ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଉତ୍ପାଦନ ବିଭିନ୍ନ ପ୍ରକାରର ଗ୍ୟାସ ଉପରେ ନିର୍ଭର କରେ, ଯାହାକୁ ତିନୋଟି ମୁଖ୍ୟ ପ୍ରକାରରେ ବିଭକ୍ତ କରାଯାଇପାରେ: ବହୁଳ ଗ୍ୟାସ୍ |, ବିଶେଷତା ଗ୍ୟାସ୍ |, ଏବଂ ଗ୍ୟାସ୍ ଗୁଡ଼ିକ ପ୍ରଦୂଷଣକୁ ରୋକିବା ପାଇଁ ଏହି ଗ୍ୟାସଗୁଡିକ ଅତ୍ୟଧିକ ଉଚ୍ଚ ଶୁଦ୍ଧ ହେବା ଆବଶ୍ୟକ, ଯାହା ସୂକ୍ଷ୍ମ ଏବଂ ଜଟିଳ ଗଠନ ପ୍ରକ୍ରିୟାକୁ ନଷ୍ଟ କରିପାରେ |

ବଲ୍କ ଗ୍ୟାସ୍ |

ନାଇଟ୍ରୋଜେନ (N₂):

ଭୂମିକା: N₂ ଏକାଧିକ ଉଦ୍ଦେଶ୍ୟ ସେବା କରେ, ପ୍ରକ୍ରିୟା ଚାମ୍ବରଗୁଡିକ ଶୁଦ୍ଧ କରିବା ଏବଂ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଉତ୍ପାଦନର ବିଭିନ୍ନ ପର୍ଯ୍ୟାୟରେ ଏକ ନିଷ୍କ୍ରିୟ ପରିବେଶ ଯୋଗାଇବା |
ଅତିରିକ୍ତ ଟିପ୍ପଣୀ: ଅମ୍ଳଜାନକୁ କମ୍ କରିବା ପାଇଁ ସିଲିକନ୍ ୱାଫର ପରିବହନ ଏବଂ ସଂରକ୍ଷଣରେ ନାଇଟ୍ରୋଜେନ ପ୍ରାୟତ। ନିୟୋଜିତ ହୋଇଥାଏ | ଏହାର ନିଷ୍କ୍ରିୟ ପ୍ରକୃତି ନିଶ୍ଚିତ କରେ ଯେ ଏହା ଅନ୍ୟ ସାମଗ୍ରୀ ସହିତ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା କରେ ନାହିଁ, ଏହାକୁ ପରିଷ୍କାର ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ପରିବେଶ ବଜାୟ ରଖିବା ପାଇଁ ଆଦର୍ଶ କରିଥାଏ |

ଆର୍ଗନ୍ (ଆର):
ଭୂମିକା: ପ୍ଲାଜ୍ମା ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ଏହାର ଯୋଗଦାନ ସହିତ, ଆର୍ଗନ୍ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ଅଟେ ଯେଉଁଠାରେ ନିୟନ୍ତ୍ରିତ ଗ୍ୟାସ୍ ରଚନା ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ |
ଅତିରିକ୍ତ ଟିପ୍ପଣୀ: କାରଣ ଏହା ଅଧିକାଂଶ ସାମଗ୍ରୀ ସହିତ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା କରେ ନାହିଁ, ଆର୍ଗନ୍ ସ୍ପଟର୍ ପାଇଁ ମଧ୍ୟ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ, ଯାହା ଧାତୁ କିମ୍ବା ଡାଇଲେକ୍ଟ୍ରିକ୍ ଫିଲ୍ମ ଜମା କରିବାରେ ସାହାଯ୍ୟ କରେ ଯେଉଁଠାରେ ପ୍ରଦୂଷଣ ବିନା ପୃଷ୍ଠଗୁଡିକ ରକ୍ଷଣାବେକ୍ଷଣ କରାଯିବା ଆବଶ୍ୟକ |

ହିଲିୟମ୍ (ସେ):
ଭୂମିକା: ହିଲିୟମ୍ ର ତାପଜ ଗୁଣ ଏହାକୁ ଥଣ୍ଡା ପ୍ରକ୍ରିୟା ଏବଂ ପ୍ରତିକ୍ରିୟାଶୀଳ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ତାପମାତ୍ରା ସ୍ଥିରତା ପାଇଁ ଅମୂଲ୍ୟ କରିଥାଏ |
ଅତିରିକ୍ତ ଟିପ୍ପଣୀ: ଏହାର ପ୍ରତିକ୍ରିୟାଶୀଳ ପ୍ରକୃତି ଏବଂ ପ୍ରଦୂଷଣରୁ ମୁକ୍ତ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ପଥ ବଜାୟ ରଖିବାର କ୍ଷମତା ହେତୁ ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ପାଇଁ ଏହା ଉଚ୍ଚ-ଶକ୍ତି ଲେଜର ସିଷ୍ଟମରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ |

ହାଇଡ୍ରୋଜେନ (H₂):
ଭୂମିକା: ଆନ୍ନାଲିଙ୍ଗରେ ଏହାର ପ୍ରୟୋଗ ବାହାରେ, ହାଇଡ୍ରୋଜେନ୍ ୱାଫର୍ ପୃଷ୍ଠକୁ ସଫା କରିବାରେ ମଧ୍ୟ ସାହାଯ୍ୟ କରେ ଏବଂ ଏପିଟାକ୍ସି ସମୟରେ ରାସାୟନିକ ପ୍ରତିକ୍ରିୟାରେ ଜଡିତ ହୋଇପାରେ |
ଅତିରିକ୍ତ ଟିପ୍ପଣୀ: ପତଳା ଚଳଚ୍ଚିତ୍ରଗୁଡ଼ିକର ସଂରକ୍ଷଣରେ ହାଇଡ୍ରୋଜେନର ବ୍ୟବହାର ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ସାମଗ୍ରୀରେ ବାହକ ଏକାଗ୍ରତା ଉପରେ ଅଧିକ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ପାଇଁ ଅନୁମତି ଦେଇଥାଏ, ଏବଂ ସେମାନଙ୍କର ବ electrical ଦ୍ୟୁତିକ ଗୁଣକୁ ଯଥେଷ୍ଟ ପରିବର୍ତ୍ତନ କରିଥାଏ |

ବିଶେଷତା ଗ୍ୟାସ୍ ଏବଂ ଡୋପାଣ୍ଟସ୍ |

ସିଲାନ (SiH₄):
ଭୂମିକା: ସିଲିକନ୍ ଡିପୋଜିସନ ପାଇଁ ଏକ ଅଗ୍ରଭାଗୀ ହେବା ବ୍ୟତୀତ, ସିଲାନକୁ ଏକ ପାସ୍ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ରରେ ପଲିମେରାଇଜ୍ କରାଯାଇପାରିବ ଯାହା ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ବ characteristics ଶିଷ୍ଟ୍ୟକୁ ଉନ୍ନତ କରିଥାଏ |
ଅତିରିକ୍ତ ଟିପ୍ପଣୀ: ଏହାର ପ୍ରତିକ୍ରିୟାଶୀଳତା ସୁରକ୍ଷା ଚିନ୍ତା ହେତୁ ଯତ୍ନଶୀଳ ପରିଚାଳନା ଆବଶ୍ୟକ କରେ, ବିଶେଷତ air ବାୟୁ କିମ୍ବା ଅମ୍ଳଜାନ ସହିତ ମିଶ୍ରିତ ହେଲେ |

ଆମୋନିଆ (NH₃):
ଭୂମିକା: ନାଇଟ୍ରାଇଡ୍ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ଉତ୍ପାଦନ କରିବା ସହିତ, ଆମୋନିୟା ପାସିଭେସନ୍ ସ୍ତର ଉତ୍ପାଦନରେ ମହତ୍ is ପୂର୍ଣ ଅଟେ ଯାହା ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଉପକରଣଗୁଡ଼ିକର ବିଶ୍ୱସନୀୟତା ବ enhance ାଇଥାଏ |
ଅତିରିକ୍ତ ଟିପ୍ପଣୀ: ଏହା ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ଜଡିତ ହୋଇପାରେ ଯାହା ସିଲିକନରେ ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍ ଅନ୍ତର୍ଭୂକ୍ତ କରିବା ଆବଶ୍ୟକ କରେ, ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ଗୁଣରେ ଉନ୍ନତି ଆଣେ |

