سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار ۾ استعمال ٿيندڙ الٽرا-هاءِ خالص گيسز لاءِ هڪ گائيڊ

2025-06-16

اسان چين ۾ هڪ ڪارخانو هلائي رهيا آهيون جيڪا صنعتي گيس ٺاهڻ ۾ ماهر آهي. منهنجي جڳهه واري نقطي کان، مون ٽيڪنالاجي جي ناقابل اعتماد ارتقاء کي ڏٺو آهي، سڀ ڪجهه طاقتور آهن جيڪي گهڻا ماڻهو ڪڏهن به نه ڏسندا آهن: الٽرا-هاء پاڪائي گيسس. توهان جي فون، ڪمپيوٽر ۽ ڪار ۾ موجود ننڍڙا ننڍڙا مائيڪروچپس جديد انجنيئرنگ جا معجزا آهن، پر انهن جي تخليق انهن خاص گيس جي درست ۽ بي عيب فراهمي کان سواءِ ناممڪن آهي.

توھان سمجھو ٿا معيار جي اهميت ۽ قابل اعتماد سپلائي چين، پر توھان حيران ٿي سگھو ٿا ڇو سيمي ڪنڊڪٽر گيس جا معيار astronomically تمام وڏا آهن. آرگن جي ترسيل کي 99.9999٪ خالص هجڻ جي ضرورت ڇو آهي؟ هي گائيڊ سيمي ڪنڊڪٽر ٺاھڻ جي دنيا تي پردو واپس ڇڪيندو. اسان استعمال ٿيل مخصوص گيس کي ڳوليندا سين، اهي ڇا ڪندا آهن، ۽ ڇو انهن جي پاڪائي واحد سڀ کان اهم عنصر آهي. آخر تائين، توهان کي انهن شين جي وڌيڪ واضح سمجهه هوندي جيڪي توهان جو سرچشمو آهن ۽ انهن جي قيمت توهان جي گراهڪن تائين پهچائڻ لاءِ بهتر ليس هوندا.

ڇو خاص گيسز سيمي ڪنڊڪٽر ٺاھڻ لاءِ ايترا نازڪ آھن؟

تصور ڪريو ھڪڙي اسڪائي اسڪراپر تعمير ڪريو جتي ريل جو ھڪڙو غلط اناج سڄي جوڙجڪ کي ختم ڪري سگھي ٿو. انهي ۾ گهربل درستگي جي سطح آهي semiconductor پيداوار صنعت. هن صنعت جا "بلڊنگ بلاڪ" سرن ۽ مارٽر نه آهن، پر ايٽم، ۽ "اوزار" اڪثر ڪري انتهائي خاص گيس آهن. سڄو ٺاھڻ جو هڪ مربوط سرڪٽ هڪ خوردبيني پيماني تي ٿئي ٿو، جتي مواد جا پرت، اڪثر ڪري صرف چند ايٽم ٿلهي، تي جمع ڪيا ويندا آهن يا ان کان پري پکڙيل هوندا آهن. silicon wafer.

هنن semiconductor عمل ناقابل اعتبار حد تائين حساس آهن. ڪو به ناپسنديده ذرو يا ڪيميائي ناپاڪي مائڪروچپ جي نازڪ فن تعمير کي خراب ڪري سگهي ٿو، ان کي بيڪار بڻائي ٿو. هي آهي جتي گيس استعمال ڪيا ويا آهن. اهي انتهائي صاف ماحول پيدا ڪن ٿا، نئين تہن لاءِ خام مال مهيا ڪن ٿا، ۽ ڪيميائي ”اسڪالپيلز“ طور ڪم ڪن ٿا جيڪي بجليءَ لاءِ پيچيده رستا ٺاهين ٿا. جي semiconductor پيداوار جي عمل جو هڪ پيچيده رقص آهي ڪيميائي رد عمل، ۽ گيسون ليڊ ڊانسرز آهن. انهن گيسن جي مسلسل، قابل اعتماد ۽ غير معمولي خالص فراهمي کان سواء، جديد اليڪٽرانڪس صرف موجود نه هوندا.

