Wax-soo-saarka Semiconductor-ku wuxuu ku tiirsan yahay gaasyo kala duwan oo kala duwan, kuwaas oo loo kala saari karo saddex nooc oo waaweyn: gaas badan, gaasas khaas ah, iyo gaasas cuncuna. Gaasaskani waa inay ahaadaan kuwo nadiif ah oo aad u sarreeya si looga hortago faddaraynta, taas oo burburin karta habka jilicsan ee jilicsan.

Gaasaska waaweyn

Nitrojiin (N₂):

Doorka: N₂ waxay u adeegtaa ujeedooyin badan, oo ay ku jiraan nadiifinta qolalka habka iyo bixinta jawi aan firfircoonayn inta lagu jiro marxaladaha kala duwan ee soo saarista semiconductor.
Xusuusin Dheeraad ah: Nitrojiinka waxaa inta badan lagu shaqeeyaa gaadiidka iyo kaydinta maraqa silikoon si loo yareeyo oksaydhka. Dabeecaddeeda qallafsan waxay hubisaa inaysan ka falcelinin alaabada kale, taasoo ka dhigaysa mid ku habboon ilaalinta jawi nadiifinta nadiifinta.

Argon (Ar):
Doorka: Marka lagu daro ka-qaybgalkeeda geeddi-socodka balasmaha, argon waa qalab u ah geeddi-socodyada halka ka kooban gaaska la kantaroolo ay muhiim u yihiin.
Qoraalo Dheeraad ah: Sababtoo ah kama falceliso alaabada badankeeda, argon sidoo kale waxaa loo isticmaalaa sputtering, taas oo ka caawisa kaydinta biraha ama filimada dielectric halkaas oo sagxadaha waa in lagu ilaaliyo wasakh la'aan.

Helium (Isaga):
Doorka: Guryaha kulaylka ee Helium waxay ka dhigaan mid qiimo leh qaboojinta iyo ilaalinta joogtaynta heerkulka inta lagu jiro hababka falcelinta.
Qoraalo Dheeraad ah: Waxaa badanaa lagu isticmaalaa nidaamyada tamarta sare ee laser-ka ee lithography sababtoo ah dabeecadda aan firfircooneyn iyo awoodda lagu ilaalinayo dariiqa indhaha ee ka nadiifsan wasakheynta.

Hydrogen (H₂):
Doorka: Marka laga soo tago codsigeeda nuugista, hydrogen waxa kale oo ay gacan ka geysataa nadiifinta dusha sare ee maraqyada waxana ay ku lug yeelan kartaa falcelinta kiimikada inta lagu jiro epitaxy.
Qoraalada Dheeraadka ah: Isticmaalka hydrogen ee meel dhigista filimada khafiifka ah waxay u oggolaaneysaa in si weyn loo xakameeyo fiirsashada sideyaasha agabka semiconductor, wax ka beddelka guryaha korantada si weyn.

Gaasaska gaarka ah iyo Dopants

Silane (SiH₄):
Doorka: Marka laga reebo in uu horudhac u yahay dhigista silikoon, silane waxa loo beddeli karaa filim aan fiicneyn oo hagaajiya sifooyinka elektiroonigga ah.
Xusuusin Dheeraad ah: falcelinteedu waxay u baahan tahay in si taxadar leh loo maareeyo welwelka badbaadada awgeed, gaar ahaan marka lagu qaso hawo ama ogsijiin.

Ammonia (NH₃):
Doorka: Marka lagu daro soo saarista filimada nitride, ammonia waxay muhiim u tahay soo saarista lakabyo wareeg ah oo kor u qaadaya isku halaynta aaladaha semiconductor.
Qoraalada Dheeraadka ah: Waxay ku lug yeelan kartaa hababka u baahan in nitrogen lagu daro silikon, hagaajinta guryaha elektiroonigga ah.

Phosphine (PH₃), Arsine (AsH₃), iyo Diborane (B₂H₆):
Doorka: Gaasaskani kaliya lagama maarmaan u ah doping-ka laakiin sidoo kale waxay muhiim u yihiin gaaritaanka guryaha korantada ee la rabo ee aaladaha horumarsan ee semiconductor.
Qoraalo Dheeraad ah: Sunnimadooda waxay u baahan tahay hab-maamuusyo badbaado oo adag oo ay la socdaan nidaamyada deegaanka wax-soo-saarka si loo yareeyo khataraha.

