Tataiso e Fumaneng ea Naitrogen Trifluoride (NF₃) Khase ea Khase ea Semiconductor

2025-11-12

Smartphone ka pokothong ea hau, k'homphieutha tafoleng ea hau, e sirelelitsoeng ka koloing ea hau - ha ho na ea sa bonahaleng ea likhase tse khethehileng. Joaloka mong'a feme ea khase ea indasteri, 'na, Allen, u kile oa bona ka leihlo le leng thepa ee e mahlonoko e theha bethe ea theknoloji ea sejoale-joale. Bakeng sa baetapele ba khoebo ba kang Mark Shen, ba nang le ketane e thata ea lefatše ea lefatše, ba utloisisa likhase tsena ke senotlolo sa ho notlolla menyetla e mecha. Sengoliloeng sena ke sengoliloeng sena ke sengoliloeng sa hau se felletseng ho e 'ngoe ea libapali tsa bohlokoa ka ho fetisisa lefapheng lena: Nitrogen Trifluoride (NF₃). Re tla fokotseha sena se matla khase, hlahloba karolo ea eona ea bohlokoa ho Ts'ebetso ea Tlhahiso ea Semiconductor, 'me u hlalose hore na ke hobane'ng ha boleng le phepelo ea bona li bohlokoa bakeng sa kaofela Mohlahisi oa elektroniki indasteri.

Hantle-holo ke eng?

Ha u habanya feela, Nitrogen Trifluor, hangata ho bitsoa ka lebese la lik'hemik'hale Nf₃, e kanna ea utloahala eka ke indasteri e 'ngoe feela khase. Ke mebala e se nang mebala, e se nang tume, le monko o monate Multind. Leha ho le joalo, lefatšeng la Tlhahiso e tsoetseng pele, sena khase ke sesebelisoa se phahameng. Ke ka mokhoa o hlahisoang ka mokhoa o hlakileng Multind entsoe ka atom e le 'ngoe le tse tharo foorine liathomo. Senotlolo sa matla a eona se ka hlaha ka sebopeho sena. Ka mocheso oa kamore, Nf₃ e tsitsitse 'me inert, e etse hore ho laole le ho sebetsana le likhase tse ngata tse nang le mathata.

Boloi bo etsahala ha matla a sebelisoa. Tlas'a maemo a matla a phahameng kahare a Semicondtor Sesebelisoa sa tlhahiso, joalo ka a plasma kamore, the Nf₃ Limolek'hule bola. Ba arohana le ho lokolla haholo Iketsetse foorine li-radicals. Nahana joalo ka eona joaloka ho phatloha ho laoloang ka tekanyo e microscopic. Tsena li mahala foorine Liatomo li sebetsa hantle haholo ho arabela le ho tlosa thepa e sa batleheng, haholo-holo silicon le metsoako ea eona. Bokhoni bona ba ho tsitsa ha u e hloka ebile haholo Iketsetse Ha u batla ho etsa Khase ea Naitrogen Trifluor letlotlo le bohlokoa lefats'eng le nepahetseng la Tlhahiso ea Chip.

Tlhahlobo ena e ikhethang e le hore na Nf₃ e fetohile lejoe la sejoale-joale Semiconductor. Bokopuli ba eona bo tiisa hore polokeho le ho ts'epahala ka kemiso ea phepelo, ha mosebetsi oa eona oa ho hloekisoa le ho ba bahlahisi ba hloka. Ha re ntse re sebelisa botebo, u tla bona hore na sena se utloahala joang khase E thusa ho thehoa hoa lisebelisoa tse thata ka ho fetisisa lefatšeng.

Ke hobane'ng ha likhase tse ikhethang li bohlokoa bakeng sa indasteri ea semiconductor?

