هوزونګ ګاز خپل ځان د صنعت او ساینس هنر او ساینس پوهولو ته وقف کړی دی ځانګړی ګاز تولید. په نننۍ لوړ ټیکنالوژۍ نړۍ کې، په ځانګړې توګه دننه سیمی کنډکټر صنعت، تقاضا خورا لوړ پاکوالی ګازونه یوازې یو ترجیح نه ده؛ دا یو مطلق اړتیا ده. دا مقاله د نړۍ مهمې نړۍ ته ځي د ناپاکۍ تحلیل لپاره د بریښنایی ځانګړتیاو ګاز. موږ به وپلټو چې ولې حتی تر ټولو کوچنی ناپاکی کولی شي لویې پایلې ولري، موږ څنګه دا نامناسب کشف کړو ناپاکۍ معلومول، او دا د سوداګرۍ لپاره څه معنی لري. درک کول د ګازو ناپاکۍ او د هغوی لپاره میتودونه پاکول او کشف، لکه ICP-MS، د عصري اعتبار او فعالیت ډاډ ترلاسه کولو کلیدي ده برقی. دا ټوټه ستاسو د وخت ارزښت لري ځکه چې دا د سخت ساتلو په اړه د فابریکې دننه لید وړاندې کوي د بریښنایی ځانګړتیاو ګازونو پاکوالی, د بنسټ ډبره سیمی کنډکټر او برقی سکتورونه

په حقیقت کې د بریښنایی ځانګړتیاو ګازونه څه دي او ولې د دوی پاکوالی د سیمیکمډکټر تولید کې خورا مهم دی؟

د بریښنایی ځانګړتیاو ګاز، ډیری وختونه ورته ویل کیږي بریښنایی ګازونه یا سیمیکمډکټر ګازونه، د یو ځانګړی کټګورۍ دي لوړ پاکوالی ګازونه او د ګازو مخلوط په ځانګړي ډول د پیچلو پروسو لپاره انجینر شوي چې د بریښنایی اجزاو په جوړولو کې دخیل دي. د دوی په اړه د ډیجیټل عمر د نه لیدو معمارانو په توګه فکر وکړئ. دا ګازونه چې په سیمیکمډکټر کې کارول کیږي په جوړولو کې متنوع سلسله شامله ده، لکه سیلین (SiH₄) د سیلیکون پرتونو د زیرمه کولو لپاره، د نایټروجن ټرای فلورایډ (NF₃) د چیمبر پاکولو لپاره، ارګون (ار) د غیر فعال ډال په توګه، او مختلف ډوپینګ ګازونه لکه فاسفین (PH₃) یا ارسین (AsH₃) د بریښنایی ملکیتونو بدلولو لپاره سیمی کنډکټر مواد اصطلاح "برقی ځانګړتیا" پخپله د دوی مناسب غوښتنلیک او د دوی په جوړښت کې اړین خورا دقیقیت روښانه کوي. دا ستاسو ورځني نه دي صنعتي ګازونه; د دوی مشخصات خورا سخت دي.

د دوی خورا مهم اهمیت پاکوالي په ځانګړې توګه په دې کې زیاتوالی نشي کیدی د سیمیکمډکټر تولید. عصري مدغم سرکیټونه (ICs) د ټرانزیسټرونو او چلولو لارې ځانګړتیاوې لري چې په حیرانتیا سره کوچني دي، ډیری وختونه په نانومیټرونو (د یو متر ملیارد) اندازه کیږي. په دې مایکروسکوپي پیمانه، حتی یو ناغوښتل شوی اټوم - یو ناپاکی- کولی شي په یوه کوچني جریان کې د ډبرې په څیر عمل وکړي، د ټاکل شوي بریښنا جریان ګډوډ کړي یا ساختماني نیمګړتیاوې رامینځته کړي. دا کولی شي د غلط چپ لامل شي ، او په داسې صنعت کې چیرې چې ملیونونه چپس په یو واحد ویفر کې تولید کیږي ، د پراخه مالي او شهرت زیان. ککړتیا کیدای شي ډیر وي. له همدې امله، د د بریښنایی ځانګړتیاو ګازونو پاکوالی یو بنسټیز ستنه ده چې په ټوله کې برقیات او سیمیکمډکټر صنعت ولاړ دی. کوم ناپاکی کولی شي د وسیلې فعالیت ، حاصل او اعتبار سره جوړجاړی وکړي ، سخت کول د ګازو پاکوالی اړین کنټرول.

په Huazhong ګاز کې، موږ پوهیږو چې زموږ پیرودونکي په کې د سیمی کنډکټر صنعتونه په موږ تکیه وکړئ ترڅو هغه ګازونه چمتو کړئ چې د "پنځه نهه" (99.999٪) یا حتی "شپږ نهه" (99.9999٪) د پاکوالي کچه پوره کوي یا ډیر وي. دا پدې مانا ده چې هر یو ناپاکی باید په هر ملیون (ppm) یا حتی د ملیارد برخې (ppb) څخه ټیټ غلظت کې شتون ولري. داسې لاسته راوړل او تصدیق کول لوړ پاکوالی سطحې پیچلې ته اړتیا لري پاکول تخنیکونه او په مهم ډول پرمختللی د ناپاکۍ تحلیل میتودونه د ناڅاپي شتون شتون ناپاکی سره مسلې هم په ګوته کولی شي د ګاز سلنډر یا د اکمالاتو سلسله، د کیفیت ثابت چک کول حیاتي دي. موږ ډاډمن یو د نايتروجن سلنډر وړاندیزونه، د بیلګې په توګه، دا دقیق معیارونه پوره کوي، ځکه چې نایټروجن د سیمیکمډکټر جوړولو په ډیری مرحلو کې د کار هارس ګاز دی.

