Telefoonka casriga ah ee jeebkaaga ku jira, kombiyuutarka miiskaaga saaran, nidaamyada horumarsan ee gaadhigaaga - midkoodna suurtogal ma noqon doono la'aanteed aamusnaanta, shaqada aan muuqan ee gaasaska gaarka ah. Anigoo ah milkiilaha warshad gaaska warshadaha, aniga, Allen, ayaan si toos ah u arkay sida walxahan muhiimka ah ay u dhisaan gogosha tignoolajiyada casriga ah. Hogaamiyeyaasha ganacsiga sida Mark Shen, oo u socdaalaya silsiladda sahayda caalamiga ah ee adag, fahamka gaasaskan ayaa fure u ah furitaanka fursado cusub. Maqaalkani waa hagahaaga dhammaystiran ee mid ka mid ah ciyaartoyga ugu muhiimsan garoonkan: Nitrogen Trifluoride (NF₃). Waxaan hoos u dhigi doonaa tan xoogga badan gaas, sahamin doorkeeda muhiimka ah ee habka wax soo saarka semiconductor, oo sharax sababta tayada iyo sahaydeedu ay muhiim ugu yihiin dhammaan wax soo saarka elektarooniga ah warshadaha.

Waa maxay Dhab ahaan Nitrogen Trifluoride (NF₃) gaaska?

Jaleecada hore, Nitrogen Trifluoride, inta badan waxaa lagu tilmaamaa qaaciidada kiimikada NF₃, waxay u ekaan kartaa warshado kale gaas. Waa mid aan midab lahayn, aan guban karin, oo xoogaa qadhaadh leh xarun. Si kastaba ha ahaatee, in dunida ee wax soo saar horumarsan, tan gaas waa qalab wax qabad sare leh. Waa mid sisthetic ah loo soo saaray xarun oo ka samaysan hal atom oo nitrogen ah iyo saddex fluorine atamka. Furaha awooddiisu waxay ku jirtaa qaabkan. heerkulka qolka, NF₃ waa mid xasiloon iyo dareen la'aan, taas oo ka dhigaysa mid badbaado leh in la qaado oo la xakameeyo marka la barbar dhigo gaas badan oo kacsan.

Sixirku wuxuu dhacaa marka tamarta la isticmaalo. Marka la eego xaaladaha tamarta sare ee gudaha a semiconductor qalabka wax soo saarka, sida a balaasmaha qolka, the NF₃ molecules qudhun. Way kala tagaan oo aad bay u sii daayaan falcelin fluorine xagjirayaal. Ka fakar sida qarax la kantaroolay oo cabbir yar. Kuwaas oo bilaash ah fluorine atamka ayaa si aad ah waxtar ugu leh ka falcelinta iyo ka saarida walxaha aan loo baahnayn, gaar ahaan silikon iyo xeryahooda. Awooddan si ay u noqoto mid deggan marka aad u baahan tahay oo aad u sareysa falcelin marka aad rabto way ka dhigaysaa Nitrogen Trifluoride gaaska hanti aad u qiimo badan oo ku taal aduunka saxda ah ee wax soo saarka chip.

Dabeecaddan laba-jibbaaran ee gaarka ah waa sababta NF₃ waxa uu noqday rukunka casriga ah samaynta semiconductor. Xasiloonideedu waxay hubisaa badbaadada iyo isku halaynta silsiladda sahayda, halka falcelinteedu ay siinayso nadiifinta waxqabadka sare iyo awoodaha xoqidda ee soosaarayaashu u baahan yihiin. Markaan sii qoto dheerayno, waxaad arki doontaa sida tan fudud u dhawaaqdo gaas awood u abuurista aaladaha ugu qalafsan ee dhulka.

Waa maxay sababta Gaasaska Khaaska ah ay Muhiim ugu yihiin Warshadaha Semiconductor?