Ho utloisisa bohlokoa ba Nf₃, re tlameha ho utloisisa karolo e pharaletseng eo likhase li bohlokoa Bakeng sa Semiconductor indasteri. Ho etsa Potoloho e Kopaneng e tšoana le ho aha skyscraper ho seile ka sekhukhu se boholo ba thumbnail ea hau. Ke mokhoa oa ho eketsa le ho tlosa likhakanyo tse ngata tsa ultra-li-urtra tse nang le lisebelisoa tse fapaneng ho silicon Wafer. Mohato o mong le o mong, ho tloha ho theha sello Wafer ho ea chip ea ho qetela, e itšetleha ka moea o laoloang ka hloko likhase tsa elektroniki.

Likhase tsena li etsa mesebetsi e mengata e nyarosang. Ba bang, joalo ka Argon mme helium, e sebelisoa e le lits'oants'o tsa kahare ho etsa tikoloho e tsitsitseng, e sa sebetseng le ho hlabisa likhase tse ntle haholo. Tse ling li sebelisetsoa Tekanyetso ea Deposition, moo khase e sebelisoa ho depositi Filimi e tšesaane ea thepa ho Wafer. Mohlala, ka lik'hemik'hale Mouoane Tekanyetso ea Deposition (CVD), likhase li etsa hore filimi e tiileng e bang karolo ea potoloho ea chip. Ebe ho na le likhase tse tlisoang, joalo ka Nf₃, e sebelisetsoang ho betla lipaterone ka nepo, ho theha litsebe tse rarahaneng tsa motlakase ho phalla.

Ntle le ho lula o sa khaotse, ultra-phahameng haholo phepelo ea likhase tsena tse fapaneng, kaofela Ts'ebetso ea Tlhahiso o ne a tsikitlanya ho emisa. Esita le ho hlonama Ho Hlokahala ka a khase e ka senya sehlopha kaofela sa bafora, ho bitsa chelete k'hamphani ea limilione tsa lidolara. Ke ka lebaka leo Baetsi ba Semiconductor ba tsotella haholo boleng le ho ts'epahala ha barekisi ba bona sa khase. Bohloeki ba khase ho fetolela ka kotloloho ho boleng le Tlhahiso ea tlhahiso ea sehlahisoa sa ho qetela.

Khase ea NF₃ e sebelisoang joang ho semisonductor lits'ebetsong tsa thepa?

Nitrogen Trifluor e na le likopo tse peli tsa mantlha, tse mahlonoko ho Mekhoa ea Semiconductor: plasma eching le ho hloekisa ka kotloloho. Ka bobeli li bohlokoa bakeng sa ho theha li-microchi tse ling tse holimo, ho tsoa ho li-procers ho Nand Flash Memori ea Nand.

Taba ea pele, ha re bue ka ho itlotsa. Kamora mokato oa thepa joalo silicon dioxide e kentsoe ho Wafer, mohlala o ngolisitsoeng ho ona o sebelisa leseli. The Ench Tsamaea ebe o tlosa thepa eo libakeng tse sa sirelelitsoeng. Nf₃ e kenngoa ka kamoreng ebe e hlophisitsoe ho theha a plasma-A leru la ho lefisoa Ion likaroloana le ho sebetsa foorine li-radicals. Li-radicals tsena li ile tsa tsoa Wafer bokantle, ho nka bocha ka silicon mme o e fetotse ka gadeus Multind (silicon Tetrafluorluoride) e ka hlakoloang habonolo ka phapusing. Ntho e 'ngoe ea ts'ebetso ena e hohola, ho lumella baenjiniere ho kenya likarolo tse nang le limela tse tšesaane ho feta moriri oa motho.

Ea bobeli le ea tloaelehileng, Ts'ebeliso ea Nitrogen Trifluor e joalo khase ea ho hloekisa. Nakong ea Kakaretso ea mouoane oa lik'hemik'hale (CVD) Ts'ebetso, moo lifilimi tse tšesaane li lengoa ho Wafer, thepa e sa batleheng e boetse e hahela marakong a ka tlung ea kamore ea ts'ebetso. Hona ho jara masala, hangata e entsoe ka silicon kapa silicon nitride, e tlameha ho tlosoa ka botlalo pakeng tsa ho sebetsana le e 'ngoe Wafer kapa sehlopha sa wafers. Haeba ho se joalo, tlholeho ena e ka phatsima le ho lula ho tse latelang Wafer, e etsang sekoli. Mona, Nf₃ e phuthoe ka kamoreng e se nang letho mme a plasma ea hlolloa. Ea matla foorine Li-radicals li sutumelletsa mabota a khohletseng, a fetolang se tiileng ho jara masala ho gadeus Byproduct e tlosoang habonolo. Potoloho ena e hloekisang ke ho bohlokoa ho boloka bohloeki ba tikoloho ea ho etsa lihlahisoa le ho netefatsa phahameng Tlhahiso ea tlhahiso.

