Tataiso ea ho tseba likhase tse phahameng tsa purity tse sebelisoang ho semisonductor tlhahiso
Re ntse re matha fektheri Chaena e ikhethile ho hlahisa likhase tsa indasteri. Ho tloha ntlheng ea ka ea bophelo ba ka, ke bone ka theko e hlollang ea mahlale, kaofela ha motho a ne a sa tsotelle: likhase tsa ultra-Phahameng. Li-microchips tse nyane fonong ea hau, k'homphieutha le koloing ke limakatso tsa boenjiniere ba kajeno, empa pōpo ea bona ha e khonehe ntle le likhase tse ikhethang.
U utloisisa bohlokoa ba boleng le chain e tšepahalang, empa u kanna oa ipotsa Hobaneng Melao ea lithaba tsa semiconductor e phahame haholo. Hobaneng ho tsamaisoa ha Argon ho hloka ho ba 99.999% e hloekileng? Tataiso ena e tla khutlisetsa lesira lefatšeng la semiconductor. Re tla hlahloba likhase tse khethehileng tse sebelisoang, seo ba se etsang, hona ke hobane'ng ha bohloeki boo ba bo etsang ka ho fetisisa. Qetellong, u tla ba le kutloisiso e hlakileng haholoanyane ea lihlahisoa tseo u li hlahisang 'me u hlomele ho fetise boleng ba bona ho bareki ba hau.
Ke hobane'ng ha likhase tse ikhethang li bohlokoa haholo bakeng sa lesela la semiconductor?
Nahana ha lehlabathe le sa sebetseng hantle leo lehlabathe le fosahetseng le neng le ka etsa hore sebopeho se ka etsa hore sebopeho se ka baka ho oa. Ke boemo ba ho nepahala ho hlokahala ho Semiconductor Tlhahiso indasteri. "Litšobotsi tsa ho aha" tsa indasteri ena ha se litene le seretse, empa liathomo, le "lisebelisoa" hangata ke likhase tse khethehileng haholo. Kaofela lesela ea Potoloho e Kopaneng e etsahala ka boholo ba thepa, moo likarolo tsa thepa, hangata liapole tse 'maloa feela, li hahiloeng ho ba silicon wafer.
Tsena Litsamaiso tsa semiconductor li tsotella haholo. Karohano efe kapa efe e sa batleheng kapa lik'hemik'hale Ho Hlokahala e ka senya meralo e bonolo ea microchip, e fetohele u se na thuso. Hona ke moo Likoluoa lia sebelisoa. Ba theha tikoloho e hloekileng ea ultra, ba fana ka lisebelisoa tse tala bakeng sa likarolo tse ncha, 'me li sebetsa joalo ka manaka a lik'hemik'hale "a rarahaneng a motlakase. The Ts'ebetso ea Tlhahiso ea Semiconductor ke motjeko o rarahaneng oa Liphello tsa lik'hemik'hale, mme likhase ke litlebo tse etellang pele. Ha re sa phela khafetsa, re sa hloekisi-ntle le ka mokhoa o hlakileng le khahlano le likhase tsena, litsebi tsa sejoale-joale li ne li sa ba teng.
The likhase tse sebelisitsoeng ho sehlahisoa sa semiconductor ha se lihlahisoa tsa hau tsa indasteri. Ba enjene ho kopana le maemo a hloekileng a bohloka a ho utloisisa, hangata a lekantsoe likarolo ho binela limilione tse billion kapa esita le likarolo tse tharo. Sena ke hobane ts'ebetso ea semiconductor lisebelisoa e tletse ka kotloloho e phethahetseng ea sebopeho sa bona sa atomiki. Molek'hule e ntle ea oksijene kapa ea mouoane oa metsi kapa oa metsi ho seo e lokelang ho ba sethala khase e ka baka oxidation, ho fetola Matla a motlakase ea potoloho le ea e lebisa likopi. Ke ka hona Indasteri e ikhethang e bohlokoa haholo ho lefatše la theknoloji.

