Amonia (NH₃), e le 'nete ea bohlokoa ea lik'hemik'hale e na le likopo tse ngata ka masimong a fapaneng a li indasteri, ka karolo ea eona e bohlokoa haholo ho sehlahisoa sa semiconductor. Ammonia e bapala karolo ea bohlokoa maemong a mangata a tlhahiso ea semiconductor Sengoliloeng sena se tla qala likopo tsa Ammonia indastering ea eona ea semiconductor, ea sekaseka le litšenyehelo, ha li ntse li buisana le mathata le mekhoa ea ho eketseha ha sesebelisoa.

1. Thepa ea mantlha le boits'oaro ba lik'hemik'hale tsa ammonia

Ammonia ke motsoako o entsoeng ka naetrojene ebile ke hydrojene, e tsejoang ka ho feto-fetoha ha eona mme e fumanoa e le hangata ea tlhahiso ea manyolo oa manyi oa linaha tsa indasteri. Ammonia e teng e le khase ka mocheso oa kamore empa o ka tšoaroa ka lithemparetjha tse tlase, a e etsa mohloli o ikhethileng haholo. Indastering ea semiconductor, thepa ea lik'hemik'hale tsa Ammonia e etsa karolo ea mantlha ea lits'ebetso tse 'maloa tsa bohlokoa, haholo-holo ho kenngoa ha theko ea lik'hemik'hale, le ho hloekisa / ho hloekisa

Molek'hule ea moleleniki ea Ammone a ka etsa lintho tse ngata tse ka 'nang, silise le lisebelisoa tse ling ho theha nitride kapa ho li tšela. Boitšoaro bona ha bo u thuse feela ho theha lisebelisoa tse nyenyane tse tala empa hape li ntlafatsa thepa ea motlakase, ka ho etsa joalo, theknoloji ea semiconductor.

2. Likopo tsa Ammone ka semiconductor

Ammonia e bapala karolo ea bohlokoa ho secouctor tlhahiso, haholo-holo likarolong tse latelang:

2.1 Tekanyetso ea lifilimi tsa nitride tse tšesaane

Likhethong tsa mehleng ea senicouctor tsa mehleng ea senicouctor, lifilimi tse tšesaane tsa silicon nitride Nakong ea ho qoelisoa ha lifilimi tsena tsa Nitride tsa Nitride, Ammonia ke mohloli oa tlhaho oa naetrojene.

Sesebelisoa sa lik'hemik'hale sa li-vapor (CVD) ke e 'ngoe ea mekhoa e tloaelehileng ka ho fetisisa ea deporation ea Nitride Filb. Ammonia Fumana likhase tse kang lits'oants'o tse kang singene (sig₄) ka lithemparetjha tse phahameng tsa ho bolaea le ho theha lifilimi tsa silicon nitride. Karabelo e tjena:

3sih4 + 4nh3 → Si3n4 + 12h2

Ts'ebetso ena e fella ka ho thehoa ha sethala sa Uniform nitride ea silicon nitide ea silicon ea silicon ea siling. AMmone e fana ka mohloli o tsitsitseng oa nitrogen mme o nolofalletsa taolo ea karabelo ka mehloli e meng e tlasa maemo, botenya le ntho e sa tšoaneleheng.

Liphate tsa nitride li na le botsitso bo botle ba mollo, likhohlopo tsa motlakase, le ho hanyetsa bobusi, ho ba etsa ba bohlokoa haholo ho semiconductor Li sebelisoa haholo lipoleng tse kopaneng tsa lipotoloho (icus) e le likarolo tsa insunong, likarolo tsa ho itšehla thajana, le lifensetere tsa pono ho lisebelisoa tsa optoeloctrol.

2.2 ion choactation le ho fofa

Ammonia hape e phetha karolo ea bohlokoa molemong oa thepa ea semiconductor. Sephethe ke mokhoa oa bohlokoa o sebelisitsoeng ho laola ts'ebetso ea motlakase ea thepa ka lesela la lisebelisoa tsa semiconductor. Ammonia, e le mohloli o sebetsang oa naetrojene, hangata o sebelisoa hammoho le likhase tse ling (joalo ka phosphine b₂h₆.

Mohlala, phuleng ea naetrojene e ka fetola thepa ea motlakase ea silicon ho theha li-semico tsa thajana tsa p-tain. Nakong ea nitrogen ea nitrogen ea nitrogen ea nitrogen, ammonia e fana ka mohloli oa nupity o phahameng, o hlokomela taolo e nepahetseng holim'a mahlomoleng a mahloko. Sena se bohlokoa haholo bakeng sa bophahamo le tlhahiso ea lisebelisoa tse phahameng maemong a phahameng haholo (vlsi).

2.3 Ho hloekisa le ho itlhoekisa

Ho hloekisa le ho pepesetsoa ke senotlolo sa ho netefatsa boleng ba lisebelisoa tsa semiconductor tlhahiso. Ammonia e sebelisoa haholo lits'ebetsong tsena, haholo-holo Plasma eching le ho hloekisoa ha lik'hemik'hale.