Ke eng e etsang hore NF₃ khase e hloekisang e bapisoang le e phahameng e bapisoang le mefuta e meng?

Ka lilemo tse ngata, Semiconductor indasteri itšetleha ka lentsoe la Perfluorocarbons (pfcs) joalo ka khabone tetrafluoride (cf₄) le Hexafluoroethane (C₂f₆) bakeng sa ho hloekisa le ho netefatsa. Le ha e sebetsa, likopo tsena li bile teng ka ho fumana lithaba tse tala: Ke likhase tse nang le matla a futhumetseng haholo tse nang le lefu la bophelo bo bolelele haholo le nang le bothata bo bolelele. Mohlala, C₂f₆ e na le Bophahamo bo phahameng ba ho futhumala ha lefatše (GWP) Ebile e ka phehella sepakapakeng lilemo tse 10,000. Ha melao ea tikoloho e tiisitsoe, indasteri e ne e hloka tharollo e betere.

Hona ke moo Nf₃ hlaha e le moqapi o hlakileng. Ha a ntse a Nitrogen Trifluor hape ke Khase e nang le matla a futhumetseng ea Greenhouse, e na le bophelo bo bokhutšoaane bo sa feleng ba nako e telele ho feta lilemo tse 500). Habohlokoa le ho feta, ho sebetsa hantle haholo mosebetsing oa ho hloekisa. Ka hare ho plasma kamore e ngata, e phahameng haholo ea Nf₃ Limolek'hule li phomola ho lokolla merero ea tsona foorine bapisoa le pfcs. Sena se bolela hanyane Ho ke hatelloa khase e khathetse ka phapusing. Kajeno Semiconductor Fabs Hape kenya litsamaiso tsa ABatement (li-scrubus) tse senyang hoo e ka bang kaofela Ho ke hatelloa Nf₃ hape e kotsi Byproduct likhase pele li lokolloa.

Motsoako oa katleho e phahameng le ho abeloa ho hongata ho bolela hore Emaeli ea Thapelo ea Greenhouse Ho Sebelisa Nf₃ li tlase haholo ho feta tse tsoang likhase tse kholo tsa PFC. Ts'ebetso ena e phahameng ke lebaka la bohlokoa la ho nkeloa sebaka sa eona sa marang-rang.

Tšobotsi Nitrogen Trifluoride (NF₃) Perfluorocarbons (E.G., C₂f₆)
Ho Hlaha Ts'ebetso Phahameng haholo E tsitsitse
TLHOKOMELISO EA PLASMA > 95% 10-40%
Ts'ebeliso ea Khase Boholo bo Hlokahalang Lichelete tse phahameng li hlokahala
Nako ea Ts'ebetso Ho hloekisa lits'ebetso ka potlako Maqhubu a ntseng a hloekisa
Tšireloana ea tikoloho Ho tsoa maemong a tlase a nang le ho abeloa Bophelo bo phahameng haholo, bo botle ba sepakapaka
Boikarabello bo theko e boima Phahameng Tlhahiso ea tlhahiso, Downtime e tlase E sa sebetseng hantle, litšila tse ling

Naitrogen ea Hrifigen e hlahisitse joang?