Ke likarolo life tsa sehlooho tsa likhase tse sebelisoang ho semisonductor e hlahisang?
Ha re bua ka Likoluoa ka har'a semiconductor, ka kakaretso li oela mekhahlelo e 'maloa ea bohlokoa e thehiloeng tšebetsong ea tsona. Ho utloisisa lihlopha tsena ho thusa ho hlakisa karolo eo e mong le e mong khase e bapala ka thata Ts'ebetso ea Tlhahiso. Ha se e le 'ngoe kapa tse peli feela kapa tse peli; Sejoale-joale Semiconductor Fab e hloka tse fetang 30 tse fapaneng Likhase le motsoako ho sebetsa.
Pele ke likhase tse ngata. Tsena ke lithuto, tse sebelisoang ho bongata bo boholo ho pholletsa le setsing. Li nahane ka bona e le moea oa bofokoli oa fab. E atileng haholo:
- Nitrogen (N₂): E sebedisoang bakeng sa likamore le lisebelisoa tsa ho hlatsoa likhama le lisebelisoa ho tlosa lithibela le ho theha tikoloho ea ente.
- Oksijene (O₂): E ne e tloaetse ho holisa likarolo tse phahameng tsa sioxide (Sio₂), e leng ea bohlokoa joaloka lisele.
- Fydrogen (H₂): E sebedisoang bakeng sa libaka tse hloekisang le tse ikhethang Tekanyetso ea Deposition lits'ebetso.
- Argon (ar): A Khase ea ITTrt sebelisoa ho theha tikoloho e tsitsitseng bakeng sa lits'ebetso tse kang ho chechisa.
E latelang ke likhase tse ikhethangHape e tsejoang ka joalo likhase tse ikhethang tsa elektroniki. Tsena ke tse ikhethang haholo, hangata Iketsetse kapa hampe, likhase tse etsang mesebetsi e nyarosang ea ho ba le ho ba le ho bapisa le ho boloka. Li sebelisoa ho tse nyane empa li na le litšenyehelo tse phahameng haholo 'me li hloka ho tsamaisana le ho sebelisana haholo ka hloko. Tsena li ka aroloa hape ka lihlopha tse kang:
- Lits'oants'o tsa Deposition: Likhase tsena, joalo ka Silane (Sih₄), ke mohloli oa thepa e sebelisoang ho aha likarolo tsa chip. Ba bolaoa le ba beha a filimi e tšesaane ea thepa ho silicon wafer.
- Likhase tse monate: Tsena ke likhase tse sebetsang e sebelisetsoa ho tlosa thepa ka mokhoa o ikhethileng. Mehlala e kenyelletsa likarolo tsa follorine tse kang khabone ea khabone ea khabone (cf₄) le hydrogen chloride (HCL). Li sebelisoa ho Ts'ebetso ea Eching ho tsamaisa lipaterone tsa potoloho.
- Likhase tse bohloko: Likhase tsena li sebelisoa ho "dope" the silicon, ho bolelang ka boomo ho tsebisa ka boomo Ho Hlokahala (a dopaant) ho fetoha Matla a motlakase. Sena ke ntho ea bohlokoa ho theha ba fetolang. Tloaelehileng likhase tse bohloko Kenyelletsa seso (ash₃) le phosphine (ph₃).
Li-Nitrojene li sebetsa joang e le mosebetsi oa tšebetso ka li-semicondtor li-frabs?
Haeba u ne u ka tsamaea ka Semiconductor Setsi, e sa hlophisehileng haholo khase o ne o tla kopana Nitrogen. Ha e sa nke karolo ea mantlha Liphello tsa lik'hemik'hale Seo se aha chip, karolo ea eona e bohlokoa haholo bakeng sa ho bula maemo bakeng sa maikutlo ao a ka a atleha. Nitrogen e sebelisoa haholo-holo bakeng sa botle ba eona; Ha e sebetse hantle ka lintho tse ling, e e etsang "filler" e phethahetseng khase.