حتی د مایکروسکوپیک ټریس ناپاکۍ څنګه کولی شي د سیمیکمډکټر تولید لینونه له مینځه یوسي؟

کله ناکله دا ستونزمنه ده چې تصور وکړئ چې څنګه یو څه کوچنی وي، a ناپاکی معلومول په هر ملیارد (ppb) یا حتی په هر ټریلیون (ppt) برخو کې اندازه کیږي، کولی شي د پام وړ ستونزې رامینځته کړي. مګر په نړۍ کې سیمی کنډکټر تولید، دا مایکروسکوپیک ککړونکي لوی وحشيان دي. راځئ چې د سیمیکمډکټر جوړونې یوه عادي پروسه په پام کې ونیسو: پدې کې لسګونه، ځینې وختونه په سلګونو، نازک ګامونه شامل دي لکه زیرمه کول (د پتلو فلمونو ایښودل)، ایچنګ (د موادو لرې کول)، او د آیون امپلانټیشن (د ځانګړو اتومونو داخلول). هر ګام په دقیق ډول کنټرول شوي کیمیاوي چاپیریال باندې تکیه کوي، ډیری وختونه د دې لخوا رامینځته شوي یا ساتل کیږي د بریښنایی ځانګړتیاو ګاز. که الف ګاز کارول په دې ګامونو کې یو ناغوښتل کیږي ناپاکی، هغه ناپاکی په نازکو پرتونو کې شامل کیدی شي سیمی کنډکټر وسیله

د مثال په توګه، فلزي ناپاکۍ لکه سوډیم، اوسپنه، یا مسو، حتی په خورا ټیټ غلظت کې، کولی شي د سیلیکون بریښنایی ملکیتونه په جدي توګه بدل کړي. دوی ممکن ناغوښتل شوي لیږدونکي لارې رامینځته کړي ، چې د لنډ سرکټونو لامل کیږي ، یا د "جال" په توګه عمل کوي چې د بریښنایی جریان مخه نیسي ، وسیله ورو کوي یا په بشپړ ډول د ناکامیدو لامل کیږي. یو ناپاکی همدارنګه کولی شي د پروسې په مرحله کې د کیمیاوي تعاملاتو سره مداخله وکړي. د مثال په توګه، a ککړونکي په اینچنګ ګاز کې کیدای شي د الندې ایچنګ یا ډیر نقاشۍ لامل شي، په ویفر کې دقیق نمونې خرابوي. اغیزه یوازې په انفرادي چپس نه ده؛ یو نا معلوم ناپاکی دا مسله د دې لامل کیدی شي چې د ویفرونو ټولې بستې له مینځه ویسي، چې په پایله کې یې د مارک شین په څیر د تدارکاتو افسرانو لپاره د ملیونونو ډالرو زیان، د تولید ځنډ او سر درد سبب کیږي، کوم چې اړتیا لري د کیفیت لرونکي موادو مستحکم عرضه یقیني کړي. دا د قوي لپاره جدي اړتیا په ګوته کوي د ناپاکۍ اندازه کول.

ننګونه دا ده چې د هر چا لپاره د "منلو وړ" کچه ناپاکی په څیر کمیږي سیمی کنډکټر د وسایلو ځانګړتیاوې کوچنۍ کیږي. هغه څه چې د منلو وړ ګڼل کیږي ناپاکی یوه لسیزه دمخه کچه ممکن یو ناورین وي ککړتیا نن. د کوچني کولو لپاره دا نه ستړي کیدونکي ډرایو د ګاز تولید کونکو او تحلیلي لابراتوارونو باندې خورا ډیر فشار راوړي ترڅو وده وکړي. د کشف حد وړتیاوې حتی ذرات ناپاکۍ، د دوړو کوچني داغونه چې په پټو سترګو نه لیدل کیږي، کولی شي د فوتوګرافي مرحلو کې رڼا بنده کړي یا د ویفر په سطحه فزیکي نیمګړتیاوې رامینځته کړي. له همدې امله، د هر ظرفیت کنټرول ناپاکی - که ګازي، فلزي، یا ذرات - مهم دی. د د ناپاکۍ لړۍ چې د مسلې لامل کیدی شي پراخه وي، د هراړخیز اړتیا ټینګار کوي د ګازو تحلیل.

تر ټولو عام مصیبت کونکي کوم دي؟ د بریښنایی توکو لپاره په ګازونو کې د ناپاکۍ پیژندل.

کله چې موږ په اړه خبرې کوو په ګازونو کې ناپاکۍ لپاره اراده لري برقیات او سیمیکمډکټر سکتور، موږ د کرکټرونو متنوع کاسټ ګورو، هر یو د پام وړ زیان رسولو احتمال سره. دا ناپاکۍ باید کشف شي په پراخه توګه په ګازي، فلزي، او ذراتو ډولونو ویشل کیدی شي. د دې عام مصیبت کونکو پوهیدل په اغیزمنه توګه لومړی ګام دی د ناپاکۍ تحلیل او کنټرول. مشخص ناپاکۍ شتون لري کیدای شي د ګاز پخپله، د هغې د تولید میتود، ذخیره کولو او سمبالولو پورې اړه ولري.