Joaloka moetsi, nka u joetsa hore ho hlahisa Nf₃ ke e rarahaneng ebile e laoloa haholo Ts'ebetso ea Tlhahiso. Morero ke ho theha sehlahisoa sa ho qetela se hloekileng haholo - hangata se hloekile haholo kapa se hloekile kapa se phahameng haholo kapa se phahameng haholo Ho Hlokahala e ka ba koluoa ​​bakeng sa Tlhahiso ea Semiconductor. Ts'ebetso e hloka boiphihlelo ba ho sebetsana le lik'hemik'hale tse etsahalang haholo, haholo-holo foorine.

The Tlhahiso ea NF₃ hangata ho kenyelletsa ho nka bocha ammonia (a Multind e nang le naetrojene) kapa ammonium Fluoride Motsoako oa mantlha foorine Khase ka Morekisi ho lithemparetjha tse phahameng. Boitšoaro bona bo hlahisa motsoako oa likhase, ho kenyelletsa Nf₃, lisebelisoa tse sa hlokahale, le li-haproducts tse fapaneng. Phephetso ea 'nete,' me setsebi sa mofani ea fanang ka 'nete se bontša' nete, e ho tlhoekiso Methati e latelang.

E tala gadeus motsoako o tsoela pele ho feta a 'maloa tlhoekiso mehato ea ho tlosa metsoako efe kapa efe e sa batleheng. Hangata sena se kenyelletsa letoto la ho hlaba, KHOTSO, le lits'ebetso tsa seriti tsa crysonic. The Ts'ebetso ea ho khetholla, ka ho khetheha, e sebelisa mocheso o tlase haholo oa ho arola likhase tse fapaneng ho latela lintlha tsa bona tse phehiloeng, ho khetholla Nf₃ ho tsoa ho litšila tse setseng. Mohato o mong le o mong o shebelloa ka lisebelisoa tse tsoetseng pele tsa tlhahlobo ho netefatsa hore sehlahisoa sa ho qetela se kopana le litlhaloso tse thata tsa Semicondtor indasteri. Boitlamo bona ho taolo ea boleng ke se arolang mofani ea ka botšepehi o tsoang ho ba bang kaofela.


Sebui se phahameng sa NF3

Ke lintlha life tse sireletsehileng le tse lumellanang le khase ea NF₃?

Polokeho ke eona ntho e tlang pele ho indasteri khase khoebo. Ha a ntse a Nf₃ ha e na thuso ebile e tsitsitse mochesong oa kamore, ke moemeli ea matla oa oxidizing, haholo-holo mochesong o phahameng. Sena se bolela hore e ka araba ka thata ka lisebelisoa tse tukang 'me e hloka hore e khone ho sebetsana ka hloko. Kotsi e ka sehloohong ke pherekano ea eona; inhiling the khase e ka ba kotsi, ho ikoetlisa ka tsela e nepahetseng le lisebelisoa tsa ts'ireletso tsa motho ka mong li bohlokoa ho efe kapa efe Sebaka sa Tlhahiso ea Tlhahiso.

Ketane eohle ea phepelo, ho tsoa fekthering ea rona ho moreki Semicondtor Fab, e hahiloe polokelong. Nf₃ e tsamaisoa ka meqomo e hlophiloeng ka ho khethehileng ka ho khethehileng tlasa khatello e matla. Li-cylinders tsena li fetisoa le tlhahlobo e thata ho netefatsa hore li ka atleha khase. Joaloka mofani oa thepa, re fana ka litheolelo tsa data tsa polokeho ea polokeho ea polokeho le thupelo ho bareki ba rona ka polokelong e nepahetseng, khokahano le mekhoa ea ho sebetsana le lits'ebetso le ho sebetsana le mekhoa ea ho boloka. Sena se kenyelletsa tataiso ho Sekhahla sa ho phalla taolo le lits'ebetso tsa ho lemoha.

Bakeng sa beng ba likhoebo joalo ka Mareka eo, eo kame e amanang le eona e boreleli ebile e le tšephisang, e khothatsang le mofani ea nang le tlaleho e netefalitsoeng ke tlaleho ea polokeho. Puisano e sa sebetseng hantle kapa ho se sebetse ha li-protocol tse hlakileng tse tsoang ho morekisi ke folakha e kholo e khubelu. Re motlotlo ka ho se hlahise sehlahisoa feela, empa tšebeletso e felletseng e kenyelletsang tšehetso le boiphihlelo ba polokeho, e netefatsa khase ho fihla 'me e sebetsantsoe ka mokhoa o sireletsehileng mohato o mong le o mong oa tsela.

