ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ପାଇଁ ସ୍ୱତନ୍ତ୍ର ଗ୍ୟାସ୍ |
ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଶିଳ୍ପ, ଆଧୁନିକ ବ techn ଷୟିକ ବିକାଶର ମୂଳ ଅଂଶ ଭାବରେ ଏହାର ଉତ୍ପାଦନ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ଅନେକ ଉଚ୍ଚ-ସଠିକତା ଏବଂ ଉଚ୍ଚ-ଶୁଦ୍ଧତା ଗ୍ୟାସ୍ ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ କରେ | ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ପାଇଁ ସ୍ପେସିଆଲିଟି ଗ୍ୟାସ୍ ଗ୍ୟାସକୁ ସୂଚିତ କରେ ଯାହା ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ସାମଗ୍ରୀ ଉତ୍ପାଦନ, ଚିପ୍ ଉତ୍ପାଦନ, ପତଳା-ଫିଲ୍ମ ଡିପୋଜିସନ, ଇଚିଂ ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ପ୍ରମୁଖ ଭୂମିକା ଗ୍ରହଣ କରିଥାଏ | ଏହି ଗ୍ୟାସଗୁଡିକ ଶୁଦ୍ଧତା, ସ୍ଥିରତା ଏବଂ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ପ୍ରକ୍ରିୟା ଉପରେ ସଠିକ୍ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ପାଇଁ କଠୋର ଆବଶ୍ୟକତା ପୂରଣ କରିବା ଆବଶ୍ୟକ | ଏହି ଆର୍ଟିକିଲ୍ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟରରେ ବ୍ୟବହୃତ ଅନେକ ସାଧାରଣ ସ୍ପେସିଆଲିଟି ଗ୍ୟାସ୍ ଉପସ୍ଥାପନ କରିବ ଏବଂ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଉତ୍ପାଦନ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ସେମାନଙ୍କର ଭୂମିକା ବିଷୟରେ ଆଲୋଚନା କରିବ |
- ହାଇଡ୍ରୋଜେନ (H₂)
ହାଇଡ୍ରୋଜେନ | ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଉତ୍ପାଦନରେ ବିଶେଷ ଭାବରେ ରାସାୟନିକ ବାଷ୍ପ ଜମା (CVD) ଏବଂ ହ୍ରାସ ପ୍ରତିକ୍ରିୟାରେ ବହୁଳ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ | ସିଭିଡିରେ, ହାଇଡ୍ରୋଜେନ୍ ପ୍ରାୟତ other ଅନ୍ୟ ଗ୍ୟାସ୍ ସହିତ ମିଶ୍ରିତ ହୋଇ ପତଳା ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର, ଯେପରିକି ସିଲିକନ୍ ଫିଲ୍ମ | ହାଇଡ୍ରୋଜେନ୍ ମଧ୍ୟ ଧାତୁ ଜମା ଏବଂ ଅକ୍ସାଇଡ୍ ଅପସାରଣ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ହ୍ରାସକାରୀ ଏଜେଣ୍ଟ ଭାବରେ କାର୍ଯ୍ୟ କରେ | ଅତିରିକ୍ତ ଭାବରେ, ହାଇଡ୍ରୋଜେନ୍ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ୱାଫର୍ ସଫା କରିବା ଏବଂ ଚିକିତ୍ସାରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ ଯାହା ଭୂପୃଷ୍ଠ ପ୍ରଦୂଷକକୁ ପ୍ରଭାବଶାଳୀ ଭାବରେ ଅପସାରଣ କରିଥାଏ ଏବଂ ଚିପ୍ସର ଗୁଣରେ ଉନ୍ନତି ଆଣେ |
- ନାଇଟ୍ରୋଜେନ (N₂)
ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍, ଏକ ନିଷ୍କ୍ରିୟ ଗ୍ୟାସ୍, ମୁଖ୍ୟତ sem ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଉତ୍ପାଦନରେ ଅମ୍ଳଜାନମୁକ୍ତ ପରିବେଶ ଯୋଗାଇବା ପାଇଁ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ | ଏହା ସାଧାରଣତ equipment ଯନ୍ତ୍ରପାତି ସଫା କରିବା, ଥଣ୍ଡା ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ଏବଂ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ବାୟୁମଣ୍ଡଳରେ ଏକ ମିଶ୍ରିତ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ | ବାଷ୍ପ ଜମା ଏବଂ ଇଚିଂ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ, ନାଇଟ୍ରୋଜେନ ପ୍ରାୟତ other ଅନ୍ୟ ଗ୍ୟାସ୍ ସହିତ ମିଶ୍ରିତ ହୋଇ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ସ୍ଥିତିକୁ ସ୍ଥିର କରିଥାଏ ଏବଂ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ହାରକୁ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ କରିଥାଏ | ଅମ୍ଳଜାନକୁ ଦମନ କରିବା ପାଇଁ ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍ ମଧ୍ୟ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ, ସମ୍ବେଦନଶୀଳ ପଦାର୍ଥକୁ ଅକ୍ସିଡେସନ୍ କ୍ଷତିରୁ ରକ୍ଷା କରିଥାଏ |
- ଅମ୍ଳଜାନ (O₂)
ଅମ୍ଳଜାନ | ବିଶେଷକରି ଅକ୍ସିଡେସନ୍ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଶିଳ୍ପରେ ଏକ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ଭୂମିକା ଗ୍ରହଣ କରିଥାଏ | ସିଲିକନ୍ ୱାଫର୍ ପୃଷ୍ଠରେ ଏକ ସିଲିକନ୍ ଡାଇଅକ୍ସାଇଡ୍ ସ୍ତର ଗଠନରେ ଅମ୍ଳଜାନ ଜରୁରୀ | ଅମ୍ଳଜାନର ପରିଚୟ ଦେଇ, ସିଲିକନ୍ ପୃଷ୍ଠରେ ଏକ ସମାନ ଅକ୍ସାଇଡ୍ ସ୍ତର ସୃଷ୍ଟି ହୁଏ, ଯାହା ବ electrical ଦୁତିକ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ଏବଂ ଉପକରଣ ସ୍ଥିରତା ପାଇଁ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ | ଅମ୍ଳଜାନ ସଫେଇ ଏବଂ ଇଚିଂ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ମଧ୍ୟ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ, ଅନ୍ୟ ରାସାୟନିକ ଗ୍ୟାସ୍ ସହିତ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା କରି ଅକ୍ସାଇଡ୍ ଗଠନ କିମ୍ବା କିଛି ଧାତୁ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ଅପସାରଣ କରିଥାଏ |
- କାର୍ବନ ଟେଟ୍ରାଫ୍ଲୋରାଇଡ୍ (CF₄)
କାର୍ବନ ଟେଟ୍ରାଫ୍ଲୋରାଇଡ୍ ଇଚିଂ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ବହୁଳ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ | ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଇଚିଂରେ, ସିଲିକନ୍, ସିଲିକନ୍ ନାଇଟ୍ରାଇଡ୍, ଧାତୁ ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ସାମଗ୍ରୀର ପତଳା ଚଳଚ୍ଚିତ୍ରକୁ ପ୍ରଭାବଶାଳୀ ଭାବରେ ଅପସାରଣ କରିବା ପାଇଁ CF₄ ଅନ୍ୟ ଗ୍ୟାସ୍ ସହିତ ମିଶ୍ରିତ | ଯେତେବେଳେ CF₄ ଫ୍ଲୋରାଇନ୍ ସହିତ ମିଳିତ ହୁଏ, ଏହା ଫ୍ଲୋରାଇଡ୍ ଗଠନ କରେ, ଯାହାର ଦୃ strong ପ୍ରତିକ୍ରିୟାଶୀଳତା ରହିଥାଏ ଏବଂ ଲକ୍ଷ୍ୟସ୍ଥଳ ସାମଗ୍ରୀକୁ ଦକ୍ଷତାର ସହିତ ବାହାର କରିପାରେ | ଇଣ୍ଟିଗ୍ରେଟେଡ୍ ସର୍କିଟ୍ ଉତ୍ପାଦନରେ ଉଚ୍ଚ ସଠିକତା pattern ାଞ୍ଚା ପାଇଁ ଏହି ଗ୍ୟାସ୍ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ |
- ହାଇଡ୍ରୋଜେନ୍ କ୍ଲୋରାଇଡ୍ (HCl)
ହାଇଡ୍ରୋଜେନ୍ କ୍ଲୋରାଇଡ୍ ଗ୍ୟାସ୍ ମୁଖ୍ୟତ an ଏକ ଇଚିଂ ଗ୍ୟାସ୍ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ, ବିଶେଷତ metal ଧାତୁ ସାମଗ୍ରୀର ଇଞ୍ଚରେ | ଏହା ଧାତୁ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ସହିତ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା କରି କ୍ଲୋରାଇଡ୍ ସୃଷ୍ଟି କରେ, ଧାତୁ ସ୍ତରଗୁଡିକ ଅପସାରଣ କରିବାକୁ ଅନୁମତି ଦିଏ | ଚିପ୍ ଗଠନଗୁଡ଼ିକର ସଠିକତାକୁ ସୁନିଶ୍ଚିତ କରି ପତଳା ଧାତୁ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ରର ପ୍ୟାଟରିଂରେ ଏହି ପ୍ରକ୍ରିୟା ବହୁଳ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ |
- ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍ ଟ୍ରାଇଫ୍ଲୋରାଇଡ୍ (NF₃)
ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍ ଟ୍ରାଇଫ୍ଲୋରାଇଡ୍ ମୁଖ୍ୟତ pl ପ୍ଲାଜମା ଇଚିଂ ଉପକରଣରେ ଜମା ଅବଶିଷ୍ଟାଂଶ ସଫା କରିବା ପାଇଁ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ | ପ୍ଲାଜ୍ମା ଇଚିଂ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ, NF₃ ଜମା ହୋଇଥିବା ସାମଗ୍ରୀ ସହିତ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା କରେ (ଯେପରିକି ସିଲିକନ୍ ଫ୍ଲୋରାଇଡ୍) ସହଜରେ ଅପସାରଣ ଯୋଗ୍ୟ ଫ୍ଲୋରାଇଡ୍ ଗଠନ କରେ | ସଫେଇ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ଏହି ଗ୍ୟାସ୍ ଅତ୍ୟନ୍ତ ଦକ୍ଷ, ଯନ୍ତ୍ରପାତିର ପରିଷ୍କାର ପରିଚ୍ଛନ୍ନତା ବଜାୟ ରଖିବା ଏବଂ ଉତ୍ପାଦନ ପ୍ରକ୍ରିୟାର ସଠିକତା ଏବଂ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତାକୁ ଉନ୍ନତ କରିବାରେ ସାହାଯ୍ୟ କରେ |
- ସିଲାନ (SiH₄)
ବିଶେଷତ sil ସିଲିକନ୍ ପତଳା ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ଜମା କରିବା ପାଇଁ ସିଲାନ୍ ରାସାୟନିକ ବାଷ୍ପ ଜମା (CVD) ରେ ସାଧାରଣତ used ବ୍ୟବହୃତ ଗ୍ୟାସ୍ | ସିଲାନ ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରାରେ କ୍ଷୟ ହୋଇ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ପୃଷ୍ଠରେ ସିଲିକନ୍ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ଗଠନ କରେ, ଯାହା ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଉତ୍ପାଦନରେ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ | ସିଲାନ୍ର ପ୍ରବାହ ଏବଂ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଅବସ୍ଥାକୁ ସଜାଡିବା ଦ୍ୱାରା, ଜମା ହାର ଏବଂ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ଗୁଣବତ୍ତା ସଠିକ୍ ଭାବରେ ନିୟନ୍ତ୍ରିତ ହୋଇପାରିବ |
- ବୋରନ୍ ଟ୍ରାଇଫ୍ଲୋରାଇଡ୍ (BF₃)
