سيميڪنڊڪٽر جي پيداوار ۾ ڪهڙيون گيس استعمال ٿينديون آهن
سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار مختلف قسم جي گيسن تي ڀاڙي ٿو، جن کي ٽن مکيه قسمن ۾ ورهائي سگهجي ٿو: وڏي گيس, خاص گيس، ۽ اچارڻ گيس. آلودگي کي روڪڻ لاءِ اهي گيس تمام گهڻي خالص هجڻ گهرجن، جيڪا نازڪ ۽ پيچيده ٺهڻ واري عمل کي خراب ڪري سگهي ٿي.
بلڪ گيسس
نائٽروجن (N₂):
ڪردار: N₂ ڪيترن ئي مقصدن کي پورو ڪري ٿو، بشمول پروسيسنگ چيمبرز کي صاف ڪرڻ ۽ سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار جي مختلف مرحلن دوران هڪ غير محفوظ ماحول فراهم ڪرڻ.
اضافي نوٽس: نائيٽروجن اڪثر ڪري سلکان ويفرز جي ٽرانسپورٽ ۽ اسٽوريج ۾ آڪسائيڊشن کي گھٽائڻ لاء استعمال ڪيو ويندو آهي. ان جي غير فطري فطرت کي يقيني بڻائي ٿي ته اهو ٻين مواد سان رد عمل نٿو ڪري، ان کي صاف پروسيسنگ ماحول کي برقرار رکڻ لاء مثالي بڻائي ٿو.
آرگن (آر):
ڪردار: پلازما جي عملن ۾ ان جي شموليت کان علاوه، آرگن پروسيس ۾ اوزار آهي جتي ڪنٽرول گيس جي جوڙجڪ اهم آهن.
اضافي نوٽس: ڇاڪاڻ ته اهو اڪثر مواد سان رد عمل نٿو ڪري، آرگن پڻ اسپٽرنگ لاء استعمال ڪيو ويندو آهي، جيڪو ڌاتو يا ڊائلڪ فلمن کي جمع ڪرڻ ۾ مدد ڪري ٿو جتي سطحن کي آلودگي کان سواء برقرار رکڻ گهرجي.
هيليم (He):
ڪردار: هيليم جي حرارتي ملڪيت ان کي انمول بڻائي ٿي ان کي ٿڌي ۽ برقرار رکڻ لاءِ حرارت جي تسلسل کي رد عمل واري عمل دوران.
اضافي نوٽس: اهو اڪثر ڪري استعمال ڪيو ويندو آهي اعلي توانائي واري ليزر سسٽم ۾ ليٿوگرافي لاءِ ان جي غير رد عمل واري طبيعت ۽ آلودگي کان پاڪ نظري رستي کي برقرار رکڻ جي صلاحيت جي ڪري.
هائيڊروجن (H₂):
ڪردار: annealing ۾ ان جي استعمال کان ٻاهر، هائيڊروجن پڻ ويفر جي سطح کي صاف ڪرڻ ۾ مدد ڪري ٿو ۽ epitaxy دوران ڪيميائي رد عمل ۾ ملوث ٿي سگهي ٿو.
اضافي نوٽس: ٿلهي فلمن جي ذخيرو ۾ هائڊروجن جو استعمال سيمي ڪنڊڪٽر مواد ۾ ڪيريئر ڪنسنٽريشن تي وڌيڪ ڪنٽرول جي اجازت ڏئي ٿو، انهن جي برقي ملڪيت کي خاص طور تي تبديل ڪندي.
خاص گيس ۽ ڊوپنٽ
سلين (SiH₄):
ڪردار: سلڪون جمع ڪرڻ جو اڳوڻو هجڻ کان علاوه، سلين کي هڪ غير فعال فلم ۾ پوليمرائز ڪري سگهجي ٿو جيڪا اليڪٽرانڪ خاصيتن کي بهتر بڻائي ٿي.
اضافي نوٽس: ان جي رد عمل کي حفاظت جي خدشن جي ڪري احتياط سان سنڀالڻ جي ضرورت آهي، خاص طور تي جڏهن هوا يا آڪسيجن سان ملايو وڃي.
امونيا (NH₃):
ڪردار: نائٽرائڊ فلمن جي پيداوار کان علاوه، امونيا پاسوائيشن پرت پيدا ڪرڻ ۾ اهم آهي جيڪي سيمي ڪنڊڪٽر ڊوائيسز جي اعتماد کي وڌائين ٿا.
اضافي نوٽس: اهو عملن ۾ شامل ٿي سگھي ٿو جنهن کي سلکان ۾ نائيٽروجن شامل ڪرڻ جي ضرورت آهي، اليڪٽرانڪ ملڪيت کي بهتر بنائڻ.
فاسفائن (PH₃)، آرسين (AsH₃)، ۽ Diborane (B₂H₆):
ڪردار: اهي گيس نه رڳو ڊوپنگ لاءِ ضروري آهن پر ترقي يافته سيمي ڪنڊڪٽر ڊوائيسز ۾ گهربل برقي ملڪيت حاصل ڪرڻ لاءِ پڻ اهم آهن.