Sebakeng sa Plasma Eshing, Amphonia e ka kopantsoe le likhase tse ling (tse kang chlorine, C ho thusa ho tlosa lithibela-mafu, likarolo le litšila tsa tšepe tse tsoang sebakeng se hole. Ka mohlala, Ammonia o etsa letsisi ho hlahisa mofuta o iketsetsang o oa oksijene (joalo ka O₃ le O₃).

Ntle le moo, Ammonia e ka sebetsa e le ea phethoang ka mekhoa ea ho hloekisa, e thusang ho tlosa masala a ho hloekisa ka lebaka la karabelo ea lik'hemik'hale.

3. Melemo ea ammonia ho indasteri ea semiconductor

Ammonia e fana ka melemo e 'maloa ho tlhahiso ea secouctor, haholo-holo libakeng tse latelang:

3.1 Mohloli o sebetsang oa Naitrogen

Ammonia ke mohloli o hloekileng o monate ebile o na le phepelo e tsitsitseng le e nepahetseng ea liatlamo tsa naetrogen bakeng sa ho boloka lifilimi tsa nitride. Sena ke sa bohlokoa bakeng sa lesela la lisebelisoa tsa Micro- le Nano-boholo ba lisebelisoa tsa semiconductor Maemong a mangata, ammonia e sebetsana le eona e sa laoleheng le e laolehang ho feta mohloli o mong oa botle ba naetrojene (joalo ka khase ea naetrojene kapa naetrojene.

3.2 Taolo e nepahetseng ea taolo

Boikemisetso ba Ammonia bo e lumella ka litheko tse sa laoleheng hantle le metlae ea lifilimi ka mokhoa o fapaneng. Ka ho fetola sekhahla sa ho phalla ha Ammonia, mocheso le ho tsoela pele ka nepo, ho tšoana le ho laola botumo, ka hona, ho ntlafatsa ts'ebetso ea lisebelisoa, ka hona, e ntlafatsa ts'ebetso ea lisebelisoa.

3.3 Litefiso tsa theko e boima le botsoalle ba tikoloho

Ha ho bapisoa le mohloli o mong oa naetrojene, ammonia e tlase ka litšenyehelo 'me e na le katleho e phahameng ea ho sebelisa noitrogen e phahameng, tlhahiso ea semiconductor e kholo. Ho feta moo, Ammone oa ho nchafatsa le ho sebelisa Tepiniki e hasoa ho feta, e tlatsetsa botsoalleng ba sona ba tikoloho.

4. TLHOKOMELISO LE LITLHAKISO TSA BOPHELO

Ho sa le bohlokoa ho ikhachang ea semicondctor, ammonia e hlahisa likotsi tse ka 'nang tsa mali. Mocheso oa kamore, Ammonia ke khase, 'me ka sebopeho sa eona se metsi, ke chefo le chefo e hlokang mehato e tiileng mosebetsing oa ho sebelisoa.

1. Ho boloka le ho tsamaisa: Ammonia e lokela ho bolokoa ka mocheso o tlase le likhatello tse phahameng, a sebelisa lisebelisoa le lipampiri tse ngata ho thibela ho tsoa.
2. Polokeho ea ts'ebetso: Batsamaisi ba tlhahiso ea semicondctor
3. Phekolo ea khase ea litšila: Ts'ebeliso ea Ammone e ka hlahisa likhase tse mpe tsa litšila, mekhoa ea kalafo e felletseng e lokela ho ba teng ho netefatsa hore ho na le maemo a ho kopa maemo a tikolohong.

Joalokaha litšebeletso tsa semiconductor li ntse li tsoela pele ho ea pele le tlhoko ea ts'ebetso ea sesebelisoa se phahameng hoa eketseha, karolo ea sesebelisoa sa Ammone indastering e tla tsoela pele ho hola. Sena ke 'nete haholo-holo ka bongata ba Nano-Stage Inthaneteng e kopaneng e kopaneng, likokoana-hloko tse kopaneng le mahlale a tsoetseng pele. Ho feta moo, kaha melaoana ea tikoloho e fetoha matloana, nts'etsopele ea tlhahiso e botala le ho nchafatsa mahlale a ammonia e tla ba ntho e bohlokoa bokamosong ba indasteri.

Likopo tsa ammonia ho indasteri ea semiconductor li fana ka motheo o tiileng bakeng sa nts'etsopele ea elektroniki ea sejoale-joale. Karolo ea eona ho ntlafatsa katleho ea tlhahiso, litšenyehelo tsa ho fokotsa tlhahiso, le ho ntlafatsoa ha theknoloji ha ho bohlokoa haholo. E le tsoelo-pele ea theknoloji, ts'ebetso ea Amonia e tla tsoela pele ho hola, ho thusa indasteri ea semiconductor.

Ammonia, joalo ka mokhoa oa bohlokoa oa ho fetoha oa lik'hemik'hale, ho bapala karolo ea bohlokoa tlhahiso ea semiconductor. Hoa bohlokoa bakeng sa ho boloka lifilimi tsa ntloaneng, ho fofa le ho hloekisa lits'ebetso / ho tsoa. Ka tsoelo-pele e tsoelang pele ea Theknoloji ea Sehamicondtor, Likopo tsa Ammonia li lokela ho hola ka esale pele ho nts'etsopele ea semicondctor li fetoha tataiso e ntle le tikoloho.