O le Katomisaine alamane, pei o le vaega o faifainuʻu i le aʻoga taimi, e aofia ai le tele o le maualuga o le faʻagaioiga i lona gaosiga faʻagasologa. Faʻapitoa Faʻapitoa mo Sogeonductoctors o loʻo taua i ai se sili atu o le matafaioi i le faʻasologa o mea gaosiga, chip le gaosia, ma isi gaioiga. O nei suʻega e tatau ona faʻafetaiaʻia manaʻoga mo le mama, le mautu, ma faʻatautaia saʻo ile faʻagaioiga ole tali. Lenei tusitusiga e faʻalauiloaina ai ni paʻu faʻapitoa faʻapitoa o loʻo faʻaaogaina i niniminductors ma talanoaina a latou matafaioi i le faʻasologa o le faʻatulagaina o le faʻasologa.

1. Hydrogen (H₂)

Hydrogen e faʻaaogaina lautele i le faasologa gaosi fale gaosi, aemaise lava i le vailaʻau o loʻo teuina (CVD) ma faʻaititia tali. I le CVD, Hydrogen e masani ona fefiloi ma isi kesi e tuputupu ai manifinifi ata tifaga, pei o Fisicon Fitus. Hydrogen o loʻo avea foi ma faʻaititia le sooupu i uamea fale teu oloa ma oxide aveese gaioiga. E le gata i lea, o le Hydrogen o loʻo faʻaogaina i le faʻamamaina ma le togafitia o le paketi o le paketi e aveese ma le lelei aveʻesea i luga o mea leaga ma faʻaleleia le lelei o chips.

2. Nitrogen (n₂)

Nitrogen, o se kesi i totonu o le kesi, e masani ona faʻaogaina e tuʻuina atu ai se siosiomaga o le okesene-leai se siosiomaga o le gaosiga gaosi oloa. E masani ona faʻaaogaina i totonu o fesoʻotaʻiga fufuluina, malulu faʻagaioiga, ma e pei ona faʻamatalaina i ni malo. I le SPARS tupe teu ma etching gaioiga, e masani ona fefiloi a Nitrogen ma isi kesi e faʻamautu ai ni mea e mafai ai ona foia. Nitrogen o loʻo faʻaaoga foi e faʻaoʻo atu ai le oxivement, puipuia mea maaleale mai le leaga o le oxideat.

3. Okesene (oj)

Okesene Fuafua se mea taua i le Smimiolondouctor Asāina alamanuia, aemaise lava i faiga feai. I le faʻavaeina o le sili o le sili o le vaega o le sili o le laʻau o le sili o le anicoson, okesene e taua. I le faʻailoaina o le okesene, o le toniga oxide vaega o loʻo i luga o le siliki luga, lea e taua mo le eletise eletise ma masini eletise. Okesene o loʻo faʻaogaina foi i le faʻamamaina ma le etching gaioiga, o le tali atu ma isi vailaʻau vailaʻau e fai ai le manogi pe aveese ni uʻamea faʻapitoa.

4. Carbon Turaflurde (CFR)

Carbon Tetrafluride o loʻo faʻaaogaina lautele i le etching gaioiga. I le semicounductor estching, CFD o loʻo fefiloi ma isi kesi ina ia aveese lelei ata manifinifi o Finicon, Alicson Nurride, uʻamea, uʻamea, ma isi mea. A CFG tuʻufaʻatasia ma le flurine, o loʻo i ai o le faʻamalosi, o loʻo i ai le malosi o le faʻagaioia ma e mafai lelei ona aofia ai le sini mea. O lenei kesi e taua mo le maualuga-tulaga fuafuaina mamanu etching i le tuʻufaʻatasia matagaluega gaosiga.

5. Hydrogen chloride (hcl)

Hydrogen Chlodide Gas e masani ona faʻaaogaina o se kesi o se kesi, aemaise i le etching o uʻamea mea. E tali mai ma uʻamea ata e fai ai le au i le aumea, faʻatagaina le uʻamea uamea e aveese. O lenei faiga e faʻaaogaina lautele i le faʻatonutonuina o uʻamea manifinifi o ata manifinifi, faʻamautinoaina le vave o le auvae fata.

6. Nitrogen Trifluride (nf₃)

Nitrogen Triflurtoride o loʻo faʻaaogaina tele i le faʻamamaina o le teuina o fale i luga o le plasma o etching meafaigaluega. I Plasma Etching gaioiga, nf₃ tali ma tupe teu (pei o mea manogi (o le flucon flursorade) e faigofie ai le lavelave. O lenei kesi e sili lona aoga i le faʻamamaina, fesoasoani e faʻatumauina le mama o meafaigaluega o eseese ma faʻaleleia atili le saʻo ma le faʻatinoina o gaioiga gaosi.

7. Silane (Sih₄)

O le Shinene o se kesi masani ona faʻaaogaina i totonu o le vailaau o le vailaau o (CVD), aemaise lava ona o le teuina o meaʻai siliki. Silane Decomptoses i le maualuga vevela e fausia ai le silicono pipili i luga o le mea loloto, e taua tele i le faʻasologa o le faʻasologa. I le fetuunai o le tafe o le silane ma le tali atu, o le teuina o le fua faatatau ma ata tifaga e mafai ona pulea tonu.

8. Boron Trifluride (BFR)

O le Burron Triflurdide o se mea taua o le kesi, e masani ona faʻaaogaina i totonu o le baron dicting gaioiga gaioiga i le faʻasologa gaosi oloa. Ua faʻaaogaina e fetuunai ai le eletise eletise o le tioata e ala i le tali atu ma le silicoson e suia ai le faia o le manaʻomia o le vaega o le vaega. E taua le faʻaogaina o le 'apaʻau mo le faʻatuina o mea a le G-Pepa Faʻatulagaina o mea, ma BF₃ kesi o loʻo avea ma sao taua i lenei faiga.

9. Sulfur hexaflurey (sf₆)

Sulfur hexafluredede e masani ona faʻaaogaina i le semicounductor etching faʻagasologa, aemaise i le maualuga-saʻo le talafeagai. Ona o lona maualuga eletise eletise ma vailaʻau mautu, sf comble e mafai ona tuʻufaʻatasia ma isi kesi e aveese saʻo ata tifaga ma faʻamautinoaina prephs prephns. O loʻo faʻaaogaina tele i le Iona escheng, e sili atu ona faʻamalieina uamea le le talafeagai o uʻamea.

Faaiuga

Faʻapitoa Faʻasao mo segeonductoctor faia se tulaga le mafai ona suia i le gaosiga o soʻoga o soʻoga. A o faʻaauau pea le tekonolosi, o le talosaga mo le maualuga mama ma le faatinoga o nei gaʻo, o le faʻamalosia o tagata faʻatau e sili atu ona faʻamalosi i le lelei ma ituaiga o kesi. I le lumanaʻi, o le Sotonduta, o le a faʻaauau pea le faʻalagolago i mataupu faʻapitoa e lagolagoina ai le gaosiga o le isi-faʻamanuiaga O le mea lea, malamalama ma faʻaogaina le faʻatulagaina o le faʻailoga o le a taua tele i le taʻavale o le faʻaauau o le atinaʻeina o le faʻasologa.