O le a le mea o loʻo faʻaaogaina i le semicoundlouctor gaosiga
Semicounductor gaosiga faalagolago i le lautele o le tele o le kesi, e mafai ona faʻavasegaina i ni ituaiga autu e tolu: tele le kesi, Faapitoa kesi, ma esching kesi. O nei kesi e tatau ona matua maualuga maualuga e taofia ai le faʻaleagaina, lea e mafai ona faʻaleagaina le faʻafitauli ma faigata a le loia.
Tele le kesi
Nitrogen (n₂):
Matafaioi: N₂ tautua tele mafuaʻaga, e aofia ai ma le faʻamamaina o faletusi potu ma saunia se tagata le vanimonimo i le taimi o le tele o le faʻasologa gaosi.
Faʻamatalaga faʻaopopo: Nitrogen e masani ona faʻaogaina i le felauaiga ma le teuina o mea silikini e faʻaititia ai le faʻaalu o le leai. O lona mafaufau i le natura mautinoa e le tali atu i isi mea, faia lelei mo le faʻatumauina o le faʻamamaina o siosiomaga.
Argon (AR):
Auala: I le faʻaopopo atu i lona aʻafia i tulaga o Plaisma, o Argon o loʻo avea ma gaioiga o loʻo faʻatautaia ai le faʻatonutonuina o le kesi.
Faʻamatalaga faaopoopo: Ona e le tali atu i le tele o mea, o loʻo faʻaaoga foi le Argon mo le faʻapipiʻiina o uʻamea poʻo ni mea pueata e tatau ona taofia e aunoa ma le afaina ai.
Helium (ia):
Auala o Humanima meatotino e taua tele mo le faʻamamaina ma le faʻatumauina o le vevela o le faʻaaogaina o le tele o gaioiga.
Faʻamatalaga faʻaopopo: E masani ona faʻaaogaina i le maualuga-malosi o le sili atu o le poto mo le listhory ona o lona le-le-le-le mafai ona le mafai ona taofia le ala o le mea lelei.
Hydrogen (H₂):
Auala: I Luga o lona Mafaufau i Mautoga, Hydrogen, fesoasoani foi i le faʻamamaina o luga o luga o papa ma mafai ona aʻafia i vaipanoa o Epitax.
Faʻamatalaga faʻaopopo: O le faʻaaogaina o le hydrogeen i le teuina o ata manifinifi faʻatagaina mo sili atu le faʻatonutonuina i luga o le coucerevectactactictor mea taua.
Faapitoa faasee ma tagata fai
Silane (Sih₄):
Matafaioi: E eseʻese mai le avea ma muamua mo le sili o le anicoon Deback, e mafai e le suilava i se ata tifaga e faʻaleleia atili ai le komepiuta.
Faʻamatalaga faʻaopopo: O lona faʻataʻitaʻiga e manaʻomia ai le taulimaina ma le faaeteete ona o popolega saogalemu, aemaise lava pe a fefiloi ma le ea poʻo le okesene.
Ammonia (NHJ):
Matafaioi: I le faaopoopoga i le fausiaina o ata tifaga a Amineru, o Amonania e taua tele i le gaosia o le faʻaputuputuina o le faʻaputuputuina o le faʻatatauina o masini.
Faamatalaga faaopoopo: E mafai ona aofia i faiga e manaʻomia ai nitrogon tufuga i se silicon, faʻaleleia o meatotino faʻaelefea.
Phosphine (PH₃), Arsne (Ash₃), ma Dordrane (BVHUC):
Auala: O nei kesi e le gata e taua mo le faia o se pepa ae e taua tele mo le ausiaina o manaoga manaʻomia o le eletise e manaʻomia.
Faʻamatalaga faʻaopopo: O latou mea oona e manaʻomia ai le saogalemu o polokalame saogalemu ma mataituina faiga i totonu o le sili ona leaga siosiomaga e faʻaititia ai lamatiaga.
Etching ma faamamaina kesi
Fluorockarbons (cf₄, sf \):
Auala: O nei mauke o loʻo faigaluega i faiga manino, o le fea e maua ai le saʻo manino pe a fai e susu tele metotia.
Faʻamatalaga faʻaopopo
Chlorine (cl₂) ma hydrogen flu aiga (HF):
Auala: O Chlorine e maua ai le malosi o tomai faʻafoliga o agavaʻa, aemaise lava mo metal, aʻo le hf o se taua mo le silikini dioode.
Faʻamatalaga faaopoopo: O le tuʻufaʻatasiga o nei kesi e faʻatagaina ai le aoga o loʻo aveesea i le taimi o vaega eseese, faʻamautinoa i luga o le mea na faia.
NITROGEN TRIFOURORORE (NFR):
Act: NF₃ o se vaega taua mo le siosiomaga faʻamama i totonu o le CVD, tali atu ma feteʻenaʻiga e faʻatumauina ai le lelei faʻatinoga.
FAʻAALIGA Faamatalaga: E ui lava i popolega e uiga i lona siosiomaga falesa kesi kesi, NF₃
Okesene (o e):
Atām: O le oxadition faiga faʻamalosia e le okesene mafai ona faia taua mea taua i totonu o vaega i se comicoundouse fausaga.
Faʻamatalaga faʻaopopo: Okesene o le matafaioi a le okesene i le liligiina o le manogi o le silikini e faia sio₂ corners e taua tele mo le faʻaeʻeina ma le puipuiga o tagata matagaluega.
Oso mai le kesi i le semicoundlouctor gaosiga
Faʻaopopo atu i le faʻafanua faʻaleaganuʻu ua lisiina i luga, o isi kesi o loʻo i ai le gauai atu i le faʻasologa o le faʻatulagaina o le faʻasologa, e aofia ai:
Carbon Dioxide (Co₂): Faaaogaina i ni mea faʻamama ma eretapeni talosaga, aemaise lava i latou e aʻafia ai mea alualu i luma.
Silkon Dioxide (Sio₂): E ui e le o se kesi i lalo o tulaga masani, o ituaiga o ituaiga o silikin dioxide ua faʻaaogaina i nisi o tupe teu.
O ni manatu o le siosiomaga
O le Soutdonductor agess o le faʻateleina o le faʻatele i le faʻaititia o faʻafitauli o le siosiomaga e fesoʻotaʻi ma le faʻaaogaina o le kesi eseese, aemaise lava i latou e malolosi o le vevela o le vaomatua. Lea ua taʻitaʻiina ai i le atinaʻeina o tulaga alualu i luma o le kesi ma le sailiga o isi kesi e mafai ona maua ai ni penefiti aoga.
Faaiuga
O le kesi na faʻaaogaina i le semboonductor gaosi o se mea taua tele i le faʻamautinoaina o le faʻamautuina o le saʻo ma le lelei o gaioiga faʻasolitulafono. A o taumafai le alualu i luma le au fai pisinisi, o taumafaiga faifai pea mo alualu i luma o le kesi ma pulega, a o tau atuga popolega ma siosiomaga e fesoʻotaʻi ma le latou faʻaaogaina.
