عالمي سيمي ڪنڊڪٽر انڊسٽري جي تيزيءَ سان ترقي ڪندي، چپ جي پيداوار جا عمل مڪمل طور تي نانوميٽر جي دور ۾ داخل ٿي چڪا آهن. هن انتهائي صحيح پيداوار واري عمل ۾، ڪنهن به منٽ جي ماحولياتي ڦيرڦار يا مادي ناپاڪ ويفرز جي پوري بيچ کي ختم ڪري سگهي ٿي. تنهن ڪري، اليڪٽرانڪ خاص گيس ۽ اعلي پاڪائي صنعتي گيس هڪ غير معمولي ڪردار ادا ڪن ٿا. انهن ۾، اعلي صفائي مائع argon سيميڪنڊڪٽر فيبس جي روزاني عملن ۾ ان جي آخري ڪيميائي جزن ۽ شاندار جسماني ملڪيتن جي ڪري هڪ ناگزير ڪنجي استعمال لائق بڻجي وئي آهي.

اهو آرٽيڪل چپ جي پيداوار جي عملن ۾ مائع آرگن جي بنيادي ايپليڪيشنن جو تفصيلي تجزيو ڪندو ۽ انٽرنيشنل سپلائي چين ٽيمن لاءِ پيشه ورانه خريداري گائيڊ فراهم ڪندو.

بنيادي ايپليڪيشنون: ڇو آهي مائع آرگن سيمڪڊڪٽر جي پيداوار کان الڳ نه آهي؟

فرنٽ-اينڊ-آف-لائن (FEOL) سيميڪنڊڪٽر جي پيداوار جي عمل ۾، سيمي ڪنڊڪٽرز لاء مائع آرگن بنيادي طور تي هيٺين بنيادي مرحلن ۾ لاڳو ٿئي ٿو جيڪي پيداوار جي پيداوار جو تعين ڪن ٿا:

• جسماني وانپ جمع (PVD) / ڦاٽڻ: الٽرا خالص آرگن گيس، مائع آرگن جي گيسائيشن جي ذريعي ٺاهي وئي، پي وي ڊي اسپٽرنگ جي عملن ۾ سڀ کان وڌيڪ مکيه وهڪرو ڪم ڪندڙ گئس آهي. ويڪيوم چيمبر ۾، آرگن آئن کي برقي فيلڊ ذريعي تيز ڪيو وڃي ٿو ٽارگيٽ مواد تي بمباري ڪرڻ لاء، ٽارگيٽ ايٽم کي ختم ڪرڻ ۽ ويفر جي سطح تي هڪجهڙائي سان گڏ هڪ ڌاتو فلم ٺاهڻ لاء. فلم جي کثافت ۽ برقي استحڪام کي يقيني بڻائڻ لاء اعلي پاڪائي هڪ شرط آهي.
• 
  

• بلڪل محفوظ غير محفوظ حفاظتي ماحول: monocrystalline سلکان جي ڇڪڻ واري عمل جي دوران (جهڙوڪ Czochralski عمل) ۽ تيز درجه حرارت اينيلنگ عمل، سلڪون آساني سان تيز گرمي پد تي آڪسيجن سان رد عمل ڪري ٿو. تنهن ڪري، آرگن گيس کي مسلسل متعارف ڪرايو وڃي هوا کي تبديل ڪرڻ لاء، هڪ بلڪل غير محفوظ ماحول فراهم ڪري جيڪو آڪسيجن ۽ نمي کان الڳ آهي، انهي سان گڏ سلکان ڪرسٽل لٽيس جي مڪمل ترقي کي يقيني بڻائي ٿي.
• 
  
• Cryogenics ۽ Wafer صفائي ٽيڪنالاجي: ترقي يافته عملن جهڙوڪ Extreme Ultraviolet (EUV) ليٿوگرافي ۾، مائع آرگن (ابلنگ پوائنٽ -186 ° C) جي انتهائي گهٽ درجه حرارت جي خاصيتون ڪڏهن ڪڏهن درست سامان جي کولنگ سسٽم تي لاڳو ٿينديون آهن. ان سان گڏ، آرگن ايروسول ٽيڪنالاجي پڻ استعمال ڪئي وئي آهي نانو ميٽر-اسڪيل فزيڪل مائڪرو صفائي لاءِ ويفر سطحن تي، جيڪا غير تباهيءَ سان منٽ جي ذرات کي ختم ڪري سگهي ٿي.
• 
  

معيار جو تعين ڪري ٿو پيداوار: سخت معيار جو اعلي خالص مائع آرگن

خام مال لاءِ سيمي ڪنڊڪٽر انڊسٽري جون گهرجون غير معمولي سخت آهن. عام صنعتي گريڊ مائع آرگن کي عام طور تي صرف 99.9٪ يا 99.99٪ جي پاڪائي تائين پهچڻ جي ضرورت آهي، پر اهو چپ جي پيداوار جي ضرورتن کي پورو ڪرڻ کان پري آهي. لاءِ قابل اعلي پاڪائي مائع آرگن، بيس لائين پاڪائي عام طور تي 99.999٪ (5N) تائين پهچڻ جي ضرورت آهي، ۽ ترقي يافته نوڊس ۾، ان کي به 99.9999٪ (6N) يا وڌيڪ تائين پهچڻ جي ضرورت آهي.

