O se taiala auiliili i le nitrogen trifluride (nf₃) kesi i semicoundlouctor gaosi oloa

2025-11-12

O le Smartphone i lau taga, le komepiuta i luga o lau kesi, o tulaga alualu i luma i lau taavale-leai o se mea e mafai ai e aunoa ma le le leoa o le mea lelei. O le pule o se fale gaosi alamanuia, O aʻu o Anelen, na vaʻaia muamua pe faʻafefea ona fai nei faʻataʻitaʻiga o nei peleni o tekinolosi o polofesa o aso nei? Mo taʻitaʻi pisinisi pei o Mark Sen, o le na folau i le lalolagi le faʻavavea o loʻo filifili le lalolagi, o le malamalama i meaʻai e leʻi tatalaina ai ni avanoa fou. O lenei tala o lau faʻataʻitaʻiga lea o se tasi o le sili ona taua tagata taʻalo i lenei malae: Nitrogen Trifluride (nf₃). O le a tatou pepelo lenei malosi kasa, sue lona taua taua i le Semicounductor gaosi oloa, ma faamatala pe aisea e taua ai le lelei ma le sapalai mo le atoa Electronics gaosiga Alamanuia.

O le a tonu lava le nitrogen trifluride (nf₃) kesi?

I le taimi muamua, Nitrogen trifluride, e masani ona taua i lona vailaʻau Ni, ono foliga mai e na o leisi pisinisi kasa. O se lanu leai se lanu, le-afi, ma teisi e sili ona manogi faapalepale. Peitai, i le lalolagi o alualu i luma gaosi, lenei kasa o se meafaigaluega galue malosi. O se mea e maua ai faapalepale faia o se tasi nitrogen Atomo ma tolu flurine atoms. O le ki i lona mana o loo taoto i lenei fausaga. I le vevela vevela, Ni e taua tele ma tagata 'eseʻese, Faʻafaigofieina le feʻaveaʻi ma taulimaina faʻatusatusa i le sili atu volatile kesi.

O le togafiti e tupu pe a faʻaaoga le malosi. I lalo o le maualuga-malosi tulaga i totonu o le semikonductor gaosi meafaigaluega, pei o le a plasma potu, o le Ni mole pepelo. Latou te vavaeeseina ma tatala maualuga tali fua flurine radics. Mafaufau i ai pei o se pule malosi i luga o se microscopic fua. E saoloto flurine Atoms e matua aoga i le tali atu ma le aveeseina o mea le talafeagai, aemaise silikili ma lona paluga. O lenei tomai e mafai ai ona mautu pe a e manaʻomia ma maualuga tali fua A e manao e faia Nitrogen Trifluride Kasa o se aseta e aoga i le lalolagi muamua o chip gaosiga.

O lenei tulaga lua o le natura o le mafuaaga Ni avea ma maatulimanu o aso nei Semidonductor Fabriction. O le tulaga maualuga e tumau ai le saogalemu ma le faʻatuatuaina i totonu o le sapalai filifili, aʻo le auala e maua ai le talafeagai o faʻatinoga ma isi tomai o loʻo iai. A o matou teʻi i le loloto, o le ae vaʻai i le auala lea kasa Faʻamuta le faia o faʻafitauli sili ona faigata i luga o le fogaeleele.

Aisea e taua ai le faʻatauga faʻapitoa mo le semgonductor alamanuia?

Ia malamalama i le taua o Ni, E manaʻomia muamua tatou te talisapaia le lautele o le matafaioi E taua le kesi Aua i le Semicaonductor Art. Gaosi a tuʻufaʻatasia matagaluega e pei o le fausiaina o se scyscraper i luga o le tapoleni le tele o lou malamalama. O le faʻagasologa o le faʻaopopoina ma le aveeseina o le tele o le tele o ultra-manifinifi vaega o mea eseese i luga o le silikili galueaina. O laasaga uma, mai le fausiaina o se tama galueaina i le pito i lalo o le fale, o loʻo i luga o le faʻaaogaina o le vale Masini eletise.