ଫସଫାଇନ୍ (PH₃), ଆର୍ସିନ୍ (AsH₃), ଏବଂ ଡିବୋରେନ୍ (B₂H₆):
ଭୂମିକା: ଏହି ଗ୍ୟାସ୍ କେବଳ ଡୋପିଂ ପାଇଁ ଜରୁରୀ ନୁହେଁ ବରଂ ଉନ୍ନତ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଉପକରଣଗୁଡ଼ିକରେ ଆବଶ୍ୟକୀୟ ବ electrical ଦୁତିକ ଗୁଣ ହାସଲ କରିବା ପାଇଁ ମଧ୍ୟ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ |
ଅତିରିକ୍ତ ଟିପ୍ପଣୀ: ସେମାନଙ୍କର ବିଷାକ୍ତତା କଡା ସୁରକ୍ଷା ପ୍ରୋଟୋକଲ ଆବଶ୍ୟକ କରେ ଏବଂ ବିପଦକୁ ହ୍ରାସ କରିବା ପାଇଁ ଗଠନ ପରିବେଶରେ ସିଷ୍ଟମ ଉପରେ ନଜର ରଖେ |

ଗ୍ୟାସ୍ ସଫା କରିବା ଏବଂ ସଫା କରିବା |

ଫ୍ଲୋରୋକାର୍ବନ୍ (CF₄, SF₆):
ଭୂମିକା: ଏହି ଗ୍ୟାସ୍ ଗୁଡିକ ଶୁଖିଲା ଇଞ୍ଚିଙ୍ଗ୍ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ନିୟୋଜିତ, ଯାହା ଓଦା ଇଞ୍ଚିଂ ପଦ୍ଧତି ତୁଳନାରେ ଉଚ୍ଚ ସଠିକତା ପ୍ରଦାନ କରେ |
ଅତିରିକ୍ତ ଟିପ୍ପଣୀ: ସିଲିକନ୍-ଆଧାରିତ ସାମଗ୍ରୀକୁ ଦକ୍ଷତାର ସହିତ ଇଚ୍ କରିବାର କ୍ଷମତା ହେତୁ CF₄ ଏବଂ SF₆ ମହତ୍ are ପୂର୍ଣ୍ଣ, ଆଧୁନିକ ମାଇକ୍ରୋ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ସରେ ସୂକ୍ଷ୍ମ ପ୍ୟାଟର୍ ରିଜୋଲ୍ୟୁସନ୍ ପାଇଁ ଅନୁମତି ଦେଇଥାଏ |

କ୍ଲୋରାଇନ୍ (Cl₂) ଏବଂ ହାଇଡ୍ରୋଜେନ୍ ଫ୍ଲୋରାଇଡ୍ (HF):
ଭୂମିକା: ବିଶେଷତ metals ଧାତୁ ପାଇଁ କ୍ଲୋରାଇନ୍ ଆକ୍ରମଣାତ୍ମକ ଇଚିଂ କ୍ଷମତା ପ୍ରଦାନ କରିଥାଏ, ଯେତେବେଳେ ସିଲିକନ୍ ଡାଇଅକ୍ସାଇଡ୍ ଅପସାରଣ ପାଇଁ HF ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ଅଟେ |
ଅତିରିକ୍ତ ଟିପ୍ପଣୀ: ଏହି ଗ୍ୟାସର ମିଶ୍ରଣ ବିଭିନ୍ନ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ପର୍ଯ୍ୟାୟରେ ପ୍ରଭାବଶାଳୀ ସ୍ତର ଅପସାରଣ ପାଇଁ ଅନୁମତି ଦେଇଥାଏ, ପରବର୍ତ୍ତୀ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ପଦକ୍ଷେପଗୁଡ଼ିକ ପାଇଁ ସ୍ୱଚ୍ଛ ପୃଷ୍ଠଗୁଡିକ ସୁନିଶ୍ଚିତ କରେ |

ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍ ଟ୍ରାଇଫ୍ଲୋରାଇଡ୍ (NF₃):
ଭୂମିକା: CVD ସିଷ୍ଟମରେ ପରିବେଶ ସଫା କରିବା ପାଇଁ NF₃ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ, ଉତ୍କୃଷ୍ଟ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ବଜାୟ ରଖିବା ପାଇଁ ପ୍ରଦୂଷକ ସହିତ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା |
ଅତିରିକ୍ତ ଟିପ୍ପଣୀ: ଏହାର ଗ୍ରୀନ୍ ହାଉସ୍ ଗ୍ୟାସ୍ ସମ୍ଭାବନା ବିଷୟରେ ଚିନ୍ତା ସତ୍ତ୍, େ, ସଫା କରିବାରେ NF₃ ର ଦକ୍ଷତା ଏହାକୁ ଅନେକ କାରଖାନାରେ ପସନ୍ଦଯୋଗ୍ୟ କରିଥାଏ, ଯଦିଓ ଏହାର ବ୍ୟବହାର ପରିବେଶର ଯତ୍ନଶୀଳ ଆବଶ୍ୟକ କରେ |

