سيمي ڪنڊڪٽر انڊسٽري، جديد ٽيڪنالاجي جي ترقي جي بنيادي طور تي، ان جي پيداوار جي عمل ۾ ڪيتريون ئي اعلي صحت واري ۽ اعلي پاڪائي گيس شامل آهن. سيمي ڪنڊڪٽرن لاءِ خاص گيسون انهن گيسن ڏانهن اشارو ڪن ٿيون جيڪي سيمي ڪنڊڪٽر مواد جي پيداوار، چپ جي پيداوار، پتلي فلم جي جمع ڪرڻ، ايچنگ ۽ ٻين عملن ۾ اهم ڪردار ادا ڪن ٿيون. انهن گيسن کي لازمي طور تي سخت ضرورتن کي پورو ڪرڻ گهرجي پاڪائي، استحڪام، ۽ ردعمل جي عملن تي صحيح ڪنٽرول. هي آرٽيڪل سيمي ڪنڊڪٽرن ۾ استعمال ٿيندڙ ڪيترن ئي عام خاص گيسز کي متعارف ڪرايو ويندو ۽ سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار جي عمل ۾ انهن جي ڪردار تي بحث ڪندو.

1. هائيڊروجن (H₂)

هائيڊروجن وڏي پيماني تي سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار ۾ استعمال ڪيو ويندو آهي، خاص طور تي ڪيميائي وانپ جمع (CVD) ۽ گهٽتائي رد عمل ۾. CVD ۾، هائيڊروجن اڪثر ڪري ٻين گيس سان ملايو ويندو آهي پتلي فلمون، جهڙوڪ سلکان فلمون. هائيڊروجن پڻ ڌاتو جي جمع ۽ آڪسائيڊ ختم ڪرڻ واري عمل ۾ گھٽائڻ واري ايجنٽ طور ڪم ڪري ٿو. اضافي طور تي، هائڊروجن کي صاف ڪرڻ ۽ علاج ڪرڻ ۾ استعمال ڪيو ويندو آهي سيمي ڪنڊڪٽر ويفرز کي مؤثر طور تي سطح جي آلودگي کي ختم ڪرڻ ۽ چپس جي معيار کي بهتر ڪرڻ لاء.

2. نائٽروجن (N₂)

نائٽروجن، هڪ غير فعال گيس، بنيادي طور تي استعمال ڪيو ويندو آهي آڪسيجن کان آزاد ماحول فراهم ڪرڻ لاءِ سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار ۾. اهو عام طور تي سامان جي صفائي ۾ استعمال ڪيو ويندو آهي، کولنگ عمل، ۽ رد عمل جي ماحول ۾ هڪ diluent طور. وانپ جي جمع ۽ نچڻ واري عمل ۾، نائيٽروجن اڪثر ڪري ٻين گيس سان ملايو ويندو آهي ته جيئن رد عمل جي حالتن کي مستحڪم ڪرڻ ۽ رد عمل جي شرح کي ڪنٽرول ڪرڻ لاء. نائيٽروجن پڻ آڪسائيڊشن کي دٻائڻ لاءِ استعمال ڪيو ويندو آهي، حساس مواد کي آڪسائيڊشن جي نقصان کان بچائڻ لاءِ.

3. آڪسيجن (O₂)

آڪسيجن سيمي ڪنڊڪٽر انڊسٽري ۾ اهم ڪردار ادا ڪري ٿو، خاص طور تي آڪسائيڊشن جي عمل ۾. سلکان ڊاءِ آڪسائيڊ جي پرت جي ٺهڻ ۾ سلڪون ويفرز جي مٿاڇري تي آڪسيجن ضروري آهي. آڪسيجن کي متعارف ڪرائڻ سان، سلکان جي مٿاڇري تي هڪ يونيفارم آڪسائيڊ پرت ٺاهي ٿي، جيڪا برقي ڪارڪردگي ۽ ڊوائيس جي استحڪام لاء اهم آهي. آڪسيجن پڻ استعمال ڪيو ويندو آهي صفائي ۽ نچڻ واري عمل ۾، ٻين ڪيميائي گيسن سان رد عمل ڪندي آڪسائيڊ ٺاهڻ يا ڪجهه دھاتي فلمن کي هٽائڻ لاءِ.

4. ڪاربن ٽيٽرا فلورائيڊ (CF₄)

ڪاربان tetrafluoride وڏي پيماني تي اچان عمل ۾ استعمال ڪيو ويندو آهي. سيمي ڪنڊڪٽر ايچنگ ۾، CF₄ کي ٻين گيسن سان ملايو ويندو آهي ته جيئن سلڪون، سلڪون نائٽرائڊ، ڌاتو ۽ ٻين مواد جي پتلي فلمن کي مؤثر طريقي سان هٽائي سگهجي. جڏهن CF₄ فلورائن سان گڏ ٿئي ٿو، اهو فلورائيڊ ٺاهي ٿو، جنهن ۾ مضبوط رد عمل آهي ۽ موثر طريقي سان ٽارگيٽ مواد کي ڇڪي سگهي ٿو. هي گيس انٽيگريٽيڊ سرڪٽ جي پيداوار ۾ اعليٰ درستي واري نموني جي ڇنڊڇاڻ لاءِ اهم آهي.