O nei faaputuga e faʻatino ai ni galuega taua. O nisi, pei apeto ma le orthim, o loʻo faʻaaogaina o le 'au o le Intert Carrier, e fausia ai se fale mautu, e le o le le toe aoga ma le le fiafia i le tele o le tali. O isi e faaaogaina mo teu, lea a kasa ua faaaogaina i tupe teu se manifinifi manifinifi o mea i luga o le galueaina. Mo se faʻataʻitaʻiga, i vailaʻau Ausa Teu (Cvd), kesi tali e fausia ai se ata tifaga mautu e avea ma vaega o le Chip's Solitulafono. Ona i ai lea e iai le tele o kesi, pei Ni, o loʻo faʻaaoga e maua ai ni mamanu muamua i nei nofoaga i nei vaega, fatuina o auala faʻalavelave mo le eletise e tafe.

Aunoa ma se faifai pea, ultra-maualuga-mama sapalai o nei gase, atoa atoa gaosiga gaioiga o le a saito. E oo lava i le miscule le mama i le a kasa mafai ona afaina se faaputuga atoa o oukers, tau i se kamupani miliona o tala. O le mea lea Semicounductor Gaosi oloa e matua le fiafia i le tulaga lelei ma le faʻatuatuaina o latou kesi e faʻatau atu. O le mama o le kasa tuusaʻo faʻaliliu i le lelei ma fua gaosi o le oloa mulimuli.

Faapefea nf₃ kesi ua faʻaaogaina i le semicoundcuctor gaosi oloa?

Nitrogen trifluride e lua muamua, taua talosaga i Semicoundouctor gaosi oloa: Plasma etching ma chamber faamama. E taua uma e lua mo le fausiaina o le maualuga-faʻatinoga o microchips, mai tagata e faia Nand flash manatua.

Muamua, tatou talanoa e uiga i le echeli. A uma se vaega o mea pei silikili leo o le Dioxide ua teuina i luga o le a galueaina, O se mamanu o loʻo faʻapitoa i luga o le mea e faʻaaoga ai le malamalama. Le uaea O lea e aveese ai mea mai nofoaga e le i le faia. Ni e faailoa atu i totonu o se potu ma malosi e fatu ai a plasma-O ao o molia iva fasimea ma le tali atu flurine radics. O nei siisii ​​e le i luga o le galueaina luga, le tali ma le silikili ma liua i ai i le a fua faapalepale (silikili Tetraflurside) e faigofie ona taia ese mai le potu. O le finauga o lenei faʻasologa o le mafaufau mafaufau-faʻatauvaʻa, faʻataga inisinia i vaneina foliga e afe taimi ma lauulu tagata.

Lona lua, ma sili atu ona taatele, Faʻaoga o le nitrogen trifluride o le a Fufulu kesi. I le taimi o le Chemical Spar Faletupe (Cvd) gaioiga, lea e tupu ai ata manifinifi i luga o le galueaina, faʻaoga mea faavae e atiaʻe ma puipui i totonu o loʻo totonu lava o le potu. Lea toega, masani ona faia silikili poʻo le silikinon, e tatau ona toe faʻafoʻi atoa i le va o le faʻagaioiga taʻitasi galueaina po o le faaputuga o wifers. A leai, o lenei faiga e mafai ona faʻapipiʻi ese ma fanua i le isi galueaina, mafua ai le faaletonu. Iinei, Ni ua pamu i totonu o le potu gaogao ma a plasma ua le fiafia. Le malosi flurine O le tele o le sipimu o le sela pamu mama, liua o le mautu toega i totonu o le a fua tui e faigofie ona aveese. O lenei omea taamilosaga o taua mo le tausiaina le mama o le gaosiga siosiomaga ma mautinoa le maualuga fua gaosi.

O le a le mea e tupu ai se kesi sili i le mama o le kesi pe a faatusatusa i isi filifiliga?

Mo le tele o tausaga, o le Semicaonductor Art faalagolago i le Perfemorocarbons (PFCs) pei o Carbon Turafluride (CFR) ma hexafluoroetthane (C₂F) mo le faamamaina ma le isi. A o aoga, o nei faʻaputu na o mai ma se mea taua tele: Latou te matua malosi o le tele o manu feʻai i le tele o le tele o le tele o le tele. Mo se Faataʻitaʻiga, C₂f₆ ei ai a maualuga le lalolagi mafanafana (GWP) ma mafai ona tumau i le siosiomaga mo le 10,000 tausaga. I le avea ma tulafono faatonutonu siosiomaga mautu, o le Alamanuia manaomia ai se sili fofo.