Ts'ebeliso ea mantlha bakeng sa Nitrogen e ntse e hloekisoa le ho theha sepakapaka se setle. Pele ho na le kutloelo-bohloko Semiconductor ts'ebetso O ka qala, kamore eo e lokela ho ba mahala ea sinakollo e kang oksijene, ea mafura le lerōle. Phahameng haholo Nitrogen e hlakotsoe ka phapusing ho leleka lintho tsena tse se nang letho. Sena se thibela oxidation ea phoso kapa maikutlo a mang a neng a ka senya Wafer. Molao-motheo ona ona o sebelisoa ho lisebelisoa le lipehelo tsa lipalangoang (tse tsejoang ka hore ke litlolo) tse etsahalang silicon wafers lipakeng tsa mekhahlelo e fapaneng ea Ts'ebetso ea Tlhahiso.
Ntle le moo, Nitrogen e bapala karolo ea bohlokoa ho setšoantšo, ketso ea ho hatisa moralo oa potoloho over setulong. Ka ho teba ha sello se tebileng (duv) lithography, sebaka se pakeng tsa lense le Wafer e tletse ka ultra-Pure Nitrogen (kapa Argon) Ho lumella khanya e khuts'oane ea 'mala o mokhuts'oane hore e fete ntle le ho angoa ke moea. Ntle le tikoloho ena ea ente, ts'ebetso e ne e ka se khonehe. Se seng ho tsoa ho mafura, tlhoko ea molumo o tsoelang pele, o phahameng le bohloeki bo phahameng haholo Nitrogen Phepelo ha e khone ho buisanoa.
Argon o bapala karolo efe ho theha tikoloho e phethahetseng?
Joalo ka naetrojene, Argon ke ntho e ntle khase, ho bolelang hore ke lik'hemik'hale inert. Leha ho le joalo, Argon oa sebelisoa Bakeng sa lits'ebetso tse ikhethang moo boima ba eona ba boima ba 'mele bo fanang ka monyetla. E 'ngoe ea tse bohlokoa ka ho fetisisa ho likopo tsena ke ho boloka thepa, kapa ho chechisa. Sena ke mouoane oa 'mele Ts'ebetso ea Deposition e ne e tloaetse ho beha lifilimi tse tšesaane tsa tšepe, e leng ho fofonela Potoloho e Kopaneng.
Ho sputtering, voltage e phahameng e sebelisoa ka kamoreng ea phomolo e tlalehiloeng ka Khase ea Argon. Sena se theha plasma ea ho qosoa ka nepo Argon ions. Li-ion tsena li potlakile ebile li otla "sepheo" tse entsoeng ka tšepe re batla ho boloka (joalo ka koporo kapa aluminium). Matla a kholisong a kokota lithibela tsa tšepe, tse fofang ka kamoreng le seaparo sa silicon wafer ka mokatong o mosesane o monyane, o ts'oanang. Argon e loketse sena hobane e le boima ho lahla liathomo tsa sepheo empa ka palo ea lik'hemik'hale hore e ka thusa ho theha. E fana ka tse phethahetseng Tikoloho bakeng sa pokello ea metsi.
Ts'ebeliso e 'Ngoe e Felletseng bakeng sa Argon e ka holimo ho plasma. Ho sena Ts'ebetso ea Eching, Argon hangata e tsoakana le a Iketsetse ethant khase. The Argon E thusa ho tsitsisa plasma le sekoti 'meleng, ho thusa ba lik'hemik'hale hore ba be le likuku tse hlakileng, tse otlolohileng ka ho fetisisa tse hlakileng. Phepelo e tšepahalang ea Li-cylinder tsa khase tsa Argon e bohlokoa bakeng sa sebaka leha e le sefe se etsang papali ea metallization kapa e tsoetseng pele.

O ka hlalosa hore na fydrogen e sebelisoa joang bakeng sa ho nka Deposition le ho hloekisa?
