Huazhong گيس پاڻ کي وقف ڪري ڇڏيو آهي فن ۽ سائنس جي صنعت ۾ مهارت حاصل ڪرڻ لاءِ خاص گيس پيداوار. اڄ جي اعلي ٽيڪنالاجي دنيا ۾، خاص طور تي اندر سيمي ڪنڊڪٽر صنعت، مطالبو الٽرا اعلي صفائي گيس رڳو هڪ ترجيح نه آهي؛ اهو هڪ مطلق ضرورت آهي. هي مضمون جي نازڪ دنيا ۾ delves ناپاڪي جو تجزيو لاءِ اليڪٽرانڪ خاص گيس. اسان اهو معلوم ڪنداسين ته ڇو سڀ کان ننڍڙو ناپاڪي زبردست نتيجا ٿي سگھن ٿا، اسان ڪيئن ڳولي سگھون ٿا انھن بيوقوفن کي گندگي کي نشانو بڻائڻ، ۽ اهو ڪاروبار لاءِ ڇا مطلب آهي. سمجھڻ گئس جي نجاست ۽ انهن لاء طريقا صفائي ۽ سڃاڻپ، جهڙوڪ ICP-MS, جديد جي reliability ۽ ڪارڪردگي کي يقيني بڻائڻ لاء اهم آهي اليڪٽرانڪس. هي ٽڪرو توهان جي وقت جي لائق آهي ڇاڪاڻ ته اهو پيش ڪري ٿو هڪ فيڪٽري-اندر جي نقطه نظر کي برقرار رکڻ تي اليڪٽرانڪ خاص گيس جي پاڪائي، جو هڪ سنگ بنياد سيمي ڪنڊڪٽر ۽ اليڪٽرانڪس شعبا.

ڇا صحيح طور تي اليڪٽرانڪ اسپيشلٽي گيسس آهن ۽ انهن جي پاڪائي سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار ۾ ايتري اهم ڇو آهي؟

اليڪٽرانڪ خاص گيس، اڪثر ڪري سڏيو ويندو آهي اليڪٽرانڪ گيس يا سيمي ڪنڊڪٽر گيس، هڪ منفرد قسم جا آهن اعلي صفائي گيس ۽ گئس جو مرکب خاص طور تي اليڪٽرانڪ اجزاء جي پيداوار ۾ شامل پيچيده عملن لاء انجنيئر. انھن کي ڊجيٽل عمر جي پوشیدہ معمار وانگر سوچيو. هنن سيمي ڪنڊڪٽر ۾ استعمال ٿيندڙ گيس ٺاھڻ ۾ ھڪ متنوع رينج شامل آھي، جھڙوڪ سلين (SiH₄) سلڪون جي تہن کي جمع ڪرڻ لاءِ، نائيٽروجن ٽرائيفلورائڊ (NF₃) چيمبر جي صفائي لاءِ، آرگن (Ar) هڪ inert ڍال جي طور تي، ۽ مختلف doping گيس جهڙوڪ فاسفائن (PH₃) يا آرسائن (AsH₃) بجليءَ جي خاصيتن کي تبديل ڪرڻ لاءِ سيمي ڪنڊڪٽر مواد. اصطلاح "اليڪٽرانڪ خاصيت"خود انهن جي ترتيب ڏنل ايپليڪيشن کي نمايان ڪري ٿو ۽ انهن جي ترتيب ۾ گهربل انتهائي درستگي. اهي توهان جي روزانه نه آهن صنعتي گيس؛ انهن جون خاصيتون تمام گهڻيون سخت آهن.

ان جي سڀ کان وڏي اهميت پاڪائي وڌيڪ نه ٿو ڪري سگهجي، خاص طور تي semiconductor جي پيداوار. جديد انٽيگريٽيڊ سرڪٽس (ICs) خصوصيت ٽرانزيسٽرز ۽ ڪنڊڪٽيو رستا آهن جيڪي ناقابل يقين حد تائين ننڍا آهن، اڪثر نانو ميٽرن ۾ ماپي وينديون آهن (هڪ ميٽر جو اربين حصو). هن خوردبيني پيماني تي، جيتوڻيڪ هڪ واحد ناپسنديده ايٽم - هڪ ناپاڪي-ھڪ ننڍي وهڪري ۾ پٿر وانگر ڪم ڪري سگھي ٿو، ارادي بجليءَ جي وهڪري ۾ خلل آڻي يا ساخت جي خرابين جو سبب بڻجي سگھي ٿو. اهو هڪ ناقص چپ جو سبب بڻجي سگهي ٿو، ۽ هڪ صنعت ۾ جتي لکين چپس هڪ واحد ويفر تي پيدا ٿين ٿيون، وڏي پئماني تي مالي ۽ شهرت جو نقصان آلودگي تمام گهڻو ٿي سگهي ٿو. تنهن ڪري، جي اليڪٽرانڪ خاص گيس جي پاڪائي هڪ بنيادي ستون آهي جنهن تي سڄو اليڪٽرانڪس ۽ semiconductor صنعت اسٽينڊ. ڪو ناپاڪي سمجھوتو ڪري سگھي ٿو ڊوائيس جي ڪارڪردگي، پيداوار، ۽ قابل اعتماد، سخت بڻائڻ گئس جي صفائي ضروري ڪنٽرول.

Huazhong گيس تي، اسان سمجھون ٿا ته اسان جا گراهڪ ان ۾ semiconductor صنعتون اسان تي ڀروسو ڪريو گيس مهيا ڪرڻ لاءِ جيڪي ملن يا ان کان وڌيڪ ”پنجن نائن“ (99.999٪) يا اڃا ”ڇهه نائن“ (99.9999٪) پاڪائي جي سطح. هن جو مطلب آهي ته ڪنهن به ناپاڪي حصن في ملين (ppm) يا حتي حصن في بلين (ppb) کان گھٽ مقدار ۾ موجود هجڻ گھرجي. حاصل ڪرڻ ۽ اهڙي تصديق ڪرڻ اعلي صفائي سطحن کي نفيس جي ضرورت آهي صفائي ٽيڪنالاجي ۽، اهم، ترقي يافته ناپاڪي جو تجزيو طريقا. غير متوقع جي موجودگي ناپاڪي پڻ مسئلن جي نشاندهي ڪري سگھي ٿي گيس سلنڈر يا سپلائي زنجير، مسلسل معيار جي چڪاس کي اهم بڻائڻ. اسان کي يقين ڏياريو ته اسان جي نائٽروجن سلنڈر آڇون، مثال طور، اهي درست معيار پورا ڪن ٿا، جيئن نائيٽروجن ڪيترن ئي سيمي ڪنڊڪٽر ٺاهن جي مرحلن ۾ ڪم هارس گيس آهي.