ګازي نجاستونه نور ګازونه په اصلي کې شتون لري ځانګړی ګاز. د مثال په توګه، په لوړ پاکوالی نايتروجن، عام ګاز نجاستونه کېدای شي اکسیجن (O₂)، رطوبت (H₂O)، کاربن ډای اکسایډ (CO₂)، کاربن مونو اکساید (CO)، او هایدروکاربن (CHₓ). اکسیجن او رطوبت په ځانګړې توګه ستونزمن دي ځکه چې دوی خورا فعال دي او کولی شي د ناغوښتل شوي اکسیډریشن لامل شي. سیمی کنډکټر مواد او د پروسس وسایل. حتی په یو کې غیر فعال ګاز لکه ارګون، دا کیدای شي د ټریس په کچه شتون ولري. د یو شرکت په توګه، موږ ډیری وختونه د تحلیل لپاره غوښتنې ګورو د ناپاکۍ پراخه لړۍد دې غبرګوني ډولونو په ګډون. د بیلګې په توګه، زموږ وړتیاوې د پیچلو تولید شامل دي د ګازو مخلوط محصولات، چیرې چې د هرې برخې کنټرول کول، په شمول د احتمالي ګازونو په شمول نجاستونه، خورا مهم دی.

فلزي ناپاکۍ بله لویه اندیښنه ده. دا د فلزاتو اتومونه دي لکه سوډیم (Na)، پوتاشیم (K)، کلسیم (Ca)، اوسپنه (Fe)، مسو (Cu)، نکل (Ni)، کرومیم (Cr)، او المونیم (Al). دوی کولی شي د خامو موادو، د تولید تجهیزاتو (لکه پایپ لاینونو او ریکټورونو) څخه سرچینه واخلي، یا حتی د ګاز سلنډر که په سمه توګه درملنه ونشي پخپله. لکه څنګه چې یادونه وشوه، دا فلزي ناپاکۍ کولی شي د بریښنا فعالیت په کلکه اغیزه وکړي سیمی کنډکټر وسایل د ppb یا ppt په کچه د دې کشف کول خورا حساس تحلیلي تخنیکونو ته اړتیا لري لکه Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry (ICP-MS). موږ هم باید غور وکړو ذرات مسله دا کوچني جامد یا مایع ذرات دي چې په کې معطل شوي د ګاز جریان. دوی کولی شي په ویفرونو کې فزیکي نیمګړتیاوې رامینځته کړي ، په تجهیزاتو کې نوزلونه بند کړي ، یا نور معرفي کړي ککړونکي. فلټریشن د ذراتو لرې کولو لپاره کلیدي ده، مګر د دوی د کچې څارنه هم د هراړخیز برخه ده د ګاز کیفیت پروګرام ځینې د بریښنایی ځانګړتیاو ګاز هم دي ژونکي ګازونه یا زهرجن ګازونه، کوم چې د دوی په اداره کولو او تحلیل کې د پیچلتیا بل پرت اضافه کوي ، ډاډ ترلاسه کوي چې د ناپاکی پروفایل دا خطرونه نه زیاتوي.

ICP-MS: د سیمیکمډکټر ګازونو کې د فلزي ناپاکۍ کشف کولو لپاره د سرو زرو معیار؟

کله چې دا راځي د فلزي ناپاکۍ تحلیل په د لوړ پاکوالي ګازونه, Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry، یا ICP-MS، په پراخه کچه د مخکښ ټیکنالوژۍ په توګه پیژندل کیږي. دا یو پیاوړی تحلیلي تخنیک دی چې کولی شي پراخه اندازه کشف او اندازه کړي عنصري ناپاکۍ، ډیری وختونه په حیرانتیا سره ټیټې کچې ته - د ځینې عناصرو لپاره د پارټونو-پر-ټریلیون (ppt) یا حتی برخو-per-quadrillion (ppq) فکر وکړئ. دا حساسیت دقیقا د دې لامل دی ICP-MS لپاره خورا مهم شوی دی سیمی کنډکټر صنعت، چیرته، لکه څنګه چې موږ بحث کړی، حتی دقیقې نښې فلزي ناپاکۍ ته زیان رسونکي کیدی شي د محصول کیفیت.

څنګه کوي ICP-MS جادو یې کار کړی؟ په ساده اصطلاحاتو کې، د نمونه ګاز (یا د ګاز څخه اخیستل شوی محلول) په یو ډیر ګرم پلازما کې معرفي کیږي، په عمومي توګه جوړ شوی ارګون. دا پلازما چې د 6000 څخه تر 10,000 °C پورې تودوخې ته رسي، دومره انرژي لري چې د ګاز مالیکولونه مات کړي او موجود اتومونه ionize کړي، په شمول هر ډول. فلزي ناپاکۍ. دا آئنونه بیا د پلازما څخه ایستل کیږي او د ډله ایز سپیکرومیټر ته لیږدول کیږي. ماس سپیکٹرومیټر د یو ډیر دقیق فلټر په څیر کار کوي، د دوی د ډله ایز څخه چارج تناسب پر بنسټ ایونونه جلا کوي. الف کشف کونکی بیا د هرې ځانګړې ډلې لپاره ایونونه حسابوي، موږ ته اجازه راکوي چې معلومه کړو چې کوم عناصر شتون لري او په کوم مقدار کې. د وړتیا ICP-MS د پراخ طیف لپاره سکین کول په ځانګړو ګازونو کې فلزي ناپاکۍ په ورته وخت کې دا خورا مؤثره کوي.