O le mea lea Ni tulai mai o se manumalo manino. Ao Nitrogen trifluride o le a foi malosi le kesi, e tele le puʻupuʻu o le Immoscheric olaga (i le 500 tausaga). E sili atu le taua, e sili atu le lelei ile faʻamamaina. Totonu o le plasma potu, o se maualuga maualuga pasene o Ni Mole boot i lalo e tatala a latou tali flurine faatusatusa i pfcs. O lona uiga o le itiiti ifo Le tali atu kasa ua vaivai mai le potu. Onapo nei Semidonductor Fabs Faapipiiina foi le Actatement Commerms (Corbrubers) na tape toetoe a uma Le tali atu Ni ma leaga tui Sa leʻi toe tatalaina le kesi.

Le tuʻufaʻatasiga o maualuga maualuga ma sili atu le lelei o le aoga o lona uiga o le moni Oona o le kesi Mai le faʻaaogaina Ni e matua maualalo ifo nai lo i latou mai le matua pfc kesi. O lenei tulaga maualuga o se mafuaʻaga autu mo lona lautele o le lautele o le vaetamaina.

Foliga Nitrogen Trifluride (nf₃) Perfemorocarbons (E.G., c₂f₆)
Faamamaina lelei Maualuga tele Feololo
Plasma Direorcication > 95% 10-40%
Kesi E manaomia le tusi maualalo Maualuga lautele manaomia
Taimi Taimi Televave le fufuluina o taamilosaga Magesegese faamamaina cycles
Siosiomaga aafiaga Maualalo maualalo le afaina ma le le lelei Maualuga maualuga, umi le soifua maloloina olaga
Tau-Lelei Maualuga fua gaosi, itiiti le pona Le tele o mea leaga, sili atu otaota

Faʻafefea mai le maualuga-mamana rurogen triflur faʻamalosi gaosia?

A o le tagata gaosi, e mafai ona ou taʻu atu ia te oe lena mea e gaosia Ni o se lavelave ma e sili ona pulea gaosiga gaioiga. O le sini o le fatuina o se oloa mulimuli e matua mamago-masani 99.999% mama pe sili atu foi le mama e mafai ona fai malasa mo SUʻESUʻEGA FUA FAʻAVAVAU. O le faiga e manaʻomia le poto masani i le taulimaina o le tele o faʻasologa o vailaʻau, aemaise flurine.

Le Nf₃ gaosiga E masani ona aofia ai le tali amonia (a faapalepale aofia ai nitrogen) po o le amona fluride Faamautu ma le moni flurine kesi i se tagata fai Maualuga vevela. O lenei tali e maua ai le fefiloi o le kesi, aofia ai Ni, mea fa 'ma eseese ma eseese mea. Le luʻitau moni, ma le mea o loʻo faʻaalia ai e se tagata faʻatau le poto masani, o loʻo i ai i le faamama tulaga e mulimuli mai.

Le mata fua fefiloi alu i le tele faamama sitepu e aveese ai ni mea e le manaʻomia. E masani ona aofia ai ma se faʻasologa o le palaʻai, faasalalauga, ma Crykogenic Disticinster gaioiga. Le O le mea e mafua ai, aemaise lava, faʻaaoga lava le maualalo maualalo maualalo vevela e vavae ese ai le tele o le kesi e faʻavae i luga o latou faʻaputuga mea, isoolating le Ni mai i isi mea leaga. O laʻasaga uma o loʻo mataituina ma alualu i luma auiliiliga meafaigaluega ina ia mautinoa o le faʻaiuga mulimuli e fetaui ma le manoa faʻapitoa o le semikonductor Alamanuia. O lenei taʻutinoga i le lelei faʻatonutonu o le mea e tuueseeseina ai se tagata faatuatuaina e le tumau mai le isi.


Maualuga-mama `f3 kesi cylinder

O le a le saogalemu ma le taulimaina o manatu mo nf₃ kesi?