جي سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار ۾ استعمال ٿيندڙ گيس توهان جي معياري صنعتي مصنوعات نه آهن. انهن کي صاف ڪرڻ جي سطح کي پورو ڪرڻ لاءِ انجنيئر ڪيو ويو آهي، جن کي سمجهڻ ڏکيو آهي، اڪثر حصن ۾ في بلين يا في ٽريلين حصن ۾ ماپي ويندي آهي. اهو ئي سبب آهي جو ڪارڪردگي semiconductor ڊوائيسز سڌو سنئون انهن جي ايٽمي ساخت جي تڪميل سان ڳنڍيل آهي. آڪسيجن يا آبي بخار جو هڪ رد عمل وارو ماليڪيول جنهن ۾ هڪ غير فعال هجڻ گهرجي گيس oxidation سبب ڪري سگهو ٿا، تبديل ڪرڻ برقي ملڪيت سرڪٽ جي ۽ خرابين جي ڪري. اهو ئي سبب آهي ته خاص گيس صنعت ٽيڪنالاجي جي دنيا لاء تمام ضروري آهي.

Argon گئس سلنڈر

سيميڪنڊڪٽر جي پيداوار ۾ استعمال ٿيندڙ گيس جا مکيه ڀاڱا ڪهڙا آهن؟

جڏهن اسان بابت ڳالهايون ٿا سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار ۾ گيس، اهي عام طور تي انهن جي ڪم جي بنياد تي ڪجهه اهم ڀاڱن ۾ اچي وڃن ٿا. انهن گروهن کي سمجهڻ ۾ هر هڪ ڪردار کي واضح ڪرڻ ۾ مدد ڪري ٿي گيس ڪمپليڪس ۾ راند ڪندو آهي پيداوار جي عمل. اهو صرف هڪ يا ٻه گيس ناهي؛ هڪ جديد semiconductor fab 30 کان وڌيڪ مختلف جي ضرورت آهي ڪم ڪرڻ لاء گيس ۽ مرکب.

پهرين آهن وڏي گيس. اهي ڪم ڪار وارا آهن، سڄي سهولت ۾ وڏي مقدار ۾ استعمال ٿيندا آهن. انھن کي فڪر جي بنيادي ماحول جي طور تي سوچيو. سڀ کان وڌيڪ عام آهن:

  • نائٽروجن (N₂): استعمال ٿيل چيمبرن ۽ سامان کي صاف ڪرڻ لاءِ آلودگي کي ختم ڪرڻ ۽ غير محفوظ ماحول پيدا ڪرڻ لاءِ.
  • آڪسيجن (O₂): اعليٰ معيار جي سلڪون ڊاءِ آڪسائيڊ (SiO₂) پرت کي وڌائڻ لاءِ استعمال ڪيو ويندو آهي، جيڪي انسوليٽر طور ڪم ڪن ٿيون.
  • هائيڊروجن (H₂): صفائي جي سطحن ۽ مخصوص ۾ استعمال ڪيو ويندو آهي جمع ڪرائڻ عمل.
  • آرگن (آر): هڪ غير فعال گئس اسپٽرنگ وانگر عملن لاءِ مستحڪم ماحول پيدا ڪرڻ لاءِ استعمال ڪيو ويو.

اڳيان آهن خاص گيس، پڻ سڃاتو وڃي ٿو اليڪٽرانڪ خاص گيس. اهي انتهائي مخصوص آهن، اڪثر رد عمل وارو يا خطرناڪ، گيس جيڪي ايچنگ ۽ جمع ڪرڻ جي نازڪ ڪمن کي انجام ڏين ٿيون. اهي ننڍا مقدار ۾ استعمال ڪيا ويا آهن پر انهن جي قيمت تمام گهڻي آهي ۽ انتهائي محتاط سنڀالڻ جي ضرورت آهي. اهي وڌيڪ گروپن ۾ ورهائي سگهجن ٿيون جهڙوڪ:

  • جمع گيس: اهي گيس، جهڙوڪ Silane (SiH₄)، چپ جي پرت کي ٺاهڻ لاء استعمال ٿيندڙ مواد جو ذريعو آهن. اھي ڊگھو ۽ جمع a پتلي فلم تي مواد جو silicon wafer.
  • Etchant گيسس: هي آهن رد عمل گيس مواد کي منتخب ڪرڻ لاء استعمال ڪيو ويو. مثالن ۾ شامل آهن فلورائن مرکبات جهڙوڪ ڪاربن ٽيٽرا فلورائڊ (CF₄) ۽ هائيڊروجن ڪلورائڊ (HCl). انهن ۾ استعمال ٿيندا آهن ڇڪڻ جو عمل سرڪٽ جي نمونن کي ٺاهڻ لاء.
  • ڊوپنٽ گيسس: اهي گيس استعمال ڪيا ويندا آهن "ڊوپ" ڪرڻ لاء سلڪون، جنهن جو مطلب آهي ارادي طور تي هڪ خاص تعارف ڪرائڻ ناپاڪي (a ڊاپنٽ) ان کي تبديل ڪرڻ لاء برقي ملڪيت. هي ٽرانزسٽر ٺاهڻ لاءِ بنيادي آهي. عام ڊوپنٽ گيس ارسين (AsH₃) ۽ فاسفائن (PH₃) شامل آهن.