Ha Nitrogen le Argon ba rala ka lebaka la ho ba sieo, Hydrogen e bohlokoa bakeng sa ho ba joalo Iketsetse, empa ka tsela e hloekileng le e laoloang. Hydrogen e sebelisoa haholo Semiconductor Tlhahiso Bakeng sa ho hloekisa libaka tse hloekileng le mofuta o itseng oa Tekanyetso ea Deposition e bitsoang epitaxial kholo. Boholo ba eona ba athokic bo bo lumella hore e phunyetsoe ebe e amohela mekhoa e meng likhaso tse ling.
Pele karolo e ncha e ka lengoa ho a Wafer, bokaholimo bo tlameha bo hloekile hantle, ho fihlela boemong ba amito feela. Khase ea Hydrojene e sebelisoa ka mocheso o phahameng o bitsoang "Hydrogen bake" ho tlosa oxide leha e le efe ea tlhaho (tlhaho e tšesaane ea siline e thehile silicon bokaholimo. The hydrogen ea arabela ka oksijene, e etsa mouoane oa metsi (H₂o) eo ka nako eo e phuthoa ka kamoreng, e siea pristine silicon bokaholimo bo itokiselitseng mohato o latelang.
Hydrogen hape ke karolo ea bohlokoa ho Epitaxal Keketseho (kapa "Epi", ts'ebetso e nang le karolo e le 'ngoe ea kristale ea silicon ka holim'a silicon wafer. Karolo ena e ncha e na le sebopeho sa kristale le se laoloang hantle dopaant maemo. Hydrogen e sebetsa joalo ka thepa khase Bakeng sa silicon Mohloli khase (joalo ka Silane kapa Tricphorosilanene). E boetse e netefalletsa tikoloho ea kholo e hloekileng ka ho thella liathomo tsohle tse khelohang. Boleng ba karolo ena ea khethollo e bohlokoa molemong oa li-processor tsa ho qetela, ho etsa bohloeki ba Sethala sa hydrogen Phepelo e kholo.
Likotlo tsa li-itchant li joang 'me li tsamaisa lipotoloho tsa microscopic joang?
Haeba deposinition e bua ka ho haha likarolo, ho itlotsa ka mokhoa o batlang ho ba ts'oara ka mokhoa o khetha ho etsa lipaterone tsa potoloho. E nahane ka eona e le ntho e tenang ka Microscopic. Kamora hore sebopeho se hlalosoe ho sebelisoa setšoantšo, enthant Likoluoa li sebelisoa ho fana Lik'hemik'hale li bolela ho tlosa thepa libakeng tse sa sireletsehang tsa Wafer. Ena ke e 'ngoe ea mehato e rarahaneng haholo le e nyatsang ho Tlhahiso ea Chip.
The Khase e sebelisitsoeng ho tsoa ho ETCing Ts'ebetso hangata ke foorrine, chlorine, kapa bromirine metsoako e thehiloeng ho eona. Khetho ea khase ho latela boitsebiso bo lutseng.
- Khase e thehiloeng ho folete (e.7., CF₄, SF₆, NF₃) e ntle haholo bakeng sa ETCHING silicon le silicon dioxide.
- Likhase tse thehiloeng ho chlorine (e.g., cl₂,
Tsena likhase tse sebetsang li kenngoa ka phapusing ea plasma. Plasma e robatsa khase limocules arole haholo Iketsetse Ions le li-radicals. Li-radicals tsena li arabela ka bokaholimo ba Wafer, a theha boea bo bocha bo ka bokellang habonolo, ka tsela ena " Ho nepahala hoa hlokahala hoa fetoha; Morero ke ho Ench otloloha (asisotoropically) ntle le ho nyenyefatsa lera le patetsoeng. Kajeno Semiconductor Fabs Sebelisa Raissa motsoako oa khase 'me u laole maemo a plasma ka hloko ho fihlela sena.
Li-depositi tsa k'hemik'hale (cvd) le life tse kenyelletsang?