Si loo fahmo muhiimada NF₃, marka hore waxaan u baahannahay inaan qiimeyno doorka ballaaran ee taas gaasaska waa lagama maarmaan waayo warshadaha semiconductor. Soo saarista a wareeg isku dhafan waxay la mid tahay dhisme dabaq sare ah oo laga dul dhisayo sharaca cabbirka thumbnailkaaga. Waa hab lagu daro laguna saarayo daraasiin lakabyo khafiif ah oo walxo kala duwan ah dushiisa a silikon wafer. Tallaabo kasta, laga bilaabo abuurista qaawan wafer ilaa guntii ugu dambaysay, waxay ku tiirsan tahay jawi si taxadar leh loo xakameeyay ee takhasuska leh gaaska elektarooniga ah.

Gaasaskani waxay qabtaan dhowr hawlood oo muhiim ah. Qaar, sida argon iyo helium, waxa loo isticmaalaa sidii gaasas xanbaarsan si ay u abuuraan jawi deggan, aan falcelin lahayn iyo in lagu milo gaas firfircoon. Kuwo kale ayaa loo isticmaalaa dhigid, ku a gaas loo isticmaalo dhigaal filim khafiif ah oo walxo dul saaran wafer. Tusaale ahaan, Kiimikada Uumiga Dhigista (CVD), gaasasku waxay ka falceliyaan si ay u sameeyaan filim adag oo noqda qayb ka mid ah wareegga wareegga. Kadibna waxaa jira gaasas cuncun, sida NF₃, kuwaas oo loo isticmaalo in si sax ah loo sawiro qaababka lakabyadan, abuurista waddooyinka adag ee korontadu ku socoto.

Iyadoo aan joogto ahayn, ultra-daahir sare sahayda gaasaskan kala duwan, oo dhan habka wax soo saarka joogsan lahayd. Xitaa minuscule wasakhnimo in a gaas waxay burburin kartaa qayb dhan oo xabbo ah, taasoo ku kacaysa shirkad malaayiin doolar ah. Tani waa sababta saarayaasha semiconductor waxay si aad ah ugu nugul yihiin tayada iyo isku halaynta alaab-qeybiyeyaasha gaaska. Daahirnimada ee gaas si toos ah u tarjumaysa tayada iyo wax-soo-saarka ee alaabta kama dambaysta ah.

Sidee Gaas NF₃ Loogu Isticmaalaa Habraacyada Wax Soo Saarka Semiconductor?

Nitrogen Trifluoride waxa uu leeyahay laba codsi oo aasaasiga ah, muhiimka ah hababka wax soo saarka semiconductor: Plasma etching iyo nadiifinta qolka. Labaduba waxay lagama maarmaan u yihiin abuurista mikrojibyada waxqabadka sare leh, laga bilaabo soo-saareyaal ilaa NAND flash memory.

Marka hore, aan ka hadalno etching. Ka dib lakabka walxaha sida silikon dioxide waxaa lagu shubaa a wafer, qaab ayaa lagu dul saadayaa iyadoo la isticmaalayo iftiin. The iwm Nidaamku wuxuu markaa ka saarayaa walxaha meelaha aan la ilaalin. NF₃ waxaa la soo galiyay qol waxaana la tamarsiiyay si loo abuuro a balaasmaha- Daruur la dallacay ion qaybo iyo falcelin fluorine xagjirayaal. Xagjiriintani waxay si sax ah u duqeeyeen wafer dusha sare, oo ka falcelinaya silikon oo u beddelaya a gaas badan xarun (silikon tetrafluoride) kaas oo si fudud looga soo saari karo qolka. Saxnaanta nidaamkani waa mid maskaxda lagu hayo, taas oo u oggolaanaysa injineerada inay xardhaan sifooyin kumanaan jeer ka khafiifsan timaha bini'aadamka.