نائيٽروجن گيس ڪيئن ڪم ڪندو آهي سيمي ڪنڊڪٽر فيبس ۾ ڪم هارس؟

جيڪڏھن توھان ھلڻ وارا ھئا ته a سيمي ڪنڊڪٽر ٺاھڻ سهولت، سڀ کان وڌيڪ عام گيس توهان کي ملندو آهي نائٽروجن. جڏهن ته اهو هميشه مکيه ۾ حصو نه وٺندو آهي ڪيميائي رد عمل جيڪو چپ ٺاهي ٿو، ان جو ڪردار بلڪل ضروري آهي ته اهي حالتون پيدا ڪرڻ لاءِ انهن رد عملن جي ڪامياب ٿيڻ لاءِ. نائٽروجن استعمال ڪيو ويندو آهي بنيادي طور تي ان جي inertness لاء؛ اهو آساني سان ٻين عناصر سان رد عمل نٿو ڪري، ان کي مڪمل "فلر" ٺاهيو گيس.

لاء بنيادي استعمال نائٽروجن صاف ڪرڻ ۽ هڪ غير فعال ماحول پيدا ڪرڻ ۾ آهي. ڪنهن به حساس کان اڳ semiconductor عمل شروع ڪري سگھي ٿو، چيمبر کي مڪمل طور تي آلودگي کان پاڪ هجڻ گھرجي جهڙوڪ آڪسيجن، پاڻي جي بخار ۽ مٽي. اعليٰ صفائي نائٽروجن انهن ناپسنديده عناصر کي ٻاهر ڪڍڻ لاء چيمبر ذريعي ڦهليل آهي. هي حادثاتي آڪسائيڊريشن يا ٻين رد عملن کي روڪي ٿو جيڪو برباد ڪري ڇڏيندو ويفر. اهو ساڳيو اصول انهن اوزارن ۽ ٽرانسپورٽ پوڊس تي لاڳو ٿئي ٿو (جنهن کي FOUPs طور سڃاتو وڃي ٿو) جيڪي کڻندا آهن silicon wafers جي مختلف مرحلن جي وچ ۾ پيداوار جي عمل.

ان کان علاوه، نائٽروجن ۾ اهم ڪردار ادا ڪري ٿو ڦوٽو گرافي، سرڪٽ ڊيزائن کي ڇپائڻ جو عمل ويفر تي. جديد ڊيپ الٽراوائلٽ (DUV) ۾ ليٿوگرافي، لينس ۽ جي وچ ۾ خلا ويفر الٽرا خالص سان ڀريل آهي نائٽروجن (يا ارگون) مختصر طول موج جي روشني کي هوا ذريعي جذب ٿيڻ کان سواءِ گذرڻ جي اجازت ڏيڻ. هن غير جانبدار ماحول کان سواء، اهو عمل ناممڪن هوندو. منهنجي تجربي ۾ fabs جي فراهمي ۾، هڪ مسلسل، اعلي-حجم، ۽ اعلي-پاسيري جي طلب نائٽروجن فراهمي غير قابل للتفاوض آهي.

ڪهڙو ڪردار ادا ڪندو آهي Argon مڪمل ماحول ٺاهڻ ۾؟

نائٽروجن وانگر، ارگون هڪ عظيم آهي گيس، مطلب ته اهو ڪيميائي آهي بيڪار. بهرحال، Argon استعمال ڪيو ويندو آهي مخصوص ايپليڪيشنن لاءِ جتي ان جو وڏو ائٽمي وزن فائدو ڏئي ٿو. انهن ايپليڪيشنن مان هڪ سڀ کان اهم آهي اسپٽر جمع ڪرڻ، يا اسپٽرنگ. هي هڪ جسماني بخار آهي جمع ڪرائڻ جو عمل ٿلهي ڌاتو فلمن کي رکڻ لاءِ استعمال ڪيو ويندو آهي، جيڪي وائرنگ ٺاهيندا آهن مربوط سرڪٽ.