ଅମ୍ଳଜାନ (O₂):
ଭୂମିକା: ଅମ୍ଳଜାନ ଦ୍ facil ାରା ସୁଗମ ହୋଇଥିବା ଅକ୍ସିଡେସନ୍ ପ୍ରକ୍ରିୟା ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ସଂରଚନାରେ ଅତ୍ୟାବଶ୍ୟକ ଇନସୁଲେଟିଂ ସ୍ତର ସୃଷ୍ଟି କରିପାରିବ |
ଅତିରିକ୍ତ ଟିପ୍ପଣୀ: SiO₂ ସ୍ତର ଗଠନ ପାଇଁ ସିଲିକନ୍ ର ଅକ୍ସିଡେସନ୍ ବୃଦ୍ଧିରେ ଅମ୍ଳଜାନର ଭୂମିକା ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ଏବଂ ସର୍କିଟ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକର ସୁରକ୍ଷା ପାଇଁ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ |

ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଉତ୍ପାଦନରେ ଉଦୀୟମାନ ଗ୍ୟାସ୍ |

ଉପରୋକ୍ତ ତାଲିକାଭୁକ୍ତ ପାରମ୍ପାରିକ ଗ୍ୟାସ୍ ସହିତ, ଅନ୍ୟ ଗ୍ୟାସ୍ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଉତ୍ପାଦନ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ଧ୍ୟାନ ଆକର୍ଷଣ କରୁଛନ୍ତି, ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ କରି:

କାର୍ବନ ଡାଇଅକ୍ସାଇଡ୍ (CO₂): କିଛି ସଫେଇ ଏବଂ ଇଚିଂ ପ୍ରୟୋଗରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ, ବିଶେଷତ advanced ଉନ୍ନତ ସାମଗ୍ରୀ ସହିତ ଜଡିତ |

ସିଲିକନ୍ ଡାଇଅକ୍ସାଇଡ୍ (SiO₂): ଯଦିଓ ମାନକ ଅବସ୍ଥାରେ ଗ୍ୟାସ୍ ନୁହେଁ, ସିଲିକନ୍ ଡାଇଅକ୍ସାଇଡ୍ର ବାଷ୍ପୀଭୂତ ଫର୍ମଗୁଡିକ କେତେକ ଜମା ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ |

ପରିବେଶ ବିଚାର

ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଶିଳ୍ପ ବିଭିନ୍ନ ଗ୍ୟାସର ବ୍ୟବହାର ସହିତ ଜଡିତ ପରିବେଶ ପ୍ରଭାବକୁ ହ୍ରାସ କରିବାରେ ଅଧିକ ଧ୍ୟାନ ଦେଉଛି, ବିଶେଷତ those ଗ୍ରୀନ୍ ହାଉସ୍ ଗ୍ୟାସ୍ | ଏହା ଉନ୍ନତ ଗ୍ୟାସ ପରିଚାଳନା ପ୍ରଣାଳୀର ବିକାଶ ଏବଂ ବିକଳ୍ପ ଗ୍ୟାସର ଅନୁସନ୍ଧାନକୁ ଆଣିଛି ଯାହା ଏକ ନିମ୍ନ ପରିବେଶ ପାଦଚିହ୍ନ ସହିତ ସମାନ ସୁବିଧା ପ୍ରଦାନ କରିପାରିବ |

ସିଦ୍ଧାନ୍ତ

ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଉତ୍ପାଦନରେ ବ୍ୟବହୃତ ଗ୍ୟାସ୍ ଗଠନ ପ୍ରକ୍ରିୟାର ସଠିକତା ଏବଂ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ନିଶ୍ଚିତ କରିବାରେ ଏକ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ଭୂମିକା ଗ୍ରହଣ କରିଥାଏ | ଟେକ୍ନୋଲୋଜି ଅଗ୍ରଗତି କଲାବେଳେ, ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଶିଳ୍ପ ଗ୍ୟାସ ଶୁଦ୍ଧତା ଏବଂ ପରିଚାଳନାରେ ଉନ୍ନତି ପାଇଁ ନିରନ୍ତର ପ୍ରୟାସ କରିଥାଏ, ଏବଂ ସେମାନଙ୍କ ବ୍ୟବହାର ସହିତ ଜଡିତ ସୁରକ୍ଷା ଏବଂ ପରିବେଶ ସମ୍ବନ୍ଧୀୟ ସମସ୍ୟାର ମଧ୍ୟ ସମାଧାନ କରିଥାଏ |