Kakaretso ea li-vapor tsa mouoane (CVD) ke sekhutlo Ts'ebetso ea Deposition ho Semiconductor Tlhahiso. Ke mokhoa oa mantlha o sebelisitsoeng ho theha mefuta e fapaneng ea li-spilated tse ling tse nang le li-filimi tse nyane tse senyehileng tse etsang sesebelisoa sa semiconductor. Mohopolo oa mantlha ke ho phalla a khase (kapa motsoako oa likhase) e futhumetseng Wafer. Mocheso o baka khase Ho etsa joalo, kapa ho kokobetsa holim'a sebaka se setseng, ho siea filimi e tiileng ea boitsebiso bo lakatsehang.
| The mefuta e fapaneng ea likhase tse sebelisitsoeng CVD e kholo, joalo ka ha e 'ngoe le e' ngoe e etselitsoe ho beha lintho tse ikhethang. Tse ling tsa tsona likhase tse tloaelehileng le lifilimi tseo ba li hlahisang ke: | Khase ea Deposition | Foromo ea lik'hemik'hale | Filimi e behiloe |
|---|---|---|---|
| Silane | Sih₄ | Polysilicon (p-si) | |
| Dichlorosilane + ahomonia | Sih₂cl₂ + NH₃ | Silicon Nitride (Si₃n₄) | |
| Tutraethylemorthosilicate (Li-Teos) | C₈h₂₀o₄si | Silicon dioxide (sio₂) | |
| Tunga Hexafluorride | Wf₆ | Tungsten (w) |
E 'ngoe le e' ngoe ea maikutlo ana e hloka maemo a tsitsitseng haholo ebile a le boima haholo Khase e Phahameng e Phahameng. Mohlala, ha o beha Seaparo sa polysinilicon a sebelisa Silane, oksijene efe kapa efe Ho Hlokahala ho khase Ho ka etsa hore molapo o ka baka silizon Dioxide ho e-na le eona, e senya meru ea sekaka. Ke ka hona rona, joalo ka mofani oa thepa, tsepamisa maikutlo haholo ho tlhoekiso le ho sekaseka tsena Likhase tsa Deposition. Laeborari eohle ea Makhalo a Bochabela a Purek e Bonolo Re fana ka mokhoa oa ho fihlela litlhoko tsena tse thata.

Hobaneng ho hloeka haholo ha ho ruisoa hantle ntho ea bohlokoa ka ho fetisisa ea semiconductor?
Ha ke khone ho fetisa sena: ho Semiconductor indasteri, bohloeki ke ntho e ngoe le e ngoe. Kotara phahameng haholo ha ho bolele 99% kapa e 99.9%. Bakeng sa Semiconductor gras, re ntse re bua ka Ultra-High Bouthali bo phahameng (UHP), eo hangata e leng 99.99% (hangata e bitsoang "maele a mahlano") kapa ho feta. Bakeng sa ba bang Ts'ebetso likhase, Seo e ka se hlokahalang e ka ba 99.999% ("menyako e tšeletseng") kapa e phahame haholo. Lebaka le bonolo: Liponuni tsa lifofane li bolaea ts'ebetso.
Litšobotsi tse mabapi le microchip ea sejoale-joale li lekantsoe li-nanometers (Billionths ea mitha). Ka tekanyo ena, karolelano e le 'ngoe e tsoang kantle ho naha kapa molek'hule e sa batleheng e joaloka seretse se bohareng ba tsela. A Ho Hlokahala :
- Matla a motlakase: Ion ea sejoale-joale e ka fetola mocheso oa mochine oa mochine o motenya, o fe hore o bulela kapa o tima ka nako e fosahetseng.
- Theha likokoana-hloko tsa sebopeho: Molek'hule ea oksijene e ka senya konopo e phethahetseng ea kristale nakong ea kholo ea li-opitaxal, ho theha "ho pepeta" ho ferekanya elelloa.