sputtering ۾، هڪ اعلي وولٹیج سان ڀرجي ويڪيوم چيمبر ۾ لاڳو ڪيو ويندو آهي آرگن گيس. اهو مثبت طور تي چارج ٿيل پلازما ٺاهي ٿو ارگون آئن اهي آئن تيز ٿين ٿا ۽ ڌاتوءَ مان ٺهيل ”ٽارگٽ“ ۾ ٽوڙيا وڃن ٿا جنهن کي اسان جمع ڪرڻ چاهيون ٿا (جهڙوڪ ٽامي يا ايلومينيم). ٽڪراءَ جي قوت ڌاتوءَ جي ايٽم کي نشانو بڻائي ڇڏيندي آهي، جيڪي پوءِ چيمبر جي پار اڏامنديون آهن silicon wafer هڪ پتلي، يونيفارم پرت ۾. ارگون ان لاءِ ڀرپور آهي ڇاڪاڻ ته اهو ڪافي ڳرو آهي ته جيئن ٽارگيٽ ايٽمز کي موثر طريقي سان خارج ڪري سگهجي پر ڪيميائي طور تي ايتري غير فعال آهي جو اهو ان ڌاتوءَ جي فلم سان رد عمل نه ڪندو جنهن کي ٺاهڻ ۾ مدد ڪري رهي آهي. اهو مڪمل مهيا ڪري ٿو ڌاتو جي ڦڦڙن جي جمع ڪرڻ لاء ماحول.

لاء هڪ ٻيو اهم استعمال ارگون پلازما ايچنگ ۾ آهي. هن ۾ ڇڪڻ جو عمل, ارگون اڪثر الف سان ملايو ويندو آهي رد عمل وارو نقاشي گيس. جي ارگون پلازما کي مستحڪم ڪرڻ ۽ مٿاڇري تي جسماني طور تي بمباري ڪرڻ ۾ مدد ڪري ٿي، ڪيميائي ايچ جي مدد ڪندي ۽ مواد ۾ وڌيڪ صحيح، عمودي ڪٽ ٺاهڻ ۾ مدد ڪري ٿي. جي قابل اعتماد فراهمي Argon گيس سلنڈر ڪنهن به سهولت لاءِ اهم آهي جيڪو ميٽيلائيزيشن يا ترقي يافته ايچنگ کي انجام ڏئي ٿو.

Tungsten hexafluoride

ڇا توهان وضاحت ڪري سگھو ٿا ته هائيڊروجن کي ذخيرو ۽ صفائي لاء ڪيئن استعمال ڪيو ويندو آهي؟

جڏهن ته نائٽروجن ۽ آرگن غير رد عمل جي ڪري قابل قدر آهن، هائيڊروجن وڏي اهميت رکي ٿو رد عمل وارو، پر هڪ تمام صاف ۽ ڪنٽرول انداز ۾. هائيڊروجن استعمال ڪيو ويندو آهي وڏي پيماني تي semiconductor پيداوار صفائي جي سطحن لاء ۽ هڪ خاص قسم ۾ جمع ڪرائڻ epitaxial growth سڏيو ويندو آهي. ان جي ننڍي ايٽمي سائيز ان کي اجازت ڏئي ٿي ته ان ۾ داخل ٿئي ۽ ان طريقي سان رد عمل ظاهر ڪري جيئن ٻيون گيسون نه ٿيون ڪري سگهن.

ان کان اڳ جو هڪ نئين پرت کي پوکي سگهجي ويفر، مٿاڇري مڪمل طور تي صاف هجڻ گهرجي، ايٽمي سطح تائين. هائيڊروجن گيس ڪنهن به مقامي آڪسائيڊ (سلڪون ڊاءِ آڪسائيڊ جي هڪ پتلي، قدرتي طور تي موجود پرت) کي هٽائڻ لاءِ استعمال ڪيو ويندو آهي جنهن کي ”هائيڊروجن بيڪ“ چئبو آهي. سلڪون مٿاڇري. جي هائيڊروجن آڪسيجن سان رد عمل ڪري، پاڻيءَ جي وانپ (H₂O) ٺاهي ٿو، جنهن کي پوءِ چيمبر مان پمپ ڪيو وڃي ٿو، هڪ پراڻو ڇڏي وڃي ٿو. سلڪون ايندڙ قدم لاء سطح تيار.

هائيڊروجن ۾ پڻ هڪ اهم جزو آهي epitaxial واڌ (يا "ايپي")، هڪ عمل جيڪو وڌندو آهي هڪ واحد-کرسٽل پرت سلڪون جي مٿي تي silicon wafer. هن نئين پرت ۾ هڪ مڪمل ڪرسٽل ڍانچي آهي ۽ صحيح طور تي ڪنٽرول ٿيل آهي ڊاپنٽ سطحون هائيڊروجن ڪيريئر طور ڪم ڪري ٿو گيس لاءِ سلڪون ذريعو گيس (جهڙوڪ silane يا trichlorosilane). اهو ڪنهن به گمراهه آڪسيجن ايٽم کي صاف ڪندي صاف ترقي واري ماحول کي پڻ يقيني بڻائي ٿو. هن epitaxial پرت جي معيار اعلي-آخر پروسيسرز جي ڪارڪردگي لاء بنيادي آهي، جنهن جي پاڪائي کي يقيني بڻائي ٿي. هائيڊروجن سلنڈر فراهمي بلڪل نازڪ.