په داسې حال کې ICP-MS په زړه پورې ځواکمن دی، دا د ننګونو پرته نه دی، په ځانګړې توګه کله چې ورسره معامله کیږي ګازونه چې په سیمیکمډکټر کې کارول کیږي جوړول یو عام طریقه دا ده چې د جال د مینځلو لپاره نجاستونه د ګازو د لوی مقدار څخه د راټولولو په منځ کې یا په مایع کې، چې بیا وروسته تحلیل کیږي ICP-MS. په هرصورت، مستقیم د ګاز مستقیم انجیکشن ته ICP-MS سیسټم د ځانګړو غوښتنلیکونو لپاره هم ډیر عام کیږي، که څه هم دا ځانګړي انٹرفیس ته اړتیا لري. د میتود انتخاب په ځانګړي ډول پورې اړه لري د ګازو ناپاکۍ د ګټو، میټریکس ګاز، او د اړتیا وړ د کشف حد. په هوزونګ ګاز کې، موږ په عصري تحلیلي تجهیزاتو کې ډیره پانګونه کوو، په شمول ICP-MS وړتیاوې، ځکه چې موږ پوهیږو چې د باور وړ چمتو کول د ناپاکۍ تحلیل ډاټا زموږ د پیرودونکو باور لپاره بنسټیز دی لوړ پاکوالی بریښنایی ګازونه دقت ICP-MS ډاډ ترلاسه کولو کې مرسته کوي د ګازو پاکوالی لپاره سختې غوښتنې پوره کوي بریښنایی درجه مواد

ولې د غیر متقابل ګاز پاکوالی د بریښنایی او سیمیکمډکټر صنعتونو لپاره د خبرو اترو وړ دی؟

د نه منلو اړتیا د ګازو پاکوالی په برقی او سیمی کنډکټر صنعتونه یوازې یو ترجیح نه ده؛ دا یو بنسټیز اړتیا ده چې د عصري وسایلو تولید فزیک او اقتصاد لخوا پرمخ وړل کیږي. لکه سیمی کنډکټر د وسیلې ځانګړتیاوې د نانومیټر پیمانه ته راټیټیږي، د دوی هر ډول حساسیت ککړتیا اسمان راکټونه یو ناپاکی چې ممکن په زړو کې د پام وړ نه وي، لوی وسیلې اوس کولی شي په کټنګ چپس کې د ویجاړونکي ناکامۍ لامل شي. دا په مستقیم ډول په حاصل باندې اغیزه کوي - په هر ویفر کې د ښه چپس سلنه - او حتی په حاصل کې یو کوچنی کمښت کولی شي په ملیونونو ډالرو ضایع شوي عاید ته وژباړي. سیمی کنډکټر جوړونکی

د عصري مایکرو پروسیسر یا حافظې چپ پیچلي جوړښت په اړه فکر وکړئ. دا په ملیاردونو ټرانزیسټرونه لري، هر یو د کوچني انجینرۍ حیرانتیا. د دې ټرانزیسټرونو فعالیت د دقیق بریښنایی ملکیتونو پورې اړه لري سیمی کنډکټر کارول شوي مواد، کوم چې په بدل کې، خورا حساس دي نجاستونه. د مثال په توګه، ډاډه فلزي ناپاکۍ کولی شي د سیلیکون بانډ تشې دننه د ناغوښتل شوي انرژي کچه معرفي کړي، چې د لیکې اوسني زیاتوالی یا د کیریر حرکت کمولو لامل کیږي. دا پدې مانا ده چې ورو، لږ اغیزمن، یا په بشپړه توګه غیر فعال وسایل. ګازي نجاستونه لکه اکسیجن یا رطوبت کولی شي د غیر ارادي اکسایډ پرتونو رامینځته کیدو لامل شي ، د فلم ضخامت بدل کړي یا د وسیلې د عملیاتو لپاره د انٹرفیس ملکیتونه مهم دي. په ټولیزه توګه د ګاز کیفیت په مستقیم ډول ژباړل کیږي د محصول کیفیت او اعتبار.

سربیره پردې، د برقی او سیمی کنډکټر صنعتونه د خورا پیچلي او ګران تولید پروسې لخوا مشخص شوي. یو واحد سیمی کنډکټر د جوړولو فابریکه ("فاب") کولی شي په ملیاردونو ډالرو لګښت وکړي او تجهیز کړي. د ګازونه کارول کیږي د دې ډیری قیمتي پروسې مرحلو لپاره لازمي دي. که الف ځانګړی ګاز سره ککړ دی ناپاکی، دا یوازې په هغه ویفرونو اغیزه نه کوي چې اوس مهال پروسس کیږي؛ دا کولی شي پخپله ګران پروسس تجهیزات هم ککړ کړي. دا کولی شي د پاکولو او بیاکتنې لپاره د اوږد مهاله وخت لامل شي، نور لګښتونه اضافه کړي او د تولید مهال ویش ګډوډ کړي - د مارک شین په څیر د یو چا لپاره د درد لوی ټکی، څوک چې د خپلو پیرودونکو غوښتنو پوره کولو لپاره په وخت رسولو تکیه کوي. له همدې امله، ډاډ ترلاسه کول د بریښنایی ځانګړتیاو ګازونو پاکوالی د سختۍ له لارې د ناپاکۍ تحلیل د ټولو اکمالاتو سلسلې لپاره د خطر کمولو یوه مهمه تګلاره ده. په تمرکز لوړ پاکوالی ګازونه بې رحمه دی ځکه چې داغونه په یقین سره لوړ دي.