- Etsa li-pokello tse khutšoane: Karolo ea tšepe e ka koala mela e 'meli e tsamaisang haufi le ho etsa nako e telele.
- Fokotsa chai: Lithibelo tse teng ho feta, palo ea palo ea li-chips tse nang le phoso ho e 'ngoe le e' ngoe Wafer, e leng ho fana ka kotlolloho ka ho toba.
Ke kahoo, joalo ka moetsi, matsete a rona a maholo ka ho fetisisa ke lisebelisoa tsa tlhoekiso le tlhaiso-leseling. Sehlopha se seng le se seng sa khase e tlameha Lekoa ho netefatsa hore e kopana le likarolo - ka billion (PPB) kapa likarolo tsa trillion (PPT). The Tlhokahalo ea likhase tse phahameng tsa bohloeki ke eona e tsamaisang kaofela Mmaraka oa Khase o Khethehileng Bakeng sa lisebelisoa tsa elektroniki.
Re etsa joang hore boleng ba boleng le bo ka tšeptjoang ba likhase tse phahameng tsa bohlooho bo phahameng?
Bakeng sa ofisiri ea ts'ebetso joaloka Mareka, ona ke eona potso ea bohlokoa ka ho fetisisa. Theko e ntle ha e na moelelo haeba khase Boleng bo sa lumellane kapa thomello e liehile. Ke utloile lipale tse tšosang: Barekisi ba fanang ka lingoloa tsa bolotsana, kapa thomello ea likhase tse ikhethang Ho ts'oaroa ka moetlo libeke, ho baka mohala oa tlhahiso ho emisa. Ho sebetsana le lintlha tsena tsa bohloko ho bohlokoa ba filosofi ea rona ea khoebo.
Ho netefatsa hore boleng bo qala ka tlhoekiso ts'ebetso. Re sebelisa litsamaiso tse tsoetseng pele joaloka lisebelisoa tsa Crykogenic le lisebelisoa tse ikhethang tsa Adsorbonce ho tlosa litšila tsa traces. Empa ts'ebetso ha e felle moo. Mohato oa bohlokoa ka ho fetisisa ke netefatso. Re sebelisa liletsa tsa tlhahlobo-leseling tsa 'nete tse kang khase ea khase (gc-mm) ho lekola silinda e' ngoe le e 'ngoe e le' ngoe pele e romelloa. Re fa bareki ba rona ka setifikeiti se qaqileng le sa 'nete sa ho sekaseka (COA) bakeng sa sehlopha se seng le se seng, ho netefatsa hore Pure ea gas.
A Phepelo ea Phepelo Chain ke halofo e 'ngoe ea equation. Sena se kenyelletsa:
- Ho itokisetsa motsoako oa ho itokisa: Li-cylinders tsa Khase ea Ultra-Pumity Eja e le mokhoa o ikhethileng oa ho hloekisa le ho fetisa ho netefatsa hore setshelo ha e silafatse khase.
- INDLISTITIVEST: Re sebetsa le balekane ba nang le boiphihlelo ba utloisisang melaoana ea ho tsamaisa khatello e matla 'me ka linako tse ling thepa e kotsi ea tlhaho. Re fana ka litokomane tsohle tse hlokahalang ho netefatsa tumello e boreleli ea tloaelo.
- Puisano e hlakileng: Lihlopheng tsa rona tsa thekiso le tšehetso li koetliselitsoe ho fana ka lintlafatso kamehla. U tla lula u tseba boemo ba odara ea hau, ho tsoa ho tlhahiso ea ho qetela. Re utloisisa hore ho sa boleloang esale pele Phepelo ea likhase tse phahameng tsa bohloeki Ho bohlokoa hore bareki ba rona ba khone ho hlokomela kemiso ea bona ea tlhahiso. Re bile re fana ka mefuta motsoako oa khase likhetho tsa ho fumana litlhoko tse ikhethang.
Bokamoso bo tšoaretse likhase mabapi le indastering ea semiconductor?