Midda labaad, oo ka sii badan, isticmaalka nitrogen trifluoride waa sida a gaaska nadiifinta. Inta lagu jiro Dhigista Uumiga Kiimikada (CVD) habka, halkaas oo filimada khafiifka ah lagu koray on the wafer, walxo aan loo baahnayn ayaa sidoo kale ku dhisma gidaarada gudaha ee qolka habka. Tani haraaga, inta badan laga sameeyo silikon ama silikoon nitride, waa in gabi ahaanba laga saaraa inta u dhaxaysa farsamaynta mid kasta wafer ama dufcaddii canjeero. Haddaysan ahayn, dhismahani wuu dumin karaa oo ku degi karaa kan xiga wafer, taasoo keenta cillad. Halkan, NF₃ waxaa lagu shubaa qolka madhan iyo a balaasmaha waa la shiday. Kuwa xoogga leh fluorine xagjirayaashu waxay nadiifiyaan gidaarada qolka iyagoo nadiif ah, beddela kuwa adag haraaga galay a gaas badan wax soo saarka taas oo si fudud looga saaro. Wareegga nadiifinta ayaa ah muhiim u ah ilaalinta nadiifnimada deegaanka wax soo saarka iyo hubinta sare wax-soo-saarka.

Maxaa NF₃ ka dhigaya Gaas Nadiifinta Sarreysa marka loo eego Beddelka?

Sanado badan, the warshadaha semiconductor ku tiirsan Perfluorocarbons (PFCs) sida carbon tetrafluoride (CF₄) iyo hexafluoroethane (C₂F₆) nadiifinta iyo xoqidda. Iyadoo wax ku ool ah, xeryahoodani waxay la yimaadeen dib u dhac weyn: waxay yihiin gaasaska aqalka dhirta lagu koriyo oo aad u xoog badan oo leh cimri dheer oo jawiga. Tusaale ahaan, C₂F₆ waxay leedahay a awoodda kulaylka caalamiga ah ee sare (GWP) waxayna ku sii jiri kartaa jawiga 10,000 oo sano. Sida xeerarka deegaanka la adkeeyay, warshaduhu waxay u baahdeen xal wanaagsan.

Tani waa meesha NF₃ u soo baxay guuleyste cad. Halka Nitrogen Trifluoride sidoo kale a gaaska aqalka dhirta lagu koriyo ee awoodda leh, waxa ay leedahay cimriga cimilada oo aad uga gaaban (qiyaastii 500 oo sano). Waxaa ka sii muhiimsan, waxay aad ugu waxtar badan tahay habka nadiifinta. Gudaha balaasmaha qolka, boqolkiiba aad uga sarreeya NF₃ Unugyadu way burburaan si ay u sii daayaan falcelintooda fluorine marka loo eego PFC-yada. Tani waxay ka dhigan tahay wax yar aan laga falcelin gaas waa laga daalay qolka. Casri ah xirmooyinka semiconductor sidoo kale ku rakib nidaamyada dhimista (scrubbers) kuwaas oo burburiya ku dhawaad ​​dhammaan aan laga falcelin NF₃ iyo waxyeello wax soo saarka Gaasaska ka hor inta aan la sii deyn.

Isku darka waxtarka sare iyo hoos u dhigista waxtarka leh waxay ka dhigan tahay in dhabta ah gaaska aqalka dhirta lagu sii daayo isticmaalka NF₃ aad bay uga hooseeyaan kuwii ka soo baxay gaasaskii hore ee PFC. Waxqabadkan sareeyo waa sababta ugu muhiimsan ee korsashadiisa baahsan.

Sidee loo soo saaraa Nitrojiinka Nadiifinta Sare ee Trifluoride?

Soo saaraha ahaan, waxaan kuu sheegi karaa wax soo saarkaas NF₃ waa kakan oo si heersare ah loo xakameeyay habka wax soo saarka. Hadafka ayaa ah in la abuuro badeecad kama dambays ah oo si cajiib leh saafi ah - badiyaa 99.999% nadiif ah ama ka sarreeya - sababtoo ah xitaa kuwa ugu yar wasakhnimo waxay u noqon kartaa masiibo wax soo saarka semiconductor. Nidaamku wuxuu u baahan yahay khibrad maaraynta kiimikooyinka aadka u firfircoon, gaar ahaan fluorine.