Etchant گيسس ڇا آهن ۽ اهي ڪيئن ٺاهيندا آهن خوردبيني سرڪٽ؟

جيڪڏهن جمع ڪرڻ تہن کي تعمير ڪرڻ بابت آهي، ايچنگ انهن کي سرڪٽ جي نمونن ٺاهڻ لاء چونڊيل طور تي ڇڪڻ بابت آهي. ان کي خوردبيني مجسمي جي طور تي سوچيو. ھڪڙي نموني استعمال ڪرڻ کان پوء بيان ڪيو ويو آھي ڦوٽو گرافي، ڪشش گيس مهيا ڪرڻ لاء استعمال ڪيو ويندو آهي ڪيميائي جو مطلب آهي مواد کي هٽائڻ جي غير محفوظ علائقن مان ويفر. اهو سڀ کان وڌيڪ پيچيده ۽ نازڪ قدمن مان هڪ آهي چپ جي پيداوار.

جي اينچنگ ۾ استعمال ٿيندڙ گيس پروسيس عام طور تي فلورائن، کلورين، يا برومين تي ٻڌل مرڪب آهن. جي چونڊ گيس ان تي دارومدار رکيل مواد تي.

  • فلورائن تي ٻڌل گيس (مثال طور، CF₄، SF₆، NF₃) نقاشي لاءِ بهترين آهن سلڪون ۽ سلکان ڊاءِ آڪسائيڊ.
  • کلورين تي ٻڌل گيس (مثال طور، Cl₂، BCl₃، HCl) اڪثر ڪري ايلومينيم وانگر دھاتن کي ڇڪڻ لاءِ استعمال ٿيندا آهن.

هنن رد عمل گيس پلازما چيمبر ۾ متعارف ڪرايو ويو آهي. پلازما کي ٽوڙي ٿو گيس molecules ڌار ڌار رد عمل وارو آئن ۽ ريڊيڪل. اهي ريڊيڪل وري ان جي مٿاڇري سان رد عمل ڪن ٿا ويفر، هڪ نئون ٻرندڙ مرڪب ٺاهي ٿو جيڪو آسانيءَ سان پمپ ڪري سگهجي ٿو، اهڙيءَ طرح مواد کي ”اڇنگ“ ڪري ٿو. سڌائي جي ضرورت تمام گهڻي آهي؛ مقصد آهي نقاش سڌي طرح هيٺ (anisotropically) بغير نموني واري پرت کي گھٽائڻ جي. جديد semiconductor fabs پيچيده استعمال ڪريو گئس جو مرکب ۽ احتياط سان ڪنٽرول پلازما حالتن کي حاصل ڪرڻ لاء.

ڪيميائي وانپ جمع (CVD) ڇا آهي ۽ ڪهڙيون گيس شامل آهن؟

ڪيميائي وانپ جمع (CVD) هڪ بنياد آهي جمع ڪرائڻ جو عمل ۾ semiconductor پيداوار. اهو بنيادي طريقو آهي جيڪو مختلف موصلي ۽ conductive پتلي فلمون ٺاهڻ لاء استعمال ڪيو ويو آهي جيڪي ٺاهيندا آهن a semiconductor ڊوائيس. بنيادي خيال آهي وهڻ a گيس (يا گيس جو مرکب) هڪ گرم مٿان ويفر. گرمي جو سبب بڻجندي آهي گيس ويفر جي مٿاڇري تي رد عمل ڪرڻ يا ختم ڪرڻ، گهربل مواد جي هڪ مضبوط فلم ڇڏي.