The Semiconductor indasteri ha ho mohla e kileng ea ema. Joalokaha ho boletsoe esale pele Molao oa Moore, batho ba chitja ba lula ba le tlase ho etsa tse nyane, kapele, le lisebelisoa tse matla le ho feta. Bokhoni bona bo sa feleng bo amang likhase le motsoako e sebelisoang ka mokhoa o hlakileng. Ha re ntse re fetela ho Moloko o latelang oa Semiconductor Theknoloji, ka boholo ba mohlala e ne e le li-nanometer tse 'maloa feela, litlhokahalo tsa ho hloeka ha khase li tla fetelletsa ho fetesisa.
Re bona mokhoa o mocha o fetang silicon, joalo ka Gallium nitride (Gan) le silicon carbide (sic), e hlokang ncha ebile e fapane Ts'ebetso likhase bakeng sa ho itlotsa le ho leka. Ho boetse ho na le falli ea meralo e thata ea 3D, joalo ka Finfit le Gate-pota (GAA) tse hlophisehileng le ho feta tse ho Tekanyetso ea Deposition mme Ench mehato. Sena se bolela khase e ikhethang Indasteri e tlameha ho lula e ntlafala ho hlaolela limolek'hule tse ncha mme li fihlelle maemo a phahameng a tlhoekiso.
Ho latela pono ea ka ea ho ba mofani oa ka, bokamoso ke mabapi le ts'ebelisano. Ha ho sa lekana ho rekisa feela moqomo oa khase. Re tlameha ho sebetsa haufi le bareki ba rona ho Mohlahisi oa elektroniki Lekala la ho utloisisa tsela ea bona ea mahlale a mahlale a ka moso. Sena se re lumella ho lebella tlhoko ea tse ncha Khase e Phahameng e Phahameng le tsetela ho tlhahiso le bokhoni ba motho ea unang maikutlo ho ba fa. Bahale ba sa bonahaleng ba Semicondtor Lefatše - Lishabele - li tla tsoela pele ho ba naheng ea tsoelo-pele ea mahlale.
Key Picaways
Ha u ntse u fetola likhase tsa litsoalle bakeng sa 'maraka o thata oa seikimoctor, mona ke lintho tsa bohlokoahali tseo re lokelang ho li hopola:
- Bohloeki ke paramount: Ntho e le 'ngoe e tsietsing ke Ultra-High Bouthali bo phahameng. Disminants, esita le libakeng tse limilione - ka kakaretso, li ka baka sesebelisoa sa koluoa le ho fokotsa tlhahiso ea tlhahiso.
- Likhase li na le mesebetsi e ikhethang: Likhase ha li fetohe. Ke lisebelisoa tse ikhethileng tse sebelisoang haholo bakeng sa lits'ebetso tse ikhethileng tse kang ho theha Iert Atmosphera (Nitrogen, Argon), Likhaetso tsa Kaho (Likhase tsa Deposition joalo ka silane), 'me u be le lipotoloho (likhase tse monate joalo ka CF₄).
- Chain ea phepelo e tšoaea liphoso: Morekisi ea tšepahalang ha a rekisoe feela sehlahisoa. Li netefatsa boleng ka tlhahlobo e matla, fana ka netefatso ea netefatso, tsamaisa thepa e rarahaneng, 'me u lule u lieha ho lieha ho lieha ho lieha ho thibela litšenyehelo tse ngata.
- Tsebo ea mahlale e eketsa boleng: Kutloisiso Hobaneng Senter khase e sebelisoa le Hobaneng Ho hloeka ha eona ho u lumella ho ba molekane ea atlehang haholoanyane ho bareki ba hau, ba nang le tšepo le ho ba le tšepo ea nako e telele.
- Indasteri e hlahisa: Ho sututsa bakeng sa li-chips tse nyane le tse matla ho bolela tlhokahalo ea ncha, esita le purer likhase tse ikhethang e tla tsoela pele ho hola. Ho sebelisana le morekisi ea sa tsotelleng ke senotlolo sa ho lula pele.
