்ற அடிப்படை இரசாயன மூலப்பொருட்கள்.

மின்னணு சிறப்பு வாயுக்கள்: உயர் தூய்மை அம்மோனியா குறைக்கடத்தி, ஒளிமின்னழுத்தம் மற்றும் LED உற்பத்தியில்.

சுற்றுச்சூழல் அம்மோனியா: அனல் மின்சாரம்/ரசாயன ஆலை நீக்கம் மற்றும் உமிழ்வு குறைப்பு (SCR செயல்முறை).

மருத்துவ அம்மோனியா: குறைந்த வெப்பநிலை கருத்தடை, ஆய்வக பகுப்பாய்வு எதிர்வினைகள்.

தொழிற்சாலை அம்மோனியாவை எவ்வாறு வெளியிடுகிறது?

உற்பத்தி மற்றும் பயன்பாட்டின் போது உமிழ்வுகள்

செயற்கை அம்மோனியா ஆலை: செயல்முறை கழிவு வாயு, உபகரண முத்திரை இறுக்கமாக இல்லாததால் தடய கசிவு ஏற்படுகிறது.

இரசாயன/எலக்ட்ரானிக்ஸ் ஆலை: நைட்ரைடிங் மற்றும் செதுக்குவதற்கு அம்மோனியாவைப் பயன்படுத்தும் போது, ​​முழுமையாக வினைபுரியாத எஞ்சிய வாயு வெளியிடப்படுகிறது.

சேமிப்பு மற்றும் போக்குவரத்து கசிவு: சேமிப்பு தொட்டிகள்/பைப்லைன்கள் வயதானதால் ஏற்படும் தற்செயலான கசிவு, வால்வு செயலிழப்பு அல்லது இயக்க பிழைகள்.

கட்டுப்பாட்டு நடவடிக்கைகள்

தொழில்நுட்ப தடுப்பு மற்றும் கட்டுப்பாடு: மூடிய உற்பத்தி செயல்முறையை பின்பற்றவும், கழிவு வாயுவை சுத்திகரிக்க SCR / உறிஞ்சுதல் கோபுரத்தை நிறுவவும்.

கண்காணிப்பு இணக்கம்: நிகழ்நேர எரிவாயு கண்டறிதல் + அகச்சிவப்பு இமேஜிங் கண்காணிப்பு, "காற்று மாசு தடுப்பு மற்றும் கட்டுப்பாடு சட்டம்" மற்றும் பிற விதிமுறைகளின் தேவைகளுக்கு இணங்க.

Huazhong எரிவாயு வழங்குகிறது உயர் தூய்மை தொழில்துறை அம்மோனியா, ஆற்றல் சேமிப்பு மற்றும் திறமையான உற்பத்தி செயல்முறை, நெகிழ்வான மற்றும் மாறுபட்ட விநியோக முறைகள். அனைத்து தரப்பு மக்களுக்கும் பாதுகாப்பான மற்றும் நம்பகமான தீர்வுகளை உறுதி செய்வதற்காக எங்கள் தயாரிப்புகள் சர்வதேச தரத்தை பூர்த்தி செய்கின்றன.