The NF₃ wax soo saarka caadi ahaan waxay ku lug leedahay falcelinta ammonia (a xarun ka kooban nitrogen) ama ammonium fluoride isku dhafan oo leh elemental fluorine gaaska ku jira reactor at heerkulka sare. Falcelintani waxay soo saartaa gaas isku dhafan, oo ay ku jiraan NF₃, Qalab aan falcelin lahayn, iyo alaabooyin kala duwan. Caqabadda dhabta ah, iyo halka khibradda alaab-qeybiyaha ay si dhab ah u muujinayso, ayaa ku jirta nadiifin marxaladda soo socota.

Ceyriinka gaas badan isku dar ah ayaa soo mara dhowr nadiifin tillaabooyinka lagaga saarayo isku-dhisyada aan loo baahnayn. Tani waxay inta badan ku lug leedahay taxane ah xoqid, adsorption, iyo hababka kala-baxa cryogenic. The habka muxaadaro, gaar ahaan, waxay isticmaashaa heerkul aad u hooseeya si ay u kala soocaan gaasaska kala duwan ee ku salaysan dhibcahooda karkaraya, ka soocida NF₃ wixii wasakh ah oo hadhay. Tallaabo kasta waxaa lagula socdaa qalab gorfaynta sare leh si loo hubiyo in badeecada u dambaysa ay la kulanto qeexitaannada adag ee semiconductor warshadaha. Ballanqaadkan ilaalinta tayada ayaa ah waxa ka sooca alaab-qeybiye lagu kalsoon yahay iyo inta kale.

Waa maxay Tixgelinta Badbaadada iyo Maareynta ee Gaaska NF₃?

Badbaadadu waa mudnaanta koowaad ee warshadaha gaas ganacsi Halka NF₃ waa mid aan guban karin oo aad u deggan heerkulka qolka, waa walax oxidizing ah oo xooggan, gaar ahaan heerkul sare. Tani waxay ka dhigan tahay inay si xun uga falcelin karto walxo guban kara waxayna u baahan tahay in si taxadar leh loo maareeyo. Khatarta aasaasiga ah waa sunteeda; neefsashada gaas waxay noqon kartaa waxyeello, sidaas darteed hawo habboon iyo qalabka ilaalinta shakhsi ahaaneed ayaa lagama maarmaan u ah mid kasta goobta wax soo saarka.

Silsiladda saadka oo dhan, laga bilaabo warshadeena ilaa tan macmiilka semiconductor fab, waxa lagu dhisay badbaado. NF₃ waxaa lagu qaadaa dhululubo bir ah oo si gaar ah loogu nashqadeeyey cadaadis sare. Dhululubadahani waxay maraan baadhis adag iyo shahaado si loo hubiyo inay si badbaado leh ugu jiraan gaas. Soo iibiye ahaan, waxaanu siinaa xaashida xogta badbaadada oo faahfaahsan (SDS) iyo tababar macaamiisheena ku saabsan kaydinta saxda ah, isku xidhka, iyo hababka maaraynta. Tan waxaa ka mid ah tilmaamaha heerka socodka xakamaynta iyo hababka ogaanshaha daadinta.

Milkiilayaasha ganacsiga sida Mark, kuwaas oo walaaca ugu weyni ay tahay silsilad sahay ah oo siman oo la isku halayn karo, la shaqaynta alaab-qeybiyaha leh rikoor badbaado oo la xaqiijiyay ayaa muhiim ah. Xidhiidh aan wanaagsanayn ama la'aanta borotokoolka badbaadada cad ee alaab-qeybiyaha waa calan weyn oo cas. Waxaan ku hanweynahay inaan bixino kaliya alaab, laakiin adeeg dhamaystiran oo ay ku jiraan taageerada saadka iyo khibradda badbaadada, hubinta gaas yimaada oo si badbaado leh loo maareeyo tallaabo kasta oo jidka ah.