Saogalemu o le mea sili ona faʻamuamua i le Alamanuia kasa Pisinisi. Ao Ni e le o le afi ma le mafai ona mautu i le potu vevela, o le malosi malosi o le tau, aemaise lava i le vevela maualuga. O lona uiga e mafai ona tali atu ma le saua ma le mumū mea ma e manaʻomia le taulimaina ma le faʻaeteete. O le mea muamua e lamatia o lona tamaoaiga; manava le kasa mafai ona leaga, o le a le saʻo o le ea ma le puipuia o le tagata lava ia mea e taua i soʻo se mea Fale gaosi oloa.

O le mea uma o loʻo sapalaiina o loʻo sapalaiina, mai le matou falefaigaluega i le tagata faʻatau semikonductor fab, e fausia faataamilo i le saogalemu. Ni o loʻo feaveaʻiina i totonu o faʻailoga faʻapitoa o loʻo fuafuaina i lalo o le maualuga o le mamafa. O nei faʻamaʻi o loʻo i ai le suʻega e tupu ai ma tusipasi ina ia mautinoa e mafai ona latou saogalemu ai le kasa. I le avea o se tagata faʻatau, matou te tuʻuina atu faʻamatalaga saogalemu (SDS) ma aʻoaʻoga i a tatou tagata faatau i le teuina saʻo, fesoʻotaʻiga, ma taulimaina taualumaga. E aofia ai faatonuga i tafe fua puleaina ma le mafai ona iloa faiga.

Mo tagata e umia pisinisi pei o Mareko, o lona manatu autu o se lamolemole ma faʻatuatuaina ai le faʻatuatuaina chain, paʻaga ma se tagata e faia saogalemu faʻamaumauga e taua tele. Le lava le fesoʻotaʻiga poʻo le le lava o le sili atu le saogalemu o le saogalemu o le saogalemu mai se tagata faʻatau o le tele o le mumu flag. Matou te faʻamaualuga i tatou lava i le faia o se oloa, ae o le tautua atoa e aofia ai le ala cedistisity lagolago ma saogalemu saogalemu, faʻamautinoaina le kasa taunuu ma ua taulimaina saogalemu i laasaga uma o le ala.

O Nitrogen Triflurde se kesi lanumeamata kesi? Malamalama i le siosiomaga o le siosiomaga.

E taua tele le manino e uiga i le siosiomaga vaega o Ni. Ioe, Nitrogen trifluride o se malosi Fale kesi. O le intergovernnional pati i luga o suiga o le tau (IPC) ua fuafuaina o loʻo i ai le lalolagi mafanafana o le lalolagi (GWP) afe o taimi sili atu nai lo le tele o taimi leo o le Dioxide sili atu ile 100 tausaga. O le mea moni lea e matua matuia ai le alamanuia.

Ae ui i lea, o le tala e le gata ai iina. Le aafiaga i le siosiomaga E faalagolago lava i le mafai ona i luga o le kesi o le kesi, ae o le a le tele o le mea o le a tatalaina i le siosiomaga. E pei ona taua muamua, Ni e sili ona manaia. I le aso nei semikonductor fale, o le tele o le tele o le Na faaaoga le kesi ua faʻaaogaina pe faʻaleagaina i le taimi o le gaosiga faʻagasologa. Le plasma solia i lalo, ma so o se Le tali atu kasa ua lelava o loʻo lafo i se faiga e faʻaola ai. O nei faiga e matua aoga tele, e masani ona faaleagaina le 99% o totoe Ni.

O le Sport's Shift mai PFCs i Ni, tuufaatasi ma le lautele o le faʻaaogaina o le faʻasoasoaina o le tekonolosi o le tekonolosi, na mafua ai ona mafua ai le faʻaititia o le paʻu i totonu Oona o le kesi i le iunite o gaosiga. Nafa Semicounductor Gaosi oloa O tagata faʻatau ma kesi e galulue faʻatasi ina ia mautinoa o loʻo faʻaititia le faʻaititia. E aofia ai ma le sili ona lelei o le faʻamamaina o le faiga e faʻaaoga ai le itiiti ifo le tele o kasa talafeagai ma tausia le konekarate polokalama mo le faaputuga o gaioiga. Ma, a o Ni o se malosi Fale kesi i totonu o le lab nofoaga, o lona uiga moni o le lalolagi Semicounductor gaosi o loʻo faʻatautaia ma le faʻaeteete ma le matua maualalo ifo nai lo isi gaioiga na suia.

O le a le matafaioi o luga o le 'upega tafaʻilagi kesi o le kesi mo le tele o le semikonductor Fabs?