5. هائيڊروجن ڪلورائڊ (HCl)

هائيڊروجن ڪلورائڊ گيس بنيادي طور تي ايچنگ گيس طور استعمال ڪيو ويندو آهي، خاص طور تي ڌاتو جي مواد جي اچارن ۾. اهو کلورائڊ ٺاهڻ لاء ڌاتو فلمن سان رد عمل ڪري ٿو، دھات جي تہن کي هٽائڻ جي اجازت ڏئي ٿو. اهو عمل وڏي پيماني تي پتلي ڌاتو فلمن جي نموني ۾ استعمال ڪيو ويندو آهي، چپ جي جوڙجڪ جي درستگي کي يقيني بڻائي.

6. نائٽروجن ٽرائي فلورائيڊ (NF₃)

نائٽروجن ٽرائيفلورائڊ خاص طور تي پلازما ايچنگ جي سامان ۾ ذخيرو جي باقيات کي صاف ڪرڻ لاء استعمال ڪيو ويندو آهي. پلازما ايچنگ جي عملن ۾، NF₃ جمع ٿيل مواد (جهڙوڪ سلڪون فلورائڊس) سان رد عمل ظاهر ڪري ٿو ته جيئن آساني سان هٽائي سگهجي ٿو فلورائڊس. هي گيس صفائي جي عمل ۾ انتهائي موثر آهي، ايچنگ سامان جي صفائي کي برقرار رکڻ ۽ پيداوار جي عمل جي درستگي ۽ ڪارڪردگي کي بهتر ڪرڻ ۾ مدد ڪري ٿي.

7. سلين (SiH₄)

سلين هڪ عام طور تي استعمال ٿيل گئس آهي ڪيميائي وانپ جمع (CVD) ۾، خاص طور تي سلکان پتلي فلمن کي جمع ڪرڻ لاء. سلين تيز گرمي پد تي ٺهڪي اچي ٿو ته جيئن سبسٽريٽ جي مٿاڇري تي سلکان فلمون ٺهي، جيڪي سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار ۾ اهم آهن. سلين ۽ رد عمل جي حالتن جي وهڪري کي ترتيب ڏيڻ سان، جمع ڪرڻ جي شرح ۽ فلم جي معيار کي صحيح طور تي ڪنٽرول ڪري سگهجي ٿو.

8. بورون ٽرائي فلورائيڊ (BF₃)

بورون ٽرائي فلورائيڊ هڪ اهم ڊوپنگ گيس آهي، عام طور تي بورون ڊوپنگ جي عمل ۾ سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار ۾ استعمال ٿيندو آهي. اهو استعمال ڪيو ويندو آهي ڪرسٽل جي برقي ملڪيت کي ترتيب ڏيڻ لاءِ سلڪون سبسٽرٽ سان رد عمل ڪندي گهربل ڊاپنگ پرت ٺاهڻ لاءِ. بورون ڊاپنگ جو عمل P-قسم جي سيمي ڪنڊڪٽر مواد ٺاهڻ لاءِ ضروري آهي، ۽ BF₃ گيس ان عمل ۾ اهم ڪردار ادا ڪري ٿي.

9. سلفر Hexafluoride (SF₆)

سلفر hexafluoride خاص طور تي سيمي ڪنڊڪٽر ايچنگ جي عملن ۾ استعمال ڪيو ويندو آهي، خاص طور تي اعلي صحت واري ايچنگ ۾. ان جي اعلي برقي موصلي ملڪيت ۽ ڪيميائي استحڪام جي ڪري، SF₆ کي ٻين گيس سان گڏ ڪري سگهجي ٿو صحيح طور تي مادي فلمن کي هٽائڻ ۽ درست نموني کي يقيني بڻائڻ لاء. اهو پڻ وڏي پيماني تي آئن ايچنگ ۾ استعمال ٿيندو آهي، موثر طريقي سان ناپسنديده ڌاتو فلمن کي هٽائڻ.

نتيجو

سيمي ڪنڊڪٽرز لاءِ خاص گيسز انٽيگريٽيڊ سرڪٽس جي پيداوار ۾ ناقابل بدلي ڪردار ادا ڪن ٿيون. جيئن ٽيڪنالاجي اڳتي وڌندي رهي ٿي، انهن گيسن جي اعليٰ پاڪيزگي ۽ ڪارڪردگيءَ جي گهرج وڌي ٿي، سپلائرز کي گيس جي معيار ۽ قسمن کي مسلسل بهتر ڪرڻ جي ترغيب ڏين ٿا. مستقبل ۾، سيمي ڪنڊڪٽر انڊسٽري ايندڙ نسل جي چپس ۽ ٽيڪنالاجي جدت جي پيداوار جي حمايت لاء انهن خاص گيس تي ڀروسو جاري رکندي. تنهن ڪري، سيمي ڪنڊڪٽر جي خاص گيس کي سمجهڻ ۽ لاڳو ڪرڻ سيمي ڪنڊڪٽر انڊسٽري جي مسلسل ترقي کي هلائڻ ۾ اهم هوندو.