جي استعمال ٿيل گيس جي حد CVD ۾ وسيع آهي، جيئن هر هڪ مخصوص مواد جمع ڪرڻ لاء ٺهيل آهي. ڪجھ سڀ کان وڌيڪ عام گيس ۽ اهي فلمون ٺاهي رهيا آهن: ذخيرو گيس ڪيميائي فارمولا فلم جمع
سيلاني SiH₄ پولي سليڪون (p-Si)
Dichlorosilane + امونيا SiH₂Cl₂ + NH₃ Silicon Nitride (Si₃N₄)
Tetraethylorthosilicate (TEOS) C₈H₂₀O₄Si سلکان ڊاءِ آڪسائيڊ (SiO₂)
Tungsten Hexafluoride WF₆ ٽنگسٽن (W)

انهن ردعمل مان هر هڪ ناقابل اعتماد حد تائين مستحڪم حالتن جي ضرورت آهي ۽ انتهائي اعلي صفائي گيس. مثال طور، جڏهن Silane استعمال ڪندي هڪ polysilicon پرت depositing، ڪنهن به آڪسيجن ناپاڪي ۾ گيس وهڪري جي بدران سلڪون ڊاءِ آڪسائيڊ ٺهڻ جو سبب بڻجندي، پرت جي conductive ملڪيت کي برباد ڪندي. اهو ئي سبب آهي ته اسان، هڪ سپلائر جي طور تي، تمام گهڻو ڌيان ڏيڻ تي صفائي ۽ انهن جو تجزيو جمع گيس. جي پوري لائبريري بلڪ اعلي پاڪائي خاص گيس اسان پيش ڪريون ٿا انهن سخت ضرورتن کي پورو ڪرڻ لاءِ تيار آهيون.

نائٽروجن سلنڈر

الٽرا هاءِ پيورٽي سيمي ڪنڊڪٽر گيسز لاءِ سڀ کان اهم عنصر ڇو آهي؟

مان هن کي وڌيڪ نه ٿو ڪري سگهان: ۾ semiconductor صنعت, پاڪائي سڀ ڪجهه آهي. اصطلاح اعلي صفائي مطلب نه آهي 99٪ يا اڃا به 99.9٪. لاءِ سيمي ڪنڊڪٽر گيس، اسان بابت ڳالهائي رهيا آهيون الٽرا اعلي صفائي (UHP)، جيڪو عام طور تي 99.999٪ (اڪثر ڪري سڏيو ويندو آهي "پنج نون") يا وڌيڪ. ڪجهه نازڪ لاء پروسيس گيس، گهربل ٿي سگھي ٿو 99.9999٪ ("ڇهه نائن") يا ان کان به وڌيڪ. سبب سادو آهي: آلودگي ڪارڪردگي کي ماريندو آهي.

جديد مائڪروچپ تي خاصيتون نانو ميٽرز ۾ ماپي وينديون آهن (هڪ ميٽر جو اربين). هن پيماني تي، هڪ واحد غير ملڪي ذرو يا ناپسنديده ماليڪيول سپر هاء وي جي وچ ۾ هڪ پٿر وانگر آهي. هڪ ناپاڪي ڪري سگهو ٿا:

  • اليڪٽريڪل ملڪيت کي تبديل ڪريو: هڪ گمراهه سوڊيم آئن ٽرانزسٽر جي حد جي وولٽيج کي تبديل ڪري سگهي ٿو، جنهن جي ڪري ان کي غلط وقت تي آن يا بند ڪري سگهجي ٿو.
  • تعميراتي خرابيون پيدا ڪريو: هڪ آڪسيجن جو ماليڪيول epitaxial واڌ جي دوران مڪمل ڪرسٽل لٽيس کي ٽوڙي سگهي ٿو، هڪ "خرابي" ٺاهي ٿو جيڪو اليڪٽران جي وهڪري کي روڪي ٿو.
  • شارٽ سرڪٽ جو سبب: هڪ ڌاتوءَ وارو ذرو ٻن ويجهن ڪنڊنٽنگ لائينن کي پل ڪري سگهي ٿو، هڪ مئل شارٽ ٺاهي.
  • پيداوار گھٽائڻ: وڌيڪ آلودگي موجود آهن، هر هڪ تي خراب چپس جو وڌيڪ تعداد ويفر، جيڪو سڌو سنئون منافعي تي اثر انداز ٿئي ٿو.

اهو ئي سبب آهي، هڪ ڪاريگر جي حيثيت ۾، اسان جي سڀ کان وڏي سيڙپڪاري صاف ڪرڻ ۽ تجزياتي سامان ۾ آهي. جي هر بيچ گئس گهرجي ان کي يقيني بڻائڻ لاءِ آزمايو وڃي ٿو ته اهو اسان جي گراهڪن طرفان گهربل حصن-في-بلين (ppb) يا حصن-في-ٽريلين (ppt) وضاحتن کي پورو ڪري ٿو. جي اعلي purity گيس لاء مطالبو اهو آهي جيڪو سڄو هلائي ٿو خاص گئس مارڪيٽ اليڪٽرانڪس لاء.