په ځانګړو ګازونو کې د فلزي ناپاکۍ په تحلیل کې موږ له کومو کلیدي ننګونو سره مخ یو؟

تحلیل کول فلزي ناپاکۍ په ځانګړي ګازونهپه ځانګړې توګه هغه چې په کې کارول کیږي سیمی کنډکټر صنعت، د ننګونو یو ځانګړی سیټ وړاندې کوي. لومړنۍ ستونزه د خورا ټیټ غلظت څخه رامینځته کیږي په کوم کې چې دا نجاستونه کیدای شي ستونزمن وي - ډیری وختونه په هر ملیارد (ppb) یا حتی د برخو-per-ټریلیون (ppt) حد کې. د داسې دقیقو مقدارونو کشف او په سمه توګه اندازه کول نه یوازې خورا حساس تحلیلي وسیلو ته اړتیا لري لکه ICP-MS مګر په استثنایی ډول پاک an_alytical چاپیریال او د نمونې سمبالولو پروتوکولونه د بهرني معرفي کولو څخه مخنیوي لپاره ککړتیا.

یو مهم ننګونه د نمونې پیژندنه ده. ډیری ځانګړي ګازونه کارول کیږي په برقی ډیر عکس العمل لرونکي، مرورونکي، یا حتی پیروفوریک دي (په هوا کې په ناڅاپي توګه سوځول). په خوندي او مؤثره توګه د دې لیږد ګازونه د تحلیلي وسیلې په څیر ICP-MS د بدلون پرته نمونه ګاز یا د وسیلې ککړول ځانګړي انٹرفیس او اداره کولو پروسیجرونو ته اړتیا لري. د مثال په توګه، په مستقیم ډول د انجیکشن ژوونکی ګاز لکه هایدروجن کلورایډ (HCl) په معیاري ډول ICP-MS سیسټم کولی شي سخت زیانمن کړي. له همدې امله، غیر مستقیم میتودونه، لکه د امپینګر ټریپینګ (د مایع له لارې د ګازو بلبل کول ترڅو ونیول شي نجاستونه) یا cryogenic trapping، ډیری وختونه کارول کیږي. په هرصورت، دا میتودونه کولی شي خپل احتمالي سرچینې معرفي کړي ککړتیا یا د تحلیل ضایع که په سمه توګه ترسره نشي. د انتخاب بار وړونکی ګاز د کمولو لپاره، که اړتیا وي، باید هم بې ګناه وي پاکوالي.

بله ننګونه د "میتریک اغیز" ده. بلک ګاز پخپله (د مثال په توګه، ارګون، نايتروجن، هايدروجن) کولای شي د کشف سره مداخله وکړي ناپاکۍ معلومول. د مثال په توګه، په ICP-MS، پلازما د لوی څخه جوړ شوی ګاز کولی شي پولیټومیک آیونونه رامینځته کړي چې د یو څه هدف په څیر ورته د ډله ایز چارج نسبت لري فلزي ناپاکۍد غلطو مثبتو یا ناسم مقدار کولو لامل کیږي. شنونکي باید تخنیکونه لکه د ټکر / غبرګون حجرو څخه کار واخلي ICP-MS یا د لوړ ریزولوشن ډله ایز سپیکرومیټري د دې سپیکٹرل مداخلو د بریالي کولو لپاره. سربیره پردې ، د اندازې کولو معیارونه د مقدار کولو لپاره کارول کیږي فلزي ناپاکۍ باید خورا دقیق او د موندلو وړ وي، او ټوله تحلیلي پروسه باید د اعتبار وړ یقیني کولو لپاره تایید شي. د ناپاکۍ تحلیل پایلې موږ، د عرضه کوونکي په توګه، د بشپړتیا په اړه هم اندیښنه لرو د ګاز سلنډر او د دوی د ونډې اخیستنې ظرفیت فلزي ناپاکۍ د وخت په تیریدو سره، کوم چې د کیفیت دوامداره کنټرول ته اړتیا لري.

ایا د ګاز ایکسچینج وسیلې کارول کولی شي د ټریس ناپاکۍ اندازه کولو دقیقیت ته وده ورکړي؟

هو، د ګازو د تبادلې وسیله کارول په حقیقت کې د دقت په لوړولو کې مهم رول لوبولی شي د ناپاکۍ اندازه کولپه ځانګړې توګه کله چې د ننګونو سره معامله وکړئ ګاز matrices یا کله چې د الټرا ټیټ هدف وي د کشف محدودیتونه. الف د ګازو د تبادلې وسیله، کله ناکله د میټریکس له مینځه وړو سیسټم په توګه راجع کیږي ، په لازمي ډول د لوی مقدار لرې کولو سره کار کوي ګاز (د اصلي برخه نمونه ګازد تمرکز په وخت کې ناپاکۍ معلومول د ګټو دا د تمرکز دمخه مرحله کولی شي په ډراماتیک ډول د راتلونکو تحلیلي تخنیکونو حساسیت ته وده ورکړي لکه ICP-MS یا د ګاز کروماتګراف سیسټمونه

د ډیری تر شا اصول د ګازو د تبادلې وسایل د نیمه وړ وړ جھلی یا انتخابی جذب/د جذب میکانیزم شامل دی. د مثال په توګه، د پیلاډیم جھلی د a څخه د هایدروجن لرې کولو لپاره کارول کیدی شي د ګازو مخلوط، نورو ته اجازه ورکول په ګازونو کې ناپاکۍ متمرکز شي او a ته انتقال شي کشف کونکی. په ورته ډول، ځانګړي جذبونکي مواد کولی شي ځینې ځړول شي نجاستونه له جریان څخه ګاز جریان، کوم چې بیا د پاکولو په کوچني حجم کې په حرارتي ډول جذب کیدی شي بار وړونکی ګاز د تحلیل لپاره. د لوی مقدار کمولو سره ګاز ته رسېدل کشف کونکیدا وسایل د میټرکس مداخلې کموي، د شالید شور کموي، او په اغیزمنه توګه د هدف لپاره د سیګنال څخه تر شور تناسب زیاتوي ناپاکۍ معلومول. دا کولی شي د ټیټیدو لامل شي د کشف حد.

