Huazhong khase e inehetse ho tseba bonono le mahlale a indasteri le khase e ikhethang tlhahiso. Lefatšeng la kajeno la tekhemetso, haholo-holo ka har'a Semicondtor indasteri, tlhoko ea Ultra-High Bouthali bo phahameng likhase ha se feela khetho; Ke tlhoko e felletseng. Sengoliloeng sena se fetela lefatšeng le mahlonoko la Tlhahlobo ea Bungyst bakeng sa likhase tse ikhethang tsa elektroniki. Re tla ithuta le hore na hobaneng e le ntho e makatsang Ho Hlokahala e ka ba le litlamorao tse kholo, re lemoha tse ling traces, le se boleloang ke likhoebo. Kutloisiso Litšitiso tsa Khase le mekhoa ea bona tlhoekiso le ho lemoha, joalo ka Icp-ms, ke senotlolo sa ho netefatsa tšebelisano le ts'ebetso ea sejoale-joale Lisebelisoa tsa motlakase. Karolo ena e loketse nako ea hau hobane e fana ka pono ea fektheri ea fektheri ho boloka lithuso bohloeki ba likhase tse ikhethang tsa elektroniki, sekhutlo sa Semicondtor mme Lisebelisoa tsa motlakase Likarolo.

Ha e le hantle ke litšoelesa tse ikhethang tsa elektroniki ke hobane'ng ha ho hloekisoa ha bona ho le bohlokoa haholo ho semiconductor

Likhase tse ikhethang tsa elektroniki, hangata e bitsoa joalo ka likhase tsa elektroniki kapa Semiconductor gras, ke karolo e ikhethang ea Khase e Phahameng e Phahameng mme motsoako oa khase ka kotloloho enjineri ea boikoetliso ba rarahaneng e kenyellelitsoeng ho etsa likarolo tsa elektroniki. Nahana ka tsona e le meralo e sa bonahaleng ea lilemo tsa dijithale. Tsena likhase tse sebelisoang semiconductor Bokhata bo kenyelletsa maemo a fapaneng, joalo ka Silane (Sih₄) bakeng sa lisebelisoa tse kenyang siliniki, Argon (Ar) joalo ka thebe ea Intert, le tse fapaneng likhase tse fofang joalo ka phosphine (ph₃) kapa arsines (ash₃) ho fetola thepa ea motlakase ea Semicondtor lisebelisoa. Kotara "Setsi sa elektroniki"ka boeona e totobatsa kopo ea bona ea tailoid le ho nepahala ho feteletseng. Tsena ha se letsatsi la hau le letsatsi likhase tsa indasteri; Litlhaloso tsa bona li thata haholo haholo.

Bohlokoa ba hola ha bona bohloeki e ka se tsosoe, haholo-holo ho Semiconductor e etsa. Liporete tsa sejoale-joale tse kopaneng tsa sejoale-joale se nang le lipapatso le litsela tse khabisitsoeng ka mokhoa o manyane, hangata o lekantsoe li-nanometers (Billionths ea mitha). Ka tekanyo ena ea microscopic, esita le athomo e le 'ngoe e sa batleheng - a Ho Hlokahala-Can o sebetsa joalo ka lebopo ka molatsoana o monyane, ho senya phallo ea motlakase kapa ho baka bofokoli ba sebopeho. Sena se ka lebisa ho Chip e fosahetseng, 'me indastering moo meroho e limilione e hlahisoang ka sekhoma se le seng, tšenyo e le' ngoe le e tsebahalang TLHALOSO e ka ba ntho e kholo. Ka hona, the bohloeki ba likhase tse ikhethang tsa elektroniki ke pilara ea motheo eo kaofela elektroniki le semicondtor indasteri e eme. Eng kapa eng Ho Hlokahala e ka sekisetsa ts'ebetso ea sesebelisoa, chaime, le ho ts'epahala, li etsa ka thata Pure ea gas Ho laola hoa hlokahala.

Ka khase ea Huazhong, Re utloisisa hore bareki ba rona ba ho Semiconductor indasteri Tšepa ho rona ho fana ka likhase tse kopanang kapa li feta "li-neine tse hlano" (99.999%) Sena se bolela hore leha e le efe Ho Hlokahala e tlameha ho ba teng ho meahong e tlase ho feta likarolo tse milione (PPM) kapa esita le likarolo tse limilione tse likete. Ho fihlella le ho netefatsa tse joalo bohloeki bo phahameng maemo a hloka hore re sotlehile tlhoekiso Mekhoa ea 'me, kapa ka mokhoa o ikhethileng e tsoetseng pele Tlhahlobo ea Bungyst mekhoa. Ho ba teng ha motho ea sa lebelloang Ho Hlokahala e ka supa litaba le li-cylinders tsa khase kapa ketane ea phepelo, ho etsa tlhahlobo ea boleng bo lekanang. Re netefatsa rona Moqapi oa nitrogen Ka mohlala, linyehelo tsena, ha naetrojene ke khase ea masela a masela a masela a semiconductor ea semiconductor.