اسان کي ڪيئن يقيني بڻائي سگهون ٿا معيار ۽ قابل اعتماد فراهمي جي اعلي پاڪائي گيس جي؟

مارڪ وانگر هڪ خريداري آفيسر لاء، اهو سڀ کان اهم سوال آهي. هڪ وڏي قيمت بي معني آهي جيڪڏهن گيس معيار متضاد آهي يا ترسيل دير سان آهي. مون خوفناڪ ڪهاڻيون ٻڌيون آهن: سپلائرز تجزيي جا جعلي سرٽيفڪيٽ فراهم ڪن ٿا، يا خاص گيس ھفتن تائين ڪسٽم ۾ رکيل آھي، ھڪڙي پيداوار واري لائن کي روڪڻ جو سبب بڻائين. انهن دردن جي پوائنٽن کي خطاب ڪرڻ اسان جي ڪاروباري فلسفي جو بنيادي مرڪز آهي.

معيار کي يقيني بڻائڻ سان شروع ٿئي ٿو صفائي عمل. اسان ترقي يافته سسٽم استعمال ڪريون ٿا جهڙوڪ cryogenic distillation ۽ specialized adsorbent materials to trace impurities. پر اهو عمل اتي ختم نٿو ٿئي. سڀ کان اهم قدم تصديق آهي. اسان جديد ترين تجزياتي اوزار استعمال ڪندا آهيون جهڙوڪ گيس ڪروميٽوگراف-ماس اسپيڪٽروميٽر (GC-MS) هر هڪ سلنڈر کي موڪلڻ کان اڳ جانچڻ لاءِ. اسان اسان جي گراهڪن کي مهيا ڪندا آهيون تفصيلي ۽ مستند سرٽيفڪيٽ آف تجزيي (COA) هر بيچ لاءِ، ضمانت ڏيڻ گئس جي صفائي.

A قابل اعتماد فراهمي زنجير مساوات جو ٻيو اڌ آهي. ھن ۾ شامل آھي:

  • مضبوط سلنڈر تيار ڪرڻ: لاء سلنڈر الٽرا اعلي پاڪائي گيس هڪ خاص صفائي ۽ پاسوائيشن جي عمل کي يقيني بڻائڻ لاءِ ته ڪنٽينر پاڻ کي آلوده نه ڪري گيس.
  • ذھني لاجسٽڪ: اسان تجربيڪار لاجسٽڪ ڀائيوارن سان ڪم ڪريون ٿا جيڪي بين الاقوامي سطح تي تيز پريشر ۽ ڪڏهن ڪڏهن خطرناڪ مواد جي ترسيل لاءِ ضابطن کي سمجهن ٿا. اسان تمام ضروري دستاويز مهيا ڪريون ٿا ته يقيني طور تي ڪسٽم ڪليئرنس کي يقيني بڻائي سگهجي.
  • صاف ڪميونيڪيشن: اسان جي سيلز ۽ سپورٽ ٽيمن کي باقاعده اپڊيٽ مهيا ڪرڻ لاء تربيت ڏني وئي آهي. توھان کي ھميشه توھان جي آرڊر جي حالت معلوم ٿيندي، پيداوار کان وٺي حتمي ترسيل تائين. اسان سمجهون ٿا ته هڪ اڳڪٿي اعلي purity گيس جي فراهمي جي اسان جي گراهڪن لاء ضروري آهي انهن جي پنهنجي پيداوار جي شيڊول کي منظم ڪرڻ لاء. اسان پڻ مختلف پيش ڪندا آهيون گئس جو مرکب مخصوص عمل جي ضرورتن کي پورا ڪرڻ لاء اختيار.

سيمي ڪنڊڪٽر انڊسٽري ۾ گيسز لاءِ مستقبل ڇا آهي؟

جي semiconductor صنعت ڪڏهن به بيٺو ناهي. جيئن ته مور جي قانون طرفان اڳڪٿي ڪئي وئي آهي، چپ ٺاهيندڙ مسلسل مسلسل زور ڏئي رهيا آهن ننڍڙا، تيز، ۽ وڌيڪ طاقتور ڊوائيسز ٺاهڻ لاء. هي بيحد جدت سڌي طرح متاثر ڪري ٿي گيس ۽ مرکب انهن جي ٺهڻ ۾ استعمال ڪيو. جيئن ته اسان ڏانهن وڃو سيمي ڪنڊڪٽر جي ايندڙ نسل ٽيڪنالاجي، خصوصيت جي سائيز سان صرف چند نانو ميٽرن تائين، گئس جي پاڪائي جي گهرج اڃا به وڌيڪ انتهائي ٿي ويندي.