د ګټې د ګازو د تبادلې وسیله کارول په ځانګړې توګه د تحلیل په وخت کې څرګند دي په برقیاتو کی ناپاکی ګازونه چې په مستقیم ډول اداره کول ستونزمن دي یا په تحلیلي وسیلو کې د پام وړ مداخلې لامل کیږي. د مثال په توګه، کله چې په خورا غبرګون کې د ټریس اکسیجن یا رطوبت اندازه کولو هڅه وکړئ ځانګړی ګاز, a د ګازو د تبادلې وسیله په بالقوه توګه دا جلا کولی شي نجاستونه په ډیر نرم ډول بار وړونکی ګاز لکه ارګون یا هیلیم مخکې له دې چې دوی ته ورسیږي کشف کونکی. دا نه یوازې دقت ته وده ورکوي بلکه د حساس تحلیلي اجزاو ساتنه هم کولی شي. د جوړونکي په توګه 99.999٪ پاکوالی 50L سلنډر زینون ګاز، موږ د استثنایی تصدیق کولو کې د داسې پرمختللي تخنیکونو ارزښت پوهیږو پاکوالي نادر او ځانګړي ګازونه. دا ټیکنالوژي په جدي حالت کې مرسته کوي د ګازو پاکول او د تایید پړاوونه.

مهم لینک: په ګازونو کې د ناپاکۍ تحلیل په مستقیم ډول د سیمیکمډکټر په تولید کې کارول کیږي.

د ګازونه په مستقیم ډول د سیمیکمډکټر په تولید کې کارول کیږي د جوړونې پروسې ژوندی وي. پدې کې شامل دي نه یوازې لوی ګازونه لکه نايتروجن او ارګون، مګر د پراخه لړۍ هم د بریښنایی ځانګړتیاو ګاز لکه epitaxial ګازونه (د مثال په توګه، سلین، د کریسټال پرتونو د ودې لپاره جرمن) د نقاشي ګازونه (د مثال په توګه، NF₃، SF₆، Cl₂ د نمونې کولو لپاره) د ion implantation ګازونه (د بیلګې په توګه، ارسین، فاسفین، بوران ټرای فلورایډ د ډوپینګ لپاره)، او د ګازونو زیرمه کول. د دې هر یو لپاره اړین ګازونهد منلو وړ کچه او ډول ناپاکی په کلکه تعریف شوي ځکه چې هر ډول انحراف کولی شي په مستقیم ډول په نیمګړتیاوو کې وژباړي سیمی کنډکټر ویفر دا جوړوي د ناپاکۍ تحلیل د دې لپاره پروسس ګازونه د کیفیت کنټرول یو خورا مهم ګام.

د یو پتلی سیلیکون ډای اکسایډ پرت زیرمه په پام کې ونیسئ، په ټرانزیسټرونو کې یو عام انسولټر. که اکسیجن ګاز کارول کیږي د دې پروسې لپاره هایدرو کاربن لري نجاستونهکاربن د اکسایډ په طبقه کې شامل کیدی شي، د دې انسول کولو ملکیتونه خرابوي او په بالقوه توګه د وسیلې د ناکامۍ لامل کیږي. په ورته ډول، که یو نقاشي ګاز یو غیر متوقع شامل دی ناپاکی، دا ممکن د ایچ نرخ یا انتخاب بدل کړي ، کوم چې هغه ځانګړتیاوې رامینځته کوي چې خورا لوی ، خورا کوچني یا غلط شکل لري. حتی یو ناپاکی په یوه کې غیر فعال ګاز لکه د ارګون ګاز سلنډر د تودوخې لپاره کارول کیدی شي د ویفر سطح ته لیږدول کیږي، د فلم کیفیت اغیزه کوي. د یوې اغیزې ناپاکی ډیری وختونه د پروسې مشخص وي، پدې معنی چې یو ناپاکی په یو ګام کې زغمل کیدی شي یو مهم وي ککړونکي په بل کې

دا مهم لینک د هراړخیز چلند ته اړتیا لري د ناپاکۍ تحلیل. دا یوازې د وروستي محصول چک کولو په اړه ندي؛ په دې کې د خامو موادو څارنه، د پروسې په جریان کې، او وروستی شامل دي ګاز د پاکولو مرحلې. لپاره د سیمی کنډکټر ځانګړتیا ګازونه، د دې لپاره مشخصات په سیمیکمډکټر کې ناپاکۍ غوښتنلیکونه ډیری وختونه خورا سخت وي، د تحلیلي کشف سرحدونه فشار راوړي. موږ د خپلو پیرودونکو سره نږدې کار کوو سیمیکمډکټر او برقیات ساحه د دوی مشخص پوهیدو لپاره ناپاکی د مختلفو لپاره حساسیت د ګازو او ګازو مخلوط. دا ګډ چلند د دې ډاډ ترلاسه کولو کې مرسته کوي د پاکوالي ځانګړي ګازونه موږ په دوامداره توګه د دوی د پرمختللي تولید پروسې غوښتنې اړتیاوې پوره کوو. ننګونه د الف په موندلو کې ده د ناپاکۍ پراخه لړۍ د تل په کمیدو کچه.