Litšitiso lisita le li-conces tsa micsscopic tsa microscopic li ka senya litheko tsa tlhahiso ea semiconductor joang?

Ka linako tse ling ho thata ho nahana hore na ho na le ntho e nyane hakae, a Ho ts'oaroa ha trace e lekantsoe likarolo tse ling ka billion (ppb) kapa esita le likarolo tsa trillion (PPT), li ka baka mathata a maholo. Empa lefats'eng la Semicondtor Ho etsa lihlahisoa, microscopic ena li-sinminant li na le baahi ba bohlokoa. Ha re hlahlobeng mokhoa o tloaelehileng oa semiconductor: Ho kenyelletsa ho ba le tse ngata, ka linako tse ling ho makholo, a nang le litlolo tse tšesaane), e le ho tlosa thepa). Mohato ka mong o itšetleha ka tikoloho e laoloang e boletsoeng hantle, hangata e thehiloe kapa e bolokoa ke likhase tse ikhethang tsa elektroniki. Haeba a Khase e sebelisitsoeng Ho e 'ngoe ea mehato ena ho nka o sa batleha Ho Hlokahala, seo Ho Hlokahala e ka kenyelletsoa ka likarolo tse bobebe tsa Semicondtor sesebelisoa.

Mohlala, Litšitiso tsa Metallic Joalo ka sodium, tšepe, tšepe kapa koporo, esita le meaho ea Ultra-Resour, e ka fetola thepa ea motlakase ea silicon. Ba ka theha litsela tse khathatsang tse sa batleheng, ba etsa lintho tse khutšoane, kapa ba etsa "maraba" bo sitisang ho phalla ha lielektrone, ho fokotsa sesebelisoa kapa ho fokotsa sesebelisoa kapa ho etsa hore se atlehe ka botlalo. A Ho Hlokahala E ka boela ea kenya letsoho le boits'oaro ba lik'hemik'hale re etselitsoeng mohato oa tšebetso. Mohlala, a e litšila Ka khase ea ho itšehla thajana e ka baka ho tloha ka tlase ho ho tloha kapa ho fihlela ka ho feteletseng, ho theola mekhoa e metle holim'a metsi. Kameho ha e bue ka li-chip tsa motho ka mong; ea sa lebelloang Ho Hlokahala Taba e ka lebisa litlamong tsohle tsa sepakapahle ea lin tse li lahlehileng, li senya palo ea lidolara tse lahlehileng, ho lieha ha tlhahiso, ho hlokahala ho netefatsa lisebelisoa tsa boleng bo tsitsitseng. Sena se totobatsa tlhoko e bohloko ea ho ba matla Tekanyo ea maikutlo.

Phephetso ke hore boemo ba "e amohelehang" bo amohelehang bakeng sa hae Ho Hlokahala e lula e fokotseha joalo ka Semicondtor likarolo tsa sesebelisoa li nyane. Se neng se nkuoa e le se amohelehang Ho Hlokahala boemo bo leshome le metso e fetileng e kanna ea ba koluoa TLHALOSO Kajeno. Drive ena e phethoang bakeng sa minriagurization e beha khatello e matla ho bahlahisi ba khase le maoba a ka ntlafatsang moeli oa ho lemoha Bokgoni. Le Karolina Litšitiso, lerōle le tala tse nyane li sa bonahaleng ho leihlo le hlobotseng, li ka thibela khanya ka pono, li ka baka litekanyo tse tšoanang. Ka hona, ho laola bokhoni bohle Ho Hlokahala - Ebang ke gaseous, metallic, kapa Karolina - e bohlokoa. The mefuta e fapaneng ea litšila Seo se ka baka hore ho ka baka mathata ho kholo, ho hatisa tlhokahalo ea ho bakoang Tlhahlobo ea Khase.

Bahlahisi ba atileng haholo ke bofe? Ho khetholla litšila likhase bakeng sa elektroniki.

Ha re bua ka Litšitiso ho likhase e etselitsoeng elektroniki le semicondtor Lekala, re shebile likheo tse fapaneng tsa batho ba nang le litlhaku, e 'ngoe le e' ngoe le monyetla oa ho baka kotsi e kholo. Tsena Likotsi li tla fumanoa e ka aroloa haholo ho ba Gasetic, Metallic, Mefuta ea Metano. Ho utloisisa bakuli bana ba tloaelehileng ke mohato oa pele o sebetsang Tlhahlobo ea Bungyst le taolo. Tse ikhethang Litšitiso li etsahala e ka fapana ho latela khase ka boeona, mokhoa oa eona oa tlhahiso, polokelo ea eona le ho sebetsana le eona.