O le fua o aso nei Semicounductor gaosi o lo o fiafia. O le tele o fale, ua lauiloa o Mega-Fabs, 'aina le tele o le tele o kesi. Mo nisi faaputuga, pei o nitrogen, e sili atu le lelei le gaosia o i latou i le fale ae le o le loli i le afe o maleti. E iloa lenei mea luga o le nofoaga Tuapuaga. Mo le sili faapitoa ma le tali kasa pei Ni, o se siisii ​​ese faʻataʻitaʻiga o loʻo tulaʻi mai: luga o le nofoaga Faamāina ma le auiliiliga.

A o tumu Nf₃ gaosiga i le fabs e le masani ai ona o le lavelave, o tagata lautele-lautele e masani ona masani luga o le nofoaga kesi pulega. O le tele o le sapalai o Ni o loʻo tuʻuina atu i le fab, ona faʻatino lea o lenei faiga mulimuli faamama ma faʻaauau pea le faʻaaogaina muamua i luma o le kasa ulufale i le taugata gaosi oloa. E maua ai se vaega sili o le faʻatonutonuina, faʻamalosi o soʻo se malosi e ono afaina ai mai le laina sapalai. O lenei faiga e faoa ai le tamaoaiga o le tamaoaiga o le tele na faʻatau ma le mautinoa mautinoa o luga o le nofoaga pulega.

Malamalama Ua tele ni faʻataʻitaʻiga o faʻaalu sapalai. O se tagata faʻatau, ua tatou faʻalauteleina ai a matou tautua i tua atu o le faʻatumuina o tane. Ua matou galulue nei Global Semicounductor Gaosi oloa i le fuafuaina ma faʻatino le kasa o le kesi ma le faʻatautaia fofo. E mafai ona aofia ai tuuto laina gaosiga agavaʻa mo se tagata faʻatau tele, faʻapitoa faʻapitoa, poʻo le tuʻufaʻatasia ma a latou luga o le nofoaga faiga. O le a o le saunia o se fetuʻutuʻu ma faʻatuatuaina coungin filifili e fetaui ma le manaʻoga manaʻomia o 21 seneturi-seneturi gaosi. O se vaega taua lea o le tatou fuafuaga, aemaise pe a auauna atu i tagata faʻatau ma taua tulaga o le gaosia.


Luga o le nofoaga o le kamuta kamuta mo semicoundlouctor gaosiga

E faʻafefea ona maua fua i le gaosiga o loʻo afaina ai le mama?

I le semikonductor Lalolagi, "fua" o mea uma lava. O le pasene o le lelei, faigaluega chips gaosia mai se tasi silikili galueaina. O le maualuga o faʻamanuiaga o lona uiga o le saʻo le manuia; O le maualalo o le auala e mafai ona faʻaleagaina tau faʻalenatura. O le mama o le faiga scase, aemaise lava o se mea kasa pei Ni, ei ai se mea tuusaʻo ma iloga fua gaosi.

Vaai faalemafaufau i se le mama pei o se tamai fasi o le susu (h₂o) po o le isi fua faapalepale fefiloi ma le Ni. I le taimi o le tulaga lelei o le auala, o lena le mama mafai ona faʻalavelave i le vailaʻau talimalo, mafua ai se microscopic defrencing i le chip's debitry. Atonu e poloka le uaea, tuu ese mea o mea e le tatau ai, pe mafua ai le soona fai, aveese le tele o mea. Le taimi o le taimi, o le taunuuga tuʻufaʻatasia matagaluega le a toilalo lona suʻega mulimuli. A e faia le faitau miliona o tagata faʻatau i se tasi chip, e oʻo i le tasi "killer desicle" mafua mai i le le mama mafai ona faia le chip atoa le aoga.

O le mea lea tatou te le mafai ai ona sili atu le malosi i le puleaina o le lelei. I le saunia o le faamaonia, ultra-maualuga-mama Ni, matou te tuʻuina atu a matou tagata faʻatau talitonuina o le kasa o le a le avea ma puna o ni faaletonu. Puleaina o le mafaufau o vaega uma i lalo i vaega-por-piliona le maualuga mautinoa mautinoa o le gaosiga gaioiga e mautu ma toe fai. O se mea mautu e oʻo atu ai i se mea vaʻaia ma maualuga fua gaosi, o le sini sili o le sini mo tagata uma semikonductor gaosiga. O la matou matafaioi o se 'au Maualuga le amio sili ona lelei o le faʻateʻaina o fesuiaiga ma tuʻuina atu se oloa o le le faʻaaogaina lelei.