ايستائين جو مائڪرو اسڪوپڪ ٽريس امپيرٽيز سيميڪنڊڪٽر پروڊڪشن لائينز کي ڪيئن ڊريل ڪري سگھن ٿا؟

ڪڏهن ڪڏهن اهو تصور ڪرڻ ڏکيو هوندو آهي ته ڪا شيءِ ايتري ننڍڙي، الف ناپاڪي جو پتو لڳائڻ حصن في بلين (ppb) ۾ ماپي وئي يا حتي حصن في ٽريلين (ppt) ۾، اهڙيون اهم مسئلا پيدا ڪري سگهي ٿي. پر جي دنيا ۾ سيمي ڪنڊڪٽر پيداوار، اهي microscopic آلودگي اهم ولن آهن. اچو ته هڪ عام سيمي ڪنڊيڪٽر ٺهڻ واري عمل تي غور ڪريون: ان ۾ درجن، ڪڏهن ڪڏهن سوين، نازڪ قدم شامل آهن جهڙوڪ جمع ڪرڻ (پتلي فلمون رکڻ)، ايچنگ (مادي کي هٽائڻ)، ۽ آئن امپلانٽيشن (مخصوص ايٽم داخل ڪرڻ). هر قدم هڪ خاص طور تي ڪنٽرول ٿيل ڪيميائي ماحول تي ڀاڙي ٿو، اڪثر ڪري ٺاهيل يا برقرار رکي ٿو اليڪٽرانڪ خاص گيس. جيڪڏهن هڪ استعمال ٿيل گئس انهن مرحلن مان هڪ ۾ هڪ ناپسنديده آهي ناپاڪي، اهو ناپاڪي جي نازڪ پرت ۾ شامل ڪري سگهجي ٿو سيمي ڪنڊڪٽر ڊوائيس.

مثال طور، metallic impurities جهڙوڪ سوڊيم، لوهه، يا ٽامي، ايستائين جو الٽرا گهٽ ڪنسنٽريشن تي به، سلڪون جي بجليءَ جي خاصيتن کي تيزيءَ سان تبديل ڪري سگهي ٿو. اهي شايد ناپسنديده موڙيندڙ رستا ٺاهي سگھن ٿا، جيڪي شارٽ سرڪٽ جي ڪري، يا "ٽريپ" طور ڪم ڪن ٿا جيڪي اليڪٽران جي وهڪري کي روڪين ٿا، ڊوائيس کي سست ڪري ٿو يا ان کي مڪمل طور تي ناڪام ٿيڻ جو سبب بڻائين. هڪ ناپاڪي پڻ مداخلت ڪري سگھي ٿو ڪيميائي رد عمل سان عمل جي مرحلي ۾ ارادو ڪيو. مثال طور، a آلودگي ڪندڙ اينچنگ گيس ۾ ٿي سگهي ٿو هيٺان اينچنگ يا اوور ايچنگ، ويفر تي صحيح نمونن کي خراب ڪري. اثر صرف انفرادي چپس تي نه آهي؛ اڻ ڄاتل ناپاڪي مسئلي جي نتيجي ۾ ويفرز جي پوري بيچ ختم ٿي سگهي ٿي، نتيجي ۾ لکين ڊالرن ۾ نقصان، پيداوار ۾ دير، ۽ مارڪ شين وانگر خريداري آفيسرن لاء سر درد، جن کي معيار جي مواد جي مستحڪم فراهمي کي يقيني بڻائڻ جي ضرورت آهي. اهو مضبوط ڪرڻ جي نازڪ ضرورت کي نمايان ڪري ٿو پيچيدگي جي ماپ.

چئلينج اهو آهي ته ڪنهن به لاء "قابل قبول" سطح ناپاڪي جيئن سکندو رهي ٿو سيمي ڪنڊڪٽر ڊوائيس جون خاصيتون ننڍا ٿي ويندا آهن. جيڪو قابل قبول سمجهيو ويندو هو ناپاڪي هڪ ڏهاڪي اڳ جي سطح هڪ تباهي ٿي سگهي ٿي آلودگي اڄ. ننڍي ڪرڻ لاءِ هي لاتعداد ڊرائيو گيس ٺاهيندڙن ۽ تجزياتي ليبز تي تمام گهڻو دٻاءُ وجهي ٿو بهتر ڪرڻ لاءِ ڳولڻ جي حد صلاحيتون. پڻ ذرو گندگي، مٽي جا ننڍڙا ننڍڙا نشان جيڪي ننگي اک کان پوشيده آهن، ڦوٽو گرافي جي مرحلن ۾ روشنيءَ کي روڪي سگهن ٿا يا ويفر جي مٿاڇري تي جسماني نقص پيدا ڪري سگهن ٿا. تنهن ڪري، هر ممڪن ڪنٽرول ناپاڪي - ڇا گيس، ڌاتو، يا ذرو - اهم آهي. جي گندگي جي حد جيڪو مسئلا پيدا ڪري سگهي ٿو وسيع آهي، جامع جي ضرورت تي زور ڏيندي گئس جو تجزيو.

سڀ کان وڌيڪ عام مشڪلاتون ڇا آهن؟ اليڪٽرانڪس لاء گيسس ۾ تڪليف جي سڃاڻپ.

جڏهن اسان بابت ڳالهايون ٿا گئسن ۾ نجاست لاء ارادو ڪيو ويو اليڪٽرانڪس ۽ semiconductor شعبي ۾، اسان ڪردارن جي هڪ متنوع ڪاسٽ کي ڏسي رهيا آهيون، هر هڪ کي اهم نقصان پهچائڻ جي صلاحيت سان. هنن گندگي کي ڳولڻ لاء وسيع طور تي گيس، دھاتي، ۽ ذرات جي شڪل ۾ ورهائي سگهجي ٿو. انهن عام مشڪلاتن کي سمجهڻ مؤثر ۾ پهريون قدم آهي ناپاڪي جو تجزيو ۽ ڪنٽرول. مخصوص گندگي موجود آهي مختلف ٿي سگهن ٿا گئس جي بنياد تي، ان جي پيداوار جو طريقو، اسٽوريج ۽ سنڀالڻ.

