د نړیوال سیمیکمډکټر صنعت ګړندی پرمختګ سره ، د چپ تولید پروسې په بشپړ ډول د نانومیټر دور ته ننوتلې. د دې خورا دقیق تولید پروسې کې ، هر دقیقې د چاپیریال بدلون یا د موادو ناپاکۍ کولی شي د ویفرونو د بشپړې ډلې د تخریب لامل شي. له همدې امله، بریښنایی ځانګړتیا ګازونه او د لوړ پاکوالي صنعتي ګازونه د نه بدلیدونکي رول لوبوي. د دوی په منځ کې، د لوړ پاکوالي مایع ارګون د سیمی کنډکټر فابونو په ورځني عملیاتو کې د خپل وروستي کیمیاوي بې ثباتۍ او غوره فزیکي ملکیتونو له امله د مصرف وړ لازمي کلیدي بدل شوی.

دا مقاله به د چپ تولید پروسو کې د مایع ارګون اصلي غوښتنلیکونه ژور تحلیل کړي او د تصدۍ رسولو چین ټیمونو لپاره مسلکي تدارکاتو لارښود چمتو کړي.

اصلي غوښتنلیکونه: ولې مایع ارګون د سیمیکمډکټر تولید څخه جلا کیدونکی دی؟

د Front-End-of-line (FEOL) د سیمیکمډکټر تولید پروسې کې، د سیمیکمډکټرونو لپاره مایع ارګون په عمده ډول په لاندې اصلي مرحلو کې پلي کیږي چې د محصول حاصلات ټاکي:

• د فزیکي بخار جمع کول (PVD) الټرا خالص ارګون ګاز، چې د مایع ارګون د ګازو په واسطه رامینځته شوی، د PVD د سپټرینګ پروسو کې ترټولو اصلي کارونکي ګاز دی. په ویکیوم چیمبر کې، ارګون ایونونه د بریښنایی ساحې په واسطه ګړندي کیږي ترڅو هدف لرونکي مواد بمبار کړي، د هدف اتومونه د ویفر په سطح کې په مساوي توګه د فلزي فلم جوړولو لپاره د منحل کیدو او زیرمه کولو لامل کیږي. لوړ پاکوالی د فلم کثافت او بریښنایی ثبات ډاډمن کولو لپاره یو شرط دی.
• 
  

• په بشپړ ډول خوندي غیر فعال محافظتي فضا: د مونوکریسټالین سیلیکون د ایستلو پروسې په جریان کې (لکه د Czochralski پروسه) او د لوړې تودوخې انیل کولو پروسې ، سیلیکون په اسانۍ سره په لوړه تودوخې کې د اکسیجن سره عکس العمل ښیې. له همدې امله، د ارګون ګاز باید په دوامداره توګه د هوا د ځای په ځای کولو لپاره معرفي شي، د اکسیجن او رطوبت څخه جلا یو بشپړ غیر فعال چاپیریال چمتو کوي، په دې توګه د سیلیکون کرسټال جال کامل وده یقیني کوي.
• 
  
• کریوجینک او ویفر پاکولو ټیکنالوژي: په پرمختللو پروسو کې لکه د Extreme Ultraviolet (EUV) لیتوګرافي، د مایع ارګون (د جوش نقطه -186 ° C) د الټرا ټیټ تودوخې ځانګړتیاوې کله ناکله د دقیق تجهیزاتو یخولو سیسټمونو کې پلي کیږي. په ورته وخت کې، د ارګون ایروسول ټیکنالوژي د ویفر سطحونو کې د نانومیټر پیمانه فزیکي مایکرو پاکولو لپاره هم کارول کیږي، کوم چې کولی شي په غیر ویجاړونکي ډول دقیقې ذرات لرې کړي.
• 
  

کیفیت د حاصلاتو ټاکي: د لوړ پاک مایع ارګون سخت معیارونه

د خامو موادو لپاره د سیمیکمډکټر صنعت اړتیاوې په استثنایی ډول سختې دي. عادي صنعتي درجې مایع ارګون معمولا یوازې د 99.9٪ یا 99.99٪ پاکوالي ته اړتیا لري ، مګر دا د چپ تولید اړتیاو پوره کولو څخه لرې ده. لپاره وړ لوړ پاکوالی مایع ارګوند بنسټیز پاکوالي اړتیا په عموم ډول د 99.999٪ (5N) ته رسیدو ته اړتیا لري، او په پرمختللي نوډونو کې، دا حتی اړتیا لري چې 99.9999٪ (6N) یا لوړ ته ورسیږي.