Na nitrogen trifluoriar ke mafura a futhumatsang? Ho utloisisa setumella sa tikoloho.

Ho bohlokoa ho pepeseha ka likarolo tsa tikoloho tsa Nf₃. Ee, Nitrogen Trifluor ke ntho e matla Thapelo ea Greenhouse. Sehlopha sa bolulo se kopaneng sa phetoho ea maemo a leholimo. dioxide nako ea lilemo tse fetang 100. Ena ke 'nete ea hore indasteri e nka ka botebo.

Leha ho le joalo, pale ha e felle moo. The tšusumetso tikolohong Ha hoa itšetleha feela ka bokhoni ba khase, empa ke ba bangata ba ha e le hantle ho lokolloe sepakapakeng. Joalokaha ho boletsoe pejana, Nf₃ e sebetsa hantle haholo. Ka sejoale-joale Semicondtor Setsi, boholo ba Khase e sebelisitsoeng e jeoa kapa e sentsoe nakong ea ts'ebetso ea ho etsa lintho. The plasma e robale fatše, le efe kapa efe Ho ke hatelloa khase Seo se khathetse se romeloa tsamaisong e kenelletseng. Litsamaiso tsena li sebetsa hantle haholo, hangata li senya 99% ea tse setseng Nf₃.

Ho fetoha ha indasteri ho tsoa ho PFCS ho Nf₃, e kopantsoeng le tšebeliso ea theknoloji ea abela, ehlile e lebisitse pholisong ea Net Emaeli ea Thapelo ea Greenhouse hang-hang ea tlhahiso. Boikarabello Baetsi ba Semiconductor le barekisi ba khase ba sebetsa 'moho ho netefatsa hore ho tsoa ho ho fokola. Sena se kenyelletsa ho ntlafatsa ts'ebetso ea ho hloekisa ho sebelisa chelete e nyane ea khase ho hlokahala le ho boloka lits'ebetso tsa ho phomola bakeng sa ts'ebetso ea tlhoro. Kahoo, ha Nf₃ ke ntho e matla Thapelo ea Greenhouse ka ho ipeha ka har'a lab, maoto a eona a tikoloho ea lefatše la tikoloho ea lefatše ho Semiconductor Tlhahiso e laoloa ka hloko le tlase haholo ho feta mekhoa e meng e nkeloa sebaka.

Karolo ea leloko la khaba ea sebaka sa marang-rang bakeng sa li-febs tse kholo tsa semiconductor.

Tekanyo ea sejoale-joale Semiconductor Tlhahiso e phethola. Lisebelisoa tse kholo, tse tsejoang e le Mega-bo-Fabs, sebelisa likhase tse ngata tse ngata. Bakeng sa likhase tse ling, joalo ka naetrojene, ke ho sebetsa hantle ho ba hlahisa ka kotloloho setsing ho e-na le ho thathalehe ka likete tsa li-cylinders. Sena se tsejoa joalo ka sebakeng seo moloko. Bakeng sa ho khetheha haholo 'me u sebetse khase joalo ka Nf₃, mohlala o fapaneng hanyane ke oa hlaha: sebakeng seo ho hloekisoa le ho hlahlojoa.

Ha a ntse a tletse Tlhahiso ea NF₃ FAB e sa tloaeleha ka lebaka la ho rarahana ha eona, basebelisi ba bangata ba boholong ba ne ba tloaetse ho ba le maikutlo a matle sebakeng seo Tsamaiso ea taolo ea khase. Phepelo ea bongata ba Nf₃ e isoa ka lesela, ebe sistimi ena e etsa sethala sa ho qetela tlhoekiso le tlhahlobo e tsoelang pele ea boleng pele ho khase kenya lisebelisoa tse theko e phahameng tsa ho etsa thepa. Sena se fana ka sekala sa boleng bo phahameng ka ho fetisisa sa taolo ea boleng, e netefatsa hore ho tšoaroa ka tsela e ka bang teng. Mokhoa ona o kopanya melemo ea moruo ea Bunk ea ho reka ka tiiso ea boleng ba sebakeng seo taolo.