د لابراتوار هاخوا: د ککړتیا مخنیوي لپاره د لوړ پاک سیمیکمډکټر ګازونو اداره کولو لپاره غوره کړنې.

ډاډ ترلاسه کول د بریښنایی ځانګړتیاو ګازونو پاکوالی پای ته نه رسیږي کله چې ګاز زموږ د تولید تاسیسات پریږدي. د هغه ساتل پاکوالي د کارونې نقطې ته ټولې لارې a سیمی کنډکټر fab د سمبالولو، ذخیره کولو، او ویشلو لپاره د پام وړ پاملرنې ته اړتیا لري. حتی تر ټولو لوړ د پاکوالي ګاز که په سمه توګه اداره نشي کولی ککړ شي. په Huazhong ګاز کې، موږ نه یوازې په تولید تمرکز کوو لوړ پاکوالی ګازونه مګر زموږ پیرودونکو ته د لاندې جریان مخنیوي لپاره غوره تمریناتو ته هم مشوره ورکوي ککړتیا.

کلیدي غوره تمرینونه شامل دي:

• د اجزاو انتخاب: د ګازو رسولو سیسټم کې ټولې برخې - په شمول د ګاز سلنډر, تنظیم کونکي، والوز، ټیوبونه، او فټینګونه - باید د مناسبو موادو څخه جوړ شي (د بیلګې په توګه، الکترو پولش شوي سټینلیس سټیل) او په ځانګړې توګه پاک او تصدیق شوي وي خورا لوړ پاکوالی (UHP) خدمت. د ناسمو موادو کارول کیدای شي د خارج کیدو لامل شي نجاستونه یا a فلزي ناپاکۍ ته ننوځي د ګاز جریان.
• د سیسټم بشپړتیا: د ګازو رسولو سیسټم باید د لیک څخه کلک وي. حتی کوچني لیکونه کولی شي اتموسفیر ته اجازه ورکړي ککړونکي لکه اکسیجن، رطوبت او ذرات سیسټم ته د ننوتلو مسله، موافقت کول د ګازو پاکوالی. منظم لیک چک کول اړین دي.
• د پاکولو کړنالرې: د پاکولو مناسب طرزالعملونه هرکله چې اړیکه جوړه شي یا سلنډر بدل شي خورا مهم دي. پدې کې د a سره د لینونو فلش کول شامل دي لوړ پاکوالی غیر فعال ګاز (لکه ارګون یا نایتروجن) د هرې بندې هوا لرې کولو لپاره یا نجاستونه. ناکافي پاکول یو عام سرچینه ده ککړتیا. موږ ډیری وختونه د اتوماتیک پاکولو پینل وړاندیز کوو ترڅو د دوام ډاډ ترلاسه کړو.
• وقف شوي تجهیزات: د ځانګړي لپاره د وقف شوي تنظیم کونکو او لینونو کارول ګازونه یا د کورنۍ ګازونه کولی شي د کراس ککړتیا مخه ونیسي. دا په ځانګړې توګه مهم دی کله چې د یو تر مینځ بدلول غیر فعال ګاز او یو عکس العمل یا ژوونکی ګاز.
• د سلنډر سمبالول: د ګاز سلنډر د زیان څخه مخنیوي لپاره باید په احتیاط سره اداره شي. دوی باید په ټاکل شوي، ښه هوا لرونکي سیمو کې زیرمه شي، او "لومړی، لومړی بهر" د موجوداتو مدیریت باید تمرین شي. کارول وقف شوي رطوبت او اکسیجن په مهمو ټکو کې شنونکي هم کولی شي د دې عامو هر ډول ننوتلو نظارت کې مرسته وکړي نجاستونه.

د مارک شین په څیر د پیرودونکو لپاره، څوک چې د بیا خرڅلاو لپاره یا په تولید کې د کارولو لپاره ګاز اخلي، د دې سمبالولو تمریناتو پوهیدل د ساتلو لپاره خورا مهم دي. د محصول کیفیت دوی خپلو مشتریانو ته وعده ورکوي. دا یو ګډ مسؤلیت دی. موږ ډاډمن یو د هایدروجن سلنډر محصولات، د بیلګې په توګه، ډک شوي او د مخنیوي لپاره ساتل کیږي ناپاکی داخلیږي، مګر د پای کارونکي سیسټم یو مساوي مهم رول لوبوي. پر وړاندې مبارزه ناپاکی د تولید څخه تر غوښتنلیک پورې دوامداره هڅه ده.

کرسټال بال ته کتل: د بریښنایی درجې ګازونو لپاره د ناپاکۍ کشف کې موږ د کوم راتلونکي نوښتونو تمه کولی شو؟

د تل لپاره لوړ لټون پاکوالي په د بریښنایی درجې ګازونه او ډیر حساس د ناپاکۍ کشف میتودونه یو پرله پسې سفر دی چې د نوښت د نه ستړي کیدونکي سرعت لخوا پرمخ وړل کیږي سیمی کنډکټر صنعت لکه څنګه چې د وسیلې ځانګړتیاوې د فرعي 10 نانومیټر ساحې ته نور هم راټیټیږي او نوي توکي او جوړښتونه راڅرګندیږي (لکه د 3D NAND او Gate-All-Around ټرانزیسټرونو) ، حتی د ضعیف اغیزې ناپاکۍ معلومول ډیر څرګند شي. دا به په دواړو کې نورو پرمختګونو ته اړتیا ولري د ګازو پاکول ټیکنالوژي او د ناپاکۍ تحلیل وړتیاوې