ବୋରନ୍ ଟ୍ରାଇଫ୍ଲୋରାଇଡ୍ ହେଉଛି ଏକ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ଡୋପିଂ ଗ୍ୟାସ୍, ସାଧାରଣତ sem ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଉତ୍ପାଦନରେ ବୋରନ୍ ଡୋପିଂ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ | ଇଚ୍ଛିତ ଡୋପିଂ ସ୍ତର ଗଠନ ପାଇଁ ସିଲିକନ୍ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ସହିତ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା କରି ସ୍ଫଟିକର ବ electrical ଦୁତିକ ଗୁଣଗୁଡିକ ସଜାଡିବା ପାଇଁ ଏହା ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ | ପି-ପ୍ରକାରର ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ସାମଗ୍ରୀ ତିଆରି ପାଇଁ ବୋରନ୍ ଡୋପିଂ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଅତ୍ୟନ୍ତ ଜରୁରୀ ଏବଂ ଏହି ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ BF₃ ଗ୍ୟାସ୍ ଏକ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ଭୂମିକା ଗ୍ରହଣ କରିଥାଏ |
- ସଲଫର୍ ହେକ୍ସାଫ୍ଲୋରାଇଡ୍ (SF₆)
ସଲଫର୍ ହେକ୍ସାଫ୍ଲୋରାଇଡ୍ | ମୁଖ୍ୟତ sem ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଇଚିଂ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ, ବିଶେଷତ high ଉଚ୍ଚ ସଠିକତା ଇଚିଂରେ | ଏହାର ଉଚ୍ଚ ବ electrical ଦୁତିକ ଇନସୁଲେଟିଂ ଗୁଣ ଏବଂ ରାସାୟନିକ ସ୍ଥିରତା ହେତୁ, SF₆ ଅନ୍ୟ ଗ୍ୟାସ୍ ସହିତ ମିଶ୍ରିତ ହୋଇ ବସ୍ତୁ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ରଗୁଡ଼ିକୁ ସଠିକ୍ ଭାବରେ ଅପସାରଣ କରିବା ଏବଂ ସଠିକ୍ s ାଞ୍ଚା ନିଶ୍ଚିତ କରିବା | ଏହା ଆୟନ ଇଚିଂରେ ମଧ୍ୟ ବହୁଳ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ, ଅବାଞ୍ଛିତ ଧାତୁ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ରକୁ ଦକ୍ଷତାର ସହିତ ଅପସାରଣ କରେ |
ସିଦ୍ଧାନ୍ତ
ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ପାଇଁ ସ୍ୱତନ୍ତ୍ର ଗ୍ୟାସ୍ ଇଣ୍ଟିଗ୍ରେଟେଡ୍ ସର୍କିଟ୍ ଉତ୍ପାଦନରେ ଏକ ଅପୂରଣୀୟ ଭୂମିକା ଗ୍ରହଣ କରିଥାଏ | ଟେକ୍ନୋଲୋଜି ଆଗକୁ ବ As ଼ିବା ସହିତ ଏହି ଗ୍ୟାସର ଉଚ୍ଚ ଶୁଦ୍ଧତା ଏବଂ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ପାଇଁ ଚାହିଦା ବ increases ିଥାଏ, ଯୋଗାଣକାରୀମାନଙ୍କୁ ଗ୍ୟାସର ଗୁଣବତ୍ତା ଏବଂ ପ୍ରକାରକୁ କ୍ରମାଗତ ଭାବରେ ଅପ୍ଟିମାଇଜ୍ କରିବାକୁ କହିଥାଏ | ଭବିଷ୍ୟତରେ, ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଶିଳ୍ପ ପରବର୍ତ୍ତୀ ପି generation ଼ିର ଚିପ୍ସ ଏବଂ ବ techn ଷୟିକ ଉଦ୍ଭାବନ ଉତ୍ପାଦନକୁ ସମର୍ଥନ କରିବା ପାଇଁ ଏହି ବିଶେଷ ଗ୍ୟାସ୍ ଉପରେ ନିର୍ଭର କରିବ | ତେଣୁ, ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ସ୍ପେସିଆଲିଟି ଗ୍ୟାସକୁ ବୁ understanding ିବା ଏବଂ ପ୍ରୟୋଗ କରିବା ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଶିଳ୍ପର ନିରନ୍ତର ବିକାଶକୁ ଚଳାଇବାରେ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ହେବ |
