உங்கள் பாக்கெட்டில் உள்ள ஸ்மார்ட்போன், உங்கள் மேசையில் உள்ள கணினி, உங்கள் காரில் உள்ள மேம்பட்ட அமைப்புகள் - இவை எதுவும் சிறப்பு வாயுக்களின் அமைதியான, கண்ணுக்குத் தெரியாத வேலை இல்லாமல் சாத்தியமில்லை. ஒரு தொழில்துறை எரிவாயு தொழிற்சாலையின் உரிமையாளராக, நான், ஆலன், இந்த முக்கியமான பொருட்கள் எவ்வாறு நவீன தொழில்நுட்பத்தின் அடித்தளமாக அமைகின்றன என்பதை நேரில் பார்த்திருக்கிறேன். சிக்கலான உலகளாவிய விநியோகச் சங்கிலியை வழிநடத்தும் மார்க் ஷென் போன்ற வணிகத் தலைவர்களுக்கு, இந்த வாயுக்களைப் புரிந்துகொள்வது புதிய வாய்ப்புகளைத் திறப்பதற்கு முக்கியமாகும். இந்தத் துறையில் உள்ள மிக முக்கியமான வீரர்களில் ஒருவருக்கு இந்தக் கட்டுரை உங்கள் விரிவான வழிகாட்டியாகும்: நைட்ரஜன் ட்ரைபுளோரைடு (NF₃). இந்த சக்தியை நாங்கள் புறக்கணிப்போம் வாயு, அதன் முக்கிய பங்கை ஆராயுங்கள் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறை, மற்றும் அதன் தரம் மற்றும் வழங்கல் முழுமைக்கும் ஏன் முக்கியமானது என்பதை விளக்கவும் எலக்ட்ரானிக்ஸ் உற்பத்தி தொழில்.

நைட்ரஜன் ட்ரைஃப்ளூரைடு (NF₃) வாயு என்றால் என்ன?

முதல் பார்வையில், நைட்ரஜன் ட்ரைபுளோரைடு, பெரும்பாலும் அதன் வேதியியல் சூத்திரத்தால் குறிப்பிடப்படுகிறது NF₃, மற்றொரு தொழில்துறை போல் தோன்றலாம் வாயு. இது நிறமற்றது, தீப்பிடிக்காதது மற்றும் சற்று மணம் வீசும் கலவை. இருப்பினும், உலகில் மேம்பட்ட உற்பத்தி, இது வாயு ஒரு உயர் செயல்திறன் கருவியாகும். இது செயற்கை முறையில் தயாரிக்கப்பட்டது கலவை ஒரு நைட்ரஜன் அணு மற்றும் மூன்றால் ஆனது புளோரின் அணுக்கள். அதன் சக்தியின் திறவுகோல் இந்த கட்டமைப்பில் உள்ளது. அறை வெப்பநிலையில், NF₃ ஒப்பீட்டளவில் நிலையானது மற்றும் செயலற்ற, அதிக கொந்தளிப்பான வாயுக்களுடன் ஒப்பிடும்போது அதைக் கொண்டு செல்வதற்கும் கையாளுவதற்கும் பாதுகாப்பானது.

ஆற்றல் பயன்படுத்தப்படும் போது மந்திரம் நிகழ்கிறது. உள்ளே உயர் ஆற்றல் நிலைமைகளின் கீழ் a குறைக்கடத்தி ஒரு போன்ற உற்பத்தி கருவி பிளாஸ்மா அறை, தி NF₃ மூலக்கூறுகள் சிதைந்துவிடும். அவை உடைந்து அதிக அளவில் வெளியிடுகின்றன எதிர்வினை புளோரின் தீவிரவாதிகள். நுண்ணிய அளவில் கட்டுப்படுத்தப்பட்ட வெடிப்பு என நினைத்துப் பாருங்கள். இவை இலவசம் புளோரின் அணுக்கள் தேவையற்ற பொருட்களுடன் வினைபுரிந்து அகற்றுவதில் நம்பமுடியாத அளவிற்கு பயனுள்ளதாக இருக்கும், குறிப்பாக சிலிக்கான் மற்றும் அதன் கலவைகள். இந்த திறன் உங்களுக்குத் தேவைப்படும்போது நிலையானதாகவும் அதிகமாகவும் இருக்கும் எதிர்வினை நீங்கள் விரும்பும் போது அது செய்கிறது நைட்ரஜன் ட்ரைபுளோரைடு வாயு துல்லியமான உலகில் ஒரு விலைமதிப்பற்ற சொத்து சிப் உற்பத்தி.

இந்த தனித்துவமான இரட்டை இயல்பு ஏன் NF₃ நவீனத்தின் அடிக்கல்லாக மாறியுள்ளது குறைக்கடத்தி உற்பத்தி. அதன் ஸ்திரத்தன்மை விநியோகச் சங்கிலியில் பாதுகாப்பு மற்றும் நம்பகத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது, அதே சமயம் அதன் வினைத்திறன் உற்பத்தியாளர்களுக்குத் தேவையான உயர் செயல்திறன் துப்புரவு மற்றும் பொறித்தல் திறன்களை வழங்குகிறது. நாங்கள் ஆழமாக ஆராயும்போது, ​​இது எப்படி எளிமையானது என்பதை நீங்கள் காண்பீர்கள் வாயு பூமியில் மிகவும் சிக்கலான சாதனங்களை உருவாக்க உதவுகிறது.