Ho utloisisa mefuta ena ea phepelo ena ea phepelo e bohlokoa. Joaloka mofani oa thepa, re atolohile litšebeletso tsa rona tse fetang feela ho tlatsa li-cyinders. Hona joale re sebetsa le Baetsi ba Lefatše ba Semiconductor ho rala le ho kenya tšebetsong lithuso tse felletseng tsa khara ea khase le tsa taolo ea taolo. Sena se ka kenyelletsa se lebelletsoeng Line Line Boleng ba moreki e moholo, thepa e ikhethang, kapa ho kenella ha bona sebakeng seo litsamaiso. Ke mabapi le ho fana ka ketane e feto-fetohang le e tšepahalang e kopanang le litlhoko tse thata tsa Tlhahiso ea Mashome la 21. Ena ke karolo ea bohlokoa ea leano la rona, haholo ha re sebeletsa bareki le bohlokoa matla a ho hlahisa.


Litsamaiso tsa khase ea sebaka sa marang-rang bakeng sa tlhahiso ea semiconductor

NF₃ Prity e ama joang hore tlhahiso ea tlhahiso e ea hlahisa li-Chip?

Ho Semicondtor Lefatše, "lefa" ke ntho e ngoe le e ngoe. Ke karolo ea liperesente tse ntle, tse sebetsang li ile tsa hlahisoa ho tsoa ho motho a le mong silicon Wafer. Lihlahisoa tse phahameng li bolela phaello e phahameng; Khanyeng le tlase le ka sithabela ka lichelete. Bohloeki ba ts'ebetso ea ts'ebetso, haholoholo khase joalo ka Nf₃, e na le tšusumetso e tobileng le e khanyang ho Tlhahiso ea tlhahiso.

NAHANA AND AING Ho Hlokahala joalo ka karolo e nyane ea mongobo (H₂o) kapa e mong gadeus Multind e kopantsoe le Nf₃. Nakong ea ts'ebetso ea ho hlapaola Ho Hlokahala e ka kena-kenana le maikutlo a lik'hemik'hale, e bakang bofokoli ba microscopic ho Churry ea Chip. E ka thibela Ench, a siea lintho tse ngata tseo se neng li sa lokela ho ba moo li ke keng tsa ba teng, kapa ho baka ho ntšoaea liphoso tse ngata. Ka tsela efe kapa efe, e hlahisitsoeng Potoloho e Kopaneng e tla hloleha tlhahlobo ea eona ea ho qetela. Ha u etsa li-tragator tsa bafani ba limilione ho Chip e le 'ngoe, esita le "Killer" Killer e le' ngoe "e le 'ngoe" e le' ngoe "e bakoang ke Ho Hlokahala e ka fana ka puo eohle e se nang thuso.

Ke ka hona re tse tsetisang taolo ea boleng bo holimo haholo. Ka ho fana ka netefatso, ultra-phahameng haholo Nf₃, re fa bareki ba rona ba nang le kholiseho ea hore khase e ke ke ea ba mohloli oa bofokoli. Ho Laola Khohlano ea motsoako o mong le o mong ho ea maemong a likarolo tsa li-bilione ka likarolo tsa Ts'ebetso ea Tlhahiso e tsitsitse ebile e phetoa e ka sehloohong. Mokhoa o tsitsitseng o lebisa ho tse boletsoeng esale pele le tse phahameng Tlhahiso ea tlhahiso, e leng sepheo sa mantlha sa e mong le e mong Semicondtor moetsi. Karolo ea rona ea ho ba morekisi oa Khase e hiriloeng e qaqileng e ikhethang ke ho tlosa litsie le ho fana ka sehlahisoa sa boleng bo sa fetoheng.