Nitrogen Trifluoride ma yahay gaaska cagaaran? Fahamka Saamaynta Deegaanka.

Waxaa muhiim ah in si hufan looga hadlo dhinacyada deegaanka NF₃. Haa, Nitrogen Trifluoride waa awood leh gaaska aqalka dhirta lagu koriyo. Guddida Isbadelka Cimiladu (IPCC) waxay xisaabisay inay leedahay awood kulaylka caalamiga ah (GWP) kumanaan jeer ka weyn kaarboonka. dioxide in ka badan 100 sano. Tani waa xaqiiqo ah in warshaduhu si dhab ah u qaataan.

Si kastaba ha ahaatee, sheekadu intaas kuma eka. The saamaynta deegaanka kuma xidhna oo kaliya awoodda gaaska, laakiin waxay ku xidhan tahay inta dhab ahaantii lagu sii daayo jawiga. Sidii hore loo sheegay, NF₃ aad u hufan. In casriga ah semiconductor xarunta, inta badan ee ah gaas loo isticmaalo la isticmaalo ama la burburiyo inta lagu jiro habka wax soo saarka. The balaasmaha jebiyo, iyo mid kasta aan laga falcelin gaas oo daalan ayaa loo diraa hab wax ka dhimis ah. Nidaamyadani waa kuwo aad waxtar u leh, badanaa waxay burburiyaan in ka badan 99% inta soo hartay NF₃.

Warshadu waxay ka bedeshay PFCs una guurtay NF₃, oo ay weheliso isticmaalka baahsan ee tignoolajiyada dhimista, ayaa dhab ahaantii keentay hoos u dhaca saafiga ah gaaska aqalka dhirta lagu sii daayo halbeegga wax-soo-saarka. Masuul saarayaasha semiconductor iyo alaab-qeybiyeyaasha gaaska ayaa wada shaqeeya si loo hubiyo in qiiqa la yareeyo. Tani waxay ku lug leedahay hagaajinta habka nadiifinta si loo isticmaalo qadarka ugu yar gaas lagama maarmaanka u ah iyo ilaalinta hababka dhimista ee waxqabadka ugu sarreeya. Markaa, inta NF₃ waa awood leh gaaska aqalka dhirta lagu koriyo goobta shaybaadhka, raadkeeda deegaanka dhabta ah ee aduunka wax soo saarka semiconductor si taxadir leh ayaa loo maareeyaa oo aad uga hooseeya beddelka ay beddeshay.

Waa maxay Doorka Soo saarista Gaaska Goobta ee Marxalada Semiconductor-ka Weyn?

Miisaanka casriga ah wax soo saarka semiconductor waa neefta. Xarumaha ugu waaweyn, ee loo yaqaan mega-fabs, waxay cunaan gaas aad u tiro badan. Qaar ka mid ah gaasaska, sida nitrogen, way ka waxtar badan tahay in si toos ah loogu soo saaro xarunta halkii laga daabuli lahaa kumanaan dhululubo ah. Tan waxaa loo yaqaan goobta jiil. Loogu talagalay takhasus sare leh oo ka falcelinaya gaas sida NF₃, model wax yar ka duwan ayaa soo baxaya: goobta sifaynta iyo falanqaynta.

Inta buuxsantay NF₃ wax soo saarka Marka la joogo dhar-xidhashadu waa wax aan caadi ahayn sababtoo ah kakanaanta, isticmaalayaasha baaxadda leh ayaa badanaaba horumaray goobta nidaamyada maaraynta gaaska. Sahay badan oo ah NF₃ waxaa la geeyaa dharka, ka dibna nidaamkani wuxuu sameeyaa heerka ugu dambeeya nadiifin iyo falanqaynta tayada joogtada ah ka hor gaas galo qalabka wax soo saarka ee qaaliga ah. Tani waxay siinaysaa lakabka ugu dambeeya ee xakamaynta tayada, hubinta in wasakh kasta oo ka iman karta xadhkaha sahayda la qabto. Habkani wuxuu isku daraa faa'iidooyinka dhaqaale ee wax iibsiga bulk iyo hubinta tayada goobta maaraynta.