செமிகண்டக்டர் தொழில்துறைக்கு சிறப்பு வாயுக்கள் ஏன் அவசியம்?

முக்கியத்துவத்தை புரிந்து கொள்ள NF₃, அந்த பரந்த பங்கை நாம் முதலில் பாராட்ட வேண்டும் வாயுக்கள் அவசியம் இல் குறைக்கடத்தி தொழில். உற்பத்தி ஒரு ஒருங்கிணைந்த சுற்று உங்கள் சிறுபடத்தின் அளவு கேன்வாஸில் வானளாவிய கட்டிடத்தை உருவாக்குவது போன்றது. இது பல்வேறு பொருட்களின் டஜன் கணக்கான தீவிர மெல்லிய அடுக்குகளைச் சேர்ப்பது மற்றும் அகற்றுவது சிலிக்கான் செதில். ஒவ்வொரு அடியும், ஒரு வெறுமையை உருவாக்குவது முதல் செதில் இறுதி சிப்பில், கவனமாகக் கட்டுப்படுத்தப்பட்ட சிறப்புச் சூழலை நம்பியுள்ளது மின்னணு வாயுக்கள்.

இந்த வாயுக்கள் பல முக்கியமான செயல்பாடுகளைச் செய்கின்றன. சில, போன்றவை ஆர்கான் மற்றும் ஹீலியம், ஒரு நிலையான, வினைத்திறன் இல்லாத சூழலை உருவாக்க மற்றும் அதிக எதிர்வினை வாயுக்களை நீர்த்துப்போகச் செய்ய மந்த கேரியர் வாயுக்களாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. மற்றவை பயன்படுத்தப்படுகின்றன படிவு, எங்கே ஒரு வாயு பயன்படுத்தப்படுகிறது வைப்பு பொருளின் ஒரு மெல்லிய படலம் செதில். உதாரணமாக, இரசாயனத்தில் நீராவி வைப்பு (CVD), வாயுக்கள் வினைபுரிந்து ஒரு திடப் படலத்தை உருவாக்குகின்றன, அது சிப்பின் சுற்றுவட்டத்தின் ஒரு பகுதியாக மாறும். பின்னர் பொறித்தல் வாயுக்கள் உள்ளன NF₃, இந்த அடுக்குகளில் உள்ள வடிவங்களை துல்லியமாக செதுக்க பயன்படுகிறது, மின்சாரம் பாய்வதற்கான சிக்கலான பாதைகளை உருவாக்குகிறது.

ஒரு நிலையான இல்லாமல், அல்ட்ரா-உயர் தூய்மை இந்த பல்வேறு வாயுக்களின் வழங்கல், முழுவதும் உற்பத்தி செயல்முறை அரைக்க வேண்டும். ஒரு சிறுமையும் கூட தூய்மையற்றது ஒரு வாயு ஒரு நிறுவனத்திற்கு மில்லியன் கணக்கான டாலர்களை செலவழிக்கும் செதில்களின் முழு தொகுப்பையும் அழிக்க முடியும். இதனாலேயே குறைக்கடத்தி உற்பத்தியாளர்கள் தங்கள் எரிவாயு சப்ளையர்களின் தரம் மற்றும் நம்பகத்தன்மைக்கு நம்பமுடியாத அளவிற்கு உணர்திறன். இன் தூய்மை வாயு நேரடியாக தரம் மற்றும் உற்பத்தி மகசூல் இறுதி தயாரிப்பு.

செமிகண்டக்டர் உற்பத்தி செயல்முறைகளில் NF₃ எரிவாயு எவ்வாறு பயன்படுத்தப்படுகிறது?

நைட்ரஜன் ட்ரைபுளோரைடு இரண்டு முதன்மை, முக்கியமான பயன்பாடுகளைக் கொண்டுள்ளது குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகள்: பிளாஸ்மா பொறித்தல் மற்றும் அறை சுத்தம் செய்தல். செயலிகள் முதல் உயர் செயல்திறன் மைக்ரோசிப்களை உருவாக்க இரண்டும் அவசியம் NAND ஃபிளாஷ் நினைவகம்.