اسان ڏسي رهيا آهيون هڪ رجحان نئين مواد ڏانهن اڳتي وڌندي سلڪونجهڙوڪ گيليم نائٽرائڊ (GaN) ۽ سلکان ڪاربائيڊ (SiC)، جن کي نئين ۽ مختلف ضرورتن جي ضرورت آهي. پروسيس گيس ڇڪڻ ۽ جمع ڪرڻ لاء. وڌيڪ پيچيده 3D آرڪيٽيڪچرز، جهڙوڪ FinFET ۽ Gate-All-Around (GAA) ٽرانزسٽرز جي طرف پڻ هڪ قدم آهي، جيڪي ان ۾ اڃا به وڌيڪ درستگي جي گهرج ڪن ٿا. جمع ڪرائڻ ۽ نقاش قدم هن جو مطلب آهي ته خاص گيس صنعت کي مسلسل نون ماليڪيولز کي ترقي ڪرڻ ۽ ان کان به وڌيڪ اعليٰ سطح حاصل ڪرڻ لاءِ جدت آڻڻ گهرجي صفائي.

منهنجي نظر مان هڪ سپلائر جي طور تي، مستقبل جي باري ۾ آهي ڀائيواري. اهو هاڻي ڪافي ناهي ته صرف هڪ سلنڈر وڪڻڻ لاء گيس. اسان کي اسان جي گراهڪن سان ويجهي ڪم ڪرڻ گهرجي اليڪٽرانڪس جي پيداوار شعبي کي سمجهڻ لاءِ انهن جي مستقبل جي ٽيڪنالاجي روڊ ميپس. هي اسان کي نئين جي ضرورت جو اندازو لڳائڻ جي اجازت ڏئي ٿو اعلي صفائي گيس ۽ انهن جي فراهمي لاءِ پيداوار ۽ تجزياتي صلاحيتن ۾ سيڙپڪاري ڪريو. جي پوشیدہ هيرو سيمي ڪنڊڪٽر دنيا - گيسز - ٽيڪنالاجي جي ترقي ۾ اڳتي وڌندي رهندي.


اهم ترڪيبون

جيئن ته توهان گهربل سيمي ڪنڊڪٽر مارڪيٽ لاءِ صنعتي گيس جو ذريعو بڻايو ٿا، هتي ياد رکڻ لاءِ سڀ کان اهم شيون آهن:

  • پاڪائي تمام ضروري آهي: ھڪڙو سڀ کان وڌيڪ نازڪ عنصر آھي الٽرا اعلي صفائي. آلودگي، جيتوڻيڪ حصن-في-ارب جي سطح تي، تباهه ڪندڙ ڊوائيس جي ناڪامي ۽ پيداوار جي پيداوار کي گھٽائي سگھي ٿي.
  • گيس جون مخصوص نوڪريون آهن: گيس مٽائي نه سگھندا آهن. اهي انتهائي خاص اوزار آهن جيڪي مختلف عملن لاءِ استعمال ڪيا ويندا آهن جهڙوڪ انٽ ماحول (نائيٽروجن، آرگن)، بلڊنگ پرت (جمع گيس جهڙوڪ Silane)، ۽ نقاشي سرڪٽ (ڇڪڻ واريون گيسون جهڙوڪ CF₄).
  • سپلائي زنجير نازڪ آهي: هڪ قابل اعتماد سپلائر صرف هڪ پيداوار وڪڻڻ کان وڌيڪ آهي. اهي سخت جاچ ذريعي معيار کي يقيني بڻائين، مستند سرٽيفڪيشن فراهم ڪن، پيچيده لاجسٽڪ کي منظم ڪن، ۽ قيمتي پيداوار جي دير کي روڪڻ لاءِ واضح رابطي کي برقرار رکن.
  • ٽيڪنيڪل علم قدر وڌائي ٿو: سمجھڻ ڇو هڪ خاص گيس استعمال ڪيو ويندو آهي ۽ ڇو ان جي پاڪائي تمام ضروري آهي ته توهان کي توهان جي پنهنجي گراهڪن لاءِ وڌيڪ اثرائتو پارٽنر بڻجڻ جي اجازت ڏئي ٿي، معيار کي صحيح ثابت ڪندي ۽ ڊگهي مدي واري اعتماد جي تعمير.
  • صنعت ترقي ڪري رهي آهي: ننڍڙن ۽ وڌيڪ طاقتور چپس لاءِ زور جو مطلب آهي نئين جي طلب، اڃا به صاف خاص گيس صرف وڌندو رهندو. اڳتي وڌڻ واري سپلائر سان ڀائيواري اڳتي رهڻ لاءِ اهم آهي.