Fahamka moodooyinkan saadka ee kobcaya waa muhiim. Soo iibiye ahaan, waxaanu ku balaadhinay adeegyadeena in ka badan buuxinta dhululubada. Hadda waanu la shaqaynaa saarayaasha semiconductor caalami ah in la naqshadeeyo oo la hirgeliyo bixinta gaas dhamaystiran iyo xalal maamul. Tan waxa ku jiri kara heegan khadka wax soo saarka kartida macmiilka weyn, saadka gaarka ah, ama la qabsiga iyaga goobta nidaamyada. Waxay ku saabsan tahay bixinta silsilad sahayda dabacsan oo la isku halleyn karo oo buuxisa baahida baahida Wax soo saarka qarniga 21-aad. Tani waa qayb muhiim ah oo ka mid ah istiraatijiyadayada, gaar ahaan marka aan u adeegeyno macaamiisha si muhiim ah awoodaha wax soo saarka.

Sidee bay nadiifnimadu NF₃ u saamaysaa wax-soosaarka soosaarka Chip?

Gudaha semiconductor adduunka, "wax-soo-saarka" waa wax walba. Waa boqolkiiba jajabyada wanaagsan ee shaqeeya ee laga soo saaro hal keliya silikon wafer. Wax soo saarka sare macnaheedu waa faa'iido sare; Wax-soo-saarka hooseeya wuxuu noqon karaa dhaqaale xumo. Nadiifinta gaasta geeddi-socodka, gaar ahaan fal-celinta gaas sida NF₃, waxay saamayn toos ah oo lama filaan ah ku leedahay wax-soo-saarka.

Bal qiyaas an wasakhnimo sida qayb yar oo qoyaan ah (H₂O) ama mid kale gaas badan xarun lagu dhex daray NF₃. Inta lagu jiro habka xasaasiga ah etch, in wasakhnimo waxay faragelin kartaa falcelinta kiimikaad, taasoo keenta cillad yar oo ku jirta wareegga wareegga chip-ka. Waxaa laga yaabaa inay xannibto iwm, ka tagista walxaha meel aanay ahayn inay ahaato, ama waxay keenaysaa cuncun xad dhaaf ah, ka saara walxaha aad u badan. Si kastaba ha ahaatee, natiijada wareeg isku dhafan waxay ku dhici doontaa imtixaankeedii ugu dambeeyay. Markaad malaayiin transistors ku samaynayso hal chip, xitaa hal "cilad dilaa ah" oo uu sababay a wasakhnimo wuxuu ka dhigi karaa jajabka oo dhan mid aan waxtar lahayn.

Tani waa sababta aan si weyn ugu maalgelinno xakameynta tayada. Adigoo siinaya shahaado, ultra-daahir sare NF₃, waxaan ku siin macaamiisha our kalsooni in gaas ma noqon doonto isha cilladaha. Xakamaynta feejignaanta Qayb kasta oo hoos u dhigta heerka qaybaha-halkii bilyan waxay hubisaa in habka wax soo saarka waa mid deggan oo lagu celin karo. Nidaamka xasiloon wuxuu keenaa mid la saadaalin karo oo sarreeya wax-soo-saarka, kaas oo ah yoolka ugu dambeeya ee qof kasta semiconductor soo saaraha. Doorkeena alaab-qeybiye ahaan Gaasaska Khaaska ah ee Nadiifinta Sare waa in la baabi'iyo doorsoomayaasha oo la bixiyo wax soo saar tayo leh.

Maxaad u baahan tahay inaad ka raadiso alaab-qeybiyaha Nitrogen Trifluoride?