முதலில், பொறித்தல் பற்றி பேசலாம். போன்ற பொருள் ஒரு அடுக்கு பிறகு சிலிக்கான் டை ஆக்சைடு a இல் டெபாசிட் செய்யப்படுகிறது செதில், ஒரு முறை ஒளியைப் பயன்படுத்தி அதன் மீது திட்டமிடப்பட்டுள்ளது. தி முதலியன செயல்முறை பின்னர் பாதுகாப்பற்ற பகுதிகளில் இருந்து பொருட்களை நீக்குகிறது. NF₃ ஒரு அறைக்குள் அறிமுகப்படுத்தப்பட்டு ஒரு உருவாக்க ஆற்றல் அளிக்கப்படுகிறது பிளாஸ்மா- சார்ஜ் செய்யப்பட்ட மேகம் அயனி துகள்கள் மற்றும் எதிர்வினை புளோரின் தீவிரவாதிகள். இந்த தீவிரவாதிகள் துல்லியமாக குண்டுகளை வீசுகிறார்கள் செதில் மேற்பரப்பு, உடன் எதிர்வினை சிலிக்கான் மற்றும் அதை a ஆக மாற்றுகிறது வாயு கலவை (சிலிக்கான் டெட்ராபுளோரைடு) அறையிலிருந்து எளிதாக வெளியேற்ற முடியும். இந்த செயல்முறையின் துல்லியம் மனதைக் கவரும் வகையில் உள்ளது, இது மனித முடியை விட ஆயிரக்கணக்கான மடங்கு மெல்லிய அம்சங்களை செதுக்க பொறியாளர்களை அனுமதிக்கிறது.

இரண்டாவது மற்றும் மிகவும் பொதுவானது, நைட்ரஜன் ட்ரைபுளோரைடு பயன்பாடு என உள்ளது எரிவாயு சுத்தம். போது இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) செயல்முறை, அங்கு மெல்லிய படங்கள் வளர்க்கப்படுகின்றன செதில், செயல்முறை அறையின் உட்புற சுவர்களில் தேவையற்ற பொருள்களும் உருவாகின்றன. இது எச்சம், அடிக்கடி செய்யப்படுகிறது சிலிக்கான் அல்லது சிலிக்கான் நைட்ரைடு, ஒவ்வொன்றையும் செயலாக்குவதற்கு இடையே முற்றிலும் அகற்றப்பட வேண்டும் செதில் அல்லது செதில்களின் தொகுதி. இல்லையெனில், இந்த பில்டப் பிளவுபட்டு அடுத்ததாக தரையிறங்கலாம் செதில், ஒரு குறைபாட்டை ஏற்படுத்தும். இங்கே, NF₃ வெற்று அறைக்குள் செலுத்தப்படுகிறது மற்றும் a பிளாஸ்மா பற்றவைக்கப்படுகிறது. சக்தி வாய்ந்தது புளோரின் தீவிரவாதிகள் அறையின் சுவர்களை சுத்தம் செய்து, திடப்பொருளாக மாற்றும் எச்சம் ஒரு வாயு துணை தயாரிப்பு அது எளிதாக நீக்கப்படும். இந்த துப்புரவு சுழற்சி பராமரிக்க முக்கியமானது உற்பத்தி சூழலின் தூய்மை மற்றும் உயர்வை உறுதி செய்தல் உற்பத்தி மகசூல்.

மாற்றுகளுடன் ஒப்பிடும்போது NF₃ ஒரு சிறந்த துப்புரவு வாயுவாக மாறுவது எது?

பல ஆண்டுகளாக, தி குறைக்கடத்தி தொழில் கார்பன் டெட்ராபுளோரைடு (CF₄) மற்றும் ஹெக்ஸாபுளோரோஎத்தேன் (C₂F₆) சுத்தம் செய்வதற்கும் பொறிப்பதற்கும். பயனுள்ளதாக இருக்கும்போது, ​​​​இந்த கலவைகள் ஒரு பெரிய குறைபாட்டுடன் வந்தன: அவை மிக நீண்ட வளிமண்டல ஆயுட்காலம் கொண்ட மிகவும் சக்திவாய்ந்த பசுமை இல்ல வாயுக்கள். எடுத்துக்காட்டாக, C₂F₆ உள்ளது அதிக புவி வெப்பமடைதல் சாத்தியம் (GWP) மற்றும் 10,000 ஆண்டுகள் வளிமண்டலத்தில் நிலைத்திருக்கும். சுற்றுச்சூழல் கட்டுப்பாடுகள் கடுமையாக்கப்பட்டதால், தொழில்துறைக்கு ஒரு சிறந்த தீர்வு தேவைப்பட்டது.

இது எங்கே NF₃ தெளிவான வெற்றியாளராக வெளிப்பட்டது. போது நைட்ரஜன் ட்ரைபுளோரைடு என்பதும் ஏ சக்திவாய்ந்த பசுமை இல்ல வாயு, இது மிகக் குறைவான வளிமண்டல வாழ்நாளைக் கொண்டுள்ளது (சுமார் 500 ஆண்டுகள்). மிக முக்கியமாக, சுத்தம் செய்யும் செயல்பாட்டில் இது மிகவும் திறமையானது. உள்ளே பிளாஸ்மா அறை, மிக அதிக சதவீதம் NF₃ மூலக்கூறுகள் அவற்றின் எதிர்வினையை வெளியிட உடைகின்றன புளோரின் PFCகளுடன் ஒப்பிடும்போது. இதன் பொருள் குறைவு எதிர்வினையாற்றவில்லை வாயு அறையிலிருந்து தீர்ந்து விட்டது. நவீனமானது குறைக்கடத்தி ஃபேப்ஸ் கிட்டத்தட்ட அனைத்தையும் அழிக்கும் குறைப்பு அமைப்புகளை (ஸ்க்ரப்பர்கள்) நிறுவவும் எதிர்வினையாற்றவில்லை NF₃ மற்றும் தீங்கு விளைவிக்கும் துணை தயாரிப்பு வாயுக்கள் வெளியிடப்படுவதற்கு முன்.