گيس وارو نجاست مکيه ۾ موجود ٻيون گئسون آهن خاص گيس. مثال طور، ۾ اعلي صفائي نائٽروجن، عام گيس نجاست آڪسيجن (O₂)، نمي (H₂O)، ڪاربان ڊاءِ آڪسائيڊ (CO₂)، ڪاربان مونو آڪسائيڊ (CO)، ۽ هائيڊرو ڪاربن (CHₓ) شامل ٿي سگھي ٿي. آڪسيجن ۽ نمي خاص طور تي مسئلا آهن ڇو ته اهي انتهائي رد عمل وارا آهن ۽ انهن جي ناپسنديده آڪسائيڊريشن جو سبب بڻجي سگهن ٿيون. سيمي ڪنڊڪٽر مواد يا عمل جو سامان. جيتوڻيڪ هڪ ۾ غير فعال گئس جهڙو آرگن، اهي سراغ جي سطح تي موجود ٿي سگهن ٿا. هڪ ڪمپني جي طور تي، اسان اڪثر ڪري ڏسون ٿا درخواستن جي تجزيو لاءِ a impurities جي وسيع رينج, جن ۾ اهي رد عمل واري نسل شامل آهن. مثال طور، اسان جي صلاحيتن ۾ پيچيده پيداوار شامل آهن گيس ملائيندڙ پراڊڪٽس، جتي هر جزو کي ڪنٽرول ڪرڻ، بشمول امڪاني گيس نجاست، سڀ کان اهم آهي.

ڌاتو جي نجاست هڪ ٻيو اهم خدشو آهي. اهي ڌاتن جا ايٽم آهن جهڙوڪ سوڊيم (Na)، پوٽاشيم (K)، ڪلسيم (Ca)، لوهه (Fe)، ٽامي (Cu)، نکل (Ni)، ڪروميم (Cr) ۽ ايلومينيم (Al). اهي خام مال، پيداوار جي سامان (جهڙوڪ پائپ لائنز ۽ ريڪٽرز)، يا اڃا تائين پيدا ڪري سگهن ٿيون گيس سلنڈر جيڪڏهن پاڻ کي صحيح علاج نه ڪيو وڃي. جيئن ذڪر ڪيو ويو آهي، اهي ڌاتو جي نجاست جي برقي ڪارڪردگي کي سخت متاثر ڪري سگهي ٿو سيمي ڪنڊڪٽر ڊوائيسز. انهن کي پي پي بي يا پي پي ٽي سطح تي ڳولڻ لاءِ انتهائي حساس تجزياتي ٽيڪنالاجي جي ضرورت آهي جهڙوڪ Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry (ICP-MS). اسان کي پڻ غور ڪرڻ گهرجي ذرو معاملو. اهي ننڍڙا ٿلها يا مائع ذرڙا آهن جن ۾ معطل ٿيل آهن گئس جي وهڪري. اهي wafers تي جسماني عيب پيدا ڪري سگهي ٿو، سامان ۾ بند nozzles، يا ٻيو متعارف ڪرايو آلودگي. فلٽريشن ذرات کي ختم ڪرڻ لاء اهم آهي، پر انهن جي سطح جي نگراني پڻ هڪ جامع حصو آهي. گئس جي معيار پروگرام. ڪجھ اليڪٽرانڪ خاص گيس پڻ آهن corrosive گيس يا زهريلي گيس، جيڪو انهن جي سنڀال ۽ تجزيو ۾ پيچيدگي جي هڪ ٻي پرت کي شامل ڪري ٿو، انهي کي يقيني بڻائي ٿو ته ناپاڪي پروفائل انهن خطرن کي وڌائي نه ٿو.

ICP-MS: گولڊ معيار سيمي ڪنڊڪٽر گيسس ۾ ڌاتو جي تڪليف کي ڳولڻ لاء؟

جڏهن اهو اچي ٿو ته metallic impurities جو تجزيو ۾ الٽرا اعلي پاڪائي گيس, Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry, يا ICP-MS، وڏي پيماني تي هڪ معروف ٽيڪنالاجي طور سمجهيو ويندو آهي. اها هڪ طاقتور تجزياتي ٽيڪنڪ آهي جيڪا ڳولهي سگهي ٿي ۽ ان جي مقدار کي وسيع ڪري سگهي ٿي بنيادي نجاست, اڪثر ڪري حيرت انگيز طور تي گهٽ سطح تي - سوچيو حصن-في-ٽريلين (ppt) يا حتي حصن-في-quadrillion (ppq) ڪجهه عنصرن لاءِ. هي حساسيت بلڪل صحيح آهي ڇو ICP-MS لاء انتهائي اهم بڻجي چڪو آهي سيمي ڪنڊڪٽر صنعت، جتي، جيئن اسان بحث ڪيو آهي، اڃا به منٽ جا نشان metallic impurities لاءِ نقصانڪار ٿي سگهي ٿو پيداوار جي معيار.

ڪيئن ٿو ICP-MS ان جو جادو ڪم ڪيو؟ سادي لفظن ۾، جي گئس جو نمونو (يا گئس مان نڪتل هڪ حل) هڪ تمام گرم پلازما ۾ متعارف ڪرايو ويندو آهي، عام طور تي ٺهيل آرگن. هي پلازما، 6,000 کان 10,000 ° C جي گرمي پد تي پهچي ٿو، ايتري توانائي آهي ته گئس جي ماليڪيولن کي ٽوڙي سگهي ٿو ۽ موجود ايٽمز کي آئنائيز ڪري ٿو، بشمول ڪنهن به metallic impurities. اهي آئن وري پلازما مان ڪڍيا ويندا آهن ۽ ماس اسپيڪٽروميٽر ۾ رهنمائي ڪندا آهن. ماس اسپيڪٽروميٽر هڪ بلڪل صحيح فلٽر وانگر ڪم ڪري ٿو، آئنز کي الڳ ڪري انهن جي ماس-ٽو-چارج تناسب جي بنياد تي. اي سڃاڻيندڙ پوءِ هر مخصوص ماس لاءِ آئن کي ڳڻيو، اسان کي سڃاڻڻ جي اجازت ڏئي ٿي ته ڪهڙا عنصر موجود آهن ۽ ڪهڙي مقدار ۾. جي صلاحيت ICP-MS هڪ وسيع اسپيڪٽرم لاء اسڪين ڪرڻ لاء خاص گيسن ۾ دھاتي نجاست ساڳئي وقت ان کي انتهائي موثر بڻائي ٿو.