اضافي نوٽس: انهن جي زهر جي ضرورت آهي سخت حفاظتي پروٽوڪول ۽ مانيٽر سسٽم ٺاهيل ماحول ۾ خطرن کي گهٽائڻ لاءِ.
Etching ۽ صفائي گيس
فلورو ڪاربن (CF₄، SF₆):
ڪردار: اهي گيس خشڪ ايچنگ جي عملن ۾ استعمال ڪيا ويندا آهن، جيڪي ويٽ ايچنگ جي طريقن جي مقابلي ۾ اعليٰ درستي پيش ڪن ٿيون.
اضافي نوٽس: CF₄ ۽ SF₆ اهم آهن انهن جي قابليت جي ڪري سلکان جي بنياد تي مواد کي موثر انداز سان ڇڪڻ جي، جديد مائڪرو اليڪٽرانڪس ۾ سٺي نموني حل ڪرڻ جي اجازت ڏئي ٿي.
کلورين (Cl₂) ۽ هائيڊروجن فلورائيڊ (HF):
ڪردار: ڪلورين جارحتي ايچنگ صلاحيتون مهيا ڪري ٿي، خاص طور تي دھاتن لاءِ، جڏهن ته HF سلکان ڊاءِ آڪسائيڊ ختم ڪرڻ لاءِ اهم آهي.
اضافي نوٽس: انهن گيس جو ميلاپ مختلف تعميراتي مرحلن دوران موثر پرت کي هٽائڻ جي اجازت ڏئي ٿو، بعد ۾ پروسيسنگ مرحلن لاء صاف سطحن کي يقيني بڻائي.
نائٽروجن ٽرئفلورائڊ (NF₃):
ڪردار: NF₃ CVD سسٽم ۾ ماحولياتي صفائي لاء اهم آهي، بهتر ڪارڪردگي کي برقرار رکڻ لاء آلودگي سان جواب ڏيڻ.
اضافي نوٽس: ان جي گرين هائوس گيس جي صلاحيت بابت خدشات جي باوجود، صفائي ۾ NF₃ جي ڪارڪردگي ان کي ڪيترن ئي ڪارخانن ۾ هڪ ترجيح پسند بڻائي ٿي، جيتوڻيڪ ان جي استعمال کي محتاط ماحولياتي غور جي ضرورت آهي.
آڪسيجن (O₂):
ڪردار: آڪسيجن جي مدد سان آڪسائيڊيشن جو عمل سيمي ڪنڊڪٽر ڍانچي ۾ ضروري موصلي پرت ٺاهي سگھي ٿو.
اضافي نوٽس: آڪسيجن جو ڪردار سلکان جي آڪسائيڊشن کي وڌائڻ ۾ SiO₂ پرت ٺاهڻ لاءِ اهم آهي سرڪٽ جي اجزاء کي الڳ ڪرڻ ۽ تحفظ لاءِ.
سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار ۾ اڀرندڙ گيسس
مٿي ڏنل روايتي گيسن کان علاوه، ٻيون گيسون سيمڪڊڪٽر جي پيداوار جي عمل ۾ ڌيان ڏئي رهيون آهن، جن ۾ شامل آهن:
ڪاربن ڊاءِ آڪسائيڊ (CO₂): استعمال ٿيل ڪجھ صفائي ۽ ايچنگ ايپليڪيشنن ۾، خاص طور تي جيڪي جديد مواد شامل آھن.
سلکان ڊاءِ آڪسائيڊ (SiO₂): جيتوڻيڪ معياري حالتن جي تحت گئس نه آهي، سلکان ڊاء آڪسائيڊ جي وانپ ٿيل شڪلن کي ڪجهه ذخيرو جي عملن ۾ استعمال ڪيو ويندو آهي.
ماحولياتي خيالات
سيمي ڪنڊڪٽر انڊسٽري مختلف گيسن جي استعمال سان لاڳاپيل ماحولياتي اثر کي گهٽائڻ تي ڌيان ڏئي رهي آهي، خاص طور تي اهي جيڪي طاقتور گرين هائوس گيس آهن. اهو ترقي يافته گيس مئنيجمينٽ سسٽم جي ترقي ۽ متبادل گيس جي ڳولا جو سبب بڻيو آهي جيڪي گهٽ ماحولياتي اثرات سان ساڳي فائدا مهيا ڪري سگهن ٿيون.
نتيجو
سيميڪنڊڪٽر جي پيداوار ۾ استعمال ٿيندڙ گيسز ٺاهڻ واري عمل جي درستگي ۽ ڪارڪردگي کي يقيني بڻائڻ ۾ اهم ڪردار ادا ڪن ٿيون. جيئن ٽيڪنالاجي ترقي ڪري ٿي، سيمي ڪنڊڪٽر انڊسٽري مسلسل گيس جي پاڪيزگي ۽ انتظام ۾ بهتري لاءِ ڪوششون ڪري ٿي، جڏهن ته انهن جي استعمال سان لاڳاپيل حفاظتي ۽ ماحولياتي خدشن کي به حل ڪندي.