Sarkaalka wax soo iibsiga sida Mark, doorashada alaab-qeybiyaha saxda ah ee walxaha muhiimka ah sida NF₃ wuxuu aad uga fog yahay in la barbardhigo qiimaha. Khatarta shuraakada xun - dib u dhigista shixnadda, arrimaha tayada, wada xidhiidhka liidata - ayaa si fudud aad u sarreeya. Iyada oo ku saleysan waayo-aragnimadayda, waa kuwan qodobbada muhiimka ah ee la tixgeliyo:

Marka hore, tayada la xaqiijin karo iyo shahaadooyin Alaab-qeybiye la aamini karo ayaa ku siin doona Shahaadada Falanqaynta (CoA) shixnad kasta, oo faahfaahinaysa heerarka nadaafadda oo taxaya wixii wasakh ah ee la ogaado. Waa inay u hoggaansamaan halbeegyada caalamiga ah sida ISO 9001. Waydii awoodahooda falanqaynta. Ma haystaan ​​qalabka lagu ogaado wasakhda heerarka loo baahan yahay semiconductor codsiyada?

Marka labaad, isku halaynta silsiladda sahayda iyo daahfurnaanta. Alaab-qeybiyuhu ma muujin karaa shabakad saadka oo adag si looga hortago dib u dhac? Miyay leeyihiin xad-dhaaf awoodaha wax soo saarka si loo hubiyo sahay joogto ah? Xidhiidhku waa furaha halkan. Alaab-qeybiyahaagu waa inuu noqdaa mid firfircoon, oo bixiya cusboonaysiinta shixnadaha oo diyaar u ah inuu ka jawaabo su'aalaha. Tani waxay si toos ah wax uga qabanaysaa barta xanuunka ee isgaarsiin la'aanta.

Ugu dambeyntii, raadi khibrad farsamo. Alaab-qeybiyaha wanaagsani kaliya ma iibiyo badeecad; waxay bixiyaan xal. Waa inay fahmaan codsiyadaada oo ay awoodaan inay bixiyaan taageero farsamo. Waa inay aqoon u leeyihiin badbaadada, maaraynta, iyo xataa xeerarka deegaanka ee ku xeeran codsiyada gaaska. Alaab-qeybiyaha u dhaqmi kara sidii lammaane aqoon leh ayaa aad uga qiimo badan kan iibiyaha ah. Khibraddani waa aasaaska xiriir dheer oo faa'iido leh. Waxaan ku dadaaleynaa inaan noqono lammaanahaas dhammaan macaamiisheena, anagoo bixineyna kaliya kuwa gaas laakiin nabdoonaanta maskaxda ee la socota.

Qaadashada Furaha

• Qalabka Muhiimka ah: Nitrogen Trifluoride (NF₃) waa takhasus muhiim ah gaas loo isticmaalo etching balaasmaha iyo nadiifinta qolka gudaha habka wax soo saarka semiconductor.
• Waxqabadka Sare: NF₃ wuu ka waxtar badan yahay wuxuuna leeyahay saamayn hoose oo wax ku ool ah deegaanka marka loo eego gaasaskii hore ee PFC ee ay bedeshay, taas oo ay ugu wacan tahay heerarka isticmaalka sare iyo nidaamyada dhimista casriga ah.
• Daahirnimadu waa faa'iido: Nadiifinta ultra-sare ee NF₃ waa wax aan laga gorgortami karin. Xataa wasakhowga raadku waxay sababi karaan cillado a silikon wafer, si weyn u dhimaya wax-soo-saarka iyo faa'iidada wax soo saarka chip.
• Badbaadada iyo wax ka qabashada waa furaha: Iyadoo xasiloon, NF₃ waa sun iyo oxidizing gaas taas oo u baahan in si gaar ah loo maareeyo, dhululubooyin shahaado leh, iyo faham qoto dheer oo ku saabsan hab-maamuuska badbaadada.
• Xulashada alaab-qeybiye waa muhiim: Markaad dooranayso a NF₃ alaab-qeybiye, mudnaanta siiya tayada la xaqiijin karo, isku halaynta silsiladda sahayda, isgaarsiin hufan, iyo khibrad farsamo oo qoto dheer oo ka sarreeya qiimaha oo keliya.