அதிக செயல்திறன் மற்றும் மிகவும் பயனுள்ள குறைப்பு ஆகியவற்றின் கலவையானது உண்மையானது என்று பொருள் பசுமை இல்ல வாயு வெளியேற்றம் பயன்படுத்துவதில் இருந்து NF₃ பழைய PFC வாயுக்களை விட கணிசமாக குறைவாக உள்ளது. இந்த சிறந்த செயல்திறன் அதன் பரவலான தத்தெடுப்புக்கு ஒரு முக்கிய காரணமாகும்.

உயர் தூய்மை நைட்ரஜன் ட்ரைபுளோரைடு எவ்வாறு உற்பத்தி செய்யப்படுகிறது?

ஒரு தயாரிப்பாளராக, நான் தயாரிப்பதை உங்களுக்குச் சொல்ல முடியும் NF₃ ஒரு சிக்கலான மற்றும் அதிக கட்டுப்பாட்டில் உள்ளது உற்பத்தி செயல்முறை. இறுதித் தயாரிப்பை உருவாக்குவதே இலக்காக உள்ளது - பெரும்பாலும் 99.999% தூய்மை அல்லது அதற்கு மேல் - ஏனெனில் சிறிதளவு கூட தூய்மையற்றது பேரழிவை ஏற்படுத்தலாம் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி. செயல்முறைக்கு அதிக எதிர்வினை இரசாயனங்களைக் கையாளுவதில் நிபுணத்துவம் தேவை, குறிப்பாக புளோரின்.

தி NF₃ உற்பத்தி பொதுவாக எதிர்வினையை உள்ளடக்கியது அம்மோனியா (அ கலவை நைட்ரஜன் கொண்டது) அல்லது அம்மோனியம் புளோரைடு தனிமத்துடன் கூடிய கலவை புளோரின் ஒரு அணுஉலையில் உள்ள வாயு உயர் வெப்பநிலை. இந்த எதிர்வினை வாயுக்களின் கலவையை உருவாக்குகிறது NF₃, செயல்படாத பொருட்கள் மற்றும் பல்வேறு துணை தயாரிப்புகள். உண்மையான சவால், மற்றும் ஒரு சப்ளையரின் நிபுணத்துவம் உண்மையாகக் காண்பிக்கும் இடம் சுத்திகரிப்பு தொடர்ந்து வரும் நிலை.

மூல வாயு கலவை பல வழியாக செல்கிறது சுத்திகரிப்பு தேவையற்ற சேர்மங்களை அகற்றுவதற்கான படிகள். இது பெரும்பாலும் தொடர்ச்சியான ஸ்க்ரப்பிங்கை உள்ளடக்கியது, உறிஞ்சுதல், மற்றும் கிரையோஜெனிக் வடிகட்டுதல் செயல்முறைகள். தி வடிகட்டுதல் செயல்முறை, குறிப்பாக, வெவ்வேறு வாயுக்களை அவற்றின் கொதிநிலைகளின் அடிப்படையில் பிரிக்க மிகக் குறைந்த வெப்பநிலையைப் பயன்படுத்துகிறது NF₃ மீதமுள்ள அசுத்தங்களிலிருந்து. இறுதி தயாரிப்பு கடுமையான விவரக்குறிப்புகளை சந்திக்கிறதா என்பதை உறுதிசெய்ய ஒவ்வொரு படிநிலையும் மேம்பட்ட பகுப்பாய்வு உபகரணங்களுடன் கண்காணிக்கப்படுகிறது. குறைக்கடத்தி தொழில். தரக் கட்டுப்பாட்டுக்கான இந்த அர்ப்பணிப்புதான் நம்பகமான சப்ளையரை மற்றவர்களிடமிருந்து பிரிக்கிறது.

NF₃ எரிவாயுக்கான பாதுகாப்பு மற்றும் கையாளுதல் பரிசீலனைகள் என்ன?

தொழில்துறையில் பாதுகாப்புக்கு முன்னுரிமை அளிக்கப்படுகிறது வாயு வணிகம். போது NF₃ அறை வெப்பநிலையில் எரியக்கூடியது மற்றும் ஒப்பீட்டளவில் நிலையானது, இது ஒரு வலுவான ஆக்ஸிஜனேற்ற முகவர், குறிப்பாக அதிக வெப்பநிலையில். இது எரியக்கூடிய பொருட்களுடன் வன்முறையாக வினைபுரியும் மற்றும் கவனமாக கையாள வேண்டும் என்பதாகும். முதன்மை ஆபத்து அதன் நச்சுத்தன்மை; உள்ளிழுக்கும் வாயு தீங்கு விளைவிக்கும், எனவே சரியான காற்றோட்டம் மற்றும் தனிப்பட்ட பாதுகாப்பு உபகரணங்கள் எதிலும் அவசியம் உற்பத்தி தளம்.