ډیر مهم د ناپاکۍ کنټرول دی. د اکسیجن، نایتروجن، رطوبت، ټول هایدرو کاربن (THC)، او د فلزي فلزاتو محتوا باید په کلکه د ppb (په هر ملیارد برخې) یا حتی ppt ​​(پر ټریلیون برخې) په کچه کنټرول شي. حتی که د ګازو په پایپ لاین کې د یوې دقیقې ناپاکۍ مخلوط شي، دا به د ویفر په سطح کې مایکرو نیمګړتیاوې رامینځته کړي، د چپ شارټ سرکټ یا اوسني لیک کیدو سبب ګرځي، په مستقیم ډول د حاصل کچه راټیټوي او لوی اقتصادي زیانونه راوړي.

د تدارکاتو لارښود: څنګه د مسلکي مایع ارګون عرضه کونکي ارزونه او انتخاب کړئ؟

د تولید لینونو په عملیاتو کې د لوړ پاکوالي ګازونو پریکړه کونکي رول ته په پام سره ، د بشپړ وړ او وړ مایع ارګون عرضه کونکي موندل او خوندي کول د تدارکاتو او اکمالاتو سلسلې ټیمونو لپاره اصلي دنده ده. کله چې د احتمالي عرضه کونکو ارزونه کول، سپارښتنه کیږي چې په لاندې دریو اړخونو تمرکز وکړئ:

د کیفیت سخت کنټرول او ازموینې وړتیاوې: عالي عرضه کونکي باید د لوړ پوړ ټریس تحلیلي تجهیزاتو لکه د ګاز کروماتګراف (GC) او ماس سپیکرومیټر (MS) سره مجهز وي. دوی باید د دې وړتیا ولري چې د هرې بستې لپاره تفصيلي COA (د تحلیل سند) چمتو کړي ترڅو د تحویلۍ ترمینځ په پاکوالي کې مطلق ثبات یقیني کړي.

د اکمالاتو قوي سلسله انعطاف او د تحویلي ثبات: Fabs معمولا 24/7/365 کار کوي، او د ښکته وخت لګښت خورا لوړ دی. له همدې امله، عرضه کوونکي باید د محلي مایع ذخیره کولو لوی ظرفیتونه ولري، د دوی د کریوجینک ټانکر ټرکونو بیړۍ، او د بیړني اکمالاتو تضمین لپاره هراړخیز بیړني پلانونه.

پرمختللي کانټینرونه او د "ثانوي ککړتیا" ضد ټیکنالوژي: مهمه نده چې د ګاز پاکوالی څومره لوړ وي، دا د ټرانسپورټ په جریان کې ککړتیا بې ګټې ده. تمرکز باید د عرضه کونکي کریوجینک ذخیره کولو ټانکونو او د ټانکر داخلي دیوال درملنې ټیکنالوژیو باندې وي (لکه ایا دا د بریښنایی پولش کولو / EP درملنه ترسره کړې) ، په بیله بیا د ډکولو او لیږد مرحلو په جریان کې د والو او پایپ لاین پاکولو لپاره معیاري عملیاتي پروسیجرونه (SOP) ، ډاډ ترلاسه کوي چې لوړ پاکوالی د نبات څخه مستقیم پیرودونکي ته رسول کیدی شي.

پایله

د مور د قانون د پرله پسې پرمختګ لاندې، د لوړ پاکوالي مایع ارګون نه یوازې یو بنسټیز مصرف دی، بلکې د پرمختللي سیمیکمډکټر پروسو لپاره د "نه لیدو وړ ایسکورټ" هم دی. په ساینسي او سخته توګه ارزول او غوره کول د مایع ارګون عرضه کونکی د هراړخیز ځواک سره د سیمیکمډکټرونو لپاره د مایع ارګون لوړ کیفیت او مستحکم عرضه یقیني کول د هر سیمیکمډکټر تولیدي تصدۍ لپاره کلیدي بنسټ دی ترڅو د پروسې حاصل ښه کړي او په نړیوال بازار کې سیالۍ وګټي.