د سیمی کنډکټرونو لپاره ځانګړي ګازونه
د سیمیکمډکټر صنعت، د عصري ټیکنالوژیکي پراختیا د بنسټ په توګه، د دې تولید په پروسه کې ډیری لوړ دقیق او لوړ پاکوالی ګازونه شامل دي. د سیمی کنډکټرونو لپاره ځانګړي ګازونه هغه ګازونو ته اشاره کوي چې د سیمیکمډکټر موادو تولید ، چپ تولید ، پتلی فلم ډیپوزیشن ، اینچنګ او نورو پروسو کې کلیدي رول لوبوي. دا ګازونه باید د پاکوالي، ثبات، او د غبرګون پروسو دقیق کنټرول لپاره سختې اړتیاوې پوره کړي. دا مقاله به د سیمیکمډکټرونو کې کارول شوي ډیری عام ځانګړي ګازونه معرفي کړي او د سیمیکمډکټر تولید پروسې کې د دوی رول په اړه بحث وکړي.
- هایدروجن (H₂)
هایډروجن په پراخه کچه د سیمیکمډکټر تولید کې کارول کیږي ، په ځانګړي توګه د کیمیاوي بخاراتو زیرمو (CVD) او کمولو عکس العملونو کې. په CVD کې، هایدروجن اکثرا د نورو ګازونو سره مخلوط کیږي ترڅو پتلي فلمونه وده وکړي، لکه سیلیکون فلمونه. هایډروجن هم د فلزي زیرمو او اکسایډ لرې کولو پروسو کې د کمولو اجنټ په توګه کار کوي. سربیره پردې ، هایدروجن د سیمیکمډکټر ویفرونو پاکولو او درملنې کې کارول کیږي ترڅو په مؤثره توګه د سطحې ککړونکي لرې کړي او د چپس کیفیت ښه کړي.
- نايتروجن (N₂)
نايتروجن، یو غیر فعال ګاز، په عمده توګه د سیمیکمډکټر په تولید کې د اکسیجن څخه پاک چاپیریال چمتو کولو لپاره کارول کیږي. دا عموما د تجهیزاتو پاکولو، د یخولو پروسو، او د عکس العمل اتموسفیر کې د کمولو په توګه کارول کیږي. د بخار په ذخیرې او د اینچنګ پروسو کې، نایتروجن اکثرا د نورو ګازونو سره مخلوط کیږي ترڅو د غبرګون حالت ثبات او د غبرګون کچه کنټرول کړي. نايټروجن د اکسیډریشن د مخنیوي لپاره هم کارول کیږي، د اکسیډریشن زیان څخه حساس مواد ساتي.
- اکسیجن (O₂)
اکسیجن د سیمیکمډکټر صنعت کې مهم رول لوبوي ، په ځانګړي توګه د اکسیډیشن پروسو کې. د سیلیکون ویفرونو په سطحه د سیلیکون ډای اکسایډ پرت په جوړولو کې، اکسیجن اړین دی. د اکسیجن په معرفي کولو سره، د سیلیکون په سطحه د اکسایډ یونیفورم پرت جوړیږي، کوم چې د بریښنا فعالیت او د وسیلې ثبات لپاره حیاتي دی. اکسیجن د پاکولو او د نقاشۍ په پروسو کې هم کارول کیږي، د نورو کیمیاوي ګازونو سره غبرګون کوي ترڅو اکسایډونه جوړ کړي یا ځینې فلزي فلمونه لرې کړي.
- کاربن ټیټرافلوورایډ (CF₄)
کاربن ټیټرافلوورایډ په پراخه کچه د نقاشۍ پروسو کې کارول کیږي. په سیمیکمډکټر اینچنګ کې، CF₄ د نورو ګازونو سره مخلوط کیږي ترڅو په اغیزمنه توګه د سیلیکون، سیلیکون نایټریډ، فلزي او نورو موادو پتلي فلمونه لرې کړي. کله چې CF₄ د فلورین سره یوځای شي، دا فلورایډونه جوړوي، کوم چې قوي تعامل لري او کولی شي په اغیزمنه توګه د نښه شوي موادو نښه کړي. دا ګاز د مدغم سرکټ تولید کې د لوړ دقیق نمونې نقاشۍ لپاره خورا مهم دی.