முழு விநியோகச் சங்கிலி, எங்கள் தொழிற்சாலையிலிருந்து வாடிக்கையாளர்களுக்கு குறைக்கடத்தி fab, பாதுகாப்பை சுற்றி கட்டப்பட்டுள்ளது. NF₃ உயர் அழுத்தத்தின் கீழ் சிறப்பாக வடிவமைக்கப்பட்ட எஃகு சிலிண்டர்களில் கொண்டு செல்லப்படுகிறது. இந்த சிலிண்டர்கள் கடுமையான சோதனை மற்றும் சான்றிதழுக்கு உட்படுகின்றன, அவை பாதுகாப்பாக உள்ளன என்பதை உறுதிப்படுத்துகின்றன. வாயு. ஒரு சப்ளையர் என்ற முறையில், விரிவான பாதுகாப்புத் தரவுத் தாள்கள் (SDS) மற்றும் சரியான சேமிப்பு, இணைப்பு மற்றும் கையாளும் நடைமுறைகள் குறித்து எங்கள் வாடிக்கையாளர்களுக்குப் பயிற்சி அளிக்கிறோம். இது குறித்த வழிகாட்டுதல்களை உள்ளடக்கியது ஓட்ட விகிதம் கட்டுப்பாடு மற்றும் கசிவு கண்டறிதல் அமைப்புகள்.

மார்க் போன்ற வணிக உரிமையாளர்களுக்கு, ஒரு மென்மையான மற்றும் நம்பகமான விநியோகச் சங்கிலியின் முக்கிய அக்கறை, நிரூபிக்கப்பட்ட பாதுகாப்புப் பதிவைக் கொண்ட ஒரு சப்ளையருடன் கூட்டுசேர்வது மிகவும் முக்கியமானது. திறமையற்ற தகவல் தொடர்பு அல்லது சப்ளையரிடமிருந்து தெளிவான பாதுகாப்பு நெறிமுறைகள் இல்லாதது ஒரு பெரிய சிவப்புக் கொடியாகும். ஒரு தயாரிப்பை மட்டும் வழங்காமல், தளவாட ஆதரவு மற்றும் பாதுகாப்பு நிபுணத்துவத்தை உள்ளடக்கிய முழுமையான சேவையை வழங்குவதில் நாங்கள் பெருமிதம் கொள்கிறோம். வாயு வந்து ஒவ்வொரு அடியிலும் பாதுகாப்பாக கையாளப்படுகிறது.

நைட்ரஜன் ட்ரைபுளோரைடு ஒரு பசுமை இல்ல வாயுவா? சுற்றுச்சூழல் தாக்கத்தைப் புரிந்துகொள்வது.

சுற்றுச்சூழல் அம்சங்கள் குறித்து வெளிப்படைத்தன்மையுடன் இருப்பது முக்கியம் NF₃. ஆம், நைட்ரஜன் ட்ரைபுளோரைடு ஒரு சக்தி வாய்ந்தது பசுமை இல்ல வாயு. காலநிலை மாற்றத்திற்கான அரசுகளுக்கிடையேயான குழு (IPCC) இது கார்பனை விட ஆயிரக்கணக்கான மடங்கு அதிக புவி வெப்பமடைதல் திறனை (GWP) கொண்டுள்ளது என்று கணக்கிட்டுள்ளது. டை ஆக்சைடு 100 ஆண்டு காலப்பகுதியில். இது தொழில்துறை மிகவும் தீவிரமாக எடுத்துக் கொள்ளும் உண்மை.

இருப்பினும், கதை அங்கு முடிவடையவில்லை. தி சுற்றுச்சூழலில் தாக்கம் வாயுவின் ஆற்றலைப் பொறுத்தது அல்ல, ஆனால் அது உண்மையில் வளிமண்டலத்தில் எவ்வளவு வெளியிடப்படுகிறது என்பதைப் பொறுத்தது. முன்பே குறிப்பிட்டது போல், NF₃ மிகவும் திறமையானது. ஒரு நவீனத்தில் குறைக்கடத்தி வசதி, பெரும்பாலான பயன்படுத்தப்படும் வாயு உற்பத்தி செயல்பாட்டின் போது நுகரப்படுகிறது அல்லது அழிக்கப்படுகிறது. தி பிளாஸ்மா அதை உடைக்கிறது, மற்றும் ஏதேனும் எதிர்வினையாற்றவில்லை வாயு தீர்ந்து போனது ஒரு குறைப்பு அமைப்புக்கு அனுப்பப்படுகிறது. இந்த அமைப்புகள் மிகவும் பயனுள்ளதாக இருக்கும், பெரும்பாலும் மீதமுள்ளவற்றில் 99% ஐ அழிக்கின்றன NF₃.