Gaasaska xoqidda iyo Nadiifinta

Fluorocarbons (CF₄, SF₆):
Doorka: Gaasaskan waxaa lagu shaqeeyaa hababka etching engegan, kuwaas oo bixiya saxnaanta sare marka loo eego hababka qoyan etching.
Qoraalada Dheeraadka ah: CF₄ iyo SF₆ ayaa muhiim ah sababtoo ah awoodda ay u leeyihiin inay si hufan u dhejiyaan walxaha ku salaysan silikoon, u oggolaanaya xallinta qaab wanaagsan oo muhiim u ah microelectronics casriga ah.

Koloriin (Cl₂) iyo Hydrogen Fluoride (HF):
Doorka: Koloriintu waxay bixisa awoodaha xoqidda gardarada ah, gaar ahaan biraha, halka HF ay muhiim u tahay saarista silikoon dioxide.
Xusuusin Dheeraad ah: Isku-darka gaasaskan ayaa u oggolaanaya in laga saaro lakabka wax ku oolka ah inta lagu jiro marxaladaha kala duwan ee wax-soo-saarka, hubinta sagxadaha nadiifka ah ee tallaabooyinka habaynta ee xiga.

Nitrogen Trifluoride (NF₃):
Doorka: NF₃ waxay udub dhexaad u tahay nadiifinta deegaanka ee nidaamyada CVD, ka jawaabista wasakhaha si loo ilaaliyo waxqabadka ugu fiican.
Xusuusin Dheeraad ah: In kasta oo walaac laga qabo awooddeeda gaaska aqalka dhirta lagu koriyo, waxtarka NF₃ ee nadiifinta ayaa ka dhigaysa doorashada la doorbido warshado badan, in kasta oo isticmaalkeedu uu u baahan yahay tixgelin deegaan oo taxaddar leh.

Ogsajiin (O₂):
Doorka: Hababka oksaydheynta ee ay fududaysay ogsijiintu waxay abuuri karaan lakabyo dahaadhyo lagama maarmaan ah oo ku jira qaab-dhismeedka semiconductor.
Xusuusin Dheeraad ah: Doorka Ogsajiinta ee kor u qaadista oksaydhka silikoon si loo sameeyo lakabyo SiO₂ ayaa muhiim u ah go'doominta iyo ilaalinta qaybaha wareegga.

Gaasaska soo ifbaxaya ee wax soo saarka Semiconductor

Marka lagu daro gaaska dhaqameed ee kor ku taxan, gaasaska kale ayaa fiiro gaar ah u leh habka wax soo saarka semiconductor, oo ay ku jiraan:

Kaarboon Dioxide (CO₂): Loo isticmaalo qaar ka mid ah codsiyada nadiifinta iyo xoqidda, gaar ahaan kuwa ku lug leh walxaha horumarsan.

Silicon Dioxide (SiO₂): In kasta oo aan gaas ahayn marka la eego xaaladaha caadiga ah, qaababka uumiga ah ee Silicon dioxide ayaa loo adeegsadaa hababka kaydinta qaarkood.

Tixgelinta Deegaanka

Warshadaha semiconductor-ka ayaa si sii kordheysa diiradda u saaraya dhimista saameynta deegaanka ee la xiriirta isticmaalka gaasaska kala duwan, gaar ahaan kuwa ah gaasaska aqalka dhirta lagu koriyo ee awoodda leh. Tani waxay horseeday horumarinta hababka maaraynta gaasta ee horumarsan iyo sahaminta gaas kale oo bixin kara faa'iidooyin la mid ah oo leh raad deegaan hoose.

Gabagabo

Gaasaska loo isticmaalo wax-soo-saarka semiconductor ayaa door muhiim ah ka ciyaara hubinta saxnaanta iyo hufnaanta hababka wax-soo-saarka. Markay tignoolajiyadu horumarto, warshadaha semiconductor-ka waxay si joogto ah ugu dadaalayaan hagaajinta nadiifnimada gaaska iyo maaraynta, iyagoo sidoo kale wax ka qabanaya nabadgelyada iyo welwelka deegaanka ee la xidhiidha isticmaalkooda.