- هایډروجن کلورایډ (HCl)
د هایدروجن کلورایډ ګاز په عمده توګه د نخشې ګاز په توګه کارول کیږي، په ځانګړې توګه د فلزي موادو په مینځلو کې. دا د فلزي فلمونو سره تعامل کوي ترڅو کلورایډونه جوړ کړي، د فلزي پرتونو لیرې کولو ته اجازه ورکوي. دا پروسه په پراخه کچه د پتلي فلزي فلمونو په نمونه کولو کې کارول کیږي، د چپ جوړښتونو دقیقیت ډاډمن کوي.
- نايتروجن تري فلورايډ (NF₃)
نايټروجن تري فلورايډ په عمده توګه د پلازما ايچنګ سامانونو کې د پاتې شونو د پاکولو لپاره کارول کيږي. د پلازما اینچنګ پروسو کې، NF₃ د زیرمو موادو (لکه سیلیکون فلورایډونو) سره غبرګون کوي ترڅو په اسانۍ سره د لرې کولو وړ فلورایډونه جوړ کړي. دا ګاز د پاکولو په پروسه کې خورا اغیزمن دی، د اینچنګ تجهیزاتو پاک ساتلو کې مرسته کوي او د تولید پروسې دقت او موثریت ته وده ورکوي.
- سیلین (SiH₄)
سلین یو عام ګاز دی چې د کیمیاوي بخارونو زیرمه کولو (CVD) کې کارول کیږي ، په ځانګړي توګه د سیلیکون پتلی فلمونو زیرمه کولو لپاره. سلین په لوړه تودوخه کې تخریب کیږي ترڅو د سبسټریټ سطح باندې سیلیکون فلمونه رامینځته کړي ، کوم چې د سیمیکمډکټر تولید کې خورا مهم دی. د سیلین جریان او عکس العمل شرایطو تنظیم کولو سره ، د زیرمو کچه او د فلم کیفیت دقیق کنټرول کیدی شي.
- بورون ټریفلورایډ (BF₃)
بوران ټریفلورایډ یو مهم ډوپینګ ګاز دی چې معمولا د سیمی کنډکټر تولید کې د بوران ډوپینګ پروسې کې کارول کیږي. دا د مطلوب ډوپینګ پرت جوړولو لپاره د سیلیکون سبسټریټ سره عکس العمل کولو سره د کرسټال بریښنایی ملکیتونو تنظیم کولو لپاره کارول کیږي. د بورون ډوپینګ پروسه د P ډوله سیمیکمډکټر موادو رامینځته کولو لپاره اړینه ده ، او BF₃ ګاز پدې پروسه کې مهم رول لوبوي.
- سلفر هیکسافلوورایډ (SF₆)
سلفر هیکسافلوورایډ په عمده توګه د سیمیکمډکټر اینچنګ پروسو کې کارول کیږي ، په ځانګړي توګه د لوړ دقیق نقاشۍ کې. د دې د لوړ بریښنایی موصلیت ملکیتونو او کیمیاوي ثبات له امله ، SF₆ د نورو ګازونو سره یوځای کیدی شي ترڅو د موادو فلمونه په دقت سره لرې کړي او دقیق نمونې تضمین کړي. دا په پراخه کچه د آئن ایچینګ کې هم کارول کیږي ، په مؤثره توګه د ناغوښتل شوي فلزي فلمونو لرې کول.
پایله
د سیمی کنډکټرونو لپاره ځانګړي ګازونه د مدغم سرکیټونو په جوړولو کې نه بدلیدونکي رول لوبوي. لکه څنګه چې ټیکنالوژي پرمختګ ته دوام ورکوي ، د دې ګازونو لوړ پاکوالي او فعالیت لپاره غوښتنه وده کوي ، عرضه کونکي هڅوي چې په دوامداره توګه د ګازونو کیفیت او ډولونه غوره کړي. په راتلونکي کې، د سیمیکمډکټر صنعت به د راتلونکي نسل چپس او ټیکنالوژیکي اختراعاتو تولید مالتړ لپاره پدې ځانګړتیاو ګازونو تکیه کولو ته دوام ورکړي. له همدې امله، د سیمیکمډکټر ځانګړتیاو ګازونو پوهه او پلي کول به د سیمیکمډکټر صنعت دوامداره پرمختګ په لاره اچولو کې مهم وي.