وڌيڪ اهم آهي ناپاڪي ڪنٽرول. آڪسيجن، نائٽروجن، نمي، ڪل هائيڊرو ڪاربن (THC) ۽ ٽريس ميٽيل آئنز جي مواد کي سختي سان ڪنٽرول ڪيو وڃي ppb (حصو في بلين) يا اڃا به ppt (حصو في ٽريلين) سطح تي. ايستائين جو هڪ منٽ ۾ به نجاست گئس پائيپ لائين ۾ ملي ٿي، اها ويفر جي مٿاڇري تي مائيڪرو نقص پيدا ڪندي، جنهن سبب چپ شارٽ سرڪٽ يا ڪرنٽ ليڪيج ٿيندي، سڌو سنئون پيداوار جي شرح کي گهٽائيندي ۽ وڏو معاشي نقصان ٿيندو.

خريداري جي گائيڊ: ڪيئن اندازو لڳايو ۽ هڪ پيشه ورانه مائع آرگن سپلائر چونڊيو؟

پيداواري لائينن جي آپريشن ۾ اعليٰ پاڪائي واري گيسن جي فيصلي واري ڪردار کي نظر ۾ رکندي، مڪمل طور تي قابل ۽ قابل مائع آرگن سپلائر ڳولڻ ۽ محفوظ ڪرڻ خريداري ۽ سپلائي چين ٽيمن لاءِ بنيادي ڪم آهي. جڏهن امڪاني سپلائرز جو جائزو وٺندي، اها سفارش ڪئي وئي آهي ته هيٺين ٽن طول و عرض تي ڌيان ڏيڻ:

سخت معيار ڪنٽرول ۽ جاچ صلاحيتون: بهترين سپلائرز کي لازمي طور تي اعلي سطحي ٽريس تجزيي جي سامان سان ليس هجڻ گهرجي جهڙوڪ گيس ڪروميٽوگرافس (GC) ۽ ماس اسپيڪٽروميٽر (MS). انهن کي لازمي طور تي مهيا ڪرڻ جي قابل هوندو تفصيلي COA (تجزيي جو سرٽيفڪيٽ) هر بيچ لاءِ ترسيل جي وچ ۾ خالص مستقل مزاجي کي يقيني بڻائڻ لاءِ.

مضبوط سپلائي چين جي لچڪ ۽ ترسيل استحڪام: Fabs عام طور تي 24/7/365 هلائي ٿو، ۽ گھٽ وقت جي قيمت تمام گهڻي آهي. تنهن ڪري، سپلائرز کي لازمي طور تي وڏي لوڪلائيزڊ مائع اسٽوريج صلاحيتون هجڻ گهرجن، انهن جي پنهنجي بيبي جي ڪرائيوجنڪ ٽينڪر ٽرڪون، ۽ هنگامي سپلائي جي اطمينان لاءِ جامع امڪاني منصوبا.

ترقي يافته ڪنٽينرز ۽ مخالف "ثانوي آلودگي" ٽيڪنالاجي: ڪابه پرواه ناهي ته گئس جي پاڪائي ڪيتري به اعلي آهي، اهو بيڪار آهي جيڪڏهن ٽرانسپورٽ دوران آلودگي. ڌيان فراهم ڪندڙ جي ڪرائيوجنڪ اسٽوريج ٽينڪ ۽ ٽينڪر جي اندروني ڀت جي علاج واري ٽيڪنالاجيز تي هجڻ گهرجي (جيئن ته ڇا اهو اليڪٽررو پولشنگ / اي پي علاج ٿي چڪو آهي)، انهي سان گڏوگڏ معياري آپريٽنگ پروسيسنگ (SOP) لاء والو ۽ پائپ لائن صاف ڪرڻ جي مدت دوران ڀرڻ ۽ منتقلي جي مرحلن دوران، انهي کي يقيني بڻائڻ ته اعلي پاڪائي کي سڌو سنئون ٻوٽي کان گراهڪ تائين پهچائي سگهجي ٿو.

نتيجو

مور جي قانون جي مسلسل ترقيءَ تحت، اعليٰ خالص مائع ارگون نه رڳو هڪ بنيادي استعمال لائق آهي، پر ترقي يافته سيمڪڊڪٽر جي عملن لاءِ ”پوشیدہ اسڪارٽ“ پڻ آهي. سائنسي ۽ سختي سان جائزو وٺڻ ۽ چونڊڻ a مائع argon فراهم ڪرڻ وارو سيمي ڪنڊڪٽرز لاءِ مائع آرگن جي اعليٰ معيار ۽ مستحڪم سپلائي کي يقيني بڻائڻ لاءِ جامع قوت سان هر سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار واري اداري لاءِ بنيادي بنياد آهي پروسيس جي پيداوار کي بهتر بڻائڻ ۽ عالمي مارڪيٽ جي مقابلي ۾ کٽڻ.