موږ کولی شو د څو رجحاناتو اټکل وکړو:

• د کم کشف محدودیتونه: تحلیلي تخنیکونه لکه ICP-MSد ګاز کروماتګرافي-ماس سپیکرومیټري (GC-MS)، او د Cavity Ring-down Spectroscopy (CRDS) به پراختیا ته دوام ورکړي. د کشف محدودیتونه د پراخه لپاره د ناپاکۍ لړۍ د واحد عدد ppt کچې ته یا حتی د ppq ډومین ته. دا به د آئن سرچینو، ډله ایز تحلیل کونکو، او نوښتونو ته اړتیا ولري کشف کونکی ټیکنالوژي.
• په وضعیت کې او په ریښتیني وخت څارنه: د تحلیلي سیسټمونو لپاره مخ په ډیریدونکي غوښتنې شتون لري چې نظارت کولی شي د ګازو پاکوالی په ریښتیني وخت کې ، مستقیم د کارونې په نقطه کې دننه سیمی کنډکټر fab دا تاسو ته اجازه درکوي چې هر یو سمدستي کشف کړي ککړتیا پیښې یا تیریږي ناپاکی کچه، د چټک اصلاحي عمل وړ کول او د محصول ضایع کمول. کوچني سینسرونه او پرمختللي کیمومیتریک الګوریتمونه به دلته کلیدي رول ولوبوي.
• د پیچلي ګاز مرکبونو تحلیل: راتلونکې سیمی کنډکټر پروسې ممکن ډیر پیچلي وي د ګازو مخلوط د ډیری عکس العمل اجزاو سره. تحلیل کول نجاستونه په دې ډول ننګونکي میټریکونو کې به نوي تحلیلي ستراتیژیو او پیچلي ډیټا تشریح کولو وسیلو ته اړتیا ولري. د اندازه کولو وړتیا ناپاکی په یوه برخه کې د نورو له مداخلې پرته به مهم وي.
• په "وژونکي" ناپاکۍ تمرکز وکړئ: څیړنې به د مشخصو پیژندلو ته دوام ورکړي په سیمیکمډکټر کې ناپاکۍ پروسس کول چې د وسیلې فعالیت یا حاصل باندې غیر متناسب لوی تاثیر لري ، حتی په خورا ټیټه کچه کې. تحلیلي میتودونه به د دې "وژونکي" په لور ډیر په نښه شي نجاستونه.
• د معلوماتو تحلیل او AI: د پرمختللو لخوا تولید شوي ډیټا پراخه اندازه د ناپاکۍ تحلیل سیسټمونه به د AI او ماشین زده کړې په کارولو سره د رجحاناتو پیژندلو، احتمالي وړاندوینې لپاره ګټه پورته کړي ککړتیا مسلې، او اصلاح کول د ګازو پاکول پروسې دا کولی شي د عکس العمل ستونزې حل کولو پرځای د فعال کیفیت کنټرول کې مرسته وکړي.

د هوزونګ ګاز په برخه کې، موږ ژمن یو چې د دې پرمختګونو په سر کې پاتې شو. موږ په دوامداره توګه په تحقیق او پراختیا کې پانګه اچونه کوو، د صنعت شریکانو او اکادمیک موسسو سره همکاري کوو ترڅو د ساینس پرمختګ ته وده ورکړي. لوړ پاکوالی ګاز تولید او د ناپاکۍ تحلیل. زموږ د پیرودونکو لپاره ، پشمول د مارک شین په څیر د کیفیت لرونکي په توګه ، دا د باور وړ عرضه کولو معنی لري د بریښنایی ځانګړتیاو ګاز چې د پرمختللې اړتیاوې پوره کوي برقی او سیمی کنډکټر صنعتونه. زموږ سلسله هیلیم، د خپل بې ثباتۍ او په ځانګړي غوښتنلیکونو کې کارولو لپاره پیژندل شوی ، د دې پرمختللي تحلیلي تفتیش څخه هم ګټه پورته کوي ترڅو لږترلږه ډاډ ترلاسه کړي ناپاکی کچې.

د یادولو لپاره مهم ټکي:

• د بریښنایی ځانګړتیاو ګاز لپاره بنسټیز دي د سیمی کنډکټر تولیداو د هغوی پاکوالي د خبرو اترو وړ نه دی.
• حتی ناپاکۍ معلومولپه ppb یا ppt کې اندازه کیږي، کولی شي د پام وړ نیمګړتیاو او د حاصلاتو ضایع کیدو لامل شي سیمی کنډکټر وسایل
• عام په ګازونو کې ناپاکۍ نور ګازونه شامل دي (لکه O₂، H₂O)، فلزي ناپاکۍ، او ذرات مسله
• ICP-MS د کشف لپاره د بنسټ ډبره ټیکنالوژي ده د ناپاکۍ پراخه لړۍپه ځانګړې توګه فلزي ناپاکۍپه خورا ټیټو کچو کې.
• ساتل د ګازو پاکوالی د دقیق مدیریت او د سیسټم بشپړتیا ته اړتیا لري د ګاز سلنډر د مخنیوي لپاره د کارولو نقطې ته ککړتیا.
• راتلونکی به حتی ټیټ وګوري د کشف محدودیتونه، د ریښتیني وخت څارنه ، او د AI لخوا پرمخ وړل کیږي د ناپاکۍ تحلیل لپاره بریښنایی درجه ګازونه
• د هر ظرفیت کنټرول ناپاکی د ډاډ ترلاسه کولو لپاره خورا مهم دی د محصول کیفیت او د عصري اعتبار برقی.