U lokela ho sheba eng ho mofani oa mofani oa naetrojene?

Bakeng sa ofisiri ea ts'ebetso joaloka Mareka, ho khetha morekisi ea nepahetseng bakeng sa thepa e nyarosang joalo ka Nf₃ ha e fetile litšenyehelo feela. Likotsi tsa liemahale tse mpe tsa ho ikatisa, litaba tsa mefuta, lipuisano tse mpe - li phahame haholo. Ho latela boiphihlelo ba ka, lintlha tsa bohlokoa ke tsena tseo ke lokelang ho nahana ka tsona:

Boleng ba pele, boleng ba netefatso le netefatso. Barekisi ba tšepahalang ba tla fana ka setifikeiti (COA) ka thomello e 'ngoe le e' ngoe, e qaqisa maemo a hloekileng le ho thathamisa litšila tse fumanoeng. Ba lokela ho lumellana le litekanyetso tsa machabeng tse kang iso 9001. Botsa ka bokhoni ba bona ba tlhahlobo. Na ba na le lisebelisoa tsa ho bona liphoso tsa maemo a hlokahalang Semicondtor Likopo?

Taba ea bobeli, ho tiisa phetoho ea chain le pepenene. Na thepa ea thepa e ka bontša lebenkele le futsang lintho tse ngata ho thibela ho lieha? Ba na le seo ba se hlokang matla a ho hlahisa ho netefatsa phepelo e tsitsitseng? Puisano ke senotlolo mona. Morekisi oa hau e lokela ho ba le ho sebetsa hantle, ho fana ka lintlafatso ho thepa le ho fumaneha habonolo ho araba lipotso. Sena se bua ka ho toba ntlha ea bohloko ea puisano e sa sebetseng hantle.

Qetellong, batla tsebo ea botekgeniki. Morekisi ea hantle ha a rekise sehlahisoa feela; Ba fana ka tharollo. Ba lokela ho utloisisa likopo tsa hau mme ba khona ho fana ka tšehetso ea tekheniki. Li lokela ho ba le tsebo mabapi le polokeho, ho sebetsana le melao ea tikoloho e potileng Likopo tsa Khase. Mofani ea ka sebetsang le ea nang le tsebo e le ea bohlokoa haholo ho feta ea bohlokoa haholo. Setsebi sena ke motheo oa kamano e telele, e nang le chelete e molemo. Re loanela ho ba molekane eo bakeng sa bareki bohle ba rona, eseng feela khase Empa khotso ea kelello e tlang le eona.


Key Picaways

  • Sesebelisoa sa bohlokoa: Nitrogen Trifluoride (NF₃) ke ntho e makatsang khase e sebedisoang bakeng sa ho ba le plasma eching le ho hloekisa ka kamoreng ho Ts'ebetso ea Tlhahiso ea Semiconductor.
  • Ts'ebetso e phahameng: Nf₃ e sebetsa hantle hape e na le tšusumetso e tlase ea tikoloho ea PFC e nkiloeng, ka lebaka la litekanyetso tse phahameng tsa tšebeliso le lits'ebetso tsa sejoale-joale.
  • Bohloeki ke phaello: Ho hloeka ha ultra Nf₃ ha e khone ho buisanoa. Le lipina tsa trace li ka baka litsie ho silicon Wafer, e fokotsa haholo Tlhahiso ea tlhahiso le phaello ea Tlhahiso ea Chip.
  • Polokeho le ho sebetsana le eona ke senotlolo: Ha a ntse a tsitsitse, Nf₃ ke chefo e nang le chefo le exidi khase Seo se hloka ho sebetsana le ho sebetsa ka mokhoa o ikhethang, se netefatsang li-cylinders tsa tumellano le kutloisiso e tebileng ea protocol ea polokeho.
  • Khetho ea Morekisi e bohlokoa: Ha o khetha Nf₃ Morekisi, ba etelle pele lipheleng tsa netefatso, ho na le tlhaiso-leseling ea lichane, ho ba le puisano e hlakileng, le botsebi bo tebileng ba botebong ba theko feela.