PFC களில் இருந்து தொழில்துறையின் மாற்றம் NF₃, குறைப்பு தொழில்நுட்பத்தின் பரவலான பயன்பாட்டுடன் இணைந்து, உண்மையில் நிகர குறைப்புக்கு வழிவகுத்தது பசுமை இல்ல வாயு வெளியேற்றம் உற்பத்தி அலகு ஒன்றுக்கு. பொறுப்பு குறைக்கடத்தி உற்பத்தியாளர்கள் மற்றும் எரிவாயு சப்ளையர்கள் உமிழ்வுகள் குறைக்கப்படுவதை உறுதிசெய்ய ஒன்றாக வேலை செய்கின்றனர். இது குறைந்த அளவு பயன்படுத்த சுத்தம் செய்யும் செயல்முறையை மேம்படுத்துகிறது வாயு தேவையான மற்றும் உச்ச செயல்திறனுக்கான குறைப்பு அமைப்புகளை பராமரித்தல். எனவே, போது NF₃ ஒரு சக்தி வாய்ந்தது பசுமை இல்ல வாயு ஆய்வக அமைப்பில், அதன் நிஜ உலக சுற்றுச்சூழல் தடம் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி கவனமாக நிர்வகிக்கப்படுகிறது மற்றும் மாற்றியமைக்கப்பட்ட மாற்றுகளை விட கணிசமாக குறைவாக உள்ளது.

பெரிய செமிகண்டக்டர் ஃபேப்களுக்கான ஆன்-சைட் கேஸ் ஜெனரேஷனின் பங்கு என்ன?

நவீனத்தின் அளவு குறைக்கடத்தி உற்பத்தி மூச்சடைக்க வைக்கிறது. மெகா ஃபேப்ஸ் எனப்படும் மிகப்பெரிய வசதிகள், ஏராளமான வாயுக்களை உட்கொள்கின்றன. நைட்ரஜன் போன்ற சில வாயுக்களுக்கு, ஆயிரக்கணக்கான சிலிண்டர்களில் டிரக்கிங் செய்வதை விட நேரடியாக வசதியில் உற்பத்தி செய்வது மிகவும் திறமையானது. இது அறியப்படுகிறது தளத்தில் தலைமுறை. மிகவும் சிறப்பு வாய்ந்த மற்றும் எதிர்வினைக்கு வாயு போன்ற NF₃, சற்று வித்தியாசமான மாதிரி வெளிவருகிறது: தளத்தில் சுத்திகரிப்பு மற்றும் பகுப்பாய்வு.

நிறைந்திருக்கும் போது NF₃ உற்பத்தி ஒரு fab அதன் சிக்கலான தன்மை காரணமாக அசாதாரணமானது, பெரிய அளவிலான பயனர்கள் பெரும்பாலும் அதிநவீனமானவை தளத்தில் எரிவாயு மேலாண்மை அமைப்புகள். மொத்த விநியோகம் NF₃ fab க்கு வழங்கப்படுகிறது, பின்னர் இந்த அமைப்பு இறுதி கட்டத்தை செய்கிறது சுத்திகரிப்பு மற்றும் அதற்கு முன் தொடர்ச்சியான தர பகுப்பாய்வு வாயு விலையுயர்ந்த உற்பத்தி கருவிகளில் நுழைகிறது. இது தரக் கட்டுப்பாட்டின் இறுதி அடுக்கை வழங்குகிறது, சப்ளை லைன்களில் இருந்து சாத்தியமான மாசுபாடு பிடிபடுவதை உறுதி செய்கிறது. இந்த அணுகுமுறை மொத்த வாங்குதலின் பொருளாதார நன்மைகளை தர உத்தரவாதத்துடன் ஒருங்கிணைக்கிறது தளத்தில் மேலாண்மை.

இந்த வளர்ந்து வரும் விநியோக மாதிரிகளைப் புரிந்துகொள்வது முக்கியம். ஒரு சப்ளையராக, சிலிண்டர்களை நிரப்புவதைத் தாண்டி எங்கள் சேவைகளை விரிவுபடுத்தியுள்ளோம். நாங்கள் இப்போது வேலை செய்கிறோம் உலகளாவிய குறைக்கடத்தி உற்பத்தியாளர்கள் விரிவான எரிவாயு விநியோகம் மற்றும் மேலாண்மை தீர்வுகளை வடிவமைத்து செயல்படுத்துதல். இதில் அர்ப்பணிப்பு இருக்கலாம் உற்பத்தி வரி ஒரு முக்கிய வாடிக்கையாளருக்கான திறன், சிறப்புத் தளவாடங்கள் அல்லது அவர்களுடன் ஒருங்கிணைத்தல் தளத்தில் அமைப்புகள். இது தேவைப்படும் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்யும் நெகிழ்வான மற்றும் நம்பகமான விநியோகச் சங்கிலியை வழங்குவதாகும் 21 ஆம் நூற்றாண்டின் உற்பத்தி. இது எங்கள் மூலோபாயத்தின் முக்கிய பகுதியாகும், குறிப்பாக வாடிக்கையாளர்களுக்கு குறிப்பிடத்தக்க வகையில் சேவை செய்யும் போது உற்பத்தி திறன்கள்.