O le a se mea e tatau ona e sailia i totonu o se nitrogen trifloludede

Mo se tagata faʻatau ofisa e pei o Mareko, filifili le mea saʻo mo se mea taua pei o Ni alu mamao i tua atu e pei lava ona faʻatusatusaina tau. O mea e lamatia ai o se leaga faiga paʻaga-feʻaveaʻiga, uiga lelei mataupu, le lelei fesootaiga - pau lava le maualuga tele. Faavae i luga o loʻu poto masani, o le uiga autu lea e mafaufau iai:

Muamua, faʻamaonia le lelei ma tusipasi. O se tagata faʻatuatuaina o le a tuʻuina atu se tusi faʻamaonia o auiliiliga (coa) ma uta uma, faʻamatala le mama maualuga ma lisi soʻo se mea na maua. E tatau ona latou usitaia le faʻavaomalo tulaga e pei o ISO 9001. Fesili atu e uiga i a latou auiliiliga tomai. O i ai ni a latou masini e iloa ai le ita i tulaga e manaomia mo semikonductor Talosaga?

Lona lua, sapalai filifili le faʻamaoni ma le manino. Mafai e le tagata faʻatau ona faʻaalia se papupuni o loʻo iai le fesoʻotaʻiga e puipuia ai le tuai? Latou te le atoatoa tulaga o le gaosia Ia mautinoa le tumau le sapalai? O fesoʻotaʻiga o le ki iinei. O lau tagata faʻatau atu e tatau ona faʻaaogaina, saunia faʻafouga i luga o uta ma e tatau ona avanoa e tali ai fesili. O lea tuusaʻo ai le tiga o le tiga o le le lava fesoʻotaʻiga.

Mulimuli ane, vaʻai mo tomai faʻapitoa. O se mea lelei e le naʻo le faʻatau atu o se oloa; Ua latou saunia se fofo. E tatau ona latou malamalama i au talosaga ma mafai ona tuuina atu le lagolago faapitoa. O le tatau ona latou malamalama i ai e uiga i le saogalemu, taulimaina, ma e oʻo lava i le siʻosiʻomaga o lo o iai le Task talosaga. O le tagata faʻatau e mafai ona galue e pei o se paaga malamalama e sili atu le taua nai lo le tasi o loʻo avea ma tagata faʻatau atu. O lenei tomai o le faavae o se vaitaimi umi, manuia mafutaga. Matou te taumafai ia avea ma paʻaga mo tagata uma o tatou tagata faʻatau, e le naʻo le kasa Ae o le filemu o le mafaufau e o mai ma ia.


Autu Auta

  • Mea taua mea faigaluega: Nitrogen Trifluride (nf₃) o se faitioga taua kasa faaaogaina mo le Plasma Etching ma Chamber Fufulu i le Semicounductor gaosi oloa.
  • Sili le faatinoga: Ni e sili atu le lelei ma o loʻo i ai se siosiomaga sili ona aoga nai lo le matua pfc scrose na suia, faʻafetai i le faʻaaogaina maualuga o tau ma faʻaupuga faʻa -ona.
  • Mama o le manuia: O le ultra-maualuga mama o Ni e le mafai ona fetuuina. E oʻo lava i le faʻafitauli e mafai ona mafua ai ni faʻaletonu i luga o le a silikili galueaina, faaitiitia tele le fua gaosi ma le tamaoaiga o chip gaosiga.
  • Saogalemu ma le taulimaina o le ki: A o le fale, Ni o le mea oona ma le oxiding kasa O lena mea e manaʻomia ai le taulimaina faʻapitoa, maopoopo maelega, ma le loloto malamalama o tulaga alualu i luma.
  • Filifilia Filifiliga e taua: A e filifilia se Ni O le faʻatauvaʻa, faʻamuamua le tulaga moni, sapalai filifili filifili, faʻamatalaga manino, ma le loloto faʻapitoa tomai i luga o tau na o aʻu.