جڏهن ته ICP-MS ناقابل يقين حد تائين طاقتور آهي، اهو ان جي چيلينج کان سواء ناهي، خاص طور تي جڏهن معاملو ڪرڻ سان سيمي ڪنڊڪٽر ۾ استعمال ٿيندڙ گيس ٺاھڻ. ھڪڙو عام طريقو آھي ڦاسائڻ نجاست گيس جي وڏي مقدار مان گڏ ڪرڻ واري وچولي يا مائع ۾، جنهن کي پوء تجزيو ڪيو ويندو آهي ICP-MS. بهرحال، سڌو گيس سڌو انجڻ ۾ ICP-MS سسٽم پڻ ڪجهه ايپليڪيشنن لاء وڌيڪ عام ٿي رهيو آهي، جيتوڻيڪ ان کي خاص انٽرفيس جي ضرورت آهي. طريقن جي چونڊ تي منحصر آهي مخصوص گئس جي نجاست دلچسپي جي، ميٽرڪس گيس، ۽ گهربل ڳولڻ جي حد. Huazhong گيس تي، اسان جديد ترين تجزياتي سامان ۾ وڏي پئماني تي سيڙپڪاري ڪندا آهيون، بشمول ICP-MS صلاحيتون، ڇاڪاڻ ته اسان ڄاڻون ٿا ته قابل اعتماد مهيا ڪرڻ ناپاڪي جو تجزيو ڊيٽا بنيادي طور تي اسان جي گراهڪ جي ڀروسي لاءِ آهي اعلي صفائي اليڪٽرانڪ گيس جي درستگي ICP-MS انهي کي يقيني بڻائڻ ۾ مدد ڪري ٿي گيس جي صفائي جي سخت مطالبن کي پورو ڪري ٿو اليڪٽرانڪ گريڊ مواد.

اليڪٽرونڪس ۽ سيمڪانڊڪٽر انڊسٽريز لاءِ غير متزلزل گيس پيورٽي غير ڳالهين لائق ڇو آهي؟

اڪيلائيءَ جي ضرورت گئس جي صفائي ۾ اليڪٽرانڪس ۽ semiconductor صنعت صرف هڪ ترجيح نه آهي؛ اها هڪ بنيادي ضرورت آهي جيڪا جديد ڊوائيس جي پيداوار جي فزڪس ۽ اقتصاديات جي ذريعي هلائي وئي آهي. جيئن سيمي ڪنڊڪٽر ڊوائيس جون خاصيتون نانوميٽر اسڪيل تي سڪي وينديون آهن، انهن جي حساسيت ڪنهن به شڪل ۾ آلودگي آسمان هڪ ناپاڪي جيڪي شايد پراڻن، وڏن ڊوائيسز ۾ ناگزير ٿي سگھن ٿيون هاڻي ڪٽڻ واري چپس ۾ تباهي واري ناڪامي سبب ٿي سگهي ٿي. اهو سڌي طرح پيداوار تي اثرانداز ٿئي ٿو - سٺي چپس جو سيڪڙو في ويفر - ۽ جيتوڻيڪ پيداوار ۾ هڪ ننڍڙو گهٽتائي به لکين ڊالرن جي گم ٿيل آمدني ۾ ترجمو ڪري سگهي ٿي. سيمي ڪنڊڪٽر ٺاهيندڙ

جديد مائڪرو پروسيسر يا ميموري چپ جي پيچيده فن تعمير بابت سوچيو. اهو اربين ٽرانزيسٽرن تي مشتمل آهي، هر هڪ ننڍڙي انجنيئرنگ جو معجزو. انهن ٽرانزيسٽرن جي ڪارڪردگي تي دارومدار رکي ٿي بجليءَ جي درست خاصيتن تي سيمي ڪنڊڪٽر استعمال ٿيل مواد، جيڪي، موڙ ۾، انتهائي حساس آهن نجاست. مثال طور، يقيني metallic impurities سلڪون بينڊ گپ جي اندر ناپسنديده توانائي جي سطح متعارف ڪرائي سگھي ٿي، جنهن جي ڪري موجوده رسيد وڌائي ٿي يا ڪيريئر موبلٽي کي گھٽائي ٿي. هن جو مطلب آهي سست، گهٽ موثر، يا مڪمل طور تي غير فعال ڊوائيسز. گيس وارو نجاست جهڙوڪ آڪسيجن يا نمي غير ارادي آڪسائيڊ تہن جي ٺهڻ جو سبب بڻجي سگهي ٿي، فلم جي ٿلهي کي تبديل ڪرڻ يا انٽرفيس جا خاصيتون ڊوائيس آپريشن لاءِ نازڪ آهن. مجموعي طور گئس جي معيار سڌو سنئون ترجمو ڪري ٿو پيداوار جي معيار ۽ reliability.

ان کان علاوه، جي اليڪٽرانڪس ۽ semiconductor صنعت انتهائي پيچيده ۽ مهانگو پيداوار جي عمل جي characterized آهن. هڪڙو سيمي ڪنڊڪٽر فيبريڪيشن پلانٽ ("فاب") تعمير ۽ ليس ڪرڻ لاءِ بلين ڊالر خرچ ڪري سگھن ٿا. جي استعمال ٿيل گيس انهن مان ڪيترن ئي قيمتي پروسيسنگ مرحلن لاء لازمي آهن. جيڪڏهن هڪ خاص گيس سان آلوده آهي ناپاڪي, اهو صرف متاثر نه ٿو wafers في الحال پروسيس ڪيو پيو وڃي؛ اهو پڻ قيمتي پروسيسنگ سامان پاڻ کي آلوده ڪري سگهي ٿو. اهو ٿي سگهي ٿو صفائي ۽ بحالي لاءِ وڌايل ٽائيم ٽائيم، وڌيڪ خرچن ۾ اضافو ۽ پيداوار جي شيڊول ۾ خلل - مارڪ شين وانگر ڪنهن ماڻهو لاءِ هڪ وڏو درد وارو نقطو، جيڪو پنهنجي گراهڪن جي مطالبن کي پورو ڪرڻ لاءِ بروقت پهچائڻ تي ڀاڙي ٿو. تنهن ڪري، يقيني بڻائڻ اليڪٽرانڪ خاص گيس جي پاڪائي سختي جي ذريعي ناپاڪي جو تجزيو پوري سپلائي چينل لاءِ هڪ نازڪ خطري جي خاتمي واري حڪمت عملي آهي. تي ڌيان ڏيڻ اعلي پاڪائي گيس بيحد آهي ڇاڪاڻ ته داغ ناقابل يقين حد تائين بلند آهن.