சிப் தயாரிப்பில் NF₃ தூய்மை எப்படி உற்பத்தி விளைச்சலைப் பாதிக்கிறது?

இல் குறைக்கடத்தி உலகம், "மகசூல்" எல்லாம். இது ஒரு சிங்கிளிலிருந்து தயாரிக்கப்பட்ட நல்ல, வேலை செய்யும் சில்லுகளின் சதவீதம் சிலிக்கான் செதில். அதிக மகசூல் என்றால் அதிக லாபம்; குறைந்த மகசூல் நிதி ரீதியாக பேரழிவை ஏற்படுத்தும். செயல்முறை வாயுக்களின் தூய்மை, குறிப்பாக ஒரு எதிர்வினை வாயு போன்ற NF₃, நேரடி மற்றும் வியத்தகு தாக்கத்தை ஏற்படுத்துகிறது உற்பத்தி மகசூல்.

கற்பனை செய்து பாருங்கள் தூய்மையற்றது ஈரப்பதத்தின் ஒரு சிறிய துகள் (H₂O) அல்லது வேறு வாயு கலவை உடன் கலக்கப்படுகிறது NF₃. உணர்திறன் எட்ச் செயல்பாட்டின் போது, அது தூய்மையற்றது இரசாயன எதிர்வினையில் தலையிடலாம், இது சிப்பின் சுற்றுகளில் ஒரு நுண்ணிய குறைபாட்டை ஏற்படுத்துகிறது. இது தடுக்கலாம் முதலியன, பொருள் இருக்கக்கூடாத இடத்தில் விட்டுவிடுதல், அல்லது அதிகப்படியான பொறிப்பை ஏற்படுத்துதல், அதிகப்படியான பொருட்களை அகற்றுதல். எந்த வழியில், விளைவாக ஒருங்கிணைந்த சுற்று அதன் இறுதி தேர்வில் தோல்வியடையும். நீங்கள் ஒரு சிப்பில் மில்லியன் கணக்கான டிரான்சிஸ்டர்களை உருவாக்கும் போது, ஒரு "கொலையாளி குறைபாடு" கூட ஏற்படுகிறது தூய்மையற்றது முழு சிப்பையும் பயனற்றதாக மாற்றலாம்.

அதனால்தான் நாங்கள் தரக் கட்டுப்பாட்டில் அதிக முதலீடு செய்கிறோம். சான்றளிக்கப்பட்ட, அல்ட்ரா- வழங்குவதன் மூலம்உயர் தூய்மை NF₃, நாங்கள் எங்கள் வாடிக்கையாளர்களுக்கு நம்பிக்கை அளிக்கிறோம் வாயு குறைபாடுகளின் ஆதாரமாக இருக்காது. செறிவைக் கட்டுப்படுத்துதல் ஒவ்வொரு கூறுகளின் பாகங்கள்-பில்லியன் அளவு வரை உறுதி செய்கிறது உற்பத்தி செயல்முறை நிலையானது மற்றும் மீண்டும் மீண்டும் செய்யக்கூடியது. ஒரு நிலையான செயல்முறை கணிக்கக்கூடிய மற்றும் உயர் நிலைக்கு வழிவகுக்கிறது உற்பத்தி மகசூல், இது ஒவ்வொருவருக்கும் இறுதி இலக்கு குறைக்கடத்தி உற்பத்தியாளர். ஒரு சப்ளையராக எங்கள் பங்கு உயர் தூய்மை சிறப்பு வாயுக்கள் மாறிகளை அகற்றி, சமரசமற்ற தரத்தின் தயாரிப்பை வழங்குவதாகும்.

நைட்ரஜன் ட்ரைஃப்ளூரைடு சப்ளையர்களில் நீங்கள் எதைப் பார்க்க வேண்டும்?

மார்க் போன்ற ஒரு கொள்முதல் அதிகாரிக்கு, ஒரு முக்கியமான பொருளுக்கு சரியான சப்ளையரைத் தேர்ந்தெடுப்பது NF₃ விலைகளை ஒப்பிடுவதற்கு அப்பாற்பட்டது. மோசமான கூட்டாண்மையின் அபாயங்கள்-கப்பல் தாமதங்கள், தரச் சிக்கல்கள், மோசமான தகவல்தொடர்பு-வெறுமனே அதிகம். எனது அனுபவத்தின் அடிப்படையில், கருத்தில் கொள்ள வேண்டிய முக்கிய காரணிகள் இங்கே:

முதலில், சரிபார்க்கக்கூடிய தரம் மற்றும் சான்றிதழ்கள். ஒரு நம்பகமான சப்ளையர் ஒவ்வொரு கப்பலுக்கும் பகுப்பாய்வு சான்றிதழை (CoA) வழங்குவார், தூய்மை நிலைகளை விவரிக்கிறார் மற்றும் கண்டறியப்பட்ட அசுத்தங்களை பட்டியலிடுவார். அவை ISO 9001 போன்ற சர்வதேச தரங்களுக்கு இணங்க வேண்டும். அவற்றின் பகுப்பாய்வு திறன்களைப் பற்றி கேளுங்கள். தேவையான அளவு அசுத்தங்களைக் கண்டறியும் கருவி அவர்களிடம் உள்ளதா? குறைக்கடத்தி விண்ணப்பங்கள்?