Gadeus litšila ke likhase tse ling tse teng ka sehloohong khase e ikhethang. Mohlala, ho bohloeki bo phahameng Nitrogen, GangSous e tloaelehileng litšila e kanna ea kenyelletsa oksijene (O₂), mongobo (H₂o), carbon dioxide (co₂), carbon monoxide (cydrocarbons (c hydrocarbons (Ch Hlakubele). Oksijene le mongobo li na le mathata ka ho khetheha ha li ntse li sebetsa haholo ebile li ka lebisa ho oxidation e sa batleheng ea Semicondtor lisebelisoa kapa lisebelisoa tsa ts'ebetso. Leha e le Khase ea ITTrt joalo ka Argon, tsena li ka ba teng maemong a mahlakore. Joaloka k'hamphani, hangata re bona likopo tsa ho lekola a Litšitiso tse fapaneng haholo, ho kopanyelletsa le mofuta ona o monate. Mohlala, bokhoni ba rona ba kenyelletsa mohatla o boima Perimixture Lihlahisoa, moo ho laolang karolo e 'ngoe le e' ngoe, ho kenyeletsoa le gaseous e ka bang teng litšila, ea bohlokoa.

Litšitiso tsa Metallic ke ntho e 'ngoe e kholo. Tsena ke liathomo tse kang sodium (na), potasiamo (CA), compol (ch), chronium (al). Li ka tsoa maemong a taw, lisebelisoa tsa tlhahiso (joalo ka lipeipi le merero), kapa esita le li-cylinders tsa khase bona haeba e sa tšoaroe hantle. Joalokaha ho boletsoe, tsena Mekhoa ea Metal e ka ama haholo ts'ebetso ea motlakase ea Semicondtor lisebelisoa. Ho lemoha tsena ho PPB kapa maemo a PPPT e hloka mekhoa e metle ea tlhahlobo e ts'oanang le e 'ngoe e makatsang e tšoanang le li-plasma boima ba li-spesma (Icp-ms. Re boetse re hloka ho nahana ka Karolina taba. Tsena ke lintho tse nyane tse thata kapa tsa metsi li emisitsoe ho phallo ea khase. Li ka baka bofokoli ba 'mele ho bapafers, thibela li-nozzles ka lisebelisoa, kapa u kenye lisebelisoa tse ling li-sinminant. Ho phefumoloha ke senotlolo sa ho tlosa likarolo, empa ho lekola maemo a bona le hona ke karolo ea ho ba lefellang Boleng ba khase Lenaneo. Tse ling likhase tse ikhethang tsa elektroniki hape likhase tse khutsitseng kapa likhase tse chefo, e eketsang karolo e 'ngoe ea ho rarahana ha ba sebetsana le ho sekaseka, ho netefatsa hore Ho Hlokahala Boemo bo sa atlehe likotsi tsena.

ICP-MS: Boemo ba khauta bakeng sa ho bona liphoso tsa metallic ho semicondtor grase?

Ha ho tluoa ho Tlhahlobo ea metallic litšila tsa metallic ho Khase ea Ultra-Pumity, Indiast e 'ngoe e' ngoe e 'ngoe e' ngoe e 'ngoe e' ngoe e 'ngoe e' ngoe ea plasma Mass a Spectrometry, kapa Icp-ms, e nkuoa ka bongata e le theknoloji e lebisang. Ke mokhoa o matla oa tlhahlobo o ka bonang le ho khetholla mefuta e mengata ea Mekhoa ea mantlha ea eona, hangata ho ea ho maemo a tlase a makatsang - nahana likarolo tsa likarolo tsa pele (PPT) kapa esita le likarolo tsa "quadrilling Boikutlo bona bo joalo ka lebaka leo Icp-ms e fetohile ea bohlokoa bakeng sa Semicondtor indasteri, moo, joalo ka ha re buisana, esita le ho feta Litšitiso tsa Metallic e ka ba kotsi ho boleng ba sehlahisoa.

Joang Icp-ms Sebeletsa boselamose ba lona? Ka mantsoe a bonolo, the Sampole ea Sampole (kapa tharollo e tsoa ho khase) e hlahisoa ka plasma e chesang haholo, hangata e entsoe ka Argon. Plasma ena, ho fihlela mocheso oa 6,000 ho isa ho 10,000 ° C, o mafolofolo ho khaola limolek'hule tsa khase le inyelletsa lithomo tse teng, ho kenyelletsa le tse ling Litšitiso tsa Metallic. Liikela tsena li ntšoa ke plasma ebe li tataisoa ke Spearcrometer e ngata. Boleki bo bongata bo etsa ekare joaloka filithara e nepahetseng haholo, e arolang libapali ho latela tekanyo ea bona ea ho lefella. A Lisebelisoa Ebe u bala li-ion bakeng sa bongata bo bong le bo bong bo rekang, re re lumelle ho tseba hore na ke lintho life tse teng hona joale. Bokhoni ba Icp-ms ho hlahloba sebaka se pharaletseng sa Metallic scorrity ka likhase tse ikhethang ka nako e tšoanang e etsa hore e sebetse hantle haholo.

Ha a ntse a Icp-ms e matla haholo, ha e na mathata, haholo ha a sebetsana le likhase tse sebelisoang semiconductor lesela. Mokhoa o mong o tloaelehileng ke ho thella litšila ho tsoa bophahamong bo boholo ba khase ho ea bohareng ba pokello kapa mokelikeli, o hlahlojoang ke Icp-ms. Leha ho le joalo, ka kotloloho ente ea khase ka kotloloho ho Icp-ms Sisteme le eona e ntse e tloaelehile ho likopo tse ling, leha e hloka ho fetoha le maemo a khethehileng. Khetho ea mokhoa o ipapisitse le se ikhethileng Litšitiso tsa Khase Ho khahlisang, khase ea matrix, le tse hlokahalang moeli oa ho lemoha. Ka khase ea HUAZHONG, re tsetela haholo lisebelisoa tsa Tlhahlobo ea Tlhahlobo, ho kenyelletsa Icp-ms Bokhoni, hobane rea tseba hore ho fana ka tšepiso Tlhahlobo ea Bungyst Lintlha li bohlokoa molemong oa ho tšepa bareki ba rona Tlhatlhobo ea elektroniki e phahameng likhase. Ho nepahala ha Icp-ms e thusa ho netefatsa hore PUSELETSO EA LITLHAKU e kopana le litlhoko tse thata bakeng sa Mokhatlo oa Elektroniki lisebelisoa.

Hobaneng ha ho ne ho hloekisoa ka ho sa feleng ho sa khoneheng bakeng sa indasteri ea li-elektroniki le semiconductor?

Tlhokahalo ea ho se Lahla Pure ea gas ho Liindasteri tsa motlakase le liiki tsa semiconductor ha se feela khetho; Ke tlhokahalo ea mantlha e khabisitsoeng ke fisiks le moruo tsa tlhahiso ea sejoale-joale ea sesebelisoa. Joalo ka Semicondtor Sesebelisoa sa sesebelisoa se sitisa sekala sa nanometer, kutlofatso ea tsona ea mofuta ofe kapa ofe oa TLHALOSO Skyrockets. A Ho Hlokahala Seo se ka be se sa tloaeleha ha lisebelisoa tse kholo, tse khōloanyane li ka baka ho hloleha ha pelo ka lichifi tsa ho kuta-le. Lihlahisoa tsena li fana ka thuso ka kotloloho - liperesente tsa li-chip tse ntle ka ho phollatsi - mme esita le ho theoha ka chai e ka fetolela limilione tsa chelete e lahlehileng bakeng sa Semicondtor moetsi.

Nahana ka mokhoa o rarahaneng oa Microprocessor kapa Microchussor ea sejoale-joale. E na le liloko tsa batsamaisi, e 'ngoe le e' ngoe e mohloekisi ea bitsoang boenjiniere ba mineering. Ts'ebetso ea li-tragani tsena e ipapisitse le thepa ea motlakase ea motlakase ea Semicondtor Lisebelisoa tse sebelisoang, tseo e leng tsona, ka lehlakoreng le leng, li kotsing ea ho litšila. Mohlala, tse ling Litšitiso tsa Metallic E ka hlahisa maemo a sa batleheng a nang le moea o sa batleheng oa Silicon, a lebisang ho silila ea thepa ea hona joale kapa e fokotsehileng. Sena se bolela bokchane, tse sa sebetseng hantle, kapa lisebelisoa tse sa sebetseng ka botlalo. Gadeus litšila Joaloka oksijene kapa mongobo o ka lebisa ho sebopeho sa likarolo tse sa khetholloang, ho fetolela lifilimi tsa motlakase kapa thepa ea likhomo. Ka kakaretso Boleng ba khase Ho fetolela ka kotloloho ho boleng ba sehlahisoa le ho ts'epahala.

Ntle le moo, Liindasteri tsa motlakase le liiki tsa semiconductor li tšoauoa ka mekhoa e rarahaneng haholo le e theko e phahameng ea lihlahisoa. E le 'ngoe Semicondtor Semela sa masela ("Fab") li ka senya lidolara tse limilione ho aha le ho hlomella. The likhase tse sebelisitsoeng li fapane le boholo ba mehato ena e theko e boima. Haeba a khase e ikhethang e silafalitsoe ke Ho Hlokahala, ha e ama feela beng ba likepe hona joale; E ka boela ea silafatsa lisebelisoa tse theko e phahameng tsa ts'ebetso. Sena se ka baka nako ea phomolo ea ho hloekisa le ho kopanngoa, ho eketsa likarolo tsa motho ea kang Mark Shen, ea itšetlehang ka ho ipehela ka nako e tlang ho kopana le litlhoko tsa bareki ba hae. Ka hona, e netefatsa bohloeki ba likhase tse ikhethang tsa elektroniki ka thata Tlhahlobo ea Bungyst Leano le boima la kotsing ea ho phekola ketane eohle ea phepelo eohle. Tsepamiso Khase e phahameng ea bohloeki ha e phehe hobane lithupa li phahameng haholo.

Ke mathata afe a bohlokoa ao re thulanang le tlhahlobo ea methapo ea metallic likhase tse khethehileng?

Sekaseka Litšitiso tsa Metallic ho likhase tse khethehileng, haholo tse sebelisoang ho Semicondtor indasteri, e fana ka letoto le ikhethileng le ikhethang. Mathata a mantlha a hlaha ho tsoa ho meahong e tlase haholo eo litšila e ka ba mathata - hangata ka likarolo tsa billing Ho lemoha le ho eketsa ka nepo likarolo tse kang tsa metsotso e joalo ha ho hloke morero oa tlhahlobo e hlakileng feela joalo ka Icp-ms empa hape e hloekisa libaka tsa_altical hantle le mehlala ea methapo ea kelello e tsamaisang li-protocol tsa ho qoba ho kenyelletsa kantle TLHALOSO.

Phephetso e 'ngoe ea bohlokoa ke mohlala oa ho ngola. Ba bangata ba likhase tse ikhethang tse sebelisitsoeng ho Lisebelisoa tsa motlakase li sebetsa hantle, lijalo, kapa esita le pyrophoric (li nyenyefatsa ka mokhoa o iketsahalletseng moeeng ka sefofane). Ka mokhoa o sireletsehileng le ka nepo likhase Ke sesebelisoa sa tlhahlobo se kang Icp-ms ntle le ho fetola Sampole ea Sampole kapa ho silafatsa sesebelisoa ho hloka ho fetoha le maemo a khethehileng le lits'ebetso tsa ho sebetsana le tsona. Mohlala, ho kenya ka kotloloho a khase e kholo joalo ka hydrogen chloride (HCL) ka tekanyetso Icp-ms Sisteme e ne e ka e senya haholo. Ka hona, mekhoa e sa tobang, joalo ka ho se hloke ho ts'oara (ho phunya khase ka mokelikeli o lokelang ho tšoaroa litšila) kapa ho hlasimolla ho hlasimolla Leha ho le joalo, mekhoa ena e ka hlahisa mehloli ea bona e ka bang teng ea TLHALOSO kapa ho sekaseka tahlehelo haeba e sa etsoa hantle. Khetho ea Khase ea Carer Bakeng sa lefuba, haeba ho hlokahala, e boetse e lokela ho ba e sa susumetsang bohloeki.

Phephetso e 'ngoe ke phello ea "sethala." Bongata khase ka boeona (e.g., Argon, naetrojene, hydrojene) e ka kena-kenana le traces. Mohlala, ho Icp-ms, plasma e thehile ho tloha bulk khase e ka theha li-tilyatomic li-sotina tse tšoanang le tse lekanang le tse ling e le tse ling Litšitiso tsa Metallic, e lebisang ho tsa bohata kapa tse sa nepahalang tse sa nepahalang. Bahlahlobisisi ba tlameha ho sebelisa mekhoa e kang ho kotula / ho Icections ho Icp-ms kapa boleng bo tiileng bo phahameng ho hlola litšitiso tsena tsa maemo. Ntle le moo, litekanyetso tse sebelisitsoeng ho lekanya Mekhoa ea Metal e tlameha ho ba nepahalang haholo ebile e belaela, 'me mokhoa oohle oa tlhahlobo o lokela ho netefatsoa ho netefatsa hore o ts'epahale ha Tlhahlobo ea Bungyst Liphetho. Rona, joalo ka mofani oa thepa, le eena o tšoenyehile ka botšepehi ba li-cylinders tsa khase le bokhoni ba bona ba ho kenya letsoho Litšitiso tsa Metallic Ha nako e ntse e tsamaea, e hlokang hore taolo ea boleng bo tsoelang pele.

Na sesebelisoa sa phapanyetsano ea khase ho ka ntlafatsa tatellano ea tekanyetso ea tšoantšetso?

Ee, Ho sebelisa sesebelisoa sa phapanyetsano ea khase ka sebele a ka bapala karolo ea bohlokoa ho ntlafatsa ho nepahala ha Tekanyo ea maikutlo, haholoholo ha o sebetsana le phephetso khase matricas kapa ha o rera ho ultra-tlase meeli ea ho lemoha. A Sesebelisoa sa phapanyetsano ea khase, ka linako tse ling ho thoe ho tloha ha mokhoa oa ho qhekelloa, o sebetsa ka ho tlosa bongata ka mokhoa o ikhethileng khase (karolo ea mantlha ea Sampole ea Sampole) ha u ntse u tsepamisa maikutlo traces ea phaello. Mohato ona oa pele-pele o ka ntlafatsa kutloisiso ea mekhoa e latelang ea tlhahlobo e latelang Icp-ms kapa Khase ea Khase litsamaiso.

Molao-motheo o ka morao ho ba bangata Lisebelisoa tsa Phallo ea Khase e kenyelletsa mombrane e nang le moea o mongata kapa oa ho khetha le ho khetha mokhoa oa ho khetha. Mohlala, membrane ea Palladium e ka sebelisoa ho tlosa hydrogen ho tsoa ho motsoako oa khase, e lumella tse ling Litšitiso ho likhase ho tsepamisa mohopolo mme o fetise ho Lisebelisoa. Ka mokhoa o ts'oanang, lisebelisoa tse khethehileng li ka ts'oarela litšila ho tsoa ho phallo khase Noka, eo e ka etsoa ka mokhoa o susumetsoang ke malinyane a manyane a hloekileng Khase ea Carer bakeng sa ho hlahlojoa. Ka ho fokotsa palo ea bongata khase Ho Finyella Lisebelisoa, lisebelisoa tsena li fokotsa litšitiso tsa matrix, theola lerata la semelo, 'me ka mokhoa o atlehileng oa ho fana ka maikutlo a lets'oao ho eona sepheo traces. Sena se ka lebisa ho tlase moeli oa ho lemoha.

Melemo ea Ho sebelisa sesebelisoa sa phapanyetsano ea khase li bonahala haholo ha li sekaseka Litšitiso ho elektroniki Khase e thata ho sebetsana le likhatiso ka kotloloho kapa e bakang tšitiso ea bohlokoa ho liletsa tsa senoelo. Mohlala, ha u leka ho lekanya oksijene kapa mongobo ka mokhoa o hlakileng haholo khase e ikhethang, a Sesebelisoa sa phapanyetsano ea khase e ka ba e arola tsena litšila ho be sebalelong se eketsehileng Khase ea Carer joalo ka Argon kapa helium pele ba fihla Lisebelisoa. Sena ha se ntlafale feela empa hape se ka sireletsa likarolo tse hlokonoang. Joalo ka moetsi oa 99.999% PUSIity 50l cylindar Xeon Gase, re utloisisa bohlokoa ba mekhoa e joalo e tsoetseng pele ho netefatsa khethollo e ikhethang bohloeki ea seoelo mme likhase tse khethehileng. Thuso ena ea mahlale ke ea bohlokoa tlhoekiso ea khase le mekhahlelo ea netefatso.

Khokahano e Mafutsang: Ho hlahloba ha Tšoare ho Thepa likhase tse sebelisoang ka kotloloho ho sebopeho sa semiconductor.

The Khase e sebelisitsoeng ka kotloloho ho sebopeho sa semiconductor ke bophelo bo botle ba ts'ebetso ea mohloa. Tsena ha li kenyeletse feela likhase tse ngata joalo ka naetrojene le Argon, empa hape le lihlahisoa tse ngata tsa likhase tse ikhethang tsa elektroniki joalo ka likhase tse tloaelehileng (e... Silane, Germane bakeng sa likabele tse ntseng li hola tsa cristal), Khase ea ench (e.g., nf₃, sf₆, CL₂ ea ho bapisoa), Khase ea Ion Inclants (E.G. Bakeng sa e 'ngoe le e' ngoe ea tsena likhase tse hlokahalang, boemo le mofuta oa ho amoheleha Ho Hlokahala li hlalosoa ka thata hobane ho kheloha ho itseng ho ka fetolela ka kotloloho ho Semicondtor wafer. Sena sea etsa Tlhahlobo ea Bungyst Bakeng sa tsena Ts'ebetso likhase mohato o motle oa boleng bo botle.

Nahana ka deposipi ea silika e tšesaane ea sioxide e tšesaane ea silika e tšesaane ea sioxide, sethala se tloaelehileng sa bafetoleli. Haeba oksijene Khase e sebelisoa Bakeng sa ts'ebetso ena e na le hydrocarbon litšila, Carbon e ka kenngoa ka har'a sekepe sa oxide, e nyenyefatsa thepa ea eona ea ho intša le ho e-ba le ho hloleha ho sesebelisoa. Ka mokhoa o ts'oanang, haeba e le botjha khase e na le se sa lebelloang Ho Hlokahala, e ka fetola sekhahla sa etch kapa khethollo, e lebisa likarolo tse kholo haholo, tse nyane haholo, kapa tse bopehileng ka nepo. Esita le Ho Hlokahala ka Khase ea ITTrt joalo ka Silinda ea lebese la Argon E sebelisoa bakeng sa ho chechisa ho ka fetisetsoa sebakeng se pharaletseng, se amang boleng ba lifilimi. Tšusumetso ea Ho Hlokahala hangata e sebetsa-khethehileng, e bolelang a Ho Hlokahala e maele ka mohato o le mong e kanna ea ba ea nyarosang e litšila ho e 'ngoe.

Khokahano ena e mahlonoko e hloka mokhoa o ikhethileng oa ho Tlhahlobo ea Bungyst. Ha se feela ka ho hlahloba sehlahisoa sa ho qetela; Ho kenyelletsa ho lekola lisebelisoa tse tala, melapo e metle le ho qetela khase mekhahlelo ea tlhoekiso. Bakeng sa Semicondtor e ikhethang likhase, litlhaloso tsa litsietsi tsa semicondctor Hangata likopo li thata haholo, li sutumelletsa meeli ea tlhahlobo ea tlhahlobo. Re sebetsa haufi le bareki ba rona ho semicondtor le elektroniki Tšimo ea ho utloisisa ka ho khetheha Ho Hlokahala Sensitivities bakeng sa tse fapaneng likhase le motsoako oa khase. Mokhoa ona o kopanetsoeng o thusa ho netefatsa hore likhase tse ikhethang tsa purity Re phepelo kamehla ho fihlela litlhoko tse thata tsa mekhoa ea bona e tsoetseng pele. Phephetso ke ho lemoha A Litšitiso tse fapaneng haholo maemong a sa feleng a ntseng a fokotseha.

Ntle le lab: mekhoa e metle ea ho sebetsana le semiconductor ea kelello e hloekileng ho thibela tšilafalo.

Netefatsa bohloeki ba likhase tse ikhethang tsa elektroniki ha e felle ha khase e siea setsi sa rona sa tlhahiso. Ho boloka seo bohloeki tsela eohle ho fihlela ho ea ho Semicondtor Fabo e hloka tlhokomelo ea motheo ea ho sebetsana le ho tšoara, ho boloka le ho tsamaisoa. Esita le e phahameng ka ho fetisisa Khase ea Pumety e ka silafala haeba e sa laoloe hantle. Ka khase ea Huazhong, ha re shebeng feela ho hlahisa Khase e Phahameng e Phahameng Empa hape e boetse e eletsa bareki ba rona ka mekhoa e metle ho thibela downstream TLHALOSO.

Ntho ea bohlokoa e kenyeletsa:

• Khetho ea Karolo: Likarolo tsohle ho sistimi ea khase - ho kenyelletsa li-cylinders tsa khase, li-glamers, tubing, le li-toro - li tlameha ho etsoa ka thepa e nepahetseng (e.g. Ultra-High Bouthali bo phahameng (UHP) Tšebeletso. Ho sebelisa lisebelisoa tse fosahetseng ho ka lebisa ho ho hata ha litšila kapa a Holimo ea tšepe Lechi Ho phallo ea khase.
• Botšepehi ba tsamaiso: Tsamaiso ea peō ea khase e tlameha ho ba e tlohelletseng. Le ho tsoa ho hoholo ho ka lumella sepakapaka li-sinminant joalo ka oksijene, mongobo le Karolina Taba ea ho kenya sistimi, e sekisang Pure ea gas. Ho hlahlojoa khafetsa ho bohlokoa.
• Mekhoa ea ho Ts'oara: Litsamaiso tse nepahetseng tsa Prete Purna li bohlokoa nako le nako ha khokahano e etsoa kapa mosira o fetoloa. Sena se kenyelletsa ho fafatsa mela ka a Khase e Phahameng ea Bomahale (joalo ka Argon kapa nitrojene) ho tlosa moea o mong le o mong o ts'oaretsoeng kapa litšila. Ho hloeka ho sa lekaneng ke mohloli o tloaelehileng oa TLHALOSO. Khafetsa re khothaletsa lipane tse ikemetseng tse qaqileng ho netefatsa hore li lumellana.
• Lisebelisoa tsa Nepo: Ho sebelisa li-replators tsa inehetseng le mela bakeng sa tokiso likhase kapa malapa a likhase e ka thibela tšilafalo ea sefapano. Sena se bohlokoa haholo ha se fetoloa pakeng tsa a Khase ea ITTrt le ea boiketsetso kapa khase e kholo.
• Cylinda o tsamaisa: Li-cylinders tsa khase e lokela ho tšoaroa ka tlhokomelo ho qoba tšenyo. Li lokela ho bolokoa libakeng tse behiloeng hantle, le "pele - ho tsoa" botsamaisi. U sebelisa mongobo o inehetseng le oksijene Batheputsi maemong a bohlokoa le bona ba ka thusa ho beha leihlo bakeng sa sets'oants'o sa sena se atileng litšila.

Bakeng sa bareki ba kang Mark Shen, ba batlang likhase bakeng sa rekisoa kapa ba sebelisa litloaelo, ho utloisisa mekhoa ena ho bohlokoa molemong oa ho boloka boleng ba sehlahisoa ba tšepisa bareki ba bona. Ke boikarabello bo arolelanoang. Re netefatsa rona Sethala sa hydrogen Ka mohlala, lihlahisoa li tletse ebile li hlokometsoe ho thibela Ho Hlokahala Ingress, empa tsamaiso ea mosebelisi ea pheletso ea mosebelisi e bapala karolo ea bohlokoa ka ho lekana. Ntoa Khahlano le Ho Hlokahala ke boiteko bo tsoelang pele ho tsoa ho tlhahiso.

Ho sheba bolo ea kristale: Ke lintho life tse nchafatsang tse ka lebellang ka ho hlaka bakeng sa likhase tsa elektroniki?

Takatso ea ho lula e le holimo bohloeki ho Likoluoa ​​tsa Mokhatlo oa Elektronike le ho tsotella haholoanyane ho fumanoa Mekhoa ke leeto le tsoelang pele, le khannoang ke nako e sa fetoheng ea boqapi ho Semicondtor indasteri. Ha sesebelisoa se ntse se fetoha sesepa se fetang sa batho ba ka tlase le lisebelisoa tse ncha traces e tla phatlalatsoa haholoanyane. Sena se tla hloka tsoelo-pele ho bona ka bobeli tlhoekiso ea khase Mahlale le Tlhahlobo ea Bungyst Bokgoni.

Re ka lebella litabatabelo tse 'maloa:

• Meeli e tlase ea ho lemoha: Tlhahlobo ea Tlhahlobo ea Liketso Icp-ms, Khase ea Khase ea Khase ea Khase meeli ea ho lemoha bakeng sa pharane mefuta e fapaneng ea litšila tlase ho maemo a se nang palo ea PPT kapa esita le ho PPQ Domain. Sena se tla hloka ho nchafatsa mehloli ea Ion, bahlabani ba boima le Lisebelisoa theknoloji.
• In-sebakeng sa nako ea nnete: Ho na le tlhokeho e ntseng e hola bakeng sa lits'ebetso tsa ho belaela tse ka kenyang letsoho Pure ea gas ka nako ea nnete, ka kotloloho ntlheng ea ts'ebeliso ka hare ho Semicondtor Fab. Sena se lumella ho lemoha hang-hang TLHALOSO liketsahalo kapa ho li tlohela Ho Hlokahala maemo, ho thusa ketso e potlakileng le ho fokotsa litšenyehelo tsa sehlahisoa. Linsor tsa Minia-Turles le Almorithms tse tsoetseng pele li tla bapala karolo ea bohlokoa mona.
• Tlhahlobo ea motsoako o rarahaneng oa khase: Bokamoso Semicondtor Mehato e ka akaretsa haholoanyane motsoako oa khase e nang le likarolo tse ngata tse ntle. Sekaseka litšila Matics e thata joalo joalo e tla hloka maano a macha a bahlomphehi le lisebelisoa tse nang le ts'episo ea tlhaiso-leseling. Bokhoni ba ho lekanya a Ho Hlokahala Karolo e le 'ngoe ntle le ho sitisoa ho ba bang e tla ba ea bohlokoa.
• Tsepamisa maikutlo ho "litšila" tsa "Killer": Patlisiso e tla tsoela pele ho tseba tse ikhethang litsietsi tsa semicondctor Ho sebediwana se nang le tšusumetso e kholo ka tatellano ts'ebetsong ea sesebelisoa kapa ka lebaka, esita le maemong a tlase haholo. Mekhoa ea li-analys e tla fuoa e lebisang ho "Killer" litšila.
• Litsebi tsa data le AI: Lintlha tse ngata tse hlahisitsoeng ke tse tsoetseng pele Tlhahlobo ea Bungyst Litsamaiso li tla kotula li sebelisa ai le mochini oa ho ithuta ka mochini oa ho tsebahatsa mekhoa, e bolela esale pele TLHALOSO Litaba, 'me U behe tlhoekiso ea khase lits'ebetso. Sena se ka thusa mosebetsing oa boleng bo holimo ho fapana le ho rarolla mathata a ho amohela.

Ka khase ea Huazhong, re ikemiselitse ho lula pele ho katleho ea liketsahalo tsena. Re ntse re tsoela pele ka lipatlisiso le nts'etsopele, ho sebelisana le balekane ba indasteri le mekhatlo ea thuto ho ntšetsa pele saense ea khase e phahameng ea bohloeki Tlhahiso le Tlhahlobo ea Bungyst. Bakeng sa bareki ba rona, ho kenyelletsa le ba boleng bo tšoanang le ba tšoaeang shen, sena se bolela phepelo e tšepahalang ea likhase tse ikhethang tsa elektroniki e khotsofatsang litlhoko tse mpe tsa Liindasteri tsa motlakase le liiki tsa semiconductor. Mefuta ea rona ea Helium, e tsejoang ka ho hloka toka ea eona 'me u sebelise likopo tse khethehileng, le melemo ea tlhahlobo ena e tsoetseng pele ho netefatsa hore e' ngoe e nyane Ho Hlokahala maemo.

Key Picaways ea ho hopola:

• Likhase tse ikhethang tsa elektroniki ba bohlokoa ho Semiconductor Tlhahiso, le bona bohloeki ha e khone ho buisanoa.
• Le traces, e lekantsoeng ho PPB kapa PPT, ho ka baka bofokoli ba mantlha le chai Semicondtor lisebelisoa.
• Tloaelehileng Litšitiso ho likhase kenyelletsa likhase tse ling (joalo ka O₂, H₂o), Litšitiso tsa Metallic, le Karolina taba.
• Icp-ms ke thetsi ea sekhukhuni Litšitiso tse fapaneng haholo, haholo-holo Litšitiso tsa Metallic, ho maemo a tlase.
• Ho boloka Pure ea gas e hloka ts'ehetso e tsamaeang ka mafolofolo le ts'ebetso ea ts'ebetso ho sethala sa khase ho isa ntlheng ea ho thibela TLHALOSO.
• Bokamoso bo tla bona le tlase meeli ea ho lemoha, ho shebella nako ea 'nete,' me a khancheng Tlhahlobo ea Bungyst bakeng sa Mokhatlo oa Elektroniki likhase.
• Ho laola bokhoni bo bong le bo bong Ho Hlokahala e bohlokoa bakeng sa ho netefatsa boleng ba sehlahisoa le ho ts'epahala ha sejoale-joale Lisebelisoa tsa motlakase.