خاص گيسز ۾ ڌاتو جي نجاست جي تجزيي ۾ اسان کي ڪهڙن اهم چئلينجن کي منهن ڏيڻو پوي ٿو؟

تجزيو ڪرڻ metallic impurities ۾ خاص گيسخاص طور تي جيڪي استعمال ڪيا ويا آهن سيمي ڪنڊڪٽر صنعت، چئلينج جو هڪ منفرد سيٽ پيش ڪري ٿو. بنيادي ڏکيائي انتهائي گهٽ ڪنسنٽريشن مان ٿيندي آهي جنهن تي اهي نجاست مشڪل ٿي سگھي ٿو - اڪثر حصن في بلين (ppb) يا حتي حصن في ٽريلين (ppt) جي حد ۾. اهڙين منٽن جي مقدار کي ڳولڻ ۽ صحيح طور تي مقدار کي نه رڳو انتهائي حساس تجزياتي اوزار جي ضرورت آهي جهڙوڪ ICP-MS پر غير معمولي طور تي صاف an_alytical ماحول ۽ محتاط نموني سنڀالڻ واري پروٽوڪول کي ٻاهرين متعارف ڪرائڻ کان بچڻ لاءِ آلودگي.

هڪ اهم چئلينج نمونو تعارف آهي. گھڻا استعمال ٿيل خاص گيس ۾ اليڪٽرانڪس انتهائي رد عمل، corrosive، يا حتي پائروفورڪ (هوا ۾ spontaneously ignite). انهن کي محفوظ ۽ مؤثر طريقي سان منتقل ڪرڻ گيس هڪ تجزياتي اوزار وانگر هڪ ICP-MS بغير تبديل ڪرڻ جي گئس جو نمونو يا آلي کي آلوده ڪرڻ لاءِ خاص انٽرفيس ۽ ھٿ ڪرڻ جي طريقيڪار جي ضرورت آھي. مثال طور، سڌو سنئون انجڻ a corrosive گئس جيئن هائيڊروجن کلورائڊ (HCl) هڪ معيار ۾ ICP-MS سسٽم کي سخت نقصان پهچائي سگھي ٿو. تنهن ڪري، اڻ سڌي طرح طريقا، جهڙوڪ impinger trapping (پڪڙڻ لاءِ مائع ذريعي گئس کي بلبل ڪرڻ نجاست) يا cryogenic trapping، اڪثر ڪم ڪيو ويندو آهي. بهرحال، اهي طريقا متعارف ڪرائي سگهن ٿا انهن جي پنهنجي امڪاني ذريعن جي آلودگي يا تجزياتي نقصان جيڪڏهن مڪمل طور تي انجام نه ڏنو وڃي. جي چونڊ ڪيريئر گيس گھٽائڻ لاءِ، جيڪڏھن ضروري ھجي، ته به بي عيب ھجڻ گھرجي پاڪائي.

ٻيو چئلينج آهي "ميٽرڪس اثر." بلڪ گيس پاڻ (مثال طور، آرگن، نائٽروجن، هائيڊروجن) جي ڳولا ۾ مداخلت ڪري سگهي ٿي گندگي کي نشانو بڻائڻ. مثال طور، ۾ ICP-MS، پلازما بلڪ مان ٺهيل آهي گيس polyatomic ions ٺاهي سگھي ٿو جيڪي ساڳيا ماس-to-چارج تناسب ڪجھ ٽارگيٽ وانگر آھن metallic impurities, ڪوڙي مثبت يا غلط quantification جي ڪري. تجزيه نگارن کي ٽيڪنڪ استعمال ڪرڻ گهرجي جهڙوڪ ٽڪر/رد عمل سيلز ۾ ICP-MS يا اعلي ريزوليوشن ماس اسپيڪٽروميٽري انهن اسپيڪٽرل مداخلتن کي ختم ڪرڻ لاءِ. ان کان علاوه، calibration معيار quantifying لاء استعمال ڪيو ڌاتو جي نجاست لازمي طور تي انتهائي درست ۽ ڳولڻ جي قابل هجڻ گهرجي، ۽ پوري تجزياتي عمل جي تصديق ٿيڻ گهرجي ته جيئن ان جي اعتبار کي يقيني بڻائي سگهجي. ناپاڪي جو تجزيو نتيجا. اسان، هڪ فراهم ڪندڙ جي حيثيت سان، جي سالميت بابت پڻ پريشان آهيون گيس سلنڈر ۽ انهن جي مدد ڪرڻ جي صلاحيت metallic impurities وقت سان گڏ، جيڪو جاري معيار جي ڪنٽرول جي ضرورت آهي.

ڇا گيس ايڪسچينج ڊيوائس استعمال ڪرڻ سان پيچيدگين جي ماپ جي درستگي کي وڌائي سگھجي ٿو؟

ها، گئس مٽائڻ جي ڊوائس استعمال ڪندي جي درستگي کي وڌائڻ ۾ هڪ اهم ڪردار ادا ڪري سگهي ٿو پيچيدگي جي ماپخاص طور تي جڏهن مشڪل سان معاملو ڪرڻ گيس matrices يا جڏهن مقصد الٽرا گهٽ ڳولڻ جي حد. اي گئس مٽائڻ جي ڊوائس، ڪڏهن ڪڏهن ميٽرڪس جي خاتمي واري نظام جي طور تي حوالو ڏنو ويو آهي، بنيادي طور تي ڪم ڪري ٿو چونڊيل طور تي بلڪ کي هٽائڻ سان گيس (جي مکيه جزو گئس جو نمونو) مرڪوز ڪرڻ دوران گندگي کي نشانو بڻائڻ دلچسپي جي. هي اڳ-توازن وارو قدم ڊرامائي طور تي ايندڙ تجزياتي ٽيڪنالاجي جي حساسيت کي بهتر بڻائي سگهي ٿو جهڙوڪ ICP-MS يا گئس chromatograph سسٽم.

ڪيترن جي پويان اصول گيس مٽاسٽا ڊوائيسز هڪ نيم-پرمميبل جھلي يا چونڊيل جذب / desorption ميڪانيزم شامل آهي. مثال طور، هڪ پيليڊيم جھلي کي استعمال ڪري سگهجي ٿو چونڊيل طور تي هائيڊروجن کي هٽائڻ لاءِ گئس جو مرکب، ٻين کي اجازت ڏيڻ گئسن ۾ نجاست مرڪوز ٿيڻ ۽ منتقل ٿيڻ a سڃاڻيندڙ. اهڙي طرح، مخصوص adsorbent مواد ڪجهه پڪڙي سگهن ٿا نجاست وهڪري کان گيس وهڪرو، جنهن کي پوءِ صاف جي ننڍي مقدار ۾ حرارتي طور تي desorbed ڪري سگهجي ٿو ڪيريئر گيس تجزيو لاء. بلڪ جي مقدار کي گھٽائڻ سان گيس تائين پهچڻ سڃاڻيندڙ، اهي ڊوائيس ميٽرڪس جي مداخلت کي گھٽ ڪن ٿا، پس منظر جي شور کي گھٽ ڪن ٿا، ۽ ھدف لاءِ سگنل کان شور جي تناسب کي مؤثر انداز ۾ وڌائين ٿا. گندگي کي نشانو بڻائڻ. اهو گهٽجي سگهي ٿو معلوم ڪرڻ جي حد.