இரண்டாவதாக, விநியோகச் சங்கிலியின் நம்பகத்தன்மை மற்றும் வெளிப்படைத்தன்மை. தாமதங்களைத் தடுக்க, சப்ளையர் வலுவான தளவாட நெட்வொர்க்கை நிரூபிக்க முடியுமா? அவர்களிடம் தேவையற்றது உள்ளதா உற்பத்தி திறன்கள் ஒரு நிலையான விநியோகத்தை உறுதி செய்ய? தொடர்பு இங்கே முக்கியமானது. உங்கள் சப்ளையர் செயலில் இருக்க வேண்டும், ஷிப்மென்ட் பற்றிய புதுப்பிப்புகளை வழங்குவது மற்றும் கேள்விகளுக்கு பதிலளிக்க உடனடியாகக் கிடைக்கும். இது திறமையற்ற தகவல்தொடர்பு வலியை நேரடியாகக் குறிக்கிறது.

இறுதியாக, தொழில்நுட்ப நிபுணத்துவத்தைத் தேடுங்கள். ஒரு நல்ல சப்ளையர் ஒரு பொருளை மட்டும் விற்பதில்லை; அவர்கள் ஒரு தீர்வை வழங்குகிறார்கள். அவர்கள் உங்கள் பயன்பாடுகளைப் புரிந்துகொண்டு தொழில்நுட்ப ஆதரவை வழங்க முடியும். அவர்கள் பாதுகாப்பு, கையாளுதல் மற்றும் சுற்றியுள்ள சுற்றுச்சூழல் விதிமுறைகள் பற்றி அறிந்திருக்க வேண்டும் எரிவாயு பயன்பாடுகள். வெறும் விற்பனையாளராக இருப்பவரை விட அறிவுள்ள கூட்டாளராக செயல்படக்கூடிய ஒரு சப்ளையர் எண்ணற்ற மதிப்புமிக்கவர். இந்த நிபுணத்துவம் நீண்ட கால, இலாபகரமான உறவின் அடித்தளமாகும். நாங்கள் எங்கள் வாடிக்கையாளர்களுக்கு அந்த பங்காளியாக இருக்க முயல்கிறோம், வழங்குவது மட்டும் அல்ல வாயு ஆனால் அதனால் வரும் மன அமைதி.

முக்கிய எடுக்கப்பட்டவை

• அத்தியாவசிய கருவி: நைட்ரஜன் ட்ரைபுளோரைடு (NF₃) ஒரு முக்கியமான சிறப்பு வாயு பிளாஸ்மா பொறித்தல் மற்றும் அறை சுத்தம் செய்ய பயன்படுத்தப்படுகிறது குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறை.
• சிறந்த செயல்திறன்: NF₃ உயர் பயன்பாட்டு விகிதங்கள் மற்றும் நவீன குறைப்பு அமைப்புகளுக்கு நன்றி, அது மாற்றியமைக்கப்பட்ட பழைய PFC வாயுக்களை விட மிகவும் திறமையானது மற்றும் குறைவான பயனுள்ள சுற்றுச்சூழல் தாக்கத்தை கொண்டுள்ளது.
• தூய்மை என்பது லாபம்: அதி உயர் தூய்மை NF₃ பேரம் பேச முடியாதது. சுவடு அசுத்தங்கள் கூட a இல் குறைபாடுகளை ஏற்படுத்தும் சிலிக்கான் செதில், கடுமையாக குறைக்கிறது உற்பத்தி மகசூல் மற்றும் லாபம் சிப் உற்பத்தி.
• பாதுகாப்பு மற்றும் கையாளுதல் முக்கியமானது: நிலையாக இருக்கும்போது, NF₃ ஒரு நச்சு மற்றும் ஆக்சிஜனேற்றம் ஆகும் வாயு அதற்கு சிறப்பு கையாளுதல், சான்றளிக்கப்பட்ட சிலிண்டர்கள் மற்றும் பாதுகாப்பு நெறிமுறைகள் பற்றிய ஆழமான புரிதல் தேவை.
• சப்ளையர் தேர்வு முக்கியமானது: ஒரு தேர்ந்தெடுக்கும் போது NF₃ சப்ளையர், சரிபார்க்கக்கூடிய தரம், விநியோகச் சங்கிலி நம்பகத்தன்மை, வெளிப்படையான தொடர்பு மற்றும் ஆழமான தொழில்நுட்ப நிபுணத்துவம் ஆகியவற்றை விலையை விட மட்டுமே முன்னுரிமை.