جا فائدا گئس مٽائڻ جي ڊوائس استعمال ڪندي خاص طور تي واضح آهن جڏهن تجزيو ڪيو وڃي اليڪٽرانڪ ۾ گندگي گيسز جن کي سڌو سنئون سنڀالڻ ڏکيو آهي يا جيڪي تجزياتي آلات ۾ اهم مداخلت جو سبب بڻجن ٿا. مثال طور، جڏهن هڪ انتهائي رد عمل ۾ ٽريس آڪسيجن يا نمي کي ماپڻ جي ڪوشش ڪئي خاص گيس، الف گئس مٽائڻ جي ڊوائس انهن کي ممڪن طور تي الڳ ڪري سگهي ٿو نجاست وڌيڪ نرمي ۾ ڪيريئر گيس جهڙو آرگن يا هيليم تائين پهچڻ کان اڳ سڃاڻيندڙ. اهو نه صرف درستگي کي بهتر بڻائي ٿو پر حساس تجزياتي اجزاء کي پڻ بچائي سگهي ٿو. ٺاهيندڙ جي طور تي 99.999٪ پاڪائي 50L سلنڈر Xenon گيس، اسان غير معمولي جي تصديق ڪرڻ ۾ اهڙين جديد ٽيڪنالاجي جي قيمت کي سمجھون ٿا پاڪائي نادر ۽ خاص گيس. هن ٽيڪنالاجي جي مدد ڪري ٿي نازڪ گئس صاف ڪرڻ ۽ تصديق جا مرحلا.

نازڪ لنڪ: گيسس ۾ نجاست جو تجزيو سڌو سنئون سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار ۾ استعمال ٿيل.

جي گئسون سڌو سنئون سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار ۾ استعمال ٿينديون آهن ٺاھڻ جي عمل جي جاندار آھن. انهن ۾ شامل نه رڳو وڏي گيس جهڙوڪ نائٽروجن ۽ آرگن، پر پڻ هڪ وسيع سلسلو اليڪٽرانڪ خاص گيس جيئن ته epitaxial گيس (مثال طور، سلين، ڪرسٽل پرتن کي وڌائڻ لاء جرمن) خاڪي گيس (مثال طور، NF₃، SF₆، Cl₂ نمونن لاءِ) آئن امپلانٽيشن گيس (مثال طور، آرسائن، فاسفائن، بورون ٽرائي فلورائيڊ ڊوپنگ لاءِ)، ۽ جمع گيس. انهن مان هر هڪ لاء گئس گهربل، سطح ۽ قسم جي قابل قبول ناپاڪي سختي سان بيان ڪيا ويا آهن ڇاڪاڻ ته ڪنهن به انحراف سڌو سنئون تي خرابين ۾ ترجمو ڪري سگهي ٿو سيمي ڪنڊڪٽر ويفر هي ٺاهي ٿو ناپاڪي جو تجزيو انهن لاءِ پروسيس گيس هڪ تمام نازڪ معيار ڪنٽرول قدم.

هڪ پتلي سلڪون ڊاءِ آڪسائيڊ پرت جي جمع تي غور ڪريو، ٽرانزسٽرز ۾ هڪ عام انسولٽر. جيڪڏهن آڪسيجن گئس استعمال ڪيو ويندو آهي هن عمل لاء هائيڊرو ڪاربن تي مشتمل آهي نجاست، ڪاربان آڪسائيڊ پرت ۾ شامل ٿي سگھي ٿو، ان جي موصلي ملڪيت کي خراب ڪري ٿو ۽ ممڪن طور تي ڊوائيس جي ناڪامي جي ڪري ٿي. ساڳئي طرح، جيڪڏهن هڪ نقاشي گيس هڪ غير متوقع تي مشتمل آهي ناپاڪي, اهو ايچ جي شرح يا چونڊ کي تبديل ڪري سگهي ٿو، خاصيتون جيڪي تمام وڏا، تمام ننڍا، يا غلط شڪل ۾ آهن. حتي هڪ ناپاڪي هڪ ۾ غير فعال گئس جهڙو Argon گئس سلنڈر اسپٽرنگ لاءِ استعمال ٿيل ويفر جي مٿاڇري تي منتقل ڪري سگھجي ٿو، فلم جي معيار کي متاثر ڪري. هڪ جو اثر ناپاڪي عام طور تي پروسيس مخصوص آهي، مطلب ته هڪ ناپاڪي هڪ قدم ۾ برداشت هڪ نازڪ ٿي سگهي ٿو آلودگي ڪندڙ ٻئي ۾.

هي نازڪ لنڪ هڪ جامع طريقي جي ضرورت آهي ناپاڪي جو تجزيو. اهو صرف حتمي پراڊڪٽ جي جانچ ڪرڻ بابت ناهي؛ ان ۾ خام مال جي نگراني، ان-پروسيس اسٽريمز، ۽ فائنل شامل آهن گيس صفائي جي مرحلن. لاءِ semiconductor خاصيت گيس لاءِ وضاحتون سيمي ڪنڊڪٽر ۾ ناپاڪ ايپليڪيشنون اڪثر ڪري انتهائي تنگ آهن، تجزياتي ڳولڻ جي حدن کي زور ڏئي ٿو. اسان اسان جي گراهڪن سان ويجهي ڪم ڪري رهيا آهيون سيمي ڪنڊڪٽر ۽ اليڪٽرانڪس فيلڊ انهن جي مخصوص کي سمجهڻ لاء ناپاڪي مختلف لاء حساسيت گيس ۽ گئس جو مرکب. هي تعاون وارو طريقو انهي کي يقيني بڻائڻ ۾ مدد ڪري ٿو پاڪائي خاص گيس اسان انهن جي ترقي يافته پيداوار جي عمل جي گهربل ضرورتن کي مسلسل فراهم ڪندا آهيون. چئلينج کي ڳولڻ ۾ آهي a impurities جي وسيع رينج هميشه گهٽجڻ واري سطح تي.

ليب کان ٻاهر: آلودگي کي روڪڻ لاءِ اعليٰ پاڪائي واري سيمي ڪنڊڪٽر گيسس کي سنڀالڻ لاءِ بهترين طريقا.

کي يقيني بڻائڻ اليڪٽرانڪ خاص گيس جي پاڪائي ختم نٿو ٿئي جڏهن گيس اسان جي پيداوار جي سهولت کي ڇڏي ٿو. انهي کي برقرار رکڻ پاڪائي استعمال جي نقطي تائين سڀ واٽ a سيمي ڪنڊڪٽر fab کي سنڀالڻ، اسٽوريج ۽ ورڇ تي ڌيان ڏيڻ جي ضرورت آهي. جيتوڻيڪ اعليٰ پاڪائي گئس آلوده ٿي سگهي ٿو جيڪڏهن صحيح انتظام نه ڪيو وڃي. Huazhong گيس تي، اسان نه رڳو پيداوار تي ڌيان ڏيڻ اعلي صفائي گيس پر اسان جي گراهڪ کي پڻ صلاح ڏيو ته هيٺيون وهڪرو کي روڪڻ لاءِ بهترين طريقا آلودگي.

اهم بهترين طريقا شامل آهن:

• اجزاء جي چونڊ: گيس جي ترسيل سسٽم ۾ سڀ اجزاء شامل آهن گيس سلنڈرريگيوليٽر، والوز، ٽيوبنگ، ۽ فٽينس - لازمي مواد مان ٺاهيو وڃي (مثال طور، الیکٹرو پولش ٿيل اسٽينلیس سٹیل) ۽ خاص طور تي صاف ۽ تصديق ٿيل آهن الٽرا اعلي صفائي (UHP) سروس. غلط مواد استعمال ڪرڻ جي نتيجي ۾ ٻاهر نڪري سگهي ٿو نجاست يا هڪ دھاتي ناپاڪي ۾ داخل ٿيڻ گئس جي وهڪري.
• سسٽم جي سالميت: گيس جي ترسيل نظام کي ليکي تنگ هجڻ گهرجي. جيتوڻيڪ ننڍڙن ليکن کي ماحول جي اجازت ڏئي سگھي ٿي آلودگي جهڙوڪ آڪسيجن، نمي، ۽ ذرو سسٽم ۾ داخل ٿيڻ جو معاملو، سمجهوتو گئس جي صفائي. باقاعده ليڪ جي چڪاس ضروري آهي.
• صاف ڪرڻ جا طريقا: مناسب صاف ڪرڻ جا طريقا نازڪ هوندا آهن هر وقت ڪنيڪشن ٺاهيو ويندو آهي يا سلنڈر تبديل ڪيو ويندو آهي. ھن ۾ شامل آھن لائنن کي الف سان فلش ڪرڻ اعلي purity inert گئس (جهڙوڪ آرگن يا نائيٽروجن) ڪنهن ڦاسي هوا کي هٽائڻ لاءِ يا نجاست. ناکافي صاف ڪرڻ جو هڪ عام ذريعو آهي آلودگي. مطابقت کي يقيني بڻائڻ لاءِ اسان اڪثر ڪري خودڪار صاف پينل جي سفارش ڪندا آهيون.
• وقف ٿيل سامان: مخصوص لاء وقف ريگيوليٽر ۽ لائين استعمال ڪندي گيس يا خاندانن جي گيس پار آلودگي کي روڪي سگھي ٿو. اهو خاص طور تي اهم آهي جڏهن هڪ جي وچ ۾ سوئچنگ غير فعال گئس ۽ هڪ رد عمل يا corrosive گئس.
• سلنڈر سنڀالڻ: گيس سلنڈر نقصان کان بچڻ لاء احتياط سان سنڀاليو وڃي. انهن کي نامزد ٿيل، چڱي طرح هوادار علائقن ۾ ذخيرو ڪيو وڃي، ۽ "پهريون-ان، پهريون-آئوٽ" انوینٽري انتظام کي مشق ڪيو وڃي. استعمال ڪندي وقف نمي ۽ آڪسيجن نازڪ نقطن تي تجزيه نگار پڻ مدد ڪري سگھن ٿا مانيٽرنگ لاءِ انهن عام جي ڪنهن به داخل ٿيڻ لاءِ نجاست.

مارڪ شين وانگر گراهڪن لاءِ، جيڪي گيس خريد ڪري رهيا آهن ريليز ڪرڻ لاءِ يا پيداوار ۾ استعمال لاءِ، انهن کي سنڀالڻ جي طريقن کي سمجهڻ ضروري آهي گيس کي برقرار رکڻ لاءِ. پيداوار جي معيار اهي پنهنجن گراهڪن سان واعدو ڪن ٿا. اها هڪ گڏيل ذميواري آهي. اسان کي يقين ڏياريو ته اسان جي هائيڊروجن سلنڈر پراڊڪٽس، مثال طور، ڀريل ۽ برقرار رکڻ لاءِ ناپاڪي داخل ٿئي ٿو، پر آخري استعمال ڪندڙ جو نظام هڪ جيتري اهم ڪردار ادا ڪري ٿو. جي خلاف جنگ ناپاڪي پيداوار کان ايپليڪيشن تائين مسلسل ڪوشش آهي.

ڪرسٽل بال ۾ ڏسڻ: اسان مستقبل جي ڪهڙي جدت جي اميد ڪري سگهون ٿا اليڪٽرڪ گريڊ گيسس لاءِ نجاست جي چڪاس ۾؟

هميشه کان اعليٰ حاصل ڪرڻ جي جستجو پاڪائي ۾ اليڪٽرانڪ گريڊ گيس ۽ وڌيڪ حساس گندگي جي چڪاس طريقا هڪ مسلسل سفر آهي، جنهن ۾ جدت جي مسلسل رفتار جي ذريعي هلائي وئي آهي سيمي ڪنڊڪٽر صنعت. جيئن ته ڊوائيس جون خاصيتون ذيلي 10 نانو ميٽر جي دائري ۾ اڳتي وڌنديون آهن ۽ نوان مواد ۽ آرڪيٽيڪچر ظاهر ٿيندا آهن (جهڙوڪ 3D NAND ۽ Gate-All-Around transistors)، ان جو اثر اڃا به ڪمزور ٿيندو آهي. گندگي کي نشانو بڻائڻ وڌيڪ واضح ٿي ويندو. اهو ٻنهي ۾ وڌيڪ ترقي جي ضرورت پوندي گئس صاف ڪرڻ ٽيڪنالاجيون ۽ ناپاڪي جو تجزيو صلاحيتون.

اسان ڪيترن ئي رجحانن جو اندازو لڳائي سگهون ٿا:

• هيٺين ڳولها حدون: تجزياتي ٽيڪنالاجي وانگر ICP-MS، گيس ڪروميٽوگرافي-ماس اسپيڪٽروميٽري (GC-MS)، ۽ Cavity Ring-Down Spectroscopy (CRDS) ترقي ڪندي، زور ڀريندي. ڳولڻ جي حد وسيع لاء گندگي جي حد ھڪڙي عددي ppt سطحن تائين يا ppq ڊومين ۾ پڻ. ان لاءِ آئن ذريعن، ماس اينالائيزر، ۽ ۾ جدت جي ضرورت پوندي سڃاڻيندڙ ٽيڪنالاجي.
• In-Situ ۽ حقيقي وقت جي نگراني: هتي تجزياتي نظام جي وڌندڙ گهرج آهي جيڪا مانيٽر ڪري سگهي ٿي گئس جي صفائي حقيقي وقت ۾، سڌو سنئون اندر استعمال جي نقطي تي سيمي ڪنڊڪٽر فيب هي ڪنهن به فوري طور تي معلوم ڪرڻ جي اجازت ڏئي ٿو آلودگي واقعا يا داخل ٿيڻ ناپاڪي سطحون، تيز اصلاحي عمل کي چالو ڪرڻ ۽ پيداوار جي نقصان کي گھٽائڻ. ننڍڙا سينسر ۽ ترقي يافته ڪيموميٽرڪ الگورتھم هتي اهم ڪردار ادا ڪندا.
• پيچيده گيس مرکبن جو تجزيو: مستقبل سيمي ڪنڊڪٽر عمل وڌيڪ پيچيده شامل ٿي سگھي ٿو گئس جو مرکب ڪيترن ئي رد عمل واري اجزاء سان. تجزيو ڪرڻ نجاست اهڙين مشڪل ميٽرڪس ۾ نئين تجزياتي حڪمت عملين ۽ نفيس ڊيٽا جي تشريح جي اوزارن جي ضرورت پوندي. ماپ ڪرڻ جي صلاحيت ناپاڪي هڪ جزو ۾ ٻين جي مداخلت کان سواء اهم ٿي ويندي.
• "قاتل" جي تڪليف تي ڌيان ڏيو: تحقيق جاري رهندي مخصوص سڃاڻپ لاءِ سيمي ڪنڊڪٽر ۾ ناپاڪ پروسيسنگ جيڪي ڊوائيس جي ڪارڪردگي يا پيداوار تي غير متناسب طور تي وڏي اثر رکن ٿيون، جيتوڻيڪ انتهائي گهٽ سطح تي. تجزياتي طريقا انهن ”قاتل“ ڏانهن وڌيڪ نشانو بڻجي ويندا. نجاست.
• ڊيٽا تجزياتي ۽ AI: ترقي يافته طرفان ٺاهيل ڊيٽا جي وڏي مقدار ناپاڪي جو تجزيو سسٽم AI ۽ مشين لرننگ استعمال ڪندي رجحانن کي سڃاڻڻ، امڪاني اڳڪٿي ڪرڻ لاءِ استعمال ڪيا ويندا آلودگي مسئلا، ۽ بهتر ڪرڻ گئس صاف ڪرڻ عمل. اهو رد عمل واري مسئلي کي حل ڪرڻ بدران فعال معيار جي ڪنٽرول ۾ مدد ڪري سگهي ٿو.

Huazhong گيس تي، اسان انهن ترقيات جي اڳيان رهڻ لاءِ پرعزم آهيون. اسان مسلسل تحقيق ۽ ترقي ۾ سيڙپڪاري ڪري رهيا آهيون، صنعت جي ڀائيوارن ۽ تعليمي ادارن سان تعاون ڪري رهيا آهيون سائنس کي اڳتي وڌائڻ لاء اعلي پاڪائي گئس پيداوار ۽ ناپاڪي جو تجزيو. اسان جي گراهڪن لاءِ ، جن ۾ مارڪ شين وانگر معيار جي لحاظ کان ، ان جو مطلب آهي قابل اعتماد فراهمي اليڪٽرانڪ خاص گيس جيڪي ترقي جي ضرورتن کي پورو ڪن ٿا اليڪٽرانڪس ۽ semiconductor صنعت. اسان جي حد هيليم، ان جي جڙت ۽ خاص ايپليڪيشنن ۾ استعمال لاءِ سڃاتو وڃي ٿو، انهن جديد تجزياتي ڇنڊڇاڻ مان پڻ فائدو حاصل ڪري ٿو ته گهٽ ۾ گهٽ يقيني بڻائڻ لاءِ ناپاڪي سطحون

ياد رکڻ لاء اهم طريقا:

• اليڪٽرانڪ خاص گيس لاء بنيادي آهن semiconductor پيداوار، ۽ سندن پاڪائي غير قابل للتفاوض.
• پڻ گندگي کي نشانو بڻائڻ, ppb يا ppt ۾ ماپي ٿي سگھي ٿي، اھم خرابين ۽ پيداوار جي نقصان جو سبب ٿي سگھي ٿو سيمي ڪنڊڪٽر ڊوائيسز.
• عام گئسن ۾ نجاست ٻيون گيس شامل آهن (جهڙوڪ O₂، H₂O)، metallic impurities، ۽ ذرو معاملو.
• ICP-MS جي سڃاڻپ ڪرڻ لاء هڪ بنيادي ٽيڪنالاجي آهي impurities جي وسيع رينجخاص طور تي metallic impurities، انتهائي گهٽ سطح تي.
• سنڀالڻ گئس جي صفائي کان محتاط انتظام ۽ سسٽم جي سالميت جي ضرورت آهي گيس سلنڈر روڪڻ لاء استعمال جي نقطي تائين آلودگي.
• مستقبل اڃا به گهٽ ڏسندو ڳولڻ جي حد، حقيقي وقت جي نگراني، ۽ AI-هلائي وئي ناپاڪي جو تجزيو لاءِ اليڪٽرانڪ گريڊ گيس
• هر ممڪن ڪنٽرول ناپاڪي کي يقيني بڻائڻ لاء ضروري آهي پيداوار جي معيار ۽ جديد جي reliability